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CN109023244A - 一种盖板灰色ncvm镀膜制备工艺 - Google Patents

一种盖板灰色ncvm镀膜制备工艺 Download PDF

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CN109023244A CN201810791152.6A CN201810791152A CN109023244A CN 109023244 A CN109023244 A CN 109023244A CN 201810791152 A CN201810791152 A CN 201810791152A CN 109023244 A CN109023244 A CN 109023244A
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China
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潘兵
曾庆云
余登全
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DONGGUAN HUAQING OPTICAL TECHNOLOGY Co.,Ltd.
Original Assignee
Dongguan Jinsheng Precision Electronic Components Ltd
DONGGUAN HUAQING OPTICAL TECHNOLOGY Co Ltd
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Abstract

本发明涉及一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，包括以下步骤：（1）素材准备和检验；（2）产品上伞；（3）镀膜挂伞；（4）抽真空；（5）离子轰击；（6）真空成膜；（7）出炉放气；（8）产品下伞；（9）产品检验和包装。本发明的优点是：1.简化了NCVM生产时繁琐的工艺流程，提高了生产效率和良品率2.采用SIO2和TI3O5膜料的膜系无论分光发生什么样的偏移，丝印完后颜色效果都不会发生变化，可持续稳定生产。

Description

一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺
技术领域
本发明涉及一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，属于NCVM光学镀膜。
背景技术
传统的工艺繁琐，工艺参数的设定不准确，导致膜层易发生变化，不能稳定持续生产。
发明内容
为克服现有技术的缺陷，本发明提供一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，本发明的技术方案是：
一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，包括以下步骤：
（1）素材准备和检验；
（2）产品上伞；
（3）镀膜挂伞；
（4）抽真空；
（5）离子轰击；
（6）真空成膜；
（7）出炉放气；
（8）产品下伞；
（9）产品检验和包装。
所述的步骤（1）为：选取纯度为99.999%，粒径大小为1-3mm的SIO2和TI3O5膜料以及宽度为16cm、宽度为20cm两种规格的保护膜；将待要镀NCVM的玻璃用平板清洗机清洗干净，不可有赃物、水印外观缺陷；把有划伤、脏物的不良玻璃挑出隔离。
所述的步骤（2）为：将玻璃的待镀膜面朝上平铺在镀膜机的伞具上，并用磁铁将保护膜固定，防止脱落。
所述的步骤（3）为：将伞具放入真空镀膜机，加入膜料；所述的步骤（4）为：将真空镀膜机的门关上，进行抽真空，真空度为6*10ˉ3Pa。
所述的步骤（5）轰击时离子源阳极电压100V，轰击时离子源阴极电流8A，轰击时离子源阳极电流8A，轰击时间为5分钟。
所述的步骤（6）成膜初始真空度5*10-3 Pa；成膜后的真空度4*10-3 Pa~3*10-3 Pa；镀SIO2膜料时设置成膜速率为4.0Å/s.膜层厚度为165nm；为解决膜层太厚电子枪光斑会击穿坩埚的问题，将SIO2膜料分为两层两个坩埚，第一层的第一个坩埚的SIO2膜料厚度为800Å即80nm，第二层的第二个坩埚的SIO2膜料厚度为850Å即85nm，电子枪束流下限为70mA，上限为150mA，光斑大小调至比第一个坩埚中膜料外径小即可; 镀TI3O5膜料时设置成膜速率为2.0Å/s，膜料厚度为460Å即46nm.，电子枪束流下限为300mA，上限为350mA，光斑大小调制为一个点在第三个坩埚中的TI3O5膜料的中心即可。
所述的步骤（7）为：成膜完成后，将玻璃在机台中静置6分钟，然后打开进气阀让空气进入腔体，直至腔体门打开。
所述的步骤（8）为：将镀完NCVM的玻璃整条取下，用覆膜机覆好保护膜以防膜层被污染，玻璃的非镀膜面覆宽度为20cm的保护膜，镀膜面覆16cm的保护膜。
所述的步骤（9）为：取一片镀好的玻璃用可见光光谱测试仪测试光谱曲线，看分光是否一致，如果一致进入下工序，不一致的进行隔离。
本发明的优点是：
1.简化了NCVM生产时繁琐的工艺流程，提高了生产效率和良品率
2.采用SIO2和TI3O5膜料的膜系无论分光发生什么样的偏移，丝印完后颜色效果都不会发生变化，可持续稳定生产。
具体实施方式
下面结合具体实施例来进一步描述本发明，本发明的优点和特点将会随着描述而更为清楚。但这些实施例仅是范例性的，并不对本发明的范围构成任何限制。本领域技术人员应该理解的是，在不偏离本发明的精神和范围下可以对本发明技术方案的细节和形式进行修改或替换，但这些修改和替换均落入本发明的保护范围内。
本发明涉及一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，包括以下步骤：
（1）素材准备和检验；（2）产品上伞；（3）镀膜挂伞；（4）抽真空；（5）离子轰击；（6）真空成膜；（7）出炉放气；（8）产品下伞；（9）产品检验和包装。
所述的步骤（1）为：选取纯度为99.999%，粒径大小为1-3mm的SIO2和TI3O5膜料以及宽度为16cm、宽度为20cm两种规格的保护膜；将待要镀NCVM的玻璃用平板清洗机清洗干净，不可有赃物、水印外观缺陷；把有划伤、脏物的不良玻璃挑出隔离。
所述的步骤（2）为：将玻璃的待镀膜面朝上平铺在镀膜机的伞具上，并用磁铁将保护膜固定，防止脱落。
所述的步骤（3）为：将伞具放入真空镀膜机，加入膜料；所述的步骤（4）为：将真空镀膜机的门关上，进行抽真空，真空度为6*10ˉ3Pa。
所述的步骤（5）轰击时离子源阳极电压100V，轰击时离子源阴极电流8A，轰击时离子源阳极电流8A，轰击时间为5分钟。
所述的步骤（6）成膜初始真空度5*10-3 Pa；成膜后的真空度4*10-3 Pa~3*10-3 Pa；镀SIO2膜料时设置成膜速率为4.0Å/s.膜层厚度为165nm；为解决膜层太厚电子枪光斑会击穿坩埚的问题，将SIO2膜料分为两层两个坩埚，第一层的第一个坩埚的SIO2膜料厚度为800Å即80nm，第二层的第二个坩埚的SIO2膜料厚度为850Å即85nm，电子枪束流下限为70mA，上限为150mA，光斑大小调至比第一个坩埚中膜料外径小即可; 镀TI3O5膜料时设置成膜速率为2.0Å/s，膜料厚度为460Å即46nm.，电子枪束流下限为300mA，上限为350mA，光斑大小调制为一个点在第三个坩埚中的TI3O5膜料的中心即可。
所述的步骤（7）为：成膜完成后，将玻璃在机台中静置6分钟，然后打开进气阀让空气进入腔体，直至腔体门打开。所述的步骤（8）为：将镀完NCVM的玻璃整条取下，用覆膜机覆好保护膜以防膜层被污染，玻璃的非镀膜面覆宽度为20cm的保护膜，镀膜面覆16cm的保护膜。所述的步骤（9）为：取一片镀好的玻璃用可见光光谱测试仪测试光谱曲线，看分光是否一致，如果一致进入下工序，不一致的进行隔离。
表1为L.A.B值对比表（该数据决定NCVM膜层颜色是否正常）
表1

