CN109251857B - 激光显微切割仪及其工作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种激光显微切割仪及其工作方法，激光显微切割仪包括激光器、物镜单元；物镜单元包括：壳体内具有沿着壳体中心轴线的光学通道；激光器设置在壳体内，出射的破膜光的波长为λ1，激光器在所述光学通道的垂直于所述中心轴线上的截面上的投影面积为0；波长转换部件设置在所述壳体内，且处于所述激光器的出射光光路上；所述波长转换部件根据需要地转换破膜光的波长，转换光的波长λ2∈[380nm,780nm]；滤光开关，所述滤光开关用于根据需要地阻止波长为λ1的破膜光射向胚胎；二维扫描镜单元将破膜光和/或转换光反射到反光镜；二维扫描镜单元和波长转换部件在所述截面上的投影面积为0；反光镜设置在所述光学通道内；反光镜上的反射光在所述光学通道内传输。本发明具有控制精确、结构简单等优点。
Description
技术领域
本发明涉及胚胎培养，特别涉及激光显微切割仪及其工作方法。
背景技术
激光显微切割仪是一种通过发射脉冲激光束对胚胎进行扫描切割操作的设备。激光破膜技术中，对激光和指示光的设计是一项十分关键的工作。由于激光通常为红外光，人眼不可见，指示光的设计可以帮助操作人员对激光束的位置进行准确定位，如果指示光和激光的位置关系处理不好，则会使激光能量束打到其他位置，对胚胎造成损伤。目前已有的方案主要为：
第一种方案：将激光和指示光分别放在物镜两侧，在物镜中间放一面反射镜与物镜的中心轴线成一定的夹角固定，激光器发出的激光，入射在反射镜的正面反射后入射到物镜，引导光入射到反射镜的反面反射后入射到目镜。引导光和激光都在物镜的中心轴线上，方向相反。该方法的不足在于：
1.需要用到两个光源变量，在调整的过程当中会增大调整的难度和误差，不易控制。
2.只能进行激光的单点射击，如果要实现切割必须通过手动移动载物台的方式，无法实现自动扫描切割。
第二种方案：将扫描系统安装在倒置显微镜的荧光通道上，不足在于：占用荧光功能使用，非常不方便。
发明内容
为解决上述现有技术方案中的不足，本发明提供了一种激光显微切割仪，实现了二维扫描，且不占用荧光通道。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
一种激光显微切割仪，所述激光显微切割仪包括激光器、物镜单元；所述物镜单元包括：
壳体，所述壳体内具有沿着所述壳体中心轴线的光学通道；所述激光器设置在壳体内，出射的破膜光的波长为λ1，所述激光器在所述光学通道的垂直于所述中心轴线上的截面上的投影面积为0；
波长转换部件，所述波长转换部件设置在所述壳体内，且处于所述激光器的出射光光路上；所述波长转换部件根据需要地转换破膜光的波长，转换光的波长λ2∈[380nm,780nm]；
滤光开关，所述滤光开关用于根据需要地阻止波长为λ1的破膜光射向胚胎；
二维扫描镜单元，所述二维扫描镜单元将破膜光和/或转换光反射到反光镜；所述二维扫描镜单元和波长转换部件在所述截面上的投影面积为0；
反光镜，所述反光镜设置在所述光学通道内；反光镜上的反射光在所述光学通道内传输。
根据上述的激光显微切割仪，优选地，所述反光镜对所述破膜光的反射率大于90％，该发射率大于对所述转换光的反射率。
根据上述的激光显微切割仪，优选地，所述反光镜对波长λ3的光的反射率小于1％，λ3∈[380nm,λ)2∪(λ2，780nm]。
根据上述的激光显微切割仪，可选地，所述物镜单元进一步包括：
反射镜单元，所述反射镜单元设置在所述壳体内，将所述转换光反射到二维扫描镜单元；所述反射镜单元在所述截面上的投影面积为0。
