CN108362771A - 一种损伤监测装置及系统 - Google Patents
一种损伤监测装置及系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108362771A CN108362771A CN201810149793.1A CN201810149793A CN108362771A CN 108362771 A CN108362771 A CN 108362771A CN 201810149793 A CN201810149793 A CN 201810149793A CN 108362771 A CN108362771 A CN 108362771A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- monitoring
- monitored
- module
- signal processing
- processing module
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims abstract description 140
- 230000006378 damage Effects 0.000 title claims abstract description 79
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 62
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 37
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 20
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 9
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 208000014674 injury Diseases 0.000 abstract 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
- G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
- G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
- G01N27/9046—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents by analysing electrical signals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/09—Analysing solids by measuring mechanical or acoustic impedance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/01—Indexing codes associated with the measuring variable
- G01N2291/018—Impedance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/023—Solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/0289—Internal structure, e.g. defects, grain size, texture
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
本发明公开了一种损伤监测装置及系统，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给信号处理模块；信号处理模块用于接收监测模块发送的物理参数，并根据物理参数的变化判断待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；显示模块用于显示信号处理模块处理后的数据及监测结果。通过监测模块、信号处理模块和显示模块的设置，能够对掩膜版进行实时的监测，并对监测数据进行处理将处理后的数据及结果显示给相关监测人员，以便于及时对该损伤处进行处理，避免出现宕机影响生产进程。
Description
技术领域
本发明涉及监测装置领域，特别涉及一种损伤监测装置及系统。
背景技术
在OLED生产的过程中，随着玻璃基板流过数量的增加，掩膜版产生损伤的几率也会相应的增加，掩膜版产生损伤不仅会影响到产品的质量，严重的还会产生宕机，影响生产进程。
具体地，在对量产玻璃进行蒸镀时，由于受到温度或其他因素的影响，使得掩膜版发生形变、撕裂、凸起或者与量产的基板粘贴在一起，上述情况如未及时处理会造成基板损伤或掩膜版严重撕裂，不仅会降低产品的良率，严重时更会影响到整个生产的进程，给各项资源带来不必要的消耗。
因此，在工艺制备过程中如何及时发现损伤是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
发明内容
本发明实施例提供了一种损伤监测装置，用以解决现有技术中由于未能及时处理掩膜版上的损伤造成宕机，而影响产品良率和制备进程的技术问题。
因此，本发明实施例提供了一种损伤监测装置，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，
所述监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给所述信号处理模块；
所述信号处理模块用于接收所述监测模块发送的所述物理参数，并根据所述物理参数的变化判断所述待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；
所述显示模块用于显示所述信号处理模块处理后的数据及监测结果。
在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，所述监测模块包括：监测单元和测量转化单元；
所述监测单元用于向所述待监测掩膜版发射电磁波或超声波，当所述待监测掩膜版出现损伤时所述监测单元的阻抗发生变化；
所述测量转化单元用于将所述监测单元的阻抗发生的变化转化电压参数的变化，并将所述电压参数的数据发送给所述信号处理模块。
在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，所述监测单元设置于所述待监测掩膜版的待监测面的正上方的预设距离处。
