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CN108279485A - 投影镜头 - Google Patents

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CN108279485A
CN108279485A CN201810195485.2A CN201810195485A CN108279485A CN 108279485 A CN108279485 A CN 108279485A CN 201810195485 A CN201810195485 A CN 201810195485A CN 108279485 A CN108279485 A CN 108279485A
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CN
China
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lens
projection lens
nearly
image
image source
Prior art date
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Application number
CN201810195485.2A
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Inventor
王新权
黄林
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Zhejiang Sunny Optics Co Ltd
Original Assignee
Zhejiang Sunny Optics Co Ltd
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Publication date
Application filed by Zhejiang Sunny Optics Co Ltd filed Critical Zhejiang Sunny Optics Co Ltd
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Priority to US16/644,966 priority patent/US11714266B2/en
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Abstract

本申请公开了一种投影镜头，该投影镜头沿着光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜、第二透镜和第三透镜。第一透镜具有正光焦度，其近像源侧面为凸面；第二透镜具有正光焦度或负光焦度；第三透镜具有正光焦度，其为近成像侧面为凸面的弯月形透镜。投影镜头的像源高度ImgH与投影镜头的总有效焦距f满足ImgH/f＜0.2。

Description

投影镜头
技术领域
本申请涉及一种投影镜头，更具体地，本申请涉及一种包括三片透镜的投影镜头。
背景技术
近年，随着科技的不断进步，交互设备逐步兴起，投影镜头的应用范围也越来越广。如今，芯片技术与智能算法发展迅速，利用光学投影镜头向空间物体投射图像并接收该图像信号，即可计算出具有物体位置深度信息的三维图像。具体方法如下：利用光学投影镜头将红外激光二极管(LD)或垂直腔面发射激光器(VCSEL)发出的光向目标物体方向投射；投影光束在经过光学衍射元件(DOE)后实现投影图像在目标物体上的重新分布；利用摄像镜头将投射到物体上的图像接收，即可计算出包含被投射物体位置深度信息的三维图像。具有深度信息的三维图像可进一步用于生物识别等多种深度应用开发。
传统用于成像的投影镜头通过采用增加透镜数量的方式来消除各种像差并提高分辨率，但是，这样会导致投影镜头的光学总长度(TTL)增加，不利于镜头的小型化。另外，传统的大视场角投影镜头的畸变量都较大，成像质量差，且不能与光学衍射元件(DOE)搭配来精确地实现投影光束在目标物体上的重新分布。
发明内容
本申请提供了可适用于便携式电子产品的、可至少解决或部分解决现有技术中的上述至少一个缺点的投影镜头。
一方面，本申请提供了这样一种投影镜头，该投影镜头沿着光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜、第二透镜和第三透镜。第一透镜可具有正光焦度，其近像源侧面可为凸面；第二透镜具有正光焦度或负光焦度；第三透镜可具有正光焦度，其可为近成像侧面为凸面的弯月形透镜。投影镜头的像源高度ImgH与投影镜头的总有效焦距f可满足ImgH/f＜0.2。
在一个实施方式中，第三透镜的近成像侧面的曲率半径R6与投影镜头的总有效焦距f可满足R6/f＞-1。
在一个实施方式中，第一透镜的近像源侧面的曲率半径R1与第三透镜的近成像侧面的曲率半径R6可满足-1.2＜R1/R6＜-0.8。
在一个实施方式中，第三透镜的有效焦距f3与投影镜头的总有效焦距f可满足0＜f3/f＜1。
在一个实施方式中，第一透镜和第二透镜在光轴上的间隔距离T12、第二透镜和第三透镜在光轴上的间隔距离T23以及第一透镜的近像源侧面至第三透镜的近成像侧面在光轴上的间隔距离Td可满足0.3＜(T12+T23)/Td＜0.7。
在一个实施方式中，第三透镜的近像源侧面的曲率半径R5与第三透镜的近成像侧面的曲率半径R6可满足0＜|(R5-R6)/(R5+R6)|＜1。
在一个实施方式中，第一透镜于光轴上的中心厚度CT1与第一透镜、第二透镜和第三透镜分别于光轴上的中心厚度之和∑CT可满足0.25＜CT1/∑CT＜0.6。
在一个实施方式中，第一透镜的近像源侧面和光轴的交点至第一透镜的近像源侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离SAG11与第三透镜的近成像侧面和光轴的交点至第三透镜近成像侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离SAG32可满足-1.5＜SAG11/SAG32＜-0.5。
在一个实施方式中，第三透镜的近像源侧面和光轴的交点至第三透镜的近像源侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离SAG31与第三透镜的近成像侧面和光轴的交点至第三透镜近成像侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离SAG32可满足SAG31/SAG32＜0.5。
在一个实施方式中，第一透镜的近像源侧面的最大有效半口径DT11与第二透镜的近像源侧面的最大有效半口径DT21可满足1.2＜DT11/DT21＜2。
在一个实施方式中，第一透镜的有效焦距f1、第三透镜的有效焦距f3与投影镜头的总有效焦距f可满足0.5＜(f1+f3)/f＜1.5。
在一个实施方式中，第一透镜的近像源侧面和光轴的交点至第一透镜近像源侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离SAG11、第一透镜的近像源侧面的最大有效半口径DT11、第三透镜的近成像侧面和光轴的交点至第三透镜近成像侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离SAG32以及第三透镜的近成像侧面的最大有效半口径DT32可满足0.5＜|SAG11/DT11|/|SAG32/DT32|＜1.5。
