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CN109011132A - 微针系统的驱动结构及微针系统 - Google Patents

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CN109011132A CN201810987780.1A CN201810987780A CN109011132A CN 109011132 A CN109011132 A CN 109011132A CN 201810987780 A CN201810987780 A CN 201810987780A CN 109011132 A CN109011132 A CN 109011132A
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Abstract

本发明公开了一种微针系统的驱动结构及微针系统，利用电活性聚合物材料在电压作用下发生应变的性质，将电活性聚合物层和底部电极设置于基材的凹槽结构内，通过电压控制电活性聚合物层的形变，从而改变覆盖在电活性聚合物层之上的上部柔性电极形状，以便挤压储液区域的液体进入微针通孔，达到驱动微泵或微阀等现有的驱动液体进入人体皮肤的效果。由于采用电压驱动电活性聚合物材料产生形变而进行驱动，可以避免由于静电力、氢键、范德华力等作用，易使诸如悬臂梁式微阀等MEMS器件结构与衬底形成牢固接触，从而使微针系统失效的问题。

Description

微针系统的驱动结构及微针系统
技术领域
本发明涉及生物医学技术领域，尤其涉及一种微针系统的驱动结构及微针系统。
背景技术
生物微机电系统(Bio-MEMS，Bio-Micro-Electro-Mechanical System)是将MEMS技术应用在生物医学领域的技术。其中，微针系统是Bio-MEMS中一个重要研究部分，在胰岛素等的注射上有很好的应用。微针系统等MEMS器件可用于控制药物释放的速率、浓度、时间、以及在人体释放的部位，从而在某段时间内，保持体系中活性制剂维持有效的浓度。
目前的微针系统采用机械式的微泵、微阀等结构作为驱动，例如图1为悬臂梁式微阀在开启和关闭状态的示意图，图2为V型阀在开启和关闭状态的示意图。由于静电力、氢键、范德华力等作用，易使诸如悬臂梁式微阀等MEMS器件结构与衬底形成牢固接触，从而使微针系统失效。
发明内容
有鉴于此，本发明实施例提供了一种微针系统的驱动结构及微针系统，用以解决现有的微针系统容易失效的问题。
因此，本发明实施例提供了一种微针系统的驱动结构，包括：
基材，所述基材具有凹槽结构；
底部电极，所述底部电极位于所述凹槽结构内；
电活性聚合物层，所述电活性聚合物层位于所述凹槽结构内且覆盖所述底部电极；所述电活性聚合物层被配置为在电压作用下发生应变；
上部柔性电极，所述上部柔性电极覆盖所述电活性聚合物层；所述上部柔性电极和所述底部电极被配置为产生所述电压。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述驱动结构中，所述底部电极为多个，且相互间隔排列。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述驱动结构中，所述上部柔性电极仅覆盖所述凹槽结构。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述驱动结构中，所述上部柔性电极与所述凹槽结构的上表面齐平。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述驱动结构中，所述电活性聚合物层的材料包括：导电聚合物材料。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述驱动结构中，所述电活性聚合物层的材料包括：离子聚合物基金属复合材料。
另一方面，本发明实施例还提供了一种微针系统，包括：紧密贴合的微针结构和驱动结构；其中，
所述微针结构具有多个微针凸起，各所述微针凸起具有微针通孔；