根据上述的激光显微切割仪，可选地，所述反射镜单元包括：
第一反射镜，所述出射光依次被第一反射镜和第二反射镜反射；
第二反射镜，所述第一反射镜和第二反射镜沿着所述光学通道的周向设置。
根据上述的激光显微切割仪，可选地，所述二维扫描镜单元包括：
第一扫描镜，所述第一扫描镜和第二扫描镜上下设置；
第二扫描镜，第一扫描镜和第二扫描镜的旋转轴相互垂直。
根据上述的激光显微切割仪，优选地，所述波长转换部件是倍频部件。
根据上述的激光显微切割仪，优选地，波长λ1，λ1∈[1400nm,1500nm]。
本发明的目的还在于提供了上述的激光显微切割仪的工作方法，该发明目的是通过以下技术方案得以实现的：
根据上述的激光显微切割仪的工作方法，所述工作方法包括以下步骤：
(A1)激光器发出的破膜光入射到波长转换部件；
(A2)波长转换部件工作，将所述破膜光的波长λ1转换到波长λ2∈[380nm,780nm]；
(A3)转换光经过二维扫描镜单元、反光镜后射到胚胎上；
调整二维扫描镜单元，使得转换光射到胚胎的指定位置；波长λ1的破膜光被阻止射到胚胎上；
(A4)调整波长转换部件的工作状态，激光器发出的破膜光依次经过所述二维扫描镜单元和反光镜后射到胚胎的指定位置。
根据上述的工作方法，可选地，在步骤(A4)中，所述破膜光穿过所述波长转换部件时，少部分破膜光转换为转换光，大部分破膜光波长不变地穿过波长转换部件；破膜光和转换光均射到胚胎的指定位置。
与现有技术相比，本发明具有的有益效果为：
1.物镜兼具激光二维扫描功能，定位精准；
2.使用过程中各部件和光路不占用荧光通道。
附图说明
参照附图，本发明的公开内容将变得更易理解。本领域技术人员容易理解的是：这些附图仅仅用于举例说明本发明的技术方案，而并非意在对本发明的保护范围构成限制。图中：
图1是根据本发明实施例1的激光显微切割仪的结构简图；
图2是根据本发明实施例2的激光显微切割仪的结构简图。
具体实施方式
图1-2和以下说明描述了本发明的可选实施方式以教导本领域技术人员如何实施和再现本发明。为了教导本发明技术方案，已简化或省略了一些常规方面。本领域技术人员应该理解源自这些实施方式的变型或替换将在本发明的范围内。本领域技术人员应该理解下述特征能够以各种方式组合以形成本发明的多个变型。由此，本发明并不局限于下述可选实施方式，而仅由权利要求和它们的等同物限定。
实施例1：
图1示意性地给出了本发明实施例1的激光显微切割仪的结构简图，如图1所示，所述激光显微切割仪包括：
激光器，所述激光器发出的破膜光的波长为λ1，λ1∈[1400nm,1500nm]，
物镜单元，所述物镜单元包括：
壳体，所述壳体内具有沿着所述壳体中心轴线的光学通道；所述激光器设置在壳体内，所述激光器在所述光学通道的垂直于所述中心轴线上的截面上的投影面积为0；
波长转换部件，如倍频部件，所述波长转换部件设置在所述壳体内，且处于所述激光器的出射光光路上；所述波长转换部件根据需要地转换破膜光的波长，转换光的波长λ2∈[380nm,780nm]；波长转换部件的转换效率可调；
滤光开关，所述滤光开关根据需要地滤除波长为λ1的破膜光；
二维扫描镜单元，如MEMS扫描振镜，所述二维扫描镜单元将破膜光和/或转换光反射到反光镜；所述二维扫描镜单元和波长转换部件在所述截面上的投影面积为0，且激光器、波长转换部件和二维扫描镜单元之间的光路和光学通道没有交叉；
反光镜，所述反光镜设置在所述光学通道内；反光镜上的反射光在所述光学通道内传输；所述反光镜对所述破膜光的反射率大于90％，如99％，该发射率大于对所述转换光的反射率，如40-60％；且所述反光镜对波长λ3的光的反射率小于1％，λ3∈[380nm,λ2∪(λ2，780nm]。