Claims (9)

1.一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：
（1）素材准备和检验；（2）产品上伞；（3）镀膜挂伞；（4）抽真空；（5）离子轰击；（6）真空成膜；（7）出炉放气；（8）产品下伞；（9）产品检验和包装。
2.根据权利要求1所述的一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，其特征在于，所述的步骤（1）为：选取纯度为99.999%，粒径大小为1-3mm的SIO2和TI3O5膜料以及宽度为16cm、宽度为20cm两种规格的保护膜；将待要镀NCVM的玻璃用平板清洗机清洗干净，不可有赃物、水印外观缺陷；把有划伤、脏物的不良玻璃挑出隔离。
3.根据权利要求1所述的一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，其特征在于，所述的步骤（2）为：将玻璃的待镀膜面朝上平铺在镀膜机的伞具上，并用磁铁将保护膜固定，防止脱落。
4.根据权利要求1所述的一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，其特征在于，所述的步骤（3）为：将伞具放入真空镀膜机，加入膜料；所述的步骤（4）为：将真空镀膜机的门关上，进行抽真空，真空度为6*10ˉ3Pa。
5.根据权利要求1所述的一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，其特征在于，所述的步骤（5）轰击时离子源阳极电压100V，轰击时离子源阴极电流8A，轰击时离子源阳极电流8A，轰击时间为5分钟。
6.根据权利要求1所述的一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，其特征在于，所述的步骤（6）成膜初始真空度5*10-3 Pa；成膜后的真空度4*10-3 Pa~3*10-3 Pa；镀SIO2膜料时设置成膜速率为4.0Å/s.膜层厚度为165nm；为解决膜层太厚电子枪光斑会击穿坩埚的问题，将SIO2膜料分为两层两个坩埚，第一层的第一个坩埚的SIO2膜料厚度为800Å即80nm，第二层的第二个坩埚的SIO2膜料厚度为850Å即85nm，电子枪束流下限为70mA，上限为150mA，光斑大小调至比第一个坩埚中膜料外径小即可; 镀TI3O5膜料时设置成膜速率为2.0Å/s，膜料厚度为460Å即46nm.，电子枪束流下限为300mA，上限为350mA，光斑大小调制为一个点在第三个坩埚中的TI3O5膜料的中心即可。
7.根据权利要求1所述的一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，其特征在于，所述的步骤（7）为：成膜完成后，将玻璃在机台中静置6分钟，然后打开进气阀让空气进入腔体，直至腔体门打开。
8.根据权利要求1所述的一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，其特征在于，所述的步骤（8）为：将镀完NCVM的玻璃整条取下，用覆膜机覆好保护膜以防膜层被污染，玻璃的非镀膜面覆宽度为20cm的保护膜，镀膜面覆16cm的保护膜。
9.根据权利要求1所述的一种盖板灰色NCVM镀膜制备工艺，其特征在于，所述的步骤（9）为：取一片镀好的玻璃用可见光光谱测试仪测试光谱曲线，看分光是否一致，如果一致进入下一工序包装，不一致的进行隔离。
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