在一个实施方式中，投影镜头的物方数值孔径NA可满足0.18≤NA＜0.3。
在一个实施方式中，投影镜头的主光线的最大入射角度CRAmax与投影镜头的最大半视场角HFOV可满足tan(CRAmax)+tan(HFOV)＜0.3。
在一个实施方式中，投射镜头的实际应用波长λ的最短波长可比使用光源的最短波长短0nm-100nm，投射镜头的实际应用波长λ的最长波长可比使用光源的最长波长长0nm-100nm。
在一个实施方式中，第二透镜的折射率N2与第三透镜的折射率N3满足N2≤N3。
另一方面，本申请提供了这样一种投影镜头，该投影镜头沿着光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜、第二透镜和第三透镜。第一透镜可具有正光焦度，其近像源侧面可为凸面；第二透镜可具有负光焦度；第三透镜可具有正光焦度，其可为近成像侧面为凸面的弯月形透镜。第一透镜的近像源侧面的曲率半径R1与第三透镜的近成像侧面的曲率半径R6可满足-1.2＜R1/R6＜-0.8。
本申请采用了多片(例如，三片)透镜，通过合理分配各透镜的光焦度、面型、各透镜的中心厚度以及各透镜之间的轴上间距等，使得上述投影镜头具有大数值孔径、小型化、高成像品质等至少一个有益效果。同时，上述配置的投射镜头能够与光学衍射元件(DOE)相互配合使用，且适用于单波长波段。
附图说明
结合附图，通过以下非限制性实施方式的详细描述，本申请的其他特征、目的和优点将变得更加明显。在附图中：
图1示出了根据本申请实施例1的投影镜头的结构示意图；
图2A至图2B分别示出了实施例1的投影镜头的畸变曲线和相对照度曲线；
图3示出了根据本申请实施例2的投影镜头的结构示意图；
图4A至图4B分别示出了实施例2的投影镜头的畸变曲线和相对照度曲线；
图5示出了根据本申请实施例3的投影镜头的结构示意图；
图6A至图6B分别示出了实施例3的投影镜头的畸变曲线和相对照度曲线；
图7示出了根据本申请实施例4的投影镜头的结构示意图；
图8A至图8B分别示出了实施例4的投影镜头的畸变曲线和相对照度曲线；
图9示出了根据本申请实施例5的投影镜头的结构示意图；
图10A至图10B分别示出了实施例5的投影镜头的畸变曲线和相对照度曲线；
图11示出了根据本申请实施例6的投影镜头的结构示意图；
图12A至图12B分别示出了实施例6的投影镜头的畸变曲线和相对照度曲线；
图13示出了根据本申请实施例7的投影镜头的结构示意图；
图14A至图14B分别示出了实施例7的投影镜头的畸变曲线和相对照度曲线；
图15示出了根据本申请实施例8的投影镜头的结构示意图；
图16A至图16B分别示出了实施例8的投影镜头的畸变曲线和相对照度曲线。
具体实施方式
为了更好地理解本申请，将参考附图对本申请的各个方面做出更详细的说明。应理解，这些详细说明只是对本申请的示例性实施方式的描述，而非以任何方式限制本申请的范围。在说明书全文中，相同的附图标号指代相同的元件。表述“和/或”包括相关联的所列项目中的一个或多个的任何和全部组合。
应注意，在本说明书中，第一、第二等的表述仅用于将一个特征与另一个特征区分开来，而不表示对特征的任何限制。因此，在不背离本申请的教导的情况下，下文中讨论的第一透镜也可被称作第二透镜，第二透镜也可被称作第一透镜。
在附图中，为了便于说明，已稍微夸大了透镜的厚度、尺寸和形状。具体来讲，附图中所示的球面或非球面的形状通过示例的方式示出。即，球面或非球面的形状不限于附图中示出的球面或非球面的形状。附图仅为示例而并非严格按比例绘制。
在本文中，近轴区域是指光轴附近的区域。若透镜表面为凸面且未界定该凸面位置时，则表示该透镜表面至少于近轴区域为凸面；若透镜表面为凹面且未界定该凹面位置时，则表示该透镜表面至少于近轴区域为凹面。每个透镜中靠近像源侧的表面称为近像源侧面，每个透镜中靠近成像侧的表面称为近成像侧面。
还应理解的是，用语“包括”、“包括有”、“具有”、“包含”和/或“包含有”，当在本说明书中使用时表示存在所陈述的特征、元件和/或部件，但不排除存在或附加有一个或多个其它特征、元件、部件和/或它们的组合。此外，当诸如“...中的至少一个”的表述出现在所列特征的列表之后时，修饰整个所列特征，而不是修饰列表中的单独元件。此外，当描述本申请的实施方式时，使用“可”表示“本申请的一个或多个实施方式”。并且，用语“示例性的”旨在指代示例或举例说明。
除非另外限定，否则本文中使用的所有用语(包括技术用语和科学用语)均具有与本申请所属领域普通技术人员的通常理解相同的含义。还应理解的是，用语(例如在常用词典中定义的用语)应被解释为具有与它们在相关技术的上下文中的含义一致的含义，并且将不被以理想化或过度正式意义解释，除非本文中明确如此限定。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
以下对本申请的特征、原理和其他方面进行详细描述。
根据本申请示例性实施方式的投影镜头可包括例如三片具有光焦度的透镜，即，第一透镜、第二透镜和第三透镜。这三片透镜沿着光轴由像源侧至成像侧依序排列。
在示例性实施方式中，第一透镜可具有正光焦度，其近像源侧面可为凸面；第二透镜具有正光焦度或负光焦度；第三透镜可具有正光焦度，其可为近成像侧面为凸面的弯月形透镜。具有正光焦度的第一透镜，其近像源侧面为凸面，有利于实现系统的像源侧远心，提高系统远心度，增加系统轴外视场进光量，增加投影画面的亮度及均匀性。具有正光焦度的第三透镜，其近成像侧面为凸面，有利于减小系统球差，提高成像质量。
在示例性实施方式中，第二透镜可具有负光焦度。
在示例性实施方式中，第三透镜的近像源侧面可为凹面。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式R6/f＞-1，其中，R6为第三透镜的近成像侧面的曲率半径，f为投影镜头的总有效焦距。更具体地，R6和f进一步可满足-0.3＜R6/f＜-0.1，例如，-0.27≤R6/f≤-0.19。满足条件式R6/f＞-1，有利于缩短镜头光学总长度TTL，实现模组小型化。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式0.18≤NA＜0.3，其中，NA为投影镜头的物方数值孔径。更具体地，NA进一步可满足0.18≤NA≤0.22。满足条件式0.18≤NA＜0.3，有利于投射光学系统具有较大的数值孔径，增加镜头的光源接收能力，提高投影能量效率，从而获得更高亮度的投影图像。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式0＜f3/f＜1，其中，f3为第三透镜的有效焦距，f为投影镜头的总有效焦距。更具体地，f3和f进一步可满足0.3＜f3/f＜0.8，例如，0.37≤f3/f≤0.72。满足条件式0＜f3/f＜1，有利于缩短镜头光学总长度TTL，实现模组小型化；同时有利于实现投影镜头的高投影成像质量。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式ImgH/f＜0.2，其中，ImgH为投影镜头的像源高度，f为投影镜头的总有效焦距。更具体地，ImgH和f进一步可满足0.10＜ImgH/f＜0.15，例如，0.11≤ImgH/f≤0.14。满足条件式ImgH/f＜0.2，有利于提高投影画面的均匀性，提高投影镜头光场与光学衍射元件(DOE)的匹配性，提高投射质量。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式tan(CRAmax)+tan(HFOV)＜0.3，其中，CRAmax为投影镜头的主光线的最大入射角度，HFOV为投影镜头的最大半视场角。