在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，在平行于所述待监测掩膜版的平面上所述待监测单元按照预设规律移动。
在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，所述监测单元包括传感线圈或脉冲反射式超声波传感器。
在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，所述监测单元与所述待监测掩膜版之间的距离为15cm～25cm。
在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，所述信号处理模块包括处理器。
在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，还包括报警模块；
所述信号处理模块还用于在处理后的数据超出预设阈值时向所述报警模块发送控制信号；
所述报警模块用于接收到所述信号处理模块发送的所述控制信号后报警。
在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，所述报警模块包括：发光二极管和蜂鸣器中之一或组合。
相应地，本发明实施例还提供了一种监测系统，包括上述任一实施例所述的损伤监测装置。
本发明有益效果如下：
本发明实施例提供的损伤监测装置，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，所述监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给所述信号处理模块；所述信号处理模块用于接收所述监测模块发送的所述物理参数，并根据所述物理参数的变化判断所述待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；所述显示模块用于显示所述信号处理模块处理后的数据及监测结果。通过监测模块、信号处理模块和显示模块的设置，能够对掩膜版进行实时的监测，并对监测数据进行处理将处理后的数据及结果显示给相关监测人员，以便于及时对该损伤处进行处理，避免出现宕机影响生产进程。
附图说明
图1为本发明实施例提供的损伤监测装置的结构示意图之一；
图2为本发明实施例提供的损伤监测装置的结构示意图之二；
图3为本发明实施例提供的损伤监测装置的结构示意图之三；
图4为本发明实施例提供的损伤监测装置的具体结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的，技术方案和优点更加清楚，下面结合附图，对本发明实施例提供的损伤监测装置的具体实施方式进行详细地说明。
本发明实施例提供了一种损伤监测装置，如图1所示，包括：监测模块01、信号处理模块02和显示模块03；其中，
监测模块01用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给信号处理模块02；
信号处理模块02用于接收监测模块01发送的物理参数，并根据该物理参数的变化判断待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；
显示模块03用于显示信号处理模块02处理后的数据及监测结果。
本发明实施例提供的损伤监测装置，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给信号处理模块；信号处理模块用于接收监测模块发送的物理参数，并根据物理参数的变化判断待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；显示模块用于显示信号处理模块处理后的数据及监测结果。通过监测模块、信号处理模块和显示模块的设置，能够对掩膜版进行实时的监测，并对监测数据进行处理将处理后的数据及结果显示给相关监测人员，以便于及时对该损伤处进行处理，避免出现宕机影响生产进程。
进一步地，在具体实施时，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，如图2所示，监测模块01包括：监测单元11和测量转化单元12；
监测单元11用于向待监测掩膜版发射电磁波或超声波，当待监测掩膜版出现损伤时监测单元11的阻抗发生变化；
测量转化单元12用于将监测单元11的阻抗发生的变化转化电压参数的变化，并将电压参数的数据发送给信号处理模块02。
具体地，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，以通过涡流检测原理对金属损伤进行检测为例进行说明，其中监测单元为电磁感应线圈，当电流施加到电磁感应线圈上时，在线圈内和环绕线圈的空间内产生磁场，将待监测金属装置放入该磁场中，当该待监测金属装置出现缺陷、损伤或者金属材料的一些性质发生变化时，将影响到涡流的强度和分布，通过将涡流的强度和分布实时发送到测量转化单元，将参数转化为电信号发送给信号处理模块进行处理，就可以通过检测涡流的变化情况，进而可以间接的知道待监测掩膜版的内部缺陷的存在及金属性能是否发生了变化。该测量转化单元为现有的转化电路，根据具体使用情况选择，在此不再一一赘述。
除了通过涡流检测原理对金属损伤进行检测以外，还可以通过脉冲反射式超声原理对掩膜版进行检测，一般在均匀的材料中，缺陷的存在将造成材料的不连续，这种不连续往往又造成声阻抗的不一致，由反射定理可知，超声波在两种不同声阻抗的介质的交界面上将会发生反射，反射回来的能量的大小与交界面两边介质声阻抗的差异和交界面的取向、大小有关，由此来判断掩膜版是否存在损伤，以及损伤的大小等信息，具体过程在此不再赘述。
需要说明的是，监测单元的阻抗发生变化可以是监测单元的电阻抗发生变化也可以指监测单元的声阻抗发生变化，在此不作具体限定。
以上仅是举例说明损伤监测装置中监测模块的具体结构，在具体实施时，监测模块的具体结构不限于本发明实施例提供的上述结构，还可以是本领域技术人员可知的其他结构，在此不作限定。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，监测单元设置待监测掩膜版的待监测面的正上方的预设距离处。即该监测单元与待监测掩膜版的待监测面的垂直距离是不变的，该种设置能够保证监测单元向待监测掩膜版发送的信号是一致的，从而保证测量数据的准确性。
进一步地，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，在平行于待监测掩膜版的平面上待监测单元按照预设规律移动。当待监测掩膜版的面积较大，待监测单元不能完全覆盖掩膜版，无法对掩膜版进行全面监测时，监测单元可以保证在相对于掩膜版垂直距离不变的情况下，按照预设规律进行移动，以对待监测掩膜版进行全面的检测。当然如果检测单元足够的大，足以对待监测掩膜版进行全面的检测，该监测单元可以处于静止的状态对待监测掩膜版进行监测。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，监测单元包括传感线圈或脉冲反射式超声波传感器。当然该监测单元还可以为其他任何探伤传感器，在具体实施时，根据实际需要进行选择在此不作具体限定。
