CN108801177B - 一种用于显微系统自动调节垂直度的方法及其校准玻片 - Google Patents
一种用于显微系统自动调节垂直度的方法及其校准玻片 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108801177B CN108801177B CN201810617655.1A CN201810617655A CN108801177B CN 108801177 B CN108801177 B CN 108801177B CN 201810617655 A CN201810617655 A CN 201810617655A CN 108801177 B CN108801177 B CN 108801177B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- microscope system
- calibration slide
- verticality
- automatically adjusting
- central
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
本发明涉及一种用于显微系统自动调节垂直度的方法及其校准玻片，所述校准玻片上设有若干个图形，其特征在于：所述图形包括设置于校准玻片中心位置的中心图形、及以该中心图形为中心进行圆周阵列的阵列图形。本发明一种用于显微系统自动调节垂直度的方法，具体步骤如下：步骤一：建立检测基准平台；步骤二：建立评价系统；步骤三：建立检测数据曲线；步骤四：自动调节垂直度。本发明的效果是：通过对标准化的校准玻片进行显微系统图像评价，评价速度快，使用方便且成本低。
Description
技术领域
本发明属于微检测与微装配技术领域，更具体地，涉及一种用于显微系统自动调节垂直度的方法及其校准玻片。
背景技术
传统的光学显微系统和镜头是竖直布置的，拍摄正下方平台上的物体，从而获得图形，在大景深的条件下，通过判断标准长度的变化来确定光轴偏转的角度，在小景深的条件下，通过判断图形四个角的对焦程度来确定光轴偏转方向。
在使用全自动显微系统时，对显微系统载物台和物镜中心线垂直度要求比较高，尤其是高倍放大时，物镜的景深会很小，显微系统载物台和物镜中心线不垂直，会造成显微系统视野范围一部分图像无法聚焦，即视野中一部分图像清晰，一部分图像不清晰。
一般情况下，载物台平面和物镜中心线的垂直度是依赖专用测量工具进行人工测量的，测量需要专业人员和专用设备。
此种方法调节显微系统的垂直度时，其问题在于：由于载物台是由多个零部件组成的、物镜要按需更换，因此，载物台平面和物镜中心线的垂直度需要定期的、按需评价，目前没有一种快速、简便的评价方法。
发明内容
本发明的目的在于针对上述的问题提供一种可快速评价显微系统的垂直度的一种用于显微系统自动调节垂直度的方法及其校准玻片。
本发明一种用于显微系统自动调节垂直度的校准玻片，其特征在于：所述校准玻片上设有若干个图形；
进一步的，所述图形包括设置于校准玻片中心位置的中心图形、及以该中心图形为中心进行圆周阵列的阵列图形。
本发明一种用于显微系统自动调节垂直度的方法，具体步骤如下：
步骤一：建立检测基准平台：
检测基准平台包括显微系统及其镜头、基体载物台、校准玻片。其位置关系为：基体载物台设于显微系统及其镜头的下方，校准玻片放置于基体载物台上。
步骤二：建立评价系统：
评价系统包括评价罗件及载有评价软件的主体(如电脑、手机等)。其位置关系为：显微系统通过数据线与载有评价软件的主体连接，通过评价软件将显微系统检测到的数据进行收集与分析。
步骤三：建立检测数据曲线：
数据曲线由检测到的校准玻片中心图形的数据、及其校准玻片上以中心图形圆周阵列的图形的数据连接组合而成。
步骤四：自动调节垂直度：
将拟合出的曲线计算出其最高点和最低点，从而计算出其垂直度，通过评价软件自动根据计算出的垂直度数值自动调节。
具体方法为：
1、通过显微系统图像评价软件控制显微系统自动对校准玻片上的中心图形进行聚焦，得出聚焦位置的数据；
2、通过显微系统图像评价软件控制显微系统自动对校准玻片上的阵列图形进行聚焦，记录各图形的聚焦位置的数据；
3、并通过计算阵列图形的聚焦位置，对显微系统载物台和物镜中心线垂直度进行评价和展现。
本发明的效果是：通过对标准化的校准玻片进行显微系统图像评价，评价速度快，使用方便且成本低。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
图1是本发明的显微系统图像垂直度评价流程示意图；
图2是本发明的校准玻片结构主视示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明详细说明。
如图2所示，本发明公开的一种用于显微系统自动调节垂直度的校准玻片，包括一位于校准玻片1的中心位置的中心图形1-1、及以中心图形1-1进行圆周阵列的阵列图形1-2。
如图1所示，本发明公开的一种用于显微系统自动调节垂直度的方法，其具体实施步骤如下：
1、将校准玻片放置在显微系统的载物平台上；
2、启动垂直度评价软件；
3、人工将物镜调整到校准玻片中央的阵列图形上方；
4、聚焦中心图形；
5、按照设定，自动逐一移动到周围的阵列图形位置，自动聚焦，记录最清晰点位置；
6、将各位置点拟合为曲线；
7、计算拟合曲线的最高点和最低点，得出垂直度；
8、展示结果。
