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CN109417370B - 弹性波元件及弹性波滤波器装置 - Google Patents

弹性波元件及弹性波滤波器装置 Download PDF

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CN109417370B CN201780038442.7A CN201780038442A CN109417370B CN 109417370 B CN109417370 B CN 109417370B CN 201780038442 A CN201780038442 A CN 201780038442A CN 109417370 B CN109417370 B CN 109417370B
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Abstract

弹性波元件具备：压电基板(100)；具有第一梳齿状电极(21a)及第二梳齿状电极(21b)的IDT电极(21)；以及反射器(32L、32R)。反射器(32L、32R)分别由第一反射母线电极(320a)及第二反射母线电极(320b)、以及多个反射电极指(321)构成。第一梳齿状电极(21a)由与第一反射母线电极(320a)连接的第一母线电极(210a)、以及多个第一电极指(211a)构成。第二梳齿状电极(21b)由第二母线电极(210b)和多个第二电极指(211b)构成。在弹性波传播方向(WT)上相邻的反射电极指(321)与第一电极指(211a)所对置的对置区域(OA)，形成有将反射电极指(321)与第一电极指(211a)电连接的连接电极(411)。

Description

弹性波元件及弹性波滤波器装置
技术领域
本发明涉及具有IDT(Inter Digital Transducer，叉指换能器)电极和反射器的弹性波元件、以及具备该弹性波元件的弹性波滤波器装置。
背景技术
以往，在配置于移动通信设备的前端部的带通滤波器等中，包括多个弹性波元件的弹性波滤波器装置得以实用化。
作为这种弹性波元件的一例，在专利文献1中公开了一种弹性波元件，该弹性波元件具有IDT电极、以及在弹性波传播方向上相邻配置于IDT电极的两侧的两个反射器。IDT电极具有对置的一对母线电极、以及与一对母线电极分别连接的多个电极指。反射器具有对置的一对母线电极、以及与一对母线电极的双方连接的多个电极指。
在该弹性波元件中，IDT电极的一方的母线电极与两个反射器各自的一方的母线电极连接。这样，通过仅将IDT电极的一方的母线电极与反射器连接，从而使反射波的产生条件相同，产生相位匹配的驻波而提高弹性波元件的Q值。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平7-303023号公报
发明内容
发明要解决的课题
在内置于移动通信设备的弹性波滤波器装置的弹性波元件中，有时由于静电等而被施加浪涌电压。当向弹性波元件施加浪涌电压时，在弹性波传播方向上相邻的IDT电极的电极指与反射器的电极指之间产生放电，有时这些电极指发生变形或消失。
在专利文献1所公开的弹性波元件中，IDT电极与反射器通过母线电极而连接，因此，具有某种程度的耐压性，但即便如此在施加了浪涌电压的情况下，也有时由于在IDT电极与反射器之间产生的瞬间的电位差而使电极指发生变形或消失。尤其是频率越高，IDT电极与反射器之间的距离变得越小，因此，保护免受浪涌电压破坏的必要性提高。
对此，本发明是为了解决上述课题而完成的，其目的在于提高弹性波元件等的耐压性。
用于解决课题的手段
