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CN108584285A - 一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机 - Google Patents

一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机 Download PDF

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CN108584285A
CN108584285A CN201810650285.1A CN201810650285A CN108584285A CN 108584285 A CN108584285 A CN 108584285A CN 201810650285 A CN201810650285 A CN 201810650285A CN 108584285 A CN108584285 A CN 108584285A
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CN
China
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detection
feeder
selection machine
slide plate
wafer
Prior art date
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Pending
Application number
CN201810650285.1A
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English (en)
Inventor
张乔栋
袁泉
陈业
朱威莉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Nepes Semiconductor Co Ltd
Original Assignee
Jiangsu Nepes Semiconductor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Nepes Semiconductor Co Ltd filed Critical Jiangsu Nepes Semiconductor Co Ltd
Priority to CN201810650285.1A priority Critical patent/CN108584285A/zh
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

本发明公开了一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，包括连接机构与限位机构，所述连接机构包括送料机，所述送料机一端通过卡合方式设有滑板，所述滑板朝向送料机的一端设有卡块，且所述送料机侧面设有与卡块相适配的固定槽，所述滑板表面两侧设有挡板b，所述挡板b底部相对于卡块侧面通过螺栓连接设有紧固螺栓；通过在送料机一端设有滑板，通过伸缩板的伸缩效果，便于送料机与不同规格的检选机进行连接，避免了因送料机与检选机的规格不符，导致晶圆在运送的过程中掉落，有效的为使用者降低成本，并且提高了送料机的工作效率，通过在送料机顶部设有限位输送带，利用限位槽对晶圆的限位效果，有效的提高了晶圆在运送过程中的稳定性。