以上内容仅用以说明本发明的技术方案，而非对本发明保护范围的限制，本领域的普通技术人员对本发明的技术方案进行的简单修改或者等同替换，均不脱离本发明技术方案的实质和范围。
Claims (2)
1.一种用于显微系统自动调节垂直度的校准玻片，所述校准玻片上设有若干个图形，所述图形包括设置于校准玻片中心位置的中心图形、及以该中心图形为中心进行圆周阵列的阵列图形，应用该校准玻片后显微系统自动调节垂直度的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，建立检测基准平台，检测基准平台包括显微系统及其镜头、基体载物台、校准玻片；其位置关系为：基体载物台设于显微系统及其镜头的下方，校准玻片放置于基体载物台上；步骤二，建立评价系统，评价系统包括评价软件及载有评价软件的主体；其位置关系为，显微系统通过数据线与载有评价软件的主体连接，通过评价软件将显微系统检测到的数据进行收集与分析；步骤三，建立检测数据曲线，数据曲线由检测到的校准玻片中心图形聚焦位置的数据、及其校准玻片上以中心图形圆周阵列的各图形聚焦位置的数据连接组合而成；步骤四，自动调节垂直度，将拟合出的曲线计算出其最高点和最低点，从而计算出其垂直度，通过评价软件自动根据计算出的垂直度数值自动调节。
2.根据权利要求1所述的用于显微系统自动调节垂直度的校准玻片，应用该校准玻片后显微系统垂直度的评价方法，其特征在于：其具体方法为：A、通过显微系统图像评价软件控制显微系统自动对校准玻片上的中心图形进行聚焦，得出聚焦位置的数据；B、通过显微系统图像评价软件控制显微系统自动对校准玻片上的阵列图形进行聚焦，记录各图形的聚焦位置的数据；C、并通过计算阵列图形的聚焦位置，对显微系统载物台和物镜中心线垂直度进行评价和展现。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810617655.1A CN108801177B (zh) | 2018-06-15 | 2018-06-15 | 一种用于显微系统自动调节垂直度的方法及其校准玻片 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810617655.1A CN108801177B (zh) | 2018-06-15 | 2018-06-15 | 一种用于显微系统自动调节垂直度的方法及其校准玻片 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108801177A CN108801177A (zh) | 2018-11-13 |
| CN108801177B true CN108801177B (zh) | 2020-05-05 |
Family
ID=64086170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810617655.1A Active CN108801177B (zh) | 2018-06-15 | 2018-06-15 | 一种用于显微系统自动调节垂直度的方法及其校准玻片 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108801177B (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112965233B (zh) * | 2021-02-08 | 2022-11-25 | 郑州中普医疗器械有限公司 | 一种可批量自动加载玻片的显微扫描仪 |
| CN114578540B (zh) * | 2022-02-28 | 2024-03-08 | 北京毅能博科技有限公司 | 基于图像技术的显微扫描载物台与物镜垂直度的调整方法 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4669866A (en) * | 1985-01-28 | 1987-06-02 | Phillips Edward H | Step-and-repeat alignment and exposure system and method therefore |
| CN85200790U (zh) * | 1985-04-01 | 1985-12-20 | 詹泉耿 | 三维垂直度仪 |
| US4772123A (en) * | 1986-11-24 | 1988-09-20 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Alignment of optical components |
| CN2120323U (zh) * | 1992-05-22 | 1992-10-28 | 机电部机械科学研究院可靠性技术研究中心 | 非接触垂直度测量装置 |
| CN1047438C (zh) * | 1994-02-05 | 1999-12-15 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 线条倾斜测量误差自动补偿方法 |
| JP2001194130A (ja) * | 2000-01-07 | 2001-07-19 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 光ファイバ端面研磨角測定装置 |