更具体地，CRAmax和HFOV进一步可满足0.10＜tan(CRAmax)+tan(HFOV)＜0.15，例如，0.11≤tan(CRAmax)+tan(HFOV)≤0.14。满足条件式tan(CRAmax)+tan(HFOV)＜0.3，有利于平衡地提高系统的远心度与投影成像画面的均匀性；同时，有利于提高投影镜头光场与光学衍射元件(DOE)的匹配性。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式0.3＜(T12+T23)/Td＜0.7，其中，T12为第一透镜和第二透镜在光轴上的间隔距离，T23为第二透镜和第三透镜在光轴上的间隔距离，Td为第一透镜的近像源侧面至第三透镜的近成像侧面在光轴上的间隔距离。更具体地，T12、T23和Td进一步可满足0.3＜(T12+T23)/Td≤0.50，例如，0.38≤(T12+T23)/Td≤0.50。满足条件式0.3＜(T12+T23)/Td＜0.7，有利于合理分配透镜间隔，调节光线分布，降低系统中各透镜厚度的公差敏感性，有利于提升生产良率。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式0＜|(R5-R6)/(R5+R6)|＜1，其中，R5为第三透镜的近像源侧面的曲率半径，R6为第三透镜的近成像侧面的曲率半径。更具体地，R5与R6进一步可满足0.11≤|(R5-R6)/(R5+R6)|≤0.89。满足条件式0＜|(R5-R6)/(R5+R6)|＜1，有利于缩短镜头光学总长度TTL，实现模组小型化，同时有利于提高系统的远心度，增加系统轴外视场进光量，提高成像质量。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式0.25＜CT1/∑CT＜0.6，其中，CT1为第一透镜于光轴上的中心厚度，∑CT为第一透镜、第二透镜和第三透镜分别于光轴上的中心厚度之和。更具体地，CT1和∑CT进一步可满足0.31≤CT1/∑CT≤0.51。满足条件式0.25＜CT1/∑CT＜0.6，有利于合理分配透镜空间；有利于调节光线分布，降低系统的公差敏感性；有利于透镜组装以提升生产良率。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式SAG31/SAG32＜0.5，其中，SAG31为第三透镜的近像源侧面和光轴的交点至第三透镜近像源侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离，SAG32为第三透镜的近成像侧面和光轴的交点至第三透镜近成像侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离。更具体地，SAG31和SAG32进一步可满足0.06≤SAG31/SAG32≤0.45。满足条件式SAG31/SAG32＜0.5，有利于分散系统光焦度，降低系统的公差敏感性，提高单个透镜的可加工制造工艺性。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式1.2＜DT11/DT21＜2，其中，DT11为第一透镜的近像源侧面的最大有效半口径，DT21为第二透镜的近像源侧面的最大有效半口径。更具体地，DT11和DT21进一步可满足1.4＜DT11/DT21＜2.0，例如，1.46≤DT11/DT21≤1.94。满足条件式1.2＜DT11/DT21＜2，有利于平衡模组小型化、第一透镜和第二透镜的加工制造工艺性以及系统敏感度。
本申请的投射镜头的实际应用波长λ的波长范围基于使用光源的波长范围具有±100nm的浮动。具体而言，投射镜头的实际应用波长λ的最短波长可比使用光源的最短波长短约0nm-100nm，实际应用波长λ的最长波长可比使用光源的最长波长长约0nm-100nm。本申请的投射镜头可应用于任意单色光源波段，例如，本申请的投射镜头可应用于红外单波长波段。使用单色光源有利于减少由于宽波长而引入的色差、杂散光等，有利于提高投射镜头的成像质量；同时，可使得投射镜头符合光学衍射元件(DOE)的光线接口匹配的需求。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式0.5＜(f1+f3)/f＜1.5，其中，f1为第一透镜的有效焦距，f3为第三透镜的有效焦距，f为投影镜头的总有效焦距。更具体地，f1、f3和f进一步可满足0.7＜(f1+f3)/f＜1.4，例如，0.75≤(f1+f3)/f≤1.38。合理配置第一透镜与第三透镜的光焦度，可以校正系统像差，提升系统的光学性能。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式0.5＜|SAG11/DT11|/|SAG32/DT32|＜1.5，其中，SAG11为第一透镜的近像源侧面和光轴的交点至第一透镜近像源侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离，DT11为第一透镜的近像源侧面的最大有效半口径，SAG32为第三透镜的近成像侧面和光轴的交点至第三透镜近成像侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离，DT32为第三透镜的近成像侧面的最大有效半口径。更具体地，SAG11、DT11、SAG32和DT32进一步可满足0.79≤|SAG11/DT11|/|SAG32/DT32|≤1.45。满足条件式0.5＜|SAG11/DT11|/|SAG32/DT32|＜1.5，有利于在提高系统远心度与校正系统球差和慧差之间取得较好平衡，提高投影成像质量。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式-1.2＜R1/R6＜-0.8，其中，R1为第一透镜的近像源侧面的曲率半径，R6为第三透镜的近成像侧面的曲率半径。更具体地，R1和R6进一步可满足-1.06≤R1/R6≤-0.81。满足条件式-1.2＜R1/R6＜-0.8，有利于减小投影镜头的畸变和像差，提高镜头的光学性能。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式-1.5＜SAG11/SAG32＜-0.5，其中，SAG11为第一透镜的近像源侧面和光轴的交点至第一透镜的近像源侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离，SAG32为第三透镜的近成像侧面和光轴的交点至第三透镜近成像侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离。更具体地，SAG11和SAG32进一步可满足-1.38≤SAG11/SAG32≤-0.53。满足条件式-1.5＜SAG11/SAG32＜-0.5，有利于降低系统的公差敏感性，提高透镜的可加工制造工艺性。
在示例性实施方式中，本申请的投影镜头可满足条件式N2≤N3，其中，N2为第二透镜的折射率，N3为第三透镜的折射率。满足条件式N2≤N3，有利于提高投影镜头的光学性能。
在示例性实施方式中，上述投射光学系统还可包括至少一个光阑，以提升镜头的成像质量。可选地，光阑可设置在第三透镜与成像侧之间。
根据本申请的投射光学系统可作为散斑投影镜头应用于深度探测领域。当使用本申请的投射光学系统对空间中的目标物体进行深度探测时，由红外激光二极管(LD)或垂直腔面发射激光器(VCSEL)发出的光线会先经过投射光学系统斑点放大，再经过光学衍射元件(DOE)，而后向目标物体方向投射出去。投影光束在经过光学衍射元件(DOE)后，可以实现投影图像在目标物体上的重新分布。其后，通过任意公知的摄像镜头捕捉投射到目标物体上的图像信息，即可计算出具有目标物体位置深度信息的三维图像。根据本申请的投射光学系统能够与光学衍射元件(DOE)相互配合使用，从而精确地实现投影光束在目标物体上的重新分布。
在本申请的实施方式中，各透镜多采用非球面镜面。非球面透镜的特点是：从透镜中心到透镜周边，曲率是连续变化的。与从透镜中心到透镜周边具有恒定曲率的球面透镜不同，非球面透镜具有更佳的曲率半径特性，具有改善歪曲像差及改善像散像差的优点。采用非球面透镜后，能够尽可能地消除在成像的时候出现的像差，从而改善成像质量。
然而，本领域的技术人员应当理解，在未背离本申请要求保护的技术方案的情况下，可改变构成投影镜头的透镜数量，来获得本说明书中描述的各个结果和优点。例如，虽然在实施方式中以三个透镜为例进行了描述，但是该投影镜头不限于包括三个透镜。如果需要，该投影镜头还可包括其它数量的透镜。
下面参照附图进一步描述可适用于上述实施方式的投影镜头的具体实施例。
实施例1
以下参照图1至图2B描述根据本申请实施例1的投影镜头。图1示出了根据本申请实施例1的投影镜头的结构示意图。
如图1所示，根据本申请示例性实施方式的投影镜头沿光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜E1、第二透镜E2、第三透镜E3和光阑STO。
第一透镜E1具有正光焦度，其近像源侧面S1为凸面，近成像侧面S2为凹面；第二透镜E2具有负光焦度，其近像源侧面S3为凹面，近成像侧面S4为凹面；第三透镜E3具有正光焦度，其近像源侧面S5为凹面，近成像侧面S6为凸面。来自像源面OBJ的光依序穿过各表面S1至S6，再经过例如光学衍射元件DOE(未示出)后，投射至空间中的目标物体上。
本实施例的投影镜头的实际应用波长λ基于使用光源的波长范围浮动，其实际应用波长λ的最短波长比使用光源的最短波长短约0nm-100nm，实际应用波长λ的最长波长比使用光源的最长波长长约0nm-100nm。本实施例的投影镜头的使用光源可为任意单色光源波段，例如，红外单波长波段。
表1示出了实施例1的投影镜头的各透镜的表面类型、曲率半径、厚度、材料及圆锥系数，其中，曲率半径和厚度的单位均为毫米(mm)。
表1
由表1可知，第一透镜E1至第三透镜E3中任意一个透镜的近像源侧面和近成像侧面均为非球面。在本实施例中，各非球面透镜的面型x可利用但不限于以下非球面公式进行限定：
其中，x为非球面沿光轴方向在高度为h的位置时，距非球面顶点的距离矢高；c为非球面的近轴曲率，c＝1/R(即，近轴曲率c为上表1中曲率半径R的倒数)；k为圆锥系数(在表1中已给出)；Ai是非球面第i-th阶的修正系数。下表2给出了可用于实施例1中各非球面镜面S1-S6的高次项系数A4、A6、A8、A10、A12、A14和A16。
面号 A4 A6 A8 A10 A12 A14 A16
S1 6.2280E-01 -1.4867E+00 5.7317E-02 3.5337E+01 -1.8667E+02 4.0521E+02 -3.4711E+02
S2 9.1582E-01 -8.9518E-01 1.6452E+00 7.0438E+01 -6.6759E+02 1.6088E+03 -1.0509E+03
S3 1.5029E-01 -1.9782E+01 5.2207E+02 -9.2104E+03 8.9922E+04 -4.6545E+05 9.9017E+05
S4 9.9159E-02 1.1029E+00 -1.1641E+02 1.6263E+03 -1.2207E+04 4.5279E+04 -6.0913E+04
S5 -3.4852E-02 9.2948E-02 -4.6911E+00 5.4220E+01 -3.1907E+02 9.2835E+02 -1.1017E+03
S6 -4.8065E-02 1.2099E-02 -5.2577E-01 1.9824E+00 -4.6553E+00 5.4550E+00 -2.7607E+00
表2
表3给出实施例1中投影镜头的总有效焦距f、各透镜的有效焦距f1至f3、投影镜头的最大半视场角HFOV以及投影镜头的物方数值孔径NA。
参数 f(mm) f1(mm) f2(mm) f3(mm) HFOV(°) NA
数值 4.50 1.60 -1.00 2.56 6.9 0.18
表3
实施例1中的投影镜头满足：
R6/f＝-0.22，其中，R6为第三透镜E3的近成像侧面S6的曲率半径，f为投影镜头的总有效焦距；
f3/f＝0.57，其中，f3为第三透镜E3的有效焦距，f为投影镜头的总有效焦距；
ImgH/f＝0.12，其中，ImgH为投影镜头的像源高度，f为投影镜头的总有效焦距；
tan(CRAmax)+tan(HFOV)＝0.12，其中，CRAmax为主光线的最大入射角度，HFOV为投影镜头的最大半视场角；
(T12+T23)/Td＝0.43，其中，T12为第一透镜E1和第二透镜E2在光轴上的间隔距离，T23为第二透镜E2和第三透镜E3在光轴上的间隔距离，Td为第一透镜E1的近像源侧面S1至第三透镜E3的近成像侧面S6在光轴上的间隔距离；
|(R5-R6)/(R5+R6)|＝0.11，其中，R5为第三透镜E3的近像源侧面S5的曲率半径，R6为第三透镜E3的近成像侧面S6的曲率半径；
CT1/∑CT＝0.34，其中，CT1为第一透镜E1于光轴上的中心厚度，∑CT为第一透镜E1、第二透镜E2和第三透镜E3分别于光轴上的中心厚度之和；
SAG31/SAG32＝0.35，其中，SAG31为第三透镜E3的近像源侧面S5和光轴的交点至第三透镜E3近像源侧面S5的最大有效半口径顶点的轴上距离，SAG32为第三透镜E3的近成像侧面S6和光轴的交点至第三透镜E3近成像侧面S6的最大有效半口径顶点的轴上距离；
DT11/DT21＝1.62，其中，DT11为第一透镜E1的近像源侧面S1的最大有效半口径，DT21为第二透镜E2的近像源侧面S3的最大有效半口径；
(f1+f3)/f＝0.92，其中，f1为第一透镜E1的有效焦距，f3为第三透镜E3的有效焦距，f为投影镜头的总有效焦距；
|SAG11/DT11|/|SAG32/DT32|＝0.90，其中，SAG11为第一透镜E1的近像源侧面S1和光轴的交点至第一透镜E1近像源侧面S1的最大有效半口径顶点的轴上距离，DT11为第一透镜E1的近像源侧面S1的最大有效半口径，SAG32为第三透镜E3的近成像侧面S6和光轴的交点至第三透镜E3近成像侧面S6的最大有效半口径顶点的轴上距离，DT32为第三透镜E3的近成像侧面S6的最大有效半口径；
R1/R6＝-1.00，其中，R1为第一透镜E1的近像源侧面S1的曲率半径R1，R6为第三透镜E3的近成像侧面S6的曲率半径R6；
SAG11/SAG32＝-0.71，其中，SAG11为第一透镜E1的近像源侧面S1和光轴的交点至第一透镜E1的近像源侧面S1的最大有效半口径顶点的轴上距离，SAG32为第三透镜E3的近成像侧面S6和光轴的交点至第三透镜E3近成像侧面S6的最大有效半口径顶点的轴上距离。
图2A示出了实施例1的投影镜头的畸变曲线，其表示不同视角情况下的畸变大小值。图2B示出了实施例1的投影镜头的相对照度曲线，其表示成像面上不同像高所对应的相对照度。根据图2A和图2B可知，实施例1所给出的投影镜头能够实现良好的成像品质。
实施例2
以下参照图3至图4B描述根据本申请实施例2的投影镜头。在本实施例及以下实施例中，为简洁起见，将省略部分与实施例1相似的描述。图3示出了根据本申请实施例2的投影镜头的结构示意图。
如图3所示，根据本申请示例性实施方式的投影镜头沿光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜E1、第二透镜E2、第三透镜E3和光阑STO。
第一透镜E1具有正光焦度，其近像源侧面S1为凸面，近成像侧面S2为凸面；第二透镜E2具有负光焦度，其近像源侧面S3为凹面，近成像侧面S4为凹面；第三透镜E3具有正光焦度，其近像源侧面S5为凹面，近成像侧面S6为凸面。来自像源面OBJ的光依序穿过各表面S1至S6，再经过例如光学衍射元件DOE(未示出)后，投射至空间中的目标物体上。
本实施例的投影镜头的实际应用波长λ基于使用光源的波长范围浮动，其实际应用波长λ的最短波长比使用光源的最短波长短约0nm-100nm，实际应用波长λ的最长波长比使用光源的最长波长长约0nm-100nm。本实施例的投影镜头的使用光源可为任意单色光源波段，例如，红外单波长波段。
表4示出了实施例2的投影镜头的各透镜的表面类型、曲率半径、厚度、材料及圆锥系数，其中，曲率半径和厚度的单位均为毫米(mm)。
表4
由表4可知，在实施例2中，第一透镜E1至第三透镜E3中任意一个透镜的近像源侧面和近成像侧面均为非球面。表5示出了可用于实施例2中各非球面镜面的高次项系数，其中，各非球面面型可由上述实施例1中给出的公式(1)限定。
面号 A4 A6 A8 A10 A12 A14 A16
S1 4.9858E-01 -2.9917E+00 1.6295E+01 -4.8718E+01 7.3856E+01 -5.3254E+01 1.4479E+01
S2 2.7309E-01 -6.0898E+00 6.5975E+01 -4.4049E+02 1.5712E+03 -2.8271E+03 2.0424E+03
S3 -1.7925E-01 -1.5357E+01 3.3439E+02 -4.7448E+03 3.6273E+04 -1.3831E+05 2.1088E+05
S4 9.5422E-01 5.5391E+00 -1.6355E+02 2.6519E+03 -2.4603E+04 1.2868E+05 -2.8207E+05
S5 -9.1875E-02 3.9229E-01 -7.5500E+00 5.5949E+01 -2.2210E+02 4.4207E+02 -3.5149E+02
S6 -3.5125E-02 2.1562E-03 -2.2127E-01 7.1048E-01 -1.3457E+00 1.2428E+00 -4.8025E-01
表5
表6给出实施例2中投影镜头的总有效焦距f、各透镜的有效焦距f1至f3、投影镜头的最大半视场角HFOV以及投影镜头的物方数值孔径NA。
参数 f(mm) f1(mm) f2(mm) f3(mm) HFOV(°) NA
数值 4.50 1.33 -0.74 2.32 7.0 0.18
表6
图4A示出了实施例2的投影镜头的畸变曲线，其表示不同视角情况下的畸变大小值。图4B示出了实施例2的投影镜头的相对照度曲线，其表示成像面上不同像高所对应的相对照度。根据图4A和图4B可知，实施例2所给出的投影镜头能够实现良好的成像品质。
实施例3
以下参照图5至图6B描述了根据本申请实施例3的投影镜头。图5示出了根据本申请实施例3的投影镜头的结构示意图。
如图5所示，根据本申请示例性实施方式的投影镜头沿光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜E1、第二透镜E2、第三透镜E3和光阑STO。
第一透镜E1具有正光焦度，其近像源侧面S1为凸面，近成像侧面S2为凸面；第二透镜E2具有负光焦度，其近像源侧面S3为凹面，近成像侧面S4为凹面；第三透镜E3具有正光焦度，其近像源侧面S5为凹面，近成像侧面S6为凸面。来自像源面OBJ的光依序穿过各表面S1至S6，再经过例如光学衍射元件DOE(未示出)后，投射至空间中的目标物体上。
本实施例的投影镜头的实际应用波长λ基于使用光源的波长范围浮动，其实际应用波长λ的最短波长比使用光源的最短波长短约0nm-100nm，实际应用波长λ的最长波长比使用光源的最长波长长约0nm-100nm。本实施例的投影镜头的使用光源可为任意单色光源波段，例如，红外单波长波段。
表7示出了实施例3的投影镜头的各透镜的表面类型、曲率半径、厚度、材料及圆锥系数，其中，曲率半径和厚度的单位均为毫米(mm)。
表7
由表7可知，在实施例3中，第一透镜E1至第三透镜E3中任意一个透镜的近像源侧面和近成像侧面均为非球面。表8示出了可用于实施例3中各非球面镜面的高次项系数，其中，各非球面面型可由上述实施例1中给出的公式(1)限定。
面号 A4 A6 A8 A10 A12 A14 A16
S1 4.3734E-01 -1.7212E+00 9.6981E+00 -3.3003E+01 5.9778E+01 -5.1630E+01 1.5061E+01
S2 4.7602E-01 -1.9450E+00 2.1787E+01 -1.4074E+02 4.5495E+02 -7.4730E+02 5.0504E+02
S3 1.1546E+00 -7.6304E+00 4.3724E+01 -4.6064E+02 3.0014E+03 -1.0016E+04 1.3697E+04
S4 1.8920E+00 3.5190E-01 -5.9719E+01 5.1582E+02 -2.0309E+03 3.8356E+03 -2.8007E+03
S5 -3.5628E-02 2.5174E-01 -3.5535E+00 2.0147E+01 -6.1586E+01 9.4448E+01 -5.8285E+01
S6 -2.8717E-02 -7.5826E-03 -4.5109E-02 8.7442E-02 -1.2221E-01 8.2861E-02 -2.6448E-02
表8
表9给出实施例3中投影镜头的总有效焦距f、各透镜的有效焦距f1至f3、投影镜头的最大半视场角HFOV以及投影镜头的物方数值孔径NA。
参数 f(mm) f1(mm) f2(mm) f3(mm) HFOV(°) NA
数值 4.50 1.42 -0.89 2.61 7.0 0.22
表9
图6A示出了实施例3的投影镜头的畸变曲线，其表示不同视角情况下的畸变大小值。图6B示出了实施例3的投影镜头的相对照度曲线，其表示成像面上不同像高所对应的相对照度。根据图6A和图6B可知，实施例3所给出的投影镜头能够实现良好的成像品质。
实施例4
以下参照图7至图8B描述了根据本申请实施例4的投影镜头。图7示出了根据本申请实施例4的投影镜头的结构示意图。
如图7所示，根据本申请示例性实施方式的投影镜头沿光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜E1、第二透镜E2、第三透镜E3和光阑STO。
第一透镜E1具有正光焦度，其近像源侧面S1为凸面，近成像侧面S2为凹面，且第一透镜E1的近像源侧面S1和近成像侧面S2均为非球面。
第二透镜E2具有负光焦度，其近像源侧面S3为凹面，近成像侧面S4为凸面，且第二透镜E2的近像源侧面S3和近成像侧面S4均为非球面。
第三透镜E3具有正光焦度，其近像源侧面S5为凹面，近成像侧面S6为凸面，且第三透镜E3的近像源侧面S5和近成像侧面S6均为球面。