为了实现上述目的，本发明的一方式的弹性波元件具备：压电基板；IDT电极，其设置在所述压电基板上，且具有相互对置的第一梳齿状电极及第二梳齿状电极；以及反射器，其设置在所述压电基板上，且与所述IDT电极在弹性波传播方向上相邻配置，其中，所述反射器由第一反射母线电极及第二反射母线电极、以及多个反射电极指构成，该第一反射母线电极及第二反射母线电极配置为沿所述弹性波传播方向延伸且相互对置，该多个反射电极指配置为与所述第一反射母线电极及所述第二反射母线电极分别连接，且沿所述弹性波传播方向的正交方向延伸，所述第一梳齿状电极由第一母线电极和多个第一电极指构成，该第一母线电极配置为沿所述弹性波传播方向延伸，且与所述第一反射母线电极连接，该多个第一电极指配置为与所述第一母线电极连接且沿所述正交方向延伸，所述第二梳齿状电极由第二母线电极和多个第二电极指构成，该第二母线电极配置为沿所述弹性波传播方向延伸，且未与所述第二反射母线电极连接，该多个第二电极指配置为与所述第二母线电极连接且沿所述正交方向延伸，在所述弹性波传播方向上相邻的所述反射电极指与所述第一电极指所对置的对置区域，形成有将所述反射电极指与所述第一电极指电连接的连接电极。
根据该结构，即便在向弹性波元件施加了瞬时高电压的情况下，也能够抑制相邻的反射电极指与第一电极指之间的放电的产生。由此，能够提高弹性波元件的耐压性。
另外，也可以是，在所述对置区域的全部区域形成有所述连接电极。
据此，能够在对置区域的全部区域抑制放电的产生，能够提高弹性波元件的耐压性。
另外，所述第一电极指及所述第二电极指分别具有在从所述弹性波传播方向观察时相互交叉的第一交叉电极指及第二交叉电极指，所述第一电极指具有与所述第二交叉电极指在所述正交方向上对置配置的第一偏移电极指，所述第二电极指具有与所述第一交叉电极指在所述正交方向上对置配置的第二偏移电极指，在所述反射电极指与所述第一偏移电极指之间形成有所述连接电极。
根据该结构，即便在向弹性波元件施加了瞬时高电压的情况下，也能够抑制相邻的反射电极指与第一偏移电极指之间的放电的产生。由此，能够提高弹性波元件的耐压性。
另外，也可以是，在所述弹性波传播方向上相邻的所述反射电极指与所述第一偏移电极指之间的间隔，小于在所述弹性波传播方向上相互相邻的所述第一偏移电极指与所述第一交叉电极指之间的间隔。
这样，即便在所述弹性波传播方向上相邻的所述反射电极指与所述第一偏移电极指之间的间隔小的情况下，也能够通过在这些电极指之间具有连接电极来抑制放电的产生，能够提高弹性波元件的耐压性。
另外，所述第一电极指及所述第二电极指分别具有从所述弹性波传播方向观察时相互交叉的第一交叉电极指及第二交叉电极指，所述第一电极指具有与所述第二交叉电极指在所述正交方向上对置配置的第一偏移电极指，所述第二电极指具有与所述第一交叉电极指在所述正交方向上对置配置的第二偏移电极指，在所述反射电极指与所述第一交叉电极指之间形成有所述连接电极。
根据该结构，即便在向弹性波元件施加了瞬时高电压的情况下，也能够抑制相邻的反射电极指与第一交叉电极指之间的放电的产生。由此，能够提高弹性波元件的耐压性。
另外，也可以是，在所述弹性波传播方向上相邻的所述反射电极指与所述第一交叉电极指之间的间隔，小于在所述弹性波传播方向上相互相邻的所述第一偏移电极指与所述第一交叉电极指之间的间隔。
根据该结构，即便在向弹性波元件施加了瞬时高电压的情况下，也能够抑制相邻的反射电极指与第一交叉电极指之间的放电的产生。由此，能够提高弹性波元件的耐压性。
另外，也可以是，在与所述反射电极指电连接的所述第一交叉电极指的所述正交方向上未配置所述第二偏移电极指，而配置有所述第二母线电极。
根据该结构，即便在向弹性波元件施加了瞬时高电压的情况下，由于在第一交叉电极指的正交方向上不具有偏移电极指，因此，也能够抑制在与第一交叉电极指对置的方向上产生放电。由此，能够提高弹性波元件的耐压性。
另外，也可以是，所述反射电极指、所述第一电极指及所述连接电极具有相同的层构造。
由此，能够在同一工艺中形成反射电极指、第一电极指及连接电极，能够提高弹性波元件的生产性。
另外，也可以是，所述连接电极从所述第一母线电极沿所述正交方向延伸地形成，所述正交方向的前端带有圆度。
这样，若连接电极的前端带有圆度，则即便在向弹性波元件施加了瞬时高电压的情况下，也难以产生放电。由此，能够提高弹性波元件的耐压性。
另外，也可以构成为，在所述第一母线电极输入浪涌电压。
这样，即便在向第一母线电极输入浪涌电压的情况下，也能够抑制放电的产生，能够提高弹性波元件的耐压性。