所述驱动结构包括：具有凹槽结构的基材，位于所述凹槽结构内的底部电极，位于所述凹槽结构内且覆盖所述底部电极的电活性聚合物层，覆盖所述电活性聚合物层的上部柔性电极；所述上部柔性电极和所述底部电极被配置为产生电压；所述电活性聚合物层被配置为在所述电压作用下发生应变；
所述微针结构的微针通孔和所述驱动结构的凹槽结构之间设置有储液区域。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述微针系统中，包括：所述储液区域为一个，且与各微针通孔导通；或，所述储液区域与各所述微针凸起一一对应，且与对应的微针通孔导通。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述微针系统中，所述凹槽结构为一个或多个，且所述上部柔性电极与所述储液区域邻接。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述微针系统中，位于一个所述凹槽结构的所述底部电极为多个，且相互间隔排列。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述微针系统中，所述凹槽结构为多个时，覆盖各所述电活性聚合物层的所述上部柔性电极为整层设置。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述微针系统中，所述上部柔性电极仅覆盖所述凹槽结构。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述微针系统中，所述上部柔性电极与所述凹槽结构的上表面齐平。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述微针系统中，所述电活性聚合物层的材料包括：导电聚合物材料。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述微针系统中，所述电活性聚合物层的材料包括：离子聚合物基金属复合材料。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述微针系统中，所述微针结构在面向所述驱动结构的一侧具有凹槽，所述储液区域包括所述凹槽。
本发明实施例的有益效果包括：
本发明实施例提供的一种微针系统的驱动结构及微针系统，利用电活性聚合物材料在电压作用下发生应变的性质，将电活性聚合物层和底部电极设置于基材的凹槽结构内，通过电压控制电活性聚合物层的形变，从而改变覆盖在电活性聚合物层之上的上部柔性电极形状，以便挤压储液区域的液体进入微针通孔，达到驱动微泵或微阀等现有的驱动液体进入人体皮肤的效果。由于采用电压驱动电活性聚合物材料产生形变而进行驱动，可以避免由于静电力、氢键、范德华力等作用，易使诸如悬臂梁式微阀等MEMS器件结构与衬底形成牢固接触，从而使微针系统失效的问题。
附图说明
图1为现有技术中的悬臂梁式微阀在开启和关闭状态的示意图；
图2为现有技术中的V型阀在开启和关闭状态的示意图；
图3a至图3d分别为本发明实施例提供的微针系统的驱动结构的结构示意图；
图4a和图4b分别为本发明实施例提供的驱动结构在工作状态的示意图；
图5a至图5g分别为本发明实施例提供的微针系统的结构示意图；
图6a和图6b分别为本发明实施例提供的微针系统在工作状态的示意图；
图7为本发明实施例提供的微针系统的制作方法流程图；
图8a至图8g分别为本发明实施例提供的微针系统中微针结构制作过程中的示意图；
图9a至图9f分别为本发明实施例提供的微针系统中驱动结构制作过程中的示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
附图中各部件的形状和大小不反映真实比例，目的只是示意说明本发明内容。
本发明实施例提供的一种用于微针系统的驱动结构，如图3a至图3d所示，包括：
基材110，基材110具有凹槽结构111；
底部电极120，底部电极120位于凹槽结构111内；
电活性聚合物层130，电活性聚合物层130位于凹槽结构111内且覆盖底部电极120；电活性聚合物层130被配置为在电压作用下发生应变；