来自像源面OBJ的光依序穿过各表面S1至S6，再经过例如光学衍射元件DOE(未示出)后，投射至空间中的目标物体上。
本实施例的投影镜头的实际应用波长λ基于使用光源的波长范围浮动，其实际应用波长λ的最短波长比使用光源的最短波长短约0nm-100nm，实际应用波长λ的最长波长比使用光源的最长波长长约0nm-100nm。本实施例的投影镜头的使用光源可为任意单色光源波段，例如，红外单波长波段。
表10示出了实施例4的投影镜头的各透镜的表面类型、曲率半径、厚度、材料及圆锥系数，其中，曲率半径和厚度的单位均为毫米(mm)。表11示出了可用于实施例4中各非球面镜面的高次项系数，其中，各非球面面型可由上述实施例1中给出的公式(1)限定。表12给出实施例4中投影镜头的总有效焦距f、各透镜的有效焦距f1至f3、投影镜头的最大半视场角HFOV以及投影镜头的物方数值孔径NA。
表10
面号 A4 A6 A8 A10 A12 A14 A16
S1 1.6697E-01 4.0416E-02 -6.2570E+00 4.9114E+01 -1.7095E+02 2.9038E+02 -1.9834E+02
S2 6.3221E-01 1.6250E+01 -3.5764E+02 5.5147E+03 -4.5326E+04 1.9875E+05 -3.4862E+05
S3 -1.6539E+00 2.0888E+01 -6.9103E+01 1.1608E+02 -1.0780E+02 5.1813E+01 -9.9543E+00
S4 -1.6070E+00 2.0394E+01 -1.2388E+02 7.2683E+02 -2.8759E+03 6.3796E+03 -5.9302E+03
表11
参数 f(mm) f1(mm) f2(mm) f3(mm) HFOV(°) NA
数值 4.00 2.65 -4.04 2.88 7.9 0.18
表12
图8A示出了实施例4的投影镜头的畸变曲线，其表示不同视角情况下的畸变大小值。图8B示出了实施例4的投影镜头的相对照度曲线，其表示成像面上不同像高所对应的相对照度。根据图8A和图8B可知，实施例4所给出的投影镜头能够实现良好的成像品质。
实施例5
以下参照图9至图10B描述了根据本申请实施例5的投影镜头。图9示出了根据本申请实施例5的投影镜头的结构示意图。
如图9所示，根据本申请示例性实施方式的投影镜头沿光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜E1、第二透镜E2、第三透镜E3和光阑STO。
第一透镜E1具有正光焦度，其近像源侧面S1为凸面，近成像侧面S2为凹面，且第一透镜E1的近像源侧面S1和近成像侧面S2均为非球面。
第二透镜E2具有负光焦度，其近像源侧面S3为凸面，近成像侧面S4为凹面，且第二透镜E2的近像源侧面S3和近成像侧面S4均为非球面。
第三透镜E3具有正光焦度，其近像源侧面S5为凹面，近成像侧面S6为凸面，且第三透镜E3的近像源侧面S5为球面，近成像侧面S6为非球面。
来自像源面OBJ的光依序穿过各表面S1至S6，再经过例如光学衍射元件DOE(未示出)后，投射至空间中的目标物体上。
本实施例的投影镜头的实际应用波长λ基于使用光源的波长范围浮动，其实际应用波长λ的最短波长比使用光源的最短波长短约0nm-100nm，实际应用波长λ的最长波长比使用光源的最长波长长约0nm-100nm。本实施例的投影镜头的使用光源可为任意单色光源波段，例如，红外单波长波段。
表13示出了实施例5的投影镜头的各透镜的表面类型、曲率半径、厚度、材料及圆锥系数，其中，曲率半径和厚度的单位均为毫米(mm)。表14示出了可用于实施例5中各非球面镜面的高次项系数，其中，各非球面面型可由上述实施例1中给出的公式(1)限定。表15给出实施例5中投影镜头的总有效焦距f、各透镜的有效焦距f1至f3、投影镜头的最大半视场角HFOV以及投影镜头的物方数值孔径NA。
表13
面号 A4 A6 A8 A10 A12 A14 A16
S1 2.5726E-01 1.6780E+00 -1.6926E+01 8.2251E+01 -2.3388E+02 3.5822E+02 -2.2847E+02
S2 1.1223E+00 5.7240E+00 -9.8574E+01 1.5648E+03 -1.2401E+04 4.8386E+04 -7.1410E+04
S3 9.2603E-01 -8.3332E-01 -1.6711E+01 4.3270E+01 -3.5833E+01 1.5093E+00 6.8988E+00
S4 1.5415E+00 -2.1816E+00 -9.3646E+00 1.4328E+02 -1.7790E+03 9.6385E+03 -1.7981E+04
S6 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00
表14
参数 f(mm) f1(mm) f2(mm) f3(mm) HFOV(°) NA
数值 4.15 2.53 -1.65 2.20 7.6 0.18
表15
图10A示出了实施例5的投影镜头的畸变曲线，其表示不同视角情况下的畸变大小值。图10B示出了实施例5的投影镜头的相对照度曲线，其表示成像面上不同像高所对应的相对照度。根据图10A和图10B可知，实施例5所给出的投影镜头能够实现良好的成像品质。
实施例6
以下参照图11至图12B描述了根据本申请实施例6的投影镜头。图11示出了根据本申请实施例6的投影镜头的结构示意图。
如图11所示，根据本申请示例性实施方式的投影镜头沿光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜E1、第二透镜E2、第三透镜E3和光阑STO。
第一透镜E1具有正光焦度，其近像源侧面S1为凸面，近成像侧面S2为凹面；第二透镜E2具有负光焦度，其近像源侧面S3为凹面，近成像侧面S4为凹面；第三透镜E3具有正光焦度，其近像源侧面S5为凹面，近成像侧面S6为凸面。来自像源面OBJ的光依序穿过各表面S1至S6，再经过例如光学衍射元件DOE(未示出)后，投射至空间中的目标物体上。
本实施例的投影镜头的实际应用波长λ基于使用光源的波长范围浮动，其实际应用波长λ的最短波长比使用光源的最短波长短约0nm-100nm，实际应用波长λ的最长波长比使用光源的最长波长长约0nm-100nm。本实施例的投影镜头的使用光源可为任意单色光源波段，例如，红外单波长波段。
表16示出了实施例6的投影镜头的各透镜的表面类型、曲率半径、厚度、材料及圆锥系数，其中，曲率半径和厚度的单位均为毫米(mm)。
表16
由表16可知，在实施例6中，第一透镜E1至第三透镜E3中任意一个透镜的近像源侧面和近成像侧面均为非球面。表17示出了可用于实施例6中各非球面镜面的高次项系数，其中，各非球面面型可由上述实施例1中给出的公式(1)限定。
面号 A4 A6 A8 A10 A12 A14 A16
S1 3.5585E-01 1.0821E-01 -7.5441E+00 5.5646E+01 -1.8605E+02 3.0848E+02 -1.9954E+02
S2 2.8387E-01 1.1861E+00 -2.1432E+01 2.1541E+02 -1.0895E+03 2.7854E+03 -2.7894E+03
S3 -3.0789E+00 2.8204E+01 -3.4321E+02 3.1519E+03 -1.9606E+04 7.0687E+04 -1.0974E+05