另外，本发明的一方式的弹性波滤波器装置是具备上述弹性波元件和输入输出端子的弹性波滤波器装置，其中，在所述输入输出端子连接有所述弹性波元件的所述第一母线电极。
根据该结构，即便在从输入输出端子向弹性波元件的第一母线电极输入了瞬时高电压的情况下，相邻的反射电极指与第一电极指也难以成为不同电位，能够抑制放电的产生。由此，能够提高弹性波滤波器装置的耐压性。
另外，也可以是，所述输入输出端子及所述第一电极指之间的通电路径长度与所述输入输出端子及所述反射电极指之间的通电路径长度不同。
这样，即便在通电路径长度不同的情况下，相邻的反射电极指与第一电极指也难以成为不同电位，能够抑制放电的产生。由此，能够提高弹性波滤波器装置的耐压性。
发明效果
根据本发明，能够提高弹性波元件等的耐压性。
附图说明
图1是表示比较例的弹性波元件的俯视图。
图2是实施方式1的弹性波滤波器装置的电路结构图。
图3A是表示实施方式1的弹性波元件的图，(a)是俯视图，(b)是A-A线剖视图。
图3B是图3A的弹性波元件的局部放大图，(a)是俯视图，(b)是B-B线剖视图。
图4是实施方式1的变形例1的弹性波元件的俯视图。
图5是将实施方式1的变形例2的弹性波元件的一部分放大后的俯视图。
图6是实施方式2的弹性波元件的俯视图。
图7是实施方式3的弹性波元件的俯视图。
图8是实施方式4的弹性波元件的俯视图。
具体实施方式
(实施方式1)
本实施方式的弹性波元件具备IDT(Inter Digital Transducer，叉指换能器)电极和反射器。该弹性波元件例如被用作便携式电话等移动通信设备的滤波器(带通滤波器、低通滤波器、高通滤波器、带阻滤波器)。在说明本实施方式的弹性波元件之前，参照附图对弹性波元件的课题进行说明。
[1-1.弹性波元件的课题]
图1是比较例的弹性波元件510的俯视图。
比较例的弹性波元件510具备IDT电极21、以及在弹性波传播方向上相邻配置于IDT电极21的两侧的反射器32L及32R。
反射器32L、32R分别由相互对置的反射母线电极320a、320b及多个反射电极指321构成。
IDT电极21由相互对置的梳齿状电极21a、21b形成。
一方的梳齿状电极21a由母线电极210a及多个电极指211a构成，电极指211a具有交叉电极指212a和偏移电极指213a。另一方的梳齿状电极21b由母线电极210b及多个电极指211b构成，电极指211b具有交叉电极指212b和偏移电极指213b。
构成一方的梳齿状电极21a的母线电极210a与反射器32L、32R各自的一方的反射母线电极320a、320a连接。根据该构造，即便在比较例的弹性波元件510被施加了浪涌电压的情况下，也能够使IDT电极21及反射器32L、32R之间的电位大致相等，确保了某种程度的耐压性。
然而，即便如此在施加了浪涌电压的情况下，也有时在弹性波传播方向WT上相邻的偏移电极指213a及反射电极指321发生变形或消失。这被认为是，由于距输入浪涌电压的输入输出端子的距离的不同，偏移电极指213a与反射电极指321瞬间地成为不同电位，从而在偏移电极指213a与反射电极指321对置的对置区域OA产生放电。
在本实施方式中，针对具有在施加了浪涌电压的情况下等能够耐受的耐压性的弹性波元件、以及具备该弹性波元件的弹性波滤波器装置进行说明。
[1-2.弹性波滤波器装置的电路结构]
以下，使用附图对本发明的实施方式详细进行说明。需要说明的是，以下所说明的实施方式及其变形例均示出全面性的或具体的例子。以下的实施方式及其变形例所示的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置及连接方式等是一例，并非意在限定本发明。关于以下的实施方式及其变形例的构成要素中的未记载于独立权利要求的构成要素，是作为任意的构成要素而说明的。另外，附图所示的构成要素的大小或大小之比并不一定是严格的。
图2是实施方式1的弹性波滤波器装置1的电路结构图。
如图2所示，弹性波滤波器装置1具备发送滤波器7、接收滤波器8、天线侧的输入输出端子6a、发送器侧的输入输出端子6b、以及接收器侧的输入输出端子6c。发送滤波器7及接收滤波器8各自的引出线被捆扎而与天线侧的输入输出端子6a连接。
发送滤波器7是对从发送器侧的输入输出端子6b输入的发送波以各发送通带进行滤波并向天线侧的输入输出端子6a输出的带通滤波器。接收滤波器8是对从天线侧的输入输出端子6a输入的接收波以各接收通带进行滤波并向接收器侧的输入输出端子6c输出的带通滤波器。
发送滤波器7是梯型滤波器，具有：在连结天线侧的输入输出端子6a与发送器侧的输入输出端子6b的路径上设置的串联谐振器2a、2b、2c、2d；以及在从串联谐振器2a到串联谐振器2d为止的连接路径与基准端子(接地)之间连接的并联谐振器3a、3b、3c。接收滤波器8具有在连结天线侧的输入输出端子6a与接收器侧的输入输出端子6c的路径上设置的串联谐振器4及纵耦合型弹性波滤波器部5。
本实施方式的弹性波元件具有耐压性，例如用作与天线侧的输入输出端子6a连接的串联谐振器2a及4，并且用作与发送器侧的输入输出端子6b连接的串联谐振器2d，并且用作与接收器侧的输入输出端子6c连接的纵耦合型弹性波滤波器部5的谐振器5a、5b。根据该结构，弹性波滤波器装置1具有针对从输入输出端子6a～6c输入的瞬时高电压的耐压性。
需要说明的是，不局限于上述电路结构，也可以对其他的串联谐振器2b、2c或并联谐振器3a～3c使用本实施方式的弹性波元件。以下，对弹性波元件详细进行说明。
[1-3.弹性波元件的结构]
图3A是表示实施方式1的弹性波元件10的图，(a)是俯视图，(b)是A-A线剖视图。图3B是弹性波元件10的局部放大图。
如图3A所示，弹性波元件10具备：压电基板100；设置在压电基板100上的IDT电极21；以及设置在压电基板100上、且与IDT电极21在弹性波传播方向WT上相邻配置的反射器32L及32R。
压电基板100例如由具有规定的切割角的LiTaO3压电单晶、LiNbO3压电单晶、或者压电陶瓷构成。
如图3A的(a)所示，IDT电极21由对置的一对第一梳齿状电极21a及第二梳齿状电极21b构成。第一梳齿状电极21a具有第一交叉电极指212a，第二梳齿状电极21b具有第二交叉电极指212b。第一交叉电极指212a及第二交叉电极指212b在从弹性波传播方向WT观察时相互交叉。
如图3A的(b)所示，IDT电极21成为密接层111与主电极层112的层叠构造。另外，反射器32L、32R也与IDT电极21同样地成为密接层111与主电极层112的层叠构造。
这里，对IDT电极21及反射器32L、32R的剖面构造进行说明。
密接层111是用于提高压电基板100与主电极层112的密接性的层，作为材料，例如使用Ti。密接层111的膜厚例如为12nm。作为主电极层112的材料，例如使用含有1％的Cu的Al。主电极层112的膜厚例如为162nm。保护层113形成为覆盖IDT电极21。保护层113是以保护主电极层112免受外部环境的破坏、调整频率温度特性、以及提高耐湿特性等为目的的层，例如是以二氧化硅为主成分的膜。
这里，对IDT电极21的设计参数进行说明。弹性波元件10的波长由图3A的(a)所示的分别构成第一梳齿状电极21a及第二梳齿状电极21b的第一交叉电极指212a及第二交叉电极指212b的重复间距λ规定。另外，IDT电极21的交叉宽度L在从弹性波传播方向WT观察的情况下是第一交叉电极指212a与第二交叉电极指212b重叠的电极指长度。另外，对数N是第一交叉电极指212a及第二交叉电极指212b的根数。在本实施方式中，例如，重复间距λ＝2μm，交叉宽度L＝50μm，对数N＝100个。
接下来，对弹性波元件10的压电基板100上的电极配置进行说明。如前所述，弹性波元件10具备压电基板100、IDT电极21以及反射器32L、32R。反射器32L、32R在弹性波传播方向WT上相邻配置于IDT电极21的两侧。
反射器32L、32R分别具有第一反射母线电极320a、第二反射母线电极320b及多个反射电极指321。
第一反射母线电极320a及第二反射母线电极320b分别配置为，沿弹性波传播方向WT延伸且相互对置。