上部柔性电极140，上部柔性电极140覆盖电活性聚合物层130；上部柔性电极140和底部电极120被配置为产生电压。
具体地，在本发明实施例提供的上述驱动结构中，利用电活性聚合物材料在电压作用下发生应变的性质，将电活性聚合物层130和底部电极120设置于基材110的凹槽结构111内，通过电压控制电活性聚合物层130的形变，从而改变覆盖在电活性聚合物层130之上的上部柔性电极140形状，以便在应用于微针系统时可以挤压储液区域的液体进入微针通孔，达到驱动微泵或微阀等现有的驱动液体进入人体皮肤的效果。由于采用电压驱动电活性聚合物材料产生形变而进行驱动，可以避免由于静电力、氢键、范德华力等作用，易使诸如悬臂梁式微阀等MEMS器件结构与衬底形成牢固接触，从而使微针系统失效的问题。
可选地，在本发明实施例提供的上述驱动结构中，电活性聚合物层130的材料可以包括：导电聚合物材料。或者，电活性聚合物层130的材料可以包括：离子聚合物基金属复合材料等，这些材料具有在电压控制下发生形变的性质。
具体地，导电聚合物的典型驱动电压为1.2V，最大值为10V，典型形变量为2％，最大形变量为12％；离子聚合物基金属复合材料的典型驱动电压为1～7V，形变量最大为10％。
具体地，以图3a所示的驱动结构为例，在非工作状态如图3a所示，对上部柔性电极140和底部电极120未施加电压，此时，电活性聚合物层130未发生应变，处于平坦状态，因此没有发生液体驱动，液体不会通过微针通孔，进入人体皮肤。在工作状态如图4a所示，对上部柔性电极140和底部电极120施加电压，此时，电活性聚合物层130发生应变，形成凸起结构，从而挤压储液区域的液体通过微针通孔进入到人体皮肤内，如图4b所示，随着对上部柔性电极140和底部电极120施加电压的增大，电活性聚合物层130发生应变变大，形成的凸起结构更为明显，从而持续挤压储液区域的液体通过微针通孔进入到人体皮肤内。
可选地，在本发明实施例提供的上述驱动结构中，可以选用玻璃作为基材110，并在玻璃上进行凹槽结构的制作，也可以选用诸如PDMS等树脂材料作为基材110，在此不做限定。上部柔性电极140和底部电极120可以选用氧化铟锡等导电材料制作，也可以选用其他导电材料制作，在此不做限定。
可选地，在本发明实施例提供的上述驱动结构中，如图3a、3c和图3d所示，底部电极120可以为多个，且相互间隔排列。或者，如图3b所示，底部电极120也可以仅设置一个，在此不做限定。
具体地，在本发明实施例提供的上述驱动结构中，在凹槽结构111内设置一个底部电极120，该底部电极120可以覆盖凹槽结构111的底部，以简化制作工艺。在凹槽结构111内设置多个底部电极120时，可以通过逐个驱动底部电极120来精细控制电活性聚合物层130的形变量，进而精确控制微针通孔的进液量。
可选地，在本发明实施例提供的上述驱动结构中，如图3a、图3b和图3d所示，上部柔性电极140可以仅覆盖凹槽结构111，即上部柔性电极140位于凹槽结构111内部。或者，如图3b所示，上部柔性电极140也可以覆盖基材110的整个表面，在此不做限定。
可选地，在本发明实施例提供的上述驱动结构中，如图3a至图3c所示，上部柔性电极140可以与凹槽结构111的上表面齐平。或者，如图3d所示，上部柔性电极140也可以低于凹槽结构111的上表面，使得凹槽结构111在上部柔性电极140之上构成储液区域的一部分，从而可以省去单独制作储液区域的工艺。
基于同一发明构思，本发明实施例提供了一种上述驱动结构的驱动方法，包括：对上部柔性电极140和底部电极120加载电信号产生电压，如图4a和图4b所示，使电活性聚合物层130在电压作用下发生应变，从而改变覆盖在电活性聚合物层130之上的上部柔性电极140形状，以便在应用于微针系统时可以挤压储液区域的液体进入微针通孔，达到驱动微泵或微阀等现有的驱动液体进入人体皮肤的效果。由于采用电压驱动电活性聚合物材料产生形变而进行驱动，可以避免由于静电力、氢键、范德华力等作用，易使诸如悬臂梁式微阀等MEMS器件结构与衬底形成牢固接触，从而使微针系统失效的问题。
