CN109579993A - 高性能光谱仪 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及光谱仪领域，尤其是公开了一种高性能光谱仪，包括光源、入射狭缝、准直聚焦镜、分光光栅、取光镜头、面阵传感器及计算机；准直聚焦镜头呈上凹的弧形面，取光镜头位于弧形面的正下方；入射狭缝和分光光栅对立倾斜设于取光镜头的两侧；光源通过入射光纤将光线传至入射狭缝；光源发出的光信号通过光纤耦合到入射狭缝，入射狭缝把光信号成像到准直聚焦镜上，准直聚焦镜把光信号转变成准直的平行光，再均匀地成像到分光光栅表面；通过分光光栅把光信号色散成按水平方向排列的光谱信号，并反射回准直聚焦镜上；取光镜头把光谱信号折射在面阵传感器上，面阵传感器把图像信号转成电信号传到计算机中，得到光源的光谱特性。
Description
技术领域
本发明涉及光谱仪领域，尤其是涉及一种高性能光谱仪。
背景技术
光谱仪作为光谱分析学科中最重要的测试仪器，它可以测试分析紫外，可见，近红外波段的光谱分布特性，广泛的应用于光源检测、成份分析、颜色测量、环保监控、食品安全等领域；全光谱快速光谱仪，具有同时可采样全光谱信息和采样速度快(MS级)、结构简单、体积小巧等优点，可以很好的应用于生产线实时检测和全天侯无人值守的远程监测等方面；随着近年来全光谱快速光谱仪的应用领域的不断扩大，应用需求的场合不一样，对光谱仪的性能要求也有不同的需求，所以要求光谱仪的性能稳定性要求越来越高，对外部光源的适应性也越来越高。
目前现有的全光谱快速测试的光谱仪，结构中对光谱仪的响应采用线阵传感器或是单像元传感器作为感光器件，光谱仪的对光谱的响应特性与传感器使用的料料，光路结构的光谱响应特性相关，光谱仪调试安装完成后，光谱仪对光谱的响应特性就确定，当使用不同发光光谱的光源时，光谱仪的性能就会因为光源的特性发生变化；光源的光谱不平坦，光谱能量弱的波段，光谱仪响应就低，性噪比下降历害，测试精度下降，光谱能量强的波段，光谱仪响应好，性噪比高，测度精度高；如果光源使用光谱特征峰非常丰富的闪光氙灯，上述问题特别凸显。
发明内容
本发明为了克服现有技术的不足，提供一种高性能光谱仪，能提高光源发光强度弱的波段有响应能力，提高光谱仪性躁比，提高精度。
为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：一种高性能光谱仪，包括光源、入射狭缝、准直聚焦镜、分光光栅，还包括取光镜头、面阵传感器及连接面阵传感器的计算机；所述准直聚焦镜头呈上凹的弧形面，所述取光镜头位于弧形面的正下方；所述入射狭缝和分光光栅对立设于取光镜头的两侧，入射狭缝和分光光栅均倾斜设置，并与取光镜头形成锐角；所述光源通过入射光纤将光线传至入射狭缝；光源发出的光信号通过光纤耦合到入射狭缝，入射狭缝把光信号成像到准直聚焦镜上，准直聚焦镜把光信号转变成准直的平行光，再均匀地成像到分光光栅表面；通过分光光栅把光信号色散成按水平方向排列的光谱信号，并反射回准直聚焦镜上；准直聚焦镜头再将光谱信号反射至取光镜头，取光镜头把光谱信号折射在面阵传感器上，面阵传感器把图像信号转成电信号传到计算机中，通过计算机对图像信号分析处理得到光源的光谱特性。
本方案中采用对等复用光路结构，入射光经准直聚焦镜转变成平行光线后，均匀成像到分光光栅表面，色散成水平方向分布的光谱信号，再反射回准直聚焦镜表面，形成有效的光谱信号；结构的特点是入射和出射使用同一组大面积聚焦镜，使得最终成的色散光谱的光谱分布线性，能形成对等的光谱分辨率，非常有利于后面的面阵传感器的成像。
让光谱仪根据光源的发光光谱，自动调整光谱仪的对每个波段的响应特性，使每个波段的响应特性做一致，提高光源发光强度弱的波段有响应能力，提高光谱仪性躁比，提高精度。
进一步地，所述取光镜头包括沿光传输方向依次设置的胶合双曲线镜片、第一透镜、双面凹镜及胶合成像镜，所述胶合双曲线镜片由两个平光镜胶合而成，所述第一透镜为将光线进行聚焦的第一凸透镜，所述双面凹镜为可对光线进行再次聚焦的第一凹透镜，所述胶合成像镜包括可对光线进行发散的第二凹透镜和可对光线进行再次发散的第二凸透镜，所述第二凸透镜胶合连接于第二凹透镜出光一面。胶合双曲线镜片把分光光栅分光后的面阵光谱图像成像到第一透镜，把大面积的面阵光谱图像缩小10倍以上的图像，再经双面凹镜、胶合成像镜有效的弥补了前两个光学镜子导致的边缘误差，使成像大靶面的面阵传感器的图像是无损的高精度面阵光谱图像；能获取高质量的面阵光谱图像，水平方向为光谱波长分布，垂直方向为光谱能量分布，通过高速采集电路对传感器上每个像素的能量采集，并上传数据到计算机中，就可以获取一帧高质量的面阵光谱图。