多个反射电极指321分别配置为，与第一反射母线电极320a及第二反射母线电极320b分别连接，且在弹性波传播方向WT的正交方向(以下，称为正交方向CD)上延伸。多个反射电极指321配置为，隔开规定的间隔而相互平行。
IDT电极21的第一梳齿状电极21a由沿弹性波传播方向WT延伸的第一母线电极210a、以及配置为与第一母线电极210a连接且沿正交方向CD延伸的多个第一电极指211a构成。
IDT电极21的第二梳齿状电极21b由沿弹性波传播方向WT延伸的第二母线电极210b、以及配置为与第二母线电极210b连接且沿正交方向CD延伸的多个第二电极指211b构成。
第一母线电极210a配置为与反射器32L、32R各自的第一反射母线电极320a连接。与此相对，第二母线电极210b未与反射器32L、32R连接。
另外，第一母线电极210a与输入浪涌电压的输入输出端子6a直接连接。第一反射母线电极320a经由第一母线电极210a而与输入输出端子6a连接。输入输出端子6a及第一电极指211a之间的通电路径长度与输入输出端子6a及反射电极指321之间的通电路径长度不同。在本实施方式中，输入输出端子6a至反射电极指321之间的通电路径长度比输入输出端子6a至第一电极指211a(后述的第一偏移电极指213a)之间的通电路径长度长。
第一电极指211a具有第一交叉电极指212a和第一偏移电极指213a。另外，第二电极指211b具有第二交叉电极指212b和第二偏移电极指213b。
如前所述，第一交叉电极指212a及第二交叉电极指212b配置为，从弹性波传播方向WT观察时相互交叉。
第一偏移电极指213a的长度比第一交叉电极指212a的长度短，第一偏移电极指213a配置为与第二交叉电极指212b在正交方向CD上对置。第二偏移电极指213b的长度比第二交叉电极指212b的长度短，第二偏移电极指213b配置为与第一交叉电极指212a在正交方向CD上对置。通过在梳齿状电极21a、21b分别设置偏移电极指213a、213b，从而排除由高次谐波等引起的不需要的频率成分即寄生成分等。
在弹性波传播方向WT上的第一母线电极210a的两端侧分别设置有第一偏移电极指213a。即，在弹性波传播方向WT上，第一偏移电极指213a与反射电极指321相邻。
在弹性波传播方向WT上相邻的反射电极指321与第一偏移电极指213a之间的间隔i2小于在弹性波传播方向WT上相邻的第一偏移电极指213a与第一交叉电极指212a之间的间隔i1(参照图3B的(a))。例如，间隔i2比间隔i1小0.005μm。另外，间隔i2小于在正交方向CD上对置的第一偏移电极指213a与第二交叉电极指212b之间的间隔i3。例如，间隔i2比间隔i3小0.005μm。
在本实施方式中，在与上述的间隔i2对应的区域，即，在相邻的反射电极指321与第一偏移电极指213a所对置的对置区域OA的全部区域，形成有连接电极411。通过该连接电极411，将相邻的反射电极指321与第一偏移电极指213a电连接。
需要说明的是，连接电极411通过与反射电极指321及第一偏移电极指213a相同的工艺(例如剥离法等)形成。即，相邻的反射电极指321与第一偏移电极指213a、以及位于它们之间的连接电极411由一体物构成，如图3B的(b)所示，具有相同的层叠构造。
[1-4.效果等]
在本实施方式的弹性波元件10中，在弹性波传播方向WT上相邻的反射电极指321与第一偏移电极指213a所对置的对置区域OA，形成有将反射电极指321与第一偏移电极指213a电连接的连接电极411。
根据该结构，即便在向弹性波元件10施加了瞬时高电压的情况下，相邻的反射电极指321与第一偏移电极指213a也难以成为不同电位，能够抑制放电的产生。由此，能够提高弹性波元件10的耐压性。
另外，本实施方式的弹性波滤波器装置1具备上述弹性波元件10和输入输出端子(例如输入输出端子6a)，在输入输出端子连接有弹性波元件10的第一母线电极210a。
根据该结构，即便在从输入输出端子(例如输入输出端子6a)向弹性波元件10的第一母线电极210a输入了瞬时高电压的情况下，相邻的反射电极指321与第一偏移电极指213a也难以成为不同电位，能够抑制放电的产生。由此，能够提高弹性波滤波器装置1的耐压性。