具体地，加载至上部柔性电极140和底部电极120的电信号大小可以根据电活性聚合物层130的材料决定，例如电活性聚合物层130的材料为导电聚合物材料时，导电聚合物的典型驱动电压为1.2V，最大值为10V，典型形变量为2％，最大形变量为12％；电活性聚合物层130的材料为离子聚合物基金属复合材料的典型驱动电压为1～7V，形变量最大为10％。并且，加载至上部柔性电极140和底部电极120的电信号可以一固定值为基础电压逐渐增加，以保证电活性聚合物层130具有持续的形变量，如图4a和图4b所示。
可选地，在本发明实施例提供的上述驱动方法中，当底部电极120为多个时，可以通过调整加载电信号的底部电极的个数和电信号大小，控制电活性聚合物层的应变量，进而精确控制微针通孔的进液量。例如，初始时间段，可以先对某个底部电极120施加从小到大的电信号，以使电活性聚合物层130对应位置发生持续的形变量，在之后的时间段，在保持该底部电极120施加的电信号最大值时，对其他底部电极120施加从小到大的电信号，以使电活性聚合物层130对应位置发生持续的形变量，以此类推，直至全部底部电极120均加载最大电信号为止。
基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种微针系统，如图5a至图5g所示，包括：紧密贴合的微针结构2和驱动结构1；其中，
微针结构2具有多个微针凸起210，各微针凸起210具有微针通孔211；
驱动结构1包括：具有凹槽结构111的基材110，位于凹槽结构111内的底部电极120，位于凹槽结构111内且覆盖底部电极120的电活性聚合物层130，覆盖电活性聚合物层130的上部柔性电极140；上部柔性电极140和底部电极120被配置为产生电压；电活性聚合物层130被配置为在电压作用下发生应变；
微针结构2的微针通孔211和驱动结构1的凹槽结构111之间设置有储液区域3。
具体地，在本发明实施例提供的上述微针系统中，利用电活性聚合物材料在电压作用下发生应变的性质，将电活性聚合物层130和底部电极120设置于驱动结构1的基材110的凹槽结构111内，通过电压控制电活性聚合物层130的形变，从而改变覆盖在电活性聚合物层130之上的上部柔性电极140形状，以便挤压储液区域3的液体进入微针结构2的微针通孔211，达到驱动微泵或微阀等现有的驱动液体进入人体皮肤的效果。由于采用电压驱动电活性聚合物材料产生形变而进行驱动，可以避免由于静电力、氢键、范德华力等作用，易使诸如悬臂梁式微阀等MEMS器件结构与衬底形成牢固接触，从而使微针系统失效的问题。
可选地，在本发明实施例提供的上述微针系统中，可以选用玻璃作为基材110，并在玻璃上进行凹槽结构的制作，也可以选用诸如PDMS等树脂材料作为基材110，在此不做限定。上部柔性电极140和底部电极120可以选用氧化铟锡等导电材料制作，也可以选用其他导电材料制作，在此不做限定。微针结构2可以采用硅胶制作，在此不做限定。
可选地，在本发明实施例提供的上述微针系统中，如图5a、图5d至图5g所示，包括：储液区域3可以为一个，且与各微针通孔211导通，即通过共同的储液区域3对多个微针通孔211提供液体，方便储液区域3的制作。或者，如图5b和图5c所示，储液区域3也可以与各微针凸起211一一对应，且与对应的微针通孔211导通，通过相互独立的储液区域3向对应的微针通孔211提供液体，可以精确控制每个微针通孔211的进液量。
可选地，在本发明实施例提供的上述微针系统中，如图5a、图5b、图5f和图5g所示，凹槽结构111可以为一个，即储液区域3通过一个凹槽结构111中电活性聚合物层130的形变控制各微针通孔211的进液量。如图5c至图5e所示，凹槽结构111也可以为多个，一般凹槽结构111与微针通孔211一一对应设置，以便精确控制每个微针通孔211的进液量，且上部柔性电极140与储液区域3邻接。
可选地，在本发明实施例提供的上述微针系统中，如图5a至图5g所示，位于一个凹槽结构111的底部电极120可以为多个，且相互间隔排列。或者，位于一个凹槽结构111的底部电极120也可以仅设置一个，在此不做限定。在凹槽结构111内设置一个底部电极120，该底部电极120可以覆盖凹槽结构111的底部，以简化制作工艺。在凹槽结构111内设置多个底部电极120时，可以通过逐个驱动底部电极120来精细控制电活性聚合物层130的形变量，进而精确控制微针通孔211的进液量。