优选地，在具体实施时，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，如图4所示，监测单元11与待监测掩膜版A之间的距离a为15cm～25cm。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，该监测单元设置在距待监测掩膜版15cm～25cm处，较佳的为20cm处，监测单元放置的太远或太近都会影响监测结果的准确性。
具体地，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，信号处理模块包括处理器。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，信号处理模块对监测模块监测数据进行对比与分析，得出数据的分布情况和分析结果，并通过显示模块对数据分布和分析结果进行显示，以便于监测人员进行查看，以对所出现的问题进行及时精确的解决。当该监测数据超出预设阈值时，信号处理模块向报警模块发送控制信号，以控制该报警模块进行报警，以使监测人员更快的发现损伤的出现。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，监测模块与信号处理模块通过总线或串口的方式传输监测数据。
具体地，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，串口可以包括RS-232-C、RS-422、RS485或USB任一或组合，当然还可以包括其他任何类型能够实现信号传输的串口，根据具体使用情况进行选择，在此不作具体限定。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，监测模块与信号处理模块通过无线的方式传输监测数据。
在监测模块与信号处理模块通过无线的方式传输监测数据时，该损伤监测装置还包括无线通信模块，该无线通信模块分别与监测模块和信号处理模块相连。
具体地，该无线通信模块包括：移动通信基带处理芯片、模数转换模块、移动通信射频芯片和移动通信天线；
移动通信基带处理芯片分别与监测模块和模数转换模块连接；模数转换模块与移动通信射频芯片连接，移动通信射频芯片和移动通信天线连接；
移动通信基带处理芯片，用于对监测数据进行调制处理，将进行完调制处理后的监测数据发送给模数转换模块，调制后的监测数据，在移动通信网络中传输；
数模转换模块，用于对监测数据进行数模转换，并将数模转换完毕的监测数据发送给移动通信射频芯片；
其中，数模转换模块，用于将携带数据的信号从数字信号转换为模拟信号，使得数据可以在移动通信网络中进行传输。
移动通信射频芯片，用于将数模转换完毕的监测数据通过移动通信天线发送到信号处理模块。
其中，移动通信基带处理芯片、模数转换模块、与移动通信射频芯片、移动通信天线均可采用现有的任何可以实现相应功能的芯片或者电路，这里不再一一赘述。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，显示模块包括显示屏、电视或移动设备之一或组合。
具体地，该显示模块可以将信号处理模块处理后的监测数据和结果进行显示，方便监测人员进行查看，以及时解决损伤问题。
除此之外，该损伤监测装置还可以包括存储模块，用于存储信号处理模块处理后的监测数据和结构，便于监测人员进行调取，进行综合比对，更好的掌握损伤出现的规律、查找原因，以减小损伤出现的几率。
进一步地，在具体实施时，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，如图3，还包括报警模块04；
信号处理模块02还用于在处理后的数据超出预设阈值时向报警模块04发送控制信号；
报警模块04用于接收到信号处理模块02发送的控制信号后报警。
优选地，在本发明实施例提供的上述损伤监测装置中，报警模块包括：发光二极管和蜂鸣器中之一或组合。
以上仅是举例说明损伤监测装置中报警模块的具体结构，在具体实施时，报警模块的具体结构不限于本发明实施例提供的上述结构，还可以是本领域技术人员可知的其他结构，在此不作限定。
基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种损伤监测系统，包括上述实施例中任一损伤监测装置。
实施例
以图4所示的损伤监测装置为例，对本发明实施例提供的上述损伤监测装置的工作过程作以描述：
在监测过程中，监测单元11放置在待监测掩膜版A的正上方20cm处，监测单元11与待监测掩膜版A之间的距离保持不变，监测单元11可以为传感器，当待监测掩膜版A有裂纹、缺陷或损伤出现时，将使传感器的阻抗发生变化，从而使测量转化单元12的输出电压改变，信号处理模块02采集分析测量转化单元12的输出电压信号，判断是否为待监测掩膜版A的损伤引起的电压变化，如果是则向报警模块04发送控制信号，使报警模块04进行报警，以便于监测人员进行及时的处理。
本发明实施例提供的损伤监测装置及系统，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给信号处理模块；信号处理模块用于接收监测模块发送的物理参数，并根据物理参数的变化判断待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；显示模块用于显示信号处理模块处理后的数据及监测结果。通过监测模块、信号处理模块和显示模块的设置，能够对掩膜版进行实时的监测，并对监测数据进行处理将处理后的数据及结果显示给相关监测人员，以便于及时对该损伤处进行处理，避免出现宕机影响生产进程。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种损伤监测装置，其特征在于，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，
所述监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给所述信号处理模块；
所述信号处理模块用于接收所述监测模块发送的所述物理参数，并根据所述物理参数的变化判断所述待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；
所述显示模块用于显示所述信号处理模块处理后的数据及监测结果。