需要说明的是，在本实施方式中，作为在对置区域OA设置将反射电极指321与第一偏移电极指213a电连接的连接电极411的结构进行了说明，但是在第一偏移电极指213a及连接电极411为一体物的情况下，也能够不明示第一偏移电极指213a及连接电极411，如以下那样对本实施方式进行说明。
即，在本实施方式的弹性波元件10中，第一母线电极210a具有与反射器32L、32R各自的第一反射母线电极320a相接的两端部E1，第一母线电极210a的端部E1的宽度w2大于中央部C1的宽度w1，端部E1形成为，在弹性波传播方向WT上从与第一反射母线电极320a的接点延伸至配置有第二交叉电极指212b的位置。这样，宽幅的第一母线电极210a的端部E1与第一反射母线电极320a连接，因此，即便在输入了浪涌电压的情况下，电场也难以集中于第一母线电极210a的端部E1，能够提高耐压性。
[1-5.变形例1的弹性波元件]
图4是实施方式1的变形例1的弹性波元件10A的俯视图。
在变形例1的弹性波元件10A中，在弹性波传播方向WT上的第一母线电极210a的两端侧分别设置有第一交叉电极指212a。即，在弹性波传播方向WT上，第一交叉电极指212a与反射电极指321相邻。
在弹性波元件10A中，在弹性波传播方向WT上相邻的反射电极指321与第一交叉电极指212a所对置的对置区域OA，形成有将反射电极指321与第一交叉电极指212a电连接的连接电极411。
根据该结构，即便在向弹性波元件10A施加了瞬时高电压的情况下，相邻的反射电极指321与第一交叉电极指212a也难以成为不同电位，能够抑制放电的产生。由此，能够提高弹性波元件10A的耐压性。
需要说明的是，在弹性波元件10A中，在弹性波传播方向WT上相邻的反射电极指321与第一交叉电极指212a之间的间隔，小于在弹性波传播方向WT上相邻的第一偏移电极指213a与第一交叉电极指212a之间的间隔。另外，反射电极指321与第一交叉电极指212a之间的间隔，小于在正交方向CD上对置的第一交叉电极指212a与第二偏移电极指213b之间的间隔。
[1-6.变形例2的弹性波元件]
图5是将实施方式1的变形例2的弹性波元件10B的一部分放大后的俯视图。
在变形例2的弹性波元件10B中，连接电极411从第一母线电极210a沿正交方向CD延伸地形成，连接电极411的正交方向CD的前端411a带有圆度。具体而言，连接电极411的前端411a以及与连接电极411相邻的第一交叉电极指212a的前端带有圆度。
这样，根据连接电极411的前端411a带有圆度的结构，即便在向弹性波元件10B施加了瞬时高电压的情况下，也难以产生放电。由此，能够提高弹性波元件10B的耐压性。
(实施方式2)
图6是实施方式2的弹性波元件10C的俯视图。
在实施方式2的弹性波元件10C中，与变形例1的弹性波元件10A不同，在与反射电极指321电连接的第一交叉电极指212a的正交方向CD上，未配置第二偏移电极指，而配置有第二母线电极210b。由此，与变形例1的弹性波元件10A相比，增大了第一交叉电极指212a与同第一交叉电极指212a对置设置的电极之间的距离。
根据该结构，即便在向弹性波元件10C施加了瞬时高电压的情况下，也能够抑制在与第一交叉电极指212a对置的方向上产生放电。由此，能够提高弹性波元件10C的耐压性。
(实施方式3)
图7是实施方式3的弹性波元件10D的俯视图。
在实施方式3的弹性波元件10D中，与变形例1的弹性波元件10A不同，第一梳齿状电极21a及第二梳齿状电极21b分别不具有偏移电极指213a、213b。即，第一梳齿状电极21a由第一交叉电极指212a及第一母线电极210a构成，第二梳齿状电极21b由第二交叉电极指212b及第二母线电极210b构成。
根据该结构，即便在向弹性波元件10D施加了瞬时高电压的情况下，由于在第一交叉电极指212a的正交方向CD上不具有偏移电极指，因此，也能够抑制在与第一交叉电极指212a对置的方向上产生放电。由此，能够提高弹性波元件10D的耐压性。
(实施方式4)
图8是实施方式4的弹性波元件10E的俯视图。