本发明实施例的激光显微切割仪的工作方法，所述工作方法包括以下步骤：
(A1)激光器发出的破膜光入射到波长转换部件；
(A2)波长转换部件工作，将所述破膜光的波长λ1转换到波长λ2∈[380nm,780nm]；
(A3)转换光经过二维扫描镜单元、反光镜后射到胚胎上；
调整二维扫描镜单元，使得转换光射到胚胎的指定位置；
滤光开关打开，滤除波长λ1的破膜光，防止在指示位置阶段损坏胚胎；
(A4)调整波长转换部件的工作状态，所述破膜光穿过所述波长转换部件时，少部分破膜光转换为转换光，大部分不变第穿过波长转换部件；破膜光和转换光依次经过二维扫描镜单元、反光镜的反射，均射到胚胎的指定位置。
实施例2：
图2示意性地给出了本发明实施例2的激光显微切割仪的结构简图，如图2所示，所述激光显微切割仪包括：
激光器，所述激光器发出的破膜光的波长为λ1，λ1∈[1400nm,1500nm]，激光功率范围为200mW-600mW。；
物镜单元，所述物镜单元包括：
壳体，所述壳体内具有沿着所述壳体中心轴线的光学通道；所述激光器设置在壳体内，所述激光器在所述光学通道的垂直于所述中心轴线上的截面上的投影面积为0；
波长转换部件，如倍频部件，所述波长转换部件设置在所述壳体内，且处于所述激光器的出射光光路上；所述波长转换部件根据需要地转换破膜光的波长，转换光的波长λ2∈[380nm,780nm]；波长转换部件的转换效率可调；
滤光开关，所述滤光开关根据需要地滤除波长为λ1的破膜光；
反射镜单元，所述反射镜单元设置在所述壳体内，将所述转换光反射到二维扫描镜单元；所述反射镜单元在所述截面上的投影面积为0；所述反射镜单元包括：
第一反射镜，所述出射光依次被第一反射镜和第二反射镜反射；
第二反射镜，所述第一反射镜和第二反射镜沿着所述光学通道的周向设置；
二维扫描镜单元，所述二维扫描镜单元将破膜光和/或转换光反射到反光镜；所述二维扫描镜单元和波长转换部件在所述截面上的投影面积为0，且激光器、波长转换部件、反射镜单元和二维扫描镜单元之间的光路和光学通道没有交叉；所述二维扫描镜单元包括：
第一扫描镜，所述第一扫描镜和第二扫描镜上下设置；所述第一扫描镜、第一反射镜和第二反射镜沿着所述光学通道的周向设置；
第二扫描镜，第一扫描镜和第二扫描镜的旋转轴相互垂直，从而实现二维扫描功能；
反光镜，所述反光镜设置在所述光学通道内；反光镜上的反射光在所述光学通道内传输；所述反光镜对所述破膜光的反射率大于90％，如99％，该发射率大于对所述转换光的反射率，如40-60％；且所述反光镜对波长λ3的光的反射率小于1％，λ3∈[380nm,λ2)∪(λ2，780nm]。
本发明实施例的激光显微切割仪的工作方法，所述工作方法包括以下步骤：
(A1)激光器发出的破膜光入射到波长转换部件；
(A2)波长转换部件工作，将所述破膜光的波长λ1转换到波长λ2∈[380nm,780nm]；
(A3)转换光依次经过第一反射镜、第二反射镜的反射后入射到第一扫描镜，；
二维扫描镜单元、反光镜后射到胚胎上；
调整二维扫描镜单元，使得转换光射到胚胎的指定位置；
滤光开关打开，滤除波长λ1的破膜光，防止在指示位置阶段损坏胚胎；
(A4)调整波长转换部件的工作状态，所述破膜光穿过所述波长转换部件时，少部分破膜光转换为转换光，大部分不变第穿过波长转换部件；破膜光和转换光依次经过二维扫描镜单元、反光镜的反射，均射到胚胎的指定位置。
实施例3：
根据本发明实施例2的激光显微切割仪及其工作方法的应用例。
在该应用例中，半导体激光器出射的破膜光的波长λ1为1480nm±20nm，功率为500±50mW；波长转换部件采用倍频部件，转换光的波长λ2为740nm±10nm；所述第一扫描镜、第一反射镜和第二反射镜沿着所述光学通道的周向设置，之间的光路的主轴处于垂直于壳体的中心轴线的平面上；第一扫描镜沿着第一转轴转动，第二扫描镜沿着第二转轴转动，第一转轴和第二转轴相互垂直；壳体筒形部件，内部中空部分为光学通道，直径为R1；壳体的中间部分具有内径较大段，直径为R2，R2＞R1；上述激光器、波长转换部件、反射镜单元和二维扫描镜单元以及之间的光路均处于内径较大段，且处于R2＞R＞R1的区域内，也即在所述光学通道的垂直于壳体的中心轴线的截面内的投影面积是0。
Claims (10)
1.一种激光显微切割仪，所述激光显微切割仪包括激光器、物镜单元；其特征在于：所述物镜单元包括：
壳体，所述壳体内具有沿着所述壳体中心轴线的光学通道；所述激光器设置在壳体内，出射的破膜光的波长为λ1，所述激光器在所述光学通道的垂直于所述中心轴线上的截面上的投影面积为0；
波长转换部件，所述波长转换部件设置在所述壳体内，且处于所述激光器的出射光光路上；所述波长转换部件根据需要地转换破膜光的波长，转换光的波长λ2∈[380nm,780nm]；所述波长转换部件的转换效率可调；
滤光开关，所述滤光开关用于根据需要地阻止波长为λ1的破膜光射向胚胎；
二维扫描镜单元，所述二维扫描镜单元将破膜光和/或转换光反射到反光镜；所述二维扫描镜单元和波长转换部件在所述截面上的投影面积为0；
反光镜，所述反光镜设置在所述光学通道内；反光镜上的反射光在所述光学通道内传输。
2.根据权利要求1所述的激光显微切割仪，其特征在于：所述反光镜对所述破膜光的反射率大于90％，所述破膜光的反射率大于对所述转换光的反射率。
3.根据权利要求2所述的激光显微切割仪，其特征在于：所述反光镜对波长λ3的光的反射率小于1％，λ3∈[380nm,λ2)∪(λ2，780nm]。
4.根据权利要求1所述的激光显微切割仪，其特征在于：所述物镜单元进一步包括：
反射镜单元，所述反射镜单元设置在所述壳体内，将所述转换光反射到二维扫描镜单元；所述反射镜单元在所述截面上的投影面积为0。
5.根据权利要求4所述的激光显微切割仪，其特征在于：所述反射镜单元包括：
第一反射镜，所述出射光依次被第一反射镜和第二反射镜反射；
第二反射镜，所述第一反射镜和第二反射镜沿着所述光学通道的周向设置。
6.根据权利要求5所述的激光显微切割仪，其特征在于：所述二维扫描镜单元包括：
第一扫描镜，所述第一扫描镜和第二扫描镜上下设置；所述第一反射镜、第二反射镜和第一扫描镜沿着所述光学通道的周向设置；
第二扫描镜，第一扫描镜和第二扫描镜的旋转轴相互垂直。
7.根据权利要求1所述的激光显微切割仪，其特征在于：所述波长转换部件是倍频部件。
8.根据权利要求1所述的激光显微切割仪，其特征在于：波长λ1，λ1∈[1400nm,1500nm]。
9.根据权利要求1-8任一所述的激光显微切割仪的工作方法，所述工作方法包括以下步骤：
(A1)激光器发出的破膜光入射到波长转换部件；
(A2)波长转换部件工作，将所述破膜光的波长λ1转换到波长λ2∈[380nm,780nm]；
(A3)转换光经过二维扫描镜单元、反光镜后射到胚胎上；
调整二维扫描镜单元，使得转换光射到胚胎的指定位置；波长λ1的破膜光被阻止射到胚胎上；
(A4)调整波长转换部件的工作状态，激光器发出的破膜光依次经过所述二维扫描镜单元和反光镜后射到胚胎的指定位置。
10.根据权利要求9所述的工作方法，其特征在于：在步骤(A4)中，所述破膜光穿过所述波长转换部件时，少部分破膜光转换为转换光，大部分破膜光波长不变地穿过波长转换部件；破膜光和转换光均射到胚胎的指定位置。
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