进一步地，所述入射光纤的横截面呈矩形。方便控制光谱仪的灵敏度和分辨率，保证光谱仪具有很好的分辨率；同时也能很好的兼容光谱仪高的灵敏度和高的分辨率。
进一步地，所述计算机对图像信号分析处理得到光源的光谱特性的方法如下：
m(λ)＝∫P(λ)·dλ
n(λ)＝∫K(λ)·dλ
其中，P(λ)和K(λ)均为根据光源特性预设的光谱分布曲线，预存于计算机(8)中，取值是特定的常数；K(λ)为光源的原始谱图；
Piex(i)dλ为在面阵传感器上的成像形成的面阵光谱图像；
m,n代表根据各种光源对Piex(i)dλ的加权值；
Q(λ)为计算得到光源处理后的平坦光谱；
λ代表光谱波长，取值范围为：1-100；
dλ代表波长增量；
i代表面阵传感器的像素，取值范围为：0-1024。
本发明针对现有光谱仪缺点，重新设计光谱仪结构，新的工作原理，把特征复杂的光谱转成平坦的光谱，光谱仪测试系统中平坦光谱Q(λ)能有效的提高光谱仪的稳定性和精度；让光谱仪可以根据采集的光信号的特性，对不同光源的各波段的光谱信号，采用相应的加权系数，有效的匹配的光源的光谱，处理的得到平坦的光谱信号，光谱仪可以获得稳定的性噪比，和稳定的测试精度。
进一步地，所述计算机通过采样电路连接所述面阵传感器。
进一步地，所述入射狭缝和分光光栅与取光镜头形成锐角度数为60°。
综上所述，本发明与现有技术相比本可以根据采集的光信号的特性，对不同波段的光谱信号，可以自动的调节放大增益，有效的匹配的光源的光谱，采集到不同波段的光谱为平坦信号，光谱仪可以获得稳定的性噪比，和稳定的测试精度。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的取光镜头与面阵传感器结构示意图；
图3为本发明的原始谱图处理成平坦光谱的变化图；
其中，光源1；入射狭缝2；准直聚焦镜3；分光光栅4；取光镜头5；双曲线镜片51；第一透镜52；双面凹镜53；胶合成像镜54、第二凹透镜541、第二凸透镜542；面阵传感器6；采样电路7；计算机8；入射光纤9。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好的理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。
如图1-3所示，一种高性能光谱仪，包括光源1、入射狭缝2、准直聚焦镜3、分光光栅4、取光镜头5、面阵传感器6、计算机8及入射光纤9，其中，面阵传感器6连接计算机8。
具体的，所述准直聚焦镜头3呈上凹的弧形面，弧形面最好是球面弧形，即弧形面向上凹陷。所述取光镜头5位于弧形面的正下方。所述入射狭缝2和分光光栅4对立设于取光镜头5的两侧，入射狭缝2和分光光栅4均倾斜设置，入射狭缝2和分光光栅4均与取光镜头5形成锐角。其中，所述入射狭缝2和分光光栅4、取光镜头5之间形成锐角度数最好为60°。
工作原理：所述光源1通过入射光纤9将光线传至入射狭缝2；光源1发出的光信号通过光纤耦合到入射狭缝2，入射狭缝2把光信号成像到准直聚焦镜3上，准直聚焦镜3把光信号转变成准直的平行光，再均匀地成像到分光光栅4表面；通过分光光栅4把光信号色散成按水平方向排列的光谱信号，并反射回准直聚焦镜3上。准直聚焦镜头3再将光谱信号反射至取光镜头5，取光镜头5把光谱信号折射在面阵传感器6上。面阵传感器6把图像信号转成电信号传到计算机8中，通过计算机8对图像信号分析处理得到光源1的光谱特性。
本方案中光谱仪采用入射光纤9和入射狭缝2把光信号耦合进入光谱仪，入射光纤9采用大通光孔经的光纤，结构上采用矩形结构，即所述入射光纤9的横截面呈矩形。矩形的高度决定光谱仪的灵敏度，高度越高灵敏度越强，矩形的宽度决定了光谱仪的光学分辨率，越窄分辨率好；本方案用采用1x20mm钜形导光口，保证光信号有能效的采样，采用0.07x20mm入射狭缝2。
作为优选，所述取光镜头5包括沿光传输方向依次设置的胶合双曲线镜片51、第一透镜52、双面凹镜53及胶合成像镜54，所述胶合双曲线镜片51由两个平光镜胶合而成，所述第一透镜52为将光线进行聚焦的第一凸透镜，第一凸头镜进光一面和出光一面均向外突出。所述双面凹镜53为可对光线进行再次聚焦的第一凹透镜，所述第一凹透镜进光一面和出光一面都向内凹陷。所述胶合成像镜54包括可对光线进行发散的第二凹透镜541和可对光线进行再次发散的第二凸透镜542，所述第二凸透镜542胶合连接于第二凹透镜541出光一面。所述第二凸透镜541进光一面和出光一面都向内凹陷，所述第二凸透镜541朝向第二凹透镜541的表面凸起，而第二凸头镜541出光的一面成平面结构。