Description

一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机
技术领域
本发明属于输送机技术领域，具体涉及一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机。
背景技术
输送机的历史悠久，中国古代的高转筒车和提水的翻车，是现代斗式提升机和刮板输送机的雏形。带式输送机是当前散状物料输送的主要方式。现代化的输送机系统对防尘具有更高的要求，为此，在各转接处设有洒水集尘的装置，在胶带输送机沿线会设有防风罩或挡风板，系统是由单机组成的，对在整机系统中工作的操作和修理者来说，既要立足于自己分管的单机，又要了解系统间的相互联系，单机又是由许多部件组成的，只有做好各个部件的日常维护保养，使其处于良好的工作状态，才能确保设备的安全运行，现有的晶圆检选机输送机可输送八英寸晶圆与十二英寸晶圆。
然而现有的晶圆检选机进料机构在使用的过程中仍存在一些不足之处，现有的晶圆检选机进料机构在使用时：
1.现有的圆晶检选机进料机构在使用的过程中，对于不同规格的圆晶检选机，不便于送料机构平稳的将圆晶输送到圆晶检选机合适的位置，在输送的过程中可能使得圆晶散落，甚至因坠落导致圆晶质量受损，不仅影响送料机构的工作效率，还增加了使用负担。
2.现有的圆晶检选机进料机构在使用的过程中，因为晶圆为圆状物体且规格较小，使得晶圆在运送的过程中会产生位移，并堆积在一起，使得晶圆检选机在进行检选工作时较为麻烦，降低了晶圆检选机的工作效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，以解决上述背景技术中提出现有的圆晶检选机进料机构在使用的过程中，对于不同规格的圆晶检选机，不便于送料机构平稳的将圆晶输送到圆晶检选机合适的位置，在输送的过程中可能使得圆晶散落，甚至因坠落导致圆晶质量受损，不仅影响送料机构的工作效率，还增加了使用负担，现有的圆晶检选机进料机构在使用的过程中，因为晶圆为圆状物体且规格较小，使得晶圆在运送的过程中会产生位移，并堆积在一起，使得晶圆检选机在进行检选工作时较为麻烦，降低了晶圆检选机的工作效率的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，包括连接机构与限位机构，所述连接机构包括送料机，所述送料机一端通过卡合方式设有滑板，所述滑板朝向送料机的一端设有卡块，且所述送料机侧面设有与卡块相适配的固定槽，所述滑板表面两侧设有挡板b，所述挡板b底部相对于卡块侧面通过螺栓连接设有紧固螺栓，所述滑板背离卡块的一端设有连接板，所述连接板一端相对于滑板内部设有伸缩板，所述送料机顶部两侧边缘处设有挡板a，所述送料机一侧外部通过螺栓固定有电动机箱，所述送料机底部四角设有送料机支架，所述连接板一侧设有检选机，且所述连接板底部相对于检选机一侧设有工作台，所述工作台一侧相对于检选机表面设有按钮。
优选的，所述限位机构包括限位输送带，所述限位输送带内部通过螺栓连接设有若干个橡胶带，且所述限位输送带有若干个橡胶带组合而成，所述橡胶带表面设有一体式结构的限位槽，所述橡胶带之间设有连接片，所述连接片表面设有一体式结构的螺栓孔。
优选的，所述伸缩板的外壁与滑板的内壁相接，所述紧固螺栓共两个，处于滑板的两侧，位置相互对应，且所述紧固螺栓可通过顺时针旋转挤压伸缩板侧面。
优选的，所述限位输送带由二十个橡胶带连接而成，且所述橡胶带之间为无缝连接。
优选的，所述限位槽的横截面为直径十三英寸的圆形结构，且所述限位槽以三厘米等距离排列在橡胶带表面。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1.通过在送料机一端设有滑板，通过伸缩板的伸缩效果，便于送料机与不同规格的检选机进行连接，避免了因送料机与检选机的规格不符，导致晶圆在运送的过程中掉落，有效的为使用者降低成本，并且提高了送料机的工作效率；
2.通过在送料机顶部设有限位输送带，利用限位槽对晶圆的限位效果，有效的提高了晶圆在运送过程中的稳定性，避免晶圆因滑动堆积到一起，从而降低了检选机的工作效率。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明连接板的结构示意图；
图3为本发明连接板的平面图；
图4为本发明限位传送带的结构示意图；
图中：1、检选机；2、按钮；3、工作台；4、滑板；5、限位输送带；6、电动机箱；7、挡板a；8、送料机支架；9、伸缩板；10、挡板b；11、连接板；12、卡块；13、紧固螺栓；14、限位槽；15、连接片；16、橡胶带；17、螺栓孔；18、送料机。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-图4，本发明提供一种技术方案：一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，包括连接机构与限位机构，连接机构包括送料机18，送料机18一端通过卡合方式设有滑板4，滑板4朝向送料机18的一端设有卡块12，且送料机18侧面设有与卡块12相适配的固定槽，滑板4表面两侧设有挡板b10，挡板b10底部相对于卡块12侧面通过螺栓连接设有紧固螺栓13，滑板4背离卡块12的一端设有连接板11，连接板11一端相对于滑板4内部设有伸缩板9，送料机18顶部两侧边缘处设有挡板a7，送料机18一侧外部通过螺栓固定有电动机箱6，送料机18底部四角设有送料机支架8，连接板11一侧设有检选机1，且连接板11底部相对于检选机1一侧设有工作台3，工作台3一侧相对于检选机1表面设有按钮2。
为了便于连接送料机18与检选机1，本实施例中，优选的，限位机构包括限位输送带5，限位输送带5内部通过螺栓连接设有若干个橡胶带16，且限位输送带5有若干个橡胶带16组合而成，橡胶带16表面设有一体式结构的限位槽14，橡胶带16之间设有连接片15，连接片15表面设有一体式结构的螺栓孔17。
为了便于调节滑板4的长度，本实施例中，优选的，伸缩板9的外壁与滑板4的内壁相接，紧固螺栓13共两个，处于滑板4的两侧，位置相互对应，且紧固螺栓13可通过顺时针旋转挤压伸缩板9侧面。
为了便于安装、拆卸限位输送带5，本实施例中，优选的，限位输送带5由二十个橡胶带16连接而成，且橡胶带16之间为无缝连接。
为了便于在运送的过程中对晶圆进行限位，本实施例中，优选的，限位槽14的横截面为直径十三英寸的圆形结构，且限位槽14以三厘米等距离排列在橡胶带16表面。
本发明的工作原理及使用流程：通过在送料机18一端设有滑板4，并且在滑板4内部设有伸缩板9，通过顺时针旋转紧固螺栓13，使得紧固螺栓13向伸缩板9一侧运动并进行挤压固定，通过在送料机18顶部设有限位输送带5，并且使得限位输送带5由二十个橡胶带16通过连接片15表面的螺栓孔17，进行螺栓连接而成，便于限位输送带5拆卸、安装，并且在橡胶带16表面设有限位槽14，通过限位槽14四周对晶圆的阻挡，起到限位效果。
将送料机18移动到合适的位置后，将滑板4通过卡块12与送料机18进行卡合连接，然后通过逆时针旋转紧固螺栓13，并向外拉出伸缩板9，使得连接板11与工作台3相接，并顺时针旋转紧固螺栓13直到伸缩板9固定，然后将晶圆放置到限位槽14内部，并打开送料机18与检选机1即可。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，包括连接机构与限位机构，其特征在于：所述连接机构包括送料机（18），所述送料机（18）一端通过卡合方式设有滑板（4），所述滑板（4）朝向送料机（18）的一端设有卡块（12），且所述送料机（18）侧面设有与卡块（12）相适配的固定槽，所述滑板（4）表面两侧设有挡板b（10），所述挡板b（10）底部相对于卡块（12）侧面通过螺栓连接设有紧固螺栓（13），所述滑板（4）背离卡块（12）的一端设有连接板（11），所述连接板（11）一端相对于滑板（4）内部设有伸缩板（9），所述送料机（18）顶部两侧边缘处设有挡板a（7），所述送料机（18）一侧外部通过螺栓固定有电动机箱（6），所述送料机（18）底部四角设有送料机支架（8），所述连接板（11）一侧设有检选机（1），且所述连接板（11）底部相对于检选机（1）一侧设有工作台（3），所述工作台（3）一侧相对于检选机（1）表面设有按钮（2）。
2.根据权利要求1所述的一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，其特征在于：所述限位机构包括限位输送带（5），所述限位输送带（5）内部通过螺栓连接设有若干个橡胶带（16），且所述限位输送带（5）有若干个橡胶带（16）组合而成，所述橡胶带（16）表面设有一体式结构的限位槽（14），所述橡胶带（16）之间设有连接片（15），所述连接片（15）表面设有一体式结构的螺栓孔（17）。
3.根据权利要求1所述的一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，其特征在于：所述伸缩板（9）的外壁与滑板（4）的内壁相接，所述紧固螺栓（13）共两个，处于滑板（4）的两侧，位置相互对应，且所述紧固螺栓（13）可通过顺时针旋转挤压伸缩板（9）侧面。
4.根据权利要求2所述的一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，其特征在于：所述限位输送带（5）由二十个橡胶带（16）连接而成，且所述橡胶带（16）之间为无缝连接。
5.根据权利要求4所述的一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，其特征在于：所述限位槽（14）的横截面为直径十三英寸的圆形结构，且所述限位槽（14）以三厘米等距离排列在橡胶带（16）表面。
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