S4 3.5630E-01 2.5123E+00 -5.0125E+01 7.0174E+02 -5.1555E+03 1.9191E+04 -2.7220E+04
S5 -6.6418E-02 -9.3981E-02 -9.9774E-01 9.5321E+00 -4.5191E+01 9.7618E+01 -8.5088E+01
S6 -3.9457E-02 6.1801E-02 -8.5732E-01 3.4260E+00 -7.8876E+00 9.1688E+00 -4.4784E+00
表17
表18给出实施例6中投影镜头的总有效焦距f、各透镜的有效焦距f1至f3、投影镜头的最大半视场角HFOV以及投影镜头的物方数值孔径NA。
参数 f(mm) f1(mm) f2(mm) f3(mm) HFOV(°) NA
数值 4.49 1.87 -0.92 2.04 7.0 0.18
表18
图12A示出了实施例6的投影镜头的畸变曲线，其表示不同视角情况下的畸变大小值。图12B示出了实施例6的投影镜头的相对照度曲线，其表示成像面上不同像高所对应的相对照度。根据图12A和图12B可知，实施例6所给出的投影镜头能够实现良好的成像品质。
实施例7
以下参照图13至图14描述了根据本申请实施例7的投影镜头。图13示出了根据本申请实施例7的投影镜头的结构示意图。
如图13所示，根据本申请示例性实施方式的投影镜头沿光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜E1、第二透镜E2、第三透镜E3和光阑STO。
第一透镜E1具有正光焦度，其近像源侧面S1为凸面，近成像侧面S2为凹面；第二透镜E2具有负光焦度，其近像源侧面S3为凹面，近成像侧面S4为凹面；第三透镜E3具有正光焦度，其近像源侧面S5为凹面，近成像侧面S6为凸面。来自像源面OBJ的光依序穿过各表面S1至S6，再经过例如光学衍射元件DOE(未示出)后，投射至空间中的目标物体上。
本实施例的投影镜头的实际应用波长λ基于使用光源的波长范围浮动，其实际应用波长λ的最短波长比使用光源的最短波长短约0nm-100nm，实际应用波长λ的最长波长比使用光源的最长波长长约0nm-100nm。本实施例的投影镜头的使用光源可为任意单色光源波段，例如，红外单波长波段。
表19示出了实施例7的投影镜头的各透镜的表面类型、曲率半径、厚度、材料及圆锥系数，其中，曲率半径和厚度的单位均为毫米(mm)。
表19
由表19可知，在实施例7中，第一透镜E1至第三透镜E3中任意一个透镜的近像源侧面和近成像侧面均为非球面。表20示出了可用于实施例7中各非球面镜面的高次项系数，其中，各非球面面型可由上述实施例1中给出的公式(1)限定。
面号 A4 A6 A8 A10 A12 A14 A16
S1 3.6665E-01 7.1876E-02 -1.1553E+01 9.0243E+01 -3.0889E+02 5.1604E+02 -3.3432E+02
S2 2.1730E-01 4.7081E+00 -7.7795E+01 7.2980E+02 -3.6290E+03 9.2695E+03 -9.3856E+03
S3 -8.7775E-14 9.7406E-12 -3.9537E-10 7.7880E-09 -8.0104E-08 4.1377E-07 -8.4744E-07
S4 4.5656E-01 1.0651E+00 -1.7196E+01 2.8099E+02 -2.1539E+03 7.7756E+03 -1.0323E+04
S5 -3.7216E-02 -2.1248E-01 1.4819E+00 -5.7165E+00 1.1906E+01 -1.2614E+01 5.3694E+00
S6 -3.3606E-02 -2.3352E-02 -1.3803E-01 5.2300E-01 -1.2156E+00 1.2708E+00 -5.5931E-01
表20
表21给出实施例7中投影镜头的总有效焦距f、各透镜的有效焦距f1至f3、投影镜头的最大半视场角HFOV以及投影镜头的物方数值孔径NA。
参数 f(mm) f1(mm) f2(mm) f3(mm) HFOV(°) NA
数值 5.00 1.92 -0.72 1.83 6.3 0.18
表21
图14A示出了实施例7的投影镜头的畸变曲线，其表示不同视角情况下的畸变大小值。图14B示出了实施例7的投影镜头的相对照度曲线，其表示成像面上不同像高所对应的相对照度。根据图14A和图14B可知，实施例7所给出的投影镜头能够实现良好的成像品质。
实施例8
以下参照图15至图16B描述了根据本申请实施例8的投影镜头。图15示出了根据本申请实施例8的投影镜头的结构示意图。
如图13所示，根据本申请示例性实施方式的投影镜头沿光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜E1、第二透镜E2、第三透镜E3、滤光片E4和光阑STO。
第一透镜E1具有正光焦度，其近像源侧面S1为凸面，近成像侧面S2为凹面；第二透镜E2具有负光焦度，其近像源侧面S3为凹面，近成像侧面S4为凹面；第三透镜E3具有正光焦度，其近像源侧面S5为凹面，近成像侧面S6为凸面。滤光片E4具有近像源侧面S7和近成像侧面S8。来自像源面OBJ的光依序穿过各表面S1至S8，再经过例如光学衍射元件DOE(未示出)后，投射至空间中的目标物体上。
本实施例的投影镜头的实际应用波长λ基于使用光源的波长范围浮动，其实际应用波长λ的最短波长比使用光源的最短波长短约0nm-100nm，实际应用波长λ的最长波长比使用光源的最长波长长约0nm-100nm。本实施例的投影镜头的使用光源可为任意单色光源波段，例如，红外单波长波段。
表22示出了实施例8的投影镜头的各透镜的表面类型、曲率半径、厚度、材料及圆锥系数，其中，曲率半径和厚度的单位均为毫米(mm)。
表22
由表22可知，在实施例8中，第一透镜E1至第三透镜E3中任意一个透镜的近像源侧面和近成像侧面均为非球面。表23示出了可用于实施例8中各非球面镜面的高次项系数，其中，各非球面面型可由上述实施例1中给出的公式(1)限定。
面号 A4 A6 A8 A10 A12 A14 A16
S1 2.5883E-01 -2.1675E-02 3.9916E-01 -1.9197E+00 5.6283E+00 -8.0736E+00 4.3096E+00
S2 9.1714E-02 1.1579E-01 -1.9862E+00 1.0414E+01 -2.9915E+01 4.0887E+01 -2.0835E+01
S3 1.2031E+00 -1.0351E+01 1.5775E+00 4.8766E+02 -5.0090E+03 2.0579E+04 -2.9581E+04
S4 3.0952E+00 2.0312E+01 -8.3680E+02 1.5805E+04 -1.6019E+05 8.1085E+05 -1.6767E+06
S5 3.9529E-02 -3.0904E+00 4.7452E+01 -3.4083E+02 1.6997E+03 -5.2324E+03 6.2586E+03
S6 -2.0484E-01 -1.1995E+00 3.1234E+00 -9.6785E+00 1.0359E+02 -4.0067E+02 4.4798E+02
表23
表24给出实施例8中投影镜头的总有效焦距f、各透镜的有效焦距f1至f3、投影镜头的最大半视场角HFOV以及投影镜头的物方数值孔径NA。
参数 f(mm) f1(mm) f2(mm) f3(mm) HFOV(°) NA