可选地，在本发明实施例提供的上述微针系统中，如图5e所示，凹槽结构111为多个时，覆盖各电活性聚合物层130的上部柔性电极140可以为整层设置，以简化上部柔性电极140的制作工序。
或者，可选地，在本发明实施例提供的上述微针系统中，如图5a至图5d、图5f和图5g所示，上部柔性电极140也可以仅覆盖凹槽结构111，即上部柔性电极140位于凹槽结构111内部。
可选地，在本发明实施例提供的上述微针系统中，如图5a至图5e所示，上部柔性电极140与凹槽结构111的上表面齐平。或者，如图5f和图5g所示，上部柔性电极140也可以低于凹槽结构111的上表面，使得凹槽结构111在上部柔性电极140之上构成储液区域3的一部分，从而可以省去或简化单独制作储液区域的工艺。
可选地，在本发明实施例提供的上述微针系统中，电活性聚合物层130的材料可以包括：导电聚合物材料。或者，电活性聚合物层130的材料可以包括：离子聚合物基金属复合材料，这些材料具有在电压控制下发生形变的性质。
具体地，导电聚合物的典型驱动电压为1.2V，最大值为10V，典型形变量为2％，最大形变量为12％；离子聚合物基金属复合材料的典型驱动电压为1～7V，形变量最大为10％。
具体地，以图5a所示的微针系统为例，在非工作状态如图5a所示，对上部柔性电极140和底部电极120未施加电压，此时，电活性聚合物层130未发生应变，处于平坦状态，因此没有发生液体驱动，液体不会通过微针通孔211进入人体皮肤。在工作状态如图6a所示，对上部柔性电极140和底部电极120施加电压，此时，电活性聚合物层130发生应变，形成凸起结构，从而挤压储液区域3的液体通过微针通孔211进入到人体皮肤内，如图6b所示，随着对上部柔性电极140和底部电极120施加电压的增大，电活性聚合物层130发生应变变大，形成的凸起结构更为明显，从而持续挤压储液区域3的液体通过微针通孔211进入到人体皮肤内。
具体地，当底部电极120为多个时，可以通过调整加载电信号的底部电极的个数和电信号大小，控制电活性聚合物层的应变量，进而精确控制微针通孔的进液量。例如，初始时间段，可以先对某个底部电极120施加从小到大的电信号，以使电活性聚合物层130对应位置发生持续的形变量，在之后的时间段，在保持该底部电极120施加的电信号最大值时，对其他底部电极120施加从小到大的电信号，以使电活性聚合物层130对应位置发生持续的形变量，以此类推，直至全部底部电极120均加载最大电信号为止。
可选地，在本发明实施例提供的上述微针系统中，如图5a至图5f所示，微针结构2在面向驱动结构1的一侧可以具有凹槽，储液区域3包括凹槽。此外，在上部柔性电极140低于凹槽结构111的上表面时，储液区域3还可以包括凹槽结构111在上部柔性电极140之上的部分。
基于同一发明构思，本发明实施例提供了一种微针系统的制作方法，如图7所示，包括：
S701、在微针结构的基底一侧通过刻蚀工艺形成微针凸起，通过离子刻蚀工艺在微针凸起处形成微针通孔；
S702、在驱动结构的基底通过刻蚀工艺形成凹槽结构，在凹槽结构内依次形成底部电极、电活性聚合物层和上部柔性电极；
S703、采用键合工艺将微针结构和驱动结构结合形成微针系统。
可选地，在本发明实施例提供的上述制作方法中，还可以包括：在微针结构的基底另一侧通过刻蚀工艺形成储液区域。
具体地，以图5a所示的微针系统为例，详细说明本发明实施例提供的上述微针系统的制作方法中各步骤。
形成微针结构2具体包括以下步骤：
1、在提供的Si基底21一侧涂布第一光刻胶22，如图8a所示；
2、对第一光刻胶22进行曝光显影，形成第一光刻胶图形221，如图8b所示；
3、通过刻蚀等工艺，在Si基底21上去除部分区域，形成凹槽23，如图8c所示；
4、去除第一光刻胶图形221之后，在Si基底21的另一侧涂布第二光刻胶24，如图8d所示；
5、对第二光刻胶24进行曝光显影，形成第二光刻胶图形241，如图8e所示；
6、通过刻蚀工艺，在Si基底21上去除部分区域，形成微针结构210，如图8f所示；
7、去除第二光刻胶图形241之后，采用深反应离子刻蚀，形成微针通孔211，如图8g所示。
形成驱动结构2具体包括以下步骤：