本方案中的面阵光谱图像的成像结构采用高质量的取光镜头5和大靶面的面阵传感器6(2048x1024)结构，能获取高质量的面阵光谱图像，水平方向为光谱波长分布，垂直方向为光谱能量分布，所述计算机8通过采样电路7连接所述面阵传感器6，即通过高速采样电路7对传感器上每个像素的能量采集，并上传数据到计算机8中，就可以获取一帧高质量的面阵光谱图；本发明中的面阵光谱图像通过高速采样电路7，把面阵传感器6的图像转成图片信息上传到计算机8中，根据测试系统光源的特征，经核心算法，分析处理，把特征复杂的光谱转成平坦的光谱。如图3所示，图3中左侧为光源的原始光谱图K(λ)经过入射狭缝、入射狭缝2、准直聚焦镜3、分光光栅4、高质量的取光镜头5在面阵传感器6上的成像，形成面阵光谱图像Piex(i)dλ，即图3中间的图。在面阵传感器上水平方向是光谱波长分布方向，在垂直方向是光谱能量分布方向。在计算机软件中预存了光源的发光特性加权函数P(λ)K(λ)，再根据波长变量计算出各波长的加权值m,n，根据公式，计算得到光源处理后的平坦光谱Q(λ)，图3中右边的图即为平坦光谱Q(λ)。光谱仪测试系统中平坦光谱Q(λ)能有效地提高光谱仪的稳定性和精度。所述计算机8对图像信号分析处理得到光源1的光谱特性的方法如下：
m(λ)＝∫P(λ)·dλ
n(λ)＝∫K(λ)·dλ
其中，P(λ)和K(λ)均为根据光源特性预设的光谱分布曲线，预存于计算机8中，取值是特定的常数。K(λ)为光源的原始谱图。Piex(i)dλ为在面阵传感器上的成像形成的面阵光谱图像。m,n代表根据各种光源对Piex(i)dλ的加权值。Q(λ)为计算得到光源处理后的平坦光谱。λ代表光谱波长，取值范围为1-100；dλ代表波长增量，例如dλ可取值为1。i代表面阵传感器的像素，取值范围为0-1024。
本发明克服光谱仪使中用光源发光光谱平坦度对光谱仪的性能重要素因，使光谱仪具有自动调整光谱响应特性，对光谱仪测试精度有很大提升。而且具备下述关键技术：
1、高质量的光学采光镜头结构是本发明中的关键技术之一，它保证了面阵传感器能不失真的获取分光光栅色散的面阵光谱图像。
2、把面阵传感器获取到的面阵光谱图转成平坦的光谱分布曲线的方法，是本发明的关键技术之一，它的方法能让光谱仪具有稳定的性噪比，有效提高光谱仪的性能。
3、对等复用光路结构是获取高精度面阵光谱图的重要的光学结构，是本发明的关键技术之一。
显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
Claims (6)
1.一种高性能光谱仪，包括光源(1)、入射狭缝(2)、准直聚焦镜(3)、分光光栅(4)，其特征在于：还包括取光镜头(5)、面阵传感器(6)及连接面阵传感器(6)的计算机(8)；所述准直聚焦镜头(3)呈上凹的弧形面，所述取光镜头(5)位于弧形面的正下方；所述入射狭缝(2)和分光光栅(4)对立设于取光镜头(5)的两侧，入射狭缝(2)和分光光栅(4)均倾斜设置，并与取光镜头(5)形成锐角；所述光源(1)通过入射光纤(9)将光线传至入射狭缝(2)；光源(1)发出的光信号通过光纤耦合到入射狭缝(2)，入射狭缝(2)把光信号成像到准直聚焦镜(3)上，准直聚焦镜(3)把光信号转变成准直的平行光，再均匀地成像到分光光栅(4)表面；通过分光光栅(4)把光信号色散成按水平方向排列的光谱信号，并反射回准直聚焦镜(3)上；准直聚焦镜头(3)再将光谱信号反射至取光镜头(5)，取光镜头(5)把光谱信号折射在面阵传感器(6)上，面阵传感器(6)把图像信号转成电信号传到计算机(8)中，通过计算机(8)对图像信号分析处理得到光源(1)的光谱特性。
2.根据权利要求1所述的高性能光谱仪，其特征在于：所述取光镜头(5)包括沿光传输方向依次设置的胶合双曲线镜片(51)、第一透镜(52)、双面凹镜(53)及胶合成像镜(54)，所述胶合双曲线镜片(51)由两个平光镜胶合而成，所述第一透镜(52)为将光线进行聚焦的第一凸透镜，所述双面凹镜(53)为可对光线进行再次聚焦的第一凹透镜，所述胶合成像镜(54)包括可对光线进行发散的第二凹透镜(541)和可对光线进行再次发散的第二凸透镜(542)，所述第二凸透镜(542)胶合连接于第二凹透镜(541)出光一面。
3.根据权利要求1所述的高性能光谱仪，其特征在于：所述入射光纤(9)的横截面呈矩形。
4.根据权利要求1所述的高性能光谱仪，其特征在于：所述计算机(8)对图像信号分析处理得到光源(1)的光谱特性的方法如下：
m(λ)＝∫P(λ)·dλ
n(λ)＝∫K(λ)·dλ
其中，P(λ)和K(λ)均为根据光源特性预设的光谱分布曲线，预存于计算机(8)中，取值是特定的常数；K(λ)为光源的原始谱图；
Piex(i)dλ为在面阵传感器上的成像形成的面阵光谱图像；