2.如权利要求1所述的损伤监测装置，其特征在于，所述监测模块包括：监测单元和测量转化单元；
所述监测单元用于向所述待监测掩膜版发射电磁波或超声波，当所述待监测掩膜版出现损伤时所述监测单元的阻抗发生变化；
所述测量转化单元用于将所述监测单元的阻抗发生的变化转化电压参数的变化，并将所述电压参数的数据发送给所述信号处理模块。
3.如权利要求2所述的损伤监测装置，其特征在于，所述监测单元设置于所述待监测掩膜版的待监测面的正上方的预设距离处。
4.如权利要求3所述的损伤监测装置，其特征在于，在平行于所述待监测掩膜版的平面上所述待监测单元按照预设规律移动。
5.如权利要求2所述的损伤监测装置，其特征在于，所述监测单元包括传感线圈或脉冲反射式超声波传感器。
6.如权利要求3所述的损伤监测装置，其特征在于，所述监测单元与所述待监测掩膜版之间的距离为15cm～25cm。
7.如权利要求1所述的损伤监测装置，其特征在于，所述信号处理模块包括处理器。
8.如权利要求1-7任一项所述的损伤监测装置，其特征在于，还包括报警模块；
所述信号处理模块还用于在处理后的数据超出预设阈值时向所述报警模块发送控制信号；
所述报警模块用于接收到所述信号处理模块发送的所述控制信号后报警。
9.如权利要求8所述的损伤监测装置，其特征在于，所述报警模块包括：发光二极管和蜂鸣器中之一或组合。
10.一种损伤监测系统，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的损伤监测装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810149793.1A CN108362771A (zh) | 2018-02-13 | 2018-02-13 | 一种损伤监测装置及系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810149793.1A CN108362771A (zh) | 2018-02-13 | 2018-02-13 | 一种损伤监测装置及系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108362771A true CN108362771A (zh) | 2018-08-03 |
Family
ID=63002747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810149793.1A Pending CN108362771A (zh) | 2018-02-13 | 2018-02-13 | 一种损伤监测装置及系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108362771A (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109239953A (zh) * | 2018-11-07 | 2019-01-18 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | 掩膜版的处理系统 |
| CN109765503A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-05-17 | 昆山国显光电有限公司 | 一种具有破片检知的加工腔室和破片检知方法 |
| CN113984890A (zh) * | 2021-09-10 | 2022-01-28 | 福建华佳彩有限公司 | 一种掩膜板焊接前的检测方法 |
| CN114813848A (zh) * | 2022-07-01 | 2022-07-29 | 浙江大学 | 一种电熔接头损伤监测系统及方法 |
| US11808739B1 (en) | 2022-07-01 | 2023-11-07 | Zhejiang University | Monitoring damage of electrofusion joints |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5485084A (en) * | 1993-05-10 | 1996-01-16 | The Boeing Company | Apparatus and method for detecting structural cracks using a movable detector |
| CN1577094A (zh) * | 2003-07-22 | 2005-02-09 | Asml荷兰有限公司 | 光刻装置、器件制造方法和由此制造的器件 |
| US20090047527A1 (en) * | 2007-08-15 | 2009-02-19 | National Tsing Hua University | Magnetic element and manufacturing method therefor |
| CN104016099A (zh) * | 2014-05-23 | 2014-09-03 | 爱德森（厦门）电子有限公司 | 钢丝绳输送带纵向撕裂损伤在线涡流监测装置及方法 |
| CN106353973A (zh) * | 2016-11-18 | 2017-01-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种防掩膜板划伤系统及曝光系统 |
| CN106814131A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-06-09 | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 | 一种铁磁平面构件浅层损伤磁发射检测方法及磁发射检测系统 |
| CN106933059A (zh) * | 2015-12-31 | 2017-07-07 | 上海微电子装备有限公司 | 一种在线监测补偿掩膜版热变形的装置和方法 |
| CN107304467A (zh) * | 2016-04-19 | 2017-10-31 | 上海和辉光电有限公司 | 一种金属掩膜版制造工艺及其制造装置 |
-
2018
- 2018-02-13 CN CN201810149793.1A patent/CN108362771A/zh active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5485084A (en) * | 1993-05-10 | 1996-01-16 | The Boeing Company | Apparatus and method for detecting structural cracks using a movable detector |