在实施方式4的弹性波元件10E中，与实施方式1的弹性波元件10不同，第一梳齿状电极21a的第一母线电极210a未与反射器32R的第一反射母线电极320a连接，而仅与反射器32L的第一反射母线电极320a连接。
根据该结构，即便向弹性波元件10E施加了瞬时高电压的情况下，相邻的反射电极指321与第一偏移电极指213a也难以成为不同电位，能够抑制放电的产生。由此，能够提高弹性波元件10E的耐压性。
另外，在图8中，第二母线电极210b与反射器32R的第二反射母线电极320b连接，在弹性波传播方向WT上相邻的反射电极指321与第二偏移电极指213b的对置区域OA形成有连接电极411。在该情况下，通过将被输入瞬时高电压的第二母线电极210b置换为第一母线电极210a、且将第二偏移电极指213b置换为第一偏移电极指213a来进行说明，从而弹性波元件10E的效果与先前相同。
(其他方式等)
以上，对本发明的实施方式及其变形例的弹性波元件及弹性波滤波器装置进行了说明，但本发明不局限于上述实施方式及其变形例。例如，对上述实施方式及其变形例实施了如下那样的变形的方式也包含在本发明中。
例如，弹性波元件10不局限于声表面波元件，也可以是声边界波元件。
另外，构成密接层111、主电极层112及保护层113的材料不局限于上述材料。此外，IDT电极21也可以不是上述层叠构造。IDT电极21例如也可以由Ti、Al、Cu、Pt、Au、Ag、Pd等金属或合金构成，另外，还可以通过由上述金属或合金构成的多个层叠体构成。另外，也可以不形成保护层113。
另外，压电基板100也可以是将高声速支承基板、低声速膜以及压电膜依次层叠而成的层叠构造。压电膜例如由50°Y切割X传播LiTaO3压电单晶或压电陶瓷(在将以X轴为中心轴并且将从Y轴旋转了50°的轴作为法线的面进行了切断的钽酸锂单晶或陶瓷，并且声表面波在X轴方向上传播的单晶或陶瓷)构成。压电膜例如厚度为600nm。高声速支承基板是对低声速膜、压电膜及IDT电极进行支承的基板。高声速支承基板还是与在压电膜传播的表面波、边界波的弹性波相比高声速支承基板中的体波的声速为高速的基板，功能为将声表面波封入到层叠有压电膜及低声速膜的部分，避免声表面波从高声速支承基板向下方泄漏。高声速支承基板例如是硅基板，厚度例如为200μm。低声速膜是与在压电膜传播的体波相比低声速膜中的体波的声速为低速的膜，且配置在压电膜与高声速支承基板之间。利用该构造以及弹性波本质上在低声速的介质集中能量这一性质，能够抑制声表面波能量向IDT电极外的泄漏。低声速膜例如是以二氧化硅为主成分的膜，厚度例如为670nm。根据该层叠构造，与以单层使用压电基板100的构造相比，能够大幅提高谐振频率及反谐振频率中的Q值。即，能够构成Q值高的声表面波谐振器，因此，能够使用该声表面波谐振器来构成插入损耗小的滤波器。
产业上的可利用性
本发明作为可耐受浪涌电压等高电压的施加的高频滤波器、双工器及多路复用器，能够广泛利用于便携式电话等移动通信设备。
附图标记说明：
1 弹性波滤波器装置；
2a、2b、2c、2d 串联谐振器；
3a、3b、3c 并联谐振器；
4 串联谐振器；
5 纵耦合型弹性波滤波器部；
6a、6b、6c 输入输出端子；
7 发送滤波器；
8 接收滤波器；
10、10A、10B、10C、10D、10E 弹性波元件；
21 IDT电极；
21a 第一梳齿状电极；
21b 第二梳齿状电极；
32L、32R 反射器；
100 压电基板；
111 密接层；
112 主电极层；
113 保护层；
210a 第一母线电极；
210b 第二母线电极；
211a 第一电极指；
211b 第二电极指；
212a 第一交叉电极指；
212b 第二交叉电极指；
213a 第一偏移电极指；
213b 第二偏移电极指；
320a 第一反射母线电极；
320b 第二反射母线电极；
321 反射电极指；
411 连接电极；
i1 第一交叉电极指与第一偏移电极指之间的间隔；
i2 反射电极指与第一偏移电极指之间的间隔；
i3 第一偏移电极指与第二交叉电极指之间的间隔；
OA 对置区域；
WT 弹性波传播方向；