m,n代表根据各种光源对Piex(i)dλ的加权值；
Q(λ)为计算得到光源处理后的平坦光谱；
λ代表光谱波长，取值范围为：1-100；
dλ代表波长增量；
i代表面阵传感器的像素，取值范围为：0-1024。
5.根据权利要求1所述的高性能光谱仪，其特征在于：所述计算机(8)通过采样电路(7)连接所述面阵传感器(6)。
6.根据权利要求1所述的高性能光谱仪，其特征在于：所述入射狭缝(2)和分光光栅(4)与取光镜头(5)形成锐角度数为60°。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114427909A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-05-03 | 杭州晶飞科技有限公司 | 一种光路结构、图像光谱仪及光谱特性处理方法 |
| CN115031841A (zh) * | 2022-08-10 | 2022-09-09 | 武汉精立电子技术有限公司 | 一种光学测量设备、安装方法及应用方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5335484Y2 (zh) * | 1974-09-30 | 1978-08-30 | ||
| CN1739019A (zh) * | 2003-01-15 | 2006-02-22 | 森谢尔公司 | 气室 |
| US20080174777A1 (en) * | 2006-04-11 | 2008-07-24 | University Of Wyoming | Spectrometers using 2-dimensional microelectromechanical digital micromirror devices |
| US20160245693A1 (en) * | 2013-10-02 | 2016-08-25 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Monolithic spectrometer |
| CN206469982U (zh) * | 2017-01-24 | 2017-09-05 | 苏州大学 | 一种凸面光栅Offner‑Wynne型分光装置 |
-
2018
- 2018-12-31 CN CN201811650991.2A patent/CN109579993A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5335484Y2 (zh) * | 1974-09-30 | 1978-08-30 | ||
| CN1739019A (zh) * | 2003-01-15 | 2006-02-22 | 森谢尔公司 | 气室 |
| US20080174777A1 (en) * | 2006-04-11 | 2008-07-24 | University Of Wyoming | Spectrometers using 2-dimensional microelectromechanical digital micromirror devices |
| US20160245693A1 (en) * | 2013-10-02 | 2016-08-25 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Monolithic spectrometer |
| CN206469982U (zh) * | 2017-01-24 | 2017-09-05 | 苏州大学 | 一种凸面光栅Offner‑Wynne型分光装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114427909A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-05-03 | 杭州晶飞科技有限公司 | 一种光路结构、图像光谱仪及光谱特性处理方法 |
| CN115031841A (zh) * | 2022-08-10 | 2022-09-09 | 武汉精立电子技术有限公司 | 一种光学测量设备、安装方法及应用方法 |
| CN115031841B (zh) * | 2022-08-10 | 2022-12-09 | 武汉精立电子技术有限公司 | 一种光学测量设备、安装方法及应用方法 |
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