| CN1577094A (zh) * | 2003-07-22 | 2005-02-09 | Asml荷兰有限公司 | 光刻装置、器件制造方法和由此制造的器件 |
| US20090047527A1 (en) * | 2007-08-15 | 2009-02-19 | National Tsing Hua University | Magnetic element and manufacturing method therefor |
| CN104016099A (zh) * | 2014-05-23 | 2014-09-03 | 爱德森（厦门）电子有限公司 | 钢丝绳输送带纵向撕裂损伤在线涡流监测装置及方法 |
| CN106933059A (zh) * | 2015-12-31 | 2017-07-07 | 上海微电子装备有限公司 | 一种在线监测补偿掩膜版热变形的装置和方法 |
| CN107304467A (zh) * | 2016-04-19 | 2017-10-31 | 上海和辉光电有限公司 | 一种金属掩膜版制造工艺及其制造装置 |
| CN106353973A (zh) * | 2016-11-18 | 2017-01-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种防掩膜板划伤系统及曝光系统 |
| CN106814131A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-06-09 | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 | 一种铁磁平面构件浅层损伤磁发射检测方法及磁发射检测系统 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109239953A (zh) * | 2018-11-07 | 2019-01-18 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | 掩膜版的处理系统 |
| CN109239953B (zh) * | 2018-11-07 | 2021-03-05 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | 掩膜版的处理系统 |
| CN109765503A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-05-17 | 昆山国显光电有限公司 | 一种具有破片检知的加工腔室和破片检知方法 |
| CN113984890A (zh) * | 2021-09-10 | 2022-01-28 | 福建华佳彩有限公司 | 一种掩膜板焊接前的检测方法 |
| CN114813848A (zh) * | 2022-07-01 | 2022-07-29 | 浙江大学 | 一种电熔接头损伤监测系统及方法 |
| CN114813848B (zh) * | 2022-07-01 | 2022-10-18 | 浙江大学 | 一种电熔接头损伤监测系统及方法 |
| US11808739B1 (en) | 2022-07-01 | 2023-11-07 | Zhejiang University | Monitoring damage of electrofusion joints |
| WO2024001118A1 (zh) * | 2022-07-01 | 2024-01-04 | 浙江大学 | 一种电熔接头损伤监测系统及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108362771A (zh) | 一种损伤监测装置及系统 | |
| CN106483569B (zh) | 平衡差动式金属探测传感器及绝缘纸检测装置 | |
| CN102749557A (zh) | 一种开关柜局部放电检测装置 | |
| CN106468741B (zh) | 辐射杂散自动测试方法及装置 | |
| CN205193221U (zh) | 一种用于远距离超声波局放检测的装置 | |
| CN102538661A (zh) | 一种快速检测型材平面度系统及其方法 | |
| CN103837245A (zh) | 一种无线温度监测巡检系统及方法 | |
| CN108548718A (zh) | 基于微带天线传感器的疲劳裂纹扩展监测系统及其监测方法 | |
| CN113129282A (zh) | 皮带异常确定方法、装置、设备及存储介质 | |
| CN104713486B (zh) | 一种合掌产品宽度在线检测装置及方法 | |
| CN107907817B (zh) | 一种复合环境下测评电路板质量的实验装置及实验方法 | |
| CN107520257A (zh) | 带钢机械性能在线检测系统 | |
| CN106807801B (zh) | 一种高速精冲机模具表面废料智能在线检测方法及装置 | |
| CN111998763B (zh) | 高温电磁超声波金属体厚度在线监测方法 | |
| CN102759535B (zh) | 基于无线射频识别技术的检测粮食水分含量的装置及方法 | |
| CN102608123A (zh) | 一种用于微缺陷的激光超声检测方法 | |
| CN108759678A (zh) | 散热片尺寸及平整度线上自动测量设备及其测量方法 | |
| Mortazavian et al. | A simultaneous method for detection of radial deformation and axial displacement in transformer winding using UWB SAR imaging | |
| CN108267100A (zh) | 一种变压器绕组变形监测系统 | |
| CN202393349U (zh) | 一种快速检测型材平面度的装置 | |
| CN110888361A (zh) | 一种含工器具探伤功能的带电作业工器具管理系统及方法 | |
| CN106371094A (zh) | 一种基于雷达测距技术的输送带撕裂故障检测方法及装置 | |
| CN209117764U (zh) | 一种检测装置、系统 | |
| CN204373626U (zh) | 一种尺寸测量的系统 | |
| CN216979313U (zh) | 一种产品的检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20180803 |