1、在提供的基材110一侧涂布第三光刻胶10，如图9a所示；
2、对第三光刻胶10进行曝光显影，形成第三光刻胶图形101，如图9b所示；
3、通过刻蚀等工艺，在基材110上去除部分区域，形成凹槽结构111，如图9c所示；
4、去除第三光刻胶图形101之后，在凹槽结构111内通过溅射镀膜(sputter)等工艺形成底部电极膜层121，如图9d所示；
5、通过构图工艺，形成底部电极120的图形，如图9e所示；
6、采用PECVD等工艺形成电活性聚合物层130，如图9f所示；
7、通过sputter等工艺形成上部柔性电极140，如图3a所示。
本发明实施例提供的上述微针系统的驱动结构及微针系统，利用电活性聚合物材料在电压作用下发生应变的性质，将电活性聚合物层和底部电极设置于基材的凹槽结构内，通过电压控制电活性聚合物层的形变，从而改变覆盖在电活性聚合物层之上的上部柔性电极形状，以便挤压储液区域的液体进入微针通孔，达到驱动微泵或微阀等现有的驱动液体进入人体皮肤的效果。由于采用电压驱动电活性聚合物材料产生形变而进行驱动，可以避免由于静电力、氢键、范德华力等作用，易使诸如悬臂梁式微阀等MEMS器件结构与衬底形成牢固接触，从而使微针系统失效的问题。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (16)

1.一种微针系统的驱动结构，其特征在于，包括：
基材，所述基材具有凹槽结构；
底部电极，所述底部电极位于所述凹槽结构内；
电活性聚合物层，所述电活性聚合物层位于所述凹槽结构内且覆盖所述底部电极；所述电活性聚合物层被配置为在电压作用下发生应变；
上部柔性电极，所述上部柔性电极覆盖所述电活性聚合物层；所述上部柔性电极和所述底部电极被配置为产生所述电压。
2.如权利要求1所述的驱动结构，其特征在于，所述底部电极为多个，且相互间隔排列。
3.如权利要求2所述的驱动结构，其特征在于，所述上部柔性电极仅覆盖所述凹槽结构。
4.如权利要求3所述的驱动结构，其特征在于，所述上部柔性电极与所述凹槽结构的上表面齐平。
5.如权利要求1-4任一项所述的驱动结构，其特征在于，所述电活性聚合物层的材料包括：导电聚合物材料。
6.如权利要求1-4任一项所述的驱动结构，其特征在于，所述电活性聚合物层的材料包括：离子聚合物基金属复合材料。
7.一种微针系统，其特征在于，包括：紧密贴合的微针结构和驱动结构；其中，
所述微针结构具有多个微针凸起，各所述微针凸起具有微针通孔；
所述驱动结构包括：具有凹槽结构的基材，位于所述凹槽结构内的底部电极，位于所述凹槽结构内且覆盖所述底部电极的电活性聚合物层，覆盖所述电活性聚合物层的上部柔性电极；所述上部柔性电极和所述底部电极被配置为产生电压；所述电活性聚合物层被配置为在所述电压作用下发生应变；
所述微针结构的微针通孔和所述驱动结构的凹槽结构之间设置有储液区域。
8.如权利要求7所述的微针系统，其特征在于，包括：所述储液区域为一个，且与各微针通孔导通；或，所述储液区域与各所述微针凸起一一对应，且与对应的微针通孔导通。
9.如权利要求7所述的微针系统，其特征在于，所述凹槽结构为一个或多个，且所述上部柔性电极与所述储液区域邻接。
10.如权利要求9所述的微针系统，其特征在于，位于一个所述凹槽结构的所述底部电极为多个，且相互间隔排列。
11.如权利要求9所述的微针系统，其特征在于，所述凹槽结构为多个时，覆盖各所述电活性聚合物层的所述上部柔性电极为整层设置。
12.如权利要求7所述的微针系统，其特征在于，所述上部柔性电极仅覆盖所述凹槽结构。
13.如权利要求11或12所述的微针系统，其特征在于，所述上部柔性电极与所述凹槽结构的上表面齐平。
14.如权利要求8至12任一项所述的微针系统，其特征在于，所述电活性聚合物层的材料包括：导电聚合物材料。
15.如权利要求8至12任一项所述的微针系统，其特征在于，所述电活性聚合物层的材料包括：离子聚合物基金属复合材料。
16.如权利要求8至12任一项所述的微针系统，其特征在于，所述微针结构在面向所述驱动结构的一侧具有凹槽，所述储液区域包括所述凹槽。
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