数值 3.70 1.56 -0.76 1.56 7.1 0.18
表24
图16A示出了实施例8的投影镜头的畸变曲线，其表示不同视角情况下的畸变大小值。图16B示出了实施例8的投影镜头的相对照度曲线，其表示成像面上不同像高所对应的相对照度。根据图16A和图16B可知，实施例8所给出的投影镜头能够实现良好的成像品质。
综上，实施例1至实施例8分别满足表25中所示的关系。
条件式\实施例 1 2 3 4 5 6 7 8
R6/f -0.22 -0.24 -0.27 -0.25 -0.26 -0.22 -0.19 -0.25
NA 0.18 0.18 0.22 0.18 0.18 0.18 0.18 0.18
f3/f 0.57 0.52 0.58 0.72 0.53 0.45 0.37 0.42
ImgH/f 0.12 0.12 0.12 0.14 0.13 0.12 0.11 0.12
tan(CRAmax)+tan(HFOV) 0.12 0.12 0.12 0.14 0.13 0.12 0.11 0.13
(T12+T23)/Td 0.43 0.41 0.38 0.49 0.50 0.48 0.49 0.43
|(R5-R6)/(R5+R6)| 0.11 0.24 0.17 0.17 0.35 0.48 0.60 0.89
CT1/∑CT 0.34 0.36 0.31 0.51 0.49 0.36 0.37 0.41
SAG31/SAG32 0.35 0.32 0.29 0.45 0.33 0.23 0.17 0.06
DT11/DT21 1.62 1.59 1.46 1.55 1.60 1.75 1.87 1.94
(f1+f3)/f 0.92 0.81 0.89 1.38 1.14 0.87 0.75 0.84
|SAG11/DT11|/|SAG32/DT32| 0.90 1.03 0.79 1.45 1.41 0.87 0.84 0.92
SAG11/SAG32 -0.71 -0.85 -0.53 -1.38 -1.29 -0.71 -0.64 -0.80
R1/R6 -1.00 -0.82 -0.91 -0.81 -0.91 -1.06 -1.04 -0.87
表25
以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (17)

1.投影镜头，沿着光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜、第二透镜和第三透镜，其特征在于，
所述第一透镜具有正光焦度，其近像源侧面为凸面；
所述第二透镜具有正光焦度或负光焦度；
所述第三透镜具有正光焦度，其为近成像侧面为凸面的弯月形透镜；
所述投影镜头的像源高度ImgH与所述投影镜头的总有效焦距f满足ImgH/f＜0.2。
2.根据权利要求1所述的投影镜头，其特征在于，所述第三透镜的近成像侧面的曲率半径R6与所述投影镜头的总有效焦距f满足R6/f＞-1。
3.根据权利要求2所述的投影镜头，其特征在于，所述第一透镜的近像源侧面的曲率半径R1与所述第三透镜的近成像侧面的曲率半径R6满足-1.2＜R1/R6＜-0.8。
4.根据权利要求1所述的投影镜头，其特征在于，所述第三透镜的有效焦距f3与所述投影镜头的总有效焦距f满足0＜f3/f＜1。
5.根据权利要求1所述的投影镜头，其特征在于，所述第一透镜和所述第二透镜在所述光轴上的间隔距离T12、所述第二透镜和所述第三透镜在所述光轴上的间隔距离T23以及所述第一透镜的近像源侧面至所述第三透镜的近成像侧面在所述光轴上的间隔距离Td满足0.3＜(T12+T23)/Td＜0.7。
6.根据权利要求1所述的投影镜头，其特征在于，所述第三透镜的近像源侧面的曲率半径R5与所述第三透镜的近成像侧面的曲率半径R6满足0＜|(R5-R6)/(R5+R6)|＜1。
7.根据权利要求1所述的投影镜头，其特征在于，所述第一透镜于所述光轴上的中心厚度CT1与所述第一透镜、所述第二透镜和所述第三透镜分别于所述光轴上的中心厚度之和∑CT满足0.25＜CT1/∑CT＜0.6。
8.根据权利要求1所述的投影镜头，其特征在于，所述第一透镜的近像源侧面和所述光轴的交点至所述第一透镜的近像源侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离SAG11与所述第三透镜的近成像侧面和所述光轴的交点至所述第三透镜近成像侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离SAG32满足-1.5＜SAG11/SAG32＜-0.5。
9.根据权利要求1所述的投影镜头，其特征在于，所述第三透镜的近像源侧面和所述光轴的交点至所述第三透镜的近像源侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离SAG31与所述第三透镜的近成像侧面和所述光轴的交点至所述第三透镜近成像侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离SAG32满足SAG31/SAG32＜0.5。
10.根据权利要求1所述的投影镜头，其特征在于，所述第一透镜的近像源侧面的最大有效半口径DT11与所述第二透镜的近像源侧面的最大有效半口径DT21满足1.2＜DT11/DT21＜2。
11.根据权利要求1所述的投影镜头，其特征在于，所述第一透镜的有效焦距f1、所述第三透镜的有效焦距f3与所述投影镜头的总有效焦距f满足0.5＜(f1+f3)/f＜1.5。
12.根据权利要求1所述的投影镜头，其特征在于，满足0.5＜|SAG11/DT11|/|SAG32/DT32|＜1.5，
SAG11为所述第一透镜的近像源侧面和所述光轴的交点至所述第一透镜近像源侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离，
DT11为所述第一透镜的近像源侧面的最大有效半口径，
SAG32为所述第三透镜的近成像侧面和所述光轴的交点至所述第三透镜近成像侧面的最大有效半口径顶点的轴上距离，以及
DT32为所述第三透镜的近成像侧面的最大有效半口径。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的投影镜头，其特征在于，所述投影镜头的物方数值孔径NA满足0.18≤NA＜0.3。
14.根据权利要求1至12中任一项所述的投影镜头，其特征在于，所述投影镜头的主光线的最大入射角度CRAmax与所述投影镜头的最大半视场角HFOV满足tan(CRAmax)+tan(HFOV)＜0.3。
15.根据权利要求1至12中任一项所述的投影镜头，其特征在于，所述投射镜头的实际应用波长λ的最短波长比使用光源的最短波长短0nm-100nm，所述投射镜头的实际应用波长λ的最长波长比使用光源的最长波长长0nm-100nm。
16.根据权利要求1至12中任一项所述的投影镜头，其特征在于，所述第二透镜的折射率N2与所述第三透镜的折射率N3满足N2≤N3。
17.投影镜头，沿着光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜、第二透镜和第三透镜，其特征在于，
所述第一透镜具有正光焦度，其近像源侧面为凸面；
所述第二透镜具有负光焦度；
所述第三透镜具有正光焦度，为近成像侧面为凸面的弯月形透镜；
所述第一透镜的近像源侧面的曲率半径R1与所述第三透镜的近成像侧面的曲率半径R6满足-1.2＜R1/R6＜-0.8。
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