w1 第一母线电极的中央部的宽度；
w2 第一母线电极的端部的宽度。

Claims (12)

1.一种弹性波元件，具备：
压电基板；
IDT电极，其设置在所述压电基板上，且具有相互对置的第一梳齿状电极及第二梳齿状电极；以及
反射器，其设置在所述压电基板上，且与所述IDT电极在弹性波传播方向上相邻配置，
其中，
所述反射器由第一反射母线电极及第二反射母线电极以及多个反射电极指构成，该第一反射母线电极及第二反射母线电极配置为沿所述弹性波传播方向延伸且相互对置，该多个反射电极指配置为与所述第一反射母线电极及所述第二反射母线电极分别连接，且沿所述弹性波传播方向的正交方向延伸，
所述第一梳齿状电极由第一母线电极和多个第一电极指构成，该第一母线电极配置为沿所述弹性波传播方向延伸，且与所述第一反射母线电极连接，该多个第一电极指配置为与所述第一母线电极连接且沿所述正交方向延伸，
所述第二梳齿状电极由第二母线电极和多个第二电极指构成，该第二母线电极配置为沿所述弹性波传播方向延伸，且未与所述第二反射母线电极连接，该多个第二电极指配置为与所述第二母线电极连接且沿所述正交方向延伸，
在所述弹性波传播方向上相邻的所述反射电极指与所述第一电极指所对置的对置区域，形成有将所述反射电极指与所述第一电极指电连接的连接电极。
2.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中，
在所述对置区域的全部区域形成有所述连接电极。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波元件，其中，
所述第一电极指及所述第二电极指分别具有在从所述弹性波传播方向观察时相互交叉的第一交叉电极指及第二交叉电极指，
所述第一电极指具有与所述第二交叉电极指在所述正交方向上对置配置的第一偏移电极指，
所述第二电极指具有与所述第一交叉电极指在所述正交方向上对置配置的第二偏移电极指，
在所述反射电极指与所述第一偏移电极指之间形成有所述连接电极。
4.根据权利要求3所述的弹性波元件，其中，
在所述弹性波传播方向上相邻的所述反射电极指与所述第一偏移电极指之间的间隔，小于在所述弹性波传播方向上相互相邻的所述第一偏移电极指与所述第一交叉电极指之间的间隔。
5.根据权利要求1或2所述的弹性波元件，其中，
所述第一电极指及所述第二电极指分别具有从所述弹性波传播方向观察时相互交叉的第一交叉电极指及第二交叉电极指，
所述第一电极指具有与所述第二交叉电极指在所述正交方向上对置配置的第一偏移电极指，
所述第二电极指具有与所述第一交叉电极指在所述正交方向上对置配置的第二偏移电极指，
在所述反射电极指与所述第一交叉电极指之间形成有所述连接电极。
6.根据权利要求5所述的弹性波元件，其中，
在所述弹性波传播方向上相邻的所述反射电极指与所述第一交叉电极指之间的间隔，小于在所述弹性波传播方向上相互相邻的所述第一偏移电极指与所述第一交叉电极指之间的间隔。
7.根据权利要求5所述的弹性波元件，其中，
在与所述反射电极指电连接的所述第一交叉电极指的所述正交方向上，未配置所述第二偏移电极指，而配置有所述第二母线电极。
8.根据权利要求1或2所述的弹性波元件，其中，
所述反射电极指、所述第一电极指及所述连接电极具有相同的层构造。
9.根据权利要求8所述的弹性波元件，其中，
所述连接电极从所述第一母线电极沿所述正交方向延伸地形成，所述正交方向的前端带有圆度。
10.根据权利要求1或2所述的弹性波元件，其中，
在所述第一母线电极输入浪涌电压。
11.一种弹性波滤波器装置，具备权利要求1至10中任一项所述的弹性波元件和输入输出端子，其中，
在所述输入输出端子连接有所述弹性波元件的所述第一母线电极。
12.根据权利要求11所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述输入输出端子及所述第一电极指之间的通电路径长度，与所述输入输出端子及所述反射电极指之间的通电路径长度不同。
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