| JP5296578B2 (ja) * | 2009-03-10 | 2013-09-25 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡の自動試料傾斜装置 |
| JP5476938B2 (ja) * | 2009-11-16 | 2014-04-23 | ウシオ電機株式会社 | アライメントマークの検出方法 |
| CN101982966B (zh) * | 2010-10-29 | 2012-05-23 | 天津大学 | 影像测量仪光轴与物面垂直度的调节方法 |
| CN102183305B (zh) * | 2010-12-31 | 2012-08-29 | 燕山大学 | 光学微扫描显微热成像系统的微扫描定标方法 |
| CN102183221B (zh) * | 2011-03-25 | 2012-06-27 | 天津大学 | 显微系统光轴垂直度的测量方法 |
| CN105444699B (zh) * | 2015-11-11 | 2017-12-05 | 苏州大学附属儿童医院 | 一种显微操作系统坐标与位移误差检测和补偿的方法 |
| CN105841636B (zh) * | 2016-03-17 | 2017-08-25 | 中国计量学院 | 基于直线运动部件误差补偿的光轴与物面垂直度检测方法 |
| CN105758339B (zh) * | 2016-03-17 | 2017-07-11 | 中国计量学院 | 基于几何误差修正技术的光轴与物面垂直度检测方法 |
| CN107398750B (zh) * | 2017-06-09 | 2019-06-18 | 湖北亚科微钻有限公司 | 切削刀具生产用夹具、棒料平面垂直度检测装置及方法 |
| CN107357031B (zh) * | 2017-09-02 | 2020-06-09 | 长沙傲图生物科技有限公司 | 一种自动化显微操作针姿态校准系统和方法 |
-
2018
- 2018-06-15 CN CN201810617655.1A patent/CN108801177B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108801177A (zh) | 2018-11-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107356608B (zh) | 大口径熔石英光学元件表面微缺陷快速暗场检测方法 | |
| CN108332708B (zh) | 激光水平仪自动检测系统及检测方法 | |
| CN110174315A (zh) | 弯曲断裂测试的非接触式裂纹张开位移测量装置及方法 | |
| US9471984B2 (en) | Method for self-calibration of a microscope apparatus | |
| CN108801177B (zh) | 一种用于显微系统自动调节垂直度的方法及其校准玻片 | |
| CN104019757B (zh) | 一种光纤阵列纤芯距精密测量方法和系统 | |
| JP2014055864A (ja) | 画像測定装置、その制御方法及び画像測定装置用のプログラム | |
| CN113701669A (zh) | 一种深孔内截面轮廓特征快速高精度测量方法 | |
| CN112819902B (zh) | 一种校靶镜轴线一致性校准方法及装置 | |
| TWI757795B (zh) | 用於維持在探針系統的光學探針和受測裝置的光學裝置之間的空隙間隔之方法以及執行該方法的探針系統 | |
| CN208953254U (zh) | 一种镜头检测装置 | |
| CN107607294A (zh) | 一种工业相机入瞳位置检测方法及系统 | |
| JP2012037257A (ja) | 測定設定データ作成装置、測定設定データ作成方法及び測定設定データ作成装置用のプログラム | |
| CN210222343U (zh) | 一种可变波长标准球面镜头 | |
| CN211374003U (zh) | 镜头测试装置 | |
| CN104406537A (zh) | 测量部件凹坑微米级深度的方法 | |
| CN212620612U (zh) | 一种用于光学晶体的角度检验装置 | |
| CN212391198U (zh) | 一种半导体激光器的光斑发散角测试系统 | |
| JP6746722B2 (ja) | 顕微鏡用スライドガラスの曲面の高さの測算方法及び顕微鏡 | |
| CN210639338U (zh) | 多光谱显微自动聚焦装置 | |
| CN116593137B (zh) | 一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及系统 | |
| CN110220981A (zh) | 一种用于超声扫描显微镜的定位仪 | |
| CN112331574B (zh) | 半导体器件高度分布的检测方法 | |
| CN103105285B (zh) | 基于暗影剔除的光纤面板极限分辨率测试方法及仪器 | |
| CN107796306B (zh) | 一种二次元测量仪及测量方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |