CN107246909A - 石墨烯声传感器阵列 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种石墨烯声传感器阵列,包括上极板、下极板和绝缘层,上极板包括支撑板和支撑板上沉积的石墨烯薄膜层,支撑板上均匀布设通孔阵列;下极板和上极板尺寸一致,下极板包括上支撑板、布线板和下支撑板,上支撑板上表面布设与通孔阵列对应的金属触点阵列,下支撑板下表面布设与金属触点阵列对应的放大电路单元阵列,布线板上所设布线用来将金属触点和放大电路单元一一对应连接;绝缘层位于上极板和下极板间,且与上极板和下极板均接触。本发明将多个石墨烯声传感器集成成声传感器阵列,协同工作更容易捕捉纯净的声音信号,声传感器阵列可进行声源定位,石墨烯的加入可捕捉超越人耳听力上限的超声波。
Description
技术领域
本发明涉及一种石墨烯声传感器阵列,可应用于工业无损检测。
背景技术
麦克风是一种将声音信号转换为电信号的换能器。通过它可以采集自然界中的声音信号并将其转化为数字信号,以便于后续的滤波、放大等处理。目前广泛使用在消费电子产品领域中的为电容式驻极体麦克风,其基于电容原理,将上下极板间距的改变转换为电压值的变化。声波的振动会引起上极板(振动膜)的振动,从而导致振动膜偏离原平衡位置。由于下极板是固定的,所以声波的振动会引起上下极板间的距离发生变化,导致电容值改变。驻极体麦克风采用了可保持永久电荷的驻极体薄膜作为上极板,因此不需要对电容器供电。但是由于放大电路的存在,驻极体麦克风仍需要低压进行供电。
驻极体麦克风因其低廉的价格被广泛使用,但是其本身性能存在缺陷。在复杂声学环境下,噪声总是来自四面八方,并且噪声信号与语音信号在频谱上往往是相互交叠的,再加上回波和混响的影响,利用单个驻极体麦克风捕捉相对纯净的声音信号是极其困难的。单个麦克风为了全面获取声源的信息,只能采取多次扫描的方式,但是受限于麦克风数量,这个过程往往需要很长的时间。另外,由于驻极体薄膜的限制,驻极体麦克风的频率响应带宽也是有限的,无法对超越人耳听力极限的超声波信号进行处理。
发明内容
本发明的目的是提供一种石墨烯声传感器阵列。
为达到上述目的,本发明采用如下技术方案:
石墨烯声传感器阵列,包括上极板、下极板和绝缘层,其中:
上极板包括支撑板和支撑板上沉积的石墨烯薄膜层,支撑板上均匀布设通孔阵列;
下极板和上极板尺寸一致,下极板包括上支撑板、布线板和下支撑板,上支撑板上表面布设与通孔阵列对应的金属触点阵列,下支撑板下表面布设与金属触点阵列对应的放大电路单元阵列,布线板上所设布线用来将金属触点和放大电路单元一一对应连接;
绝缘层上也布设有通孔阵列,该通孔阵列与支撑板上通孔阵列相对应;绝缘层位于上极板和下极板间,且与上极板和下极板均接触。
进一步的,支撑板为PCB板。
进一步的,上极板支撑板一角设有与石墨烯薄膜层连接的稳压电路。
进一步的,支撑板、布线板和下支撑板均为PCB板。
本发明将多个石墨烯声传感器集成成声传感器阵列,协同工作可以更容易捕捉纯净的声音信号,类似人类的双耳效应。声传感器阵列可进行声源定位,石墨烯的加入可提高声传感器阵列频率响应的带宽,使其可以捕捉超越人耳听力上限(20K Hz)的超声波。
和现有技术相比,本发明具有如下技术效果:
(1)人耳能听到的声音频率范围内,追踪声音的效果优于普通电容式驻极体麦克风。
(2)人耳能听到的声音频率范围外,得益于石墨烯薄膜优异的区域质量密度与力学性能,此声传感器阵列能追踪超声波。
(3)通过相关算法,可利用声传感器阵列进行声源定位、声音成像及工业无损检测。
附图说明
图1为本发明整体结构及应用示意图;
图2为本发明具体的分层结构图;
图3为上极板的平面示意图;
图4为上极板的立体示意图;
图5为下极板上表面的平面示意图;
图6为下级板下表面的平面示意图;
图7为放大电路单元的电路原理图。
图中,1-上极板,101-镀金支撑板,1011-基板,1012-镀金层,102-通孔,103-石墨烯薄膜层,2-下极板,201-金属触点,202-放大电路单元,3-绝缘层。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
见图1~2,本发明石墨烯声传感器阵列包括上极板1、下极板2和绝缘层3,绝缘层3位于上极板1和下极板2之间,且与上极板1和下极板2均接触。见图3~4,上极板1包括镀金支撑板101和镀金支撑板101镀金面上转移沉积生长的石墨烯薄膜层103。本具体实施中,镀金支撑板101为厚度2mm、边长120mm的镀金PCB板,其上均匀布设有16×16的通孔阵列,各通孔102孔径为5mm,相邻通孔102的孔心间距为7mm。采用“转移”的方法使镍基石墨烯“生长”在PCB板镀金面上,生长成为石墨烯薄膜层103。上极板1一角设有与石墨烯薄膜层103连接的供电电路,供电电路连接外部电源,可使石墨烯薄膜层103上电压恒定。
下极板2和上极板1尺寸一致,下极板2包括上支撑板、布线板和下支撑板,本具体实施中,上支撑板、布线板和下支撑板均为PCB板,其中,布线板采用两层PCB板。上支撑板上表面布设16×16的金属触点阵列,见图5,金属触点阵列与通孔阵列匹配,即金属触点阵列中金属触点201的尺寸和位置与通孔阵列中通孔102匹配。当上极板1和下极板2合并时,上极板1上石墨烯薄膜层103与下极板2上金属触点阵列构成16×16的电容阵列。下支撑板下表面布设与金属触点阵列对应的放大电路单元阵列,见图6,通过布线板上布线将金属触点201与放大电路单元202连接一一对应连接。
绝缘层3位于上极板1和下极板2间,且与上极板1和下极板2均接触,绝缘层3上开设有通孔阵列,绝缘层3上通孔阵列与上极板1上通孔阵列相适应,即绝缘层3和上极板1上通孔阵列的位置和尺寸相适应。
图7是放大电路单元的电路原理图,图中,C1表示电容阵列中的一个电容,直流电源BT1表示施加于石墨烯薄膜层103上的外置电源。当电容C1改变时,由于电压恒定,电容C1上电荷重新分布,进而产生电流。电阻R1将电流转换为电压,并通过MOS管Q1将电压放大并输出。
见图1,应用本发明时,放大电路单元的输出连接基于STM32的控制器,当外部声源引起石墨烯薄膜层103的振动,石墨烯薄膜层103上各点的位移不同,导致电容阵列各电容值的变化不同。将不同点处的电容值变化情况传送到基于STM32的控制器,控制器用来对石墨烯声传感器阵列输出的电信号进行处理,包括选择信号、过滤背景噪音、放大信号等,从而还原出声源;再经信号采集单元采集信号,并将采集信号显示于显示单元。
Claims (4)
1.石墨烯声传感器阵列,其特征是:
包括上极板、下极板和绝缘层,其中:
上极板包括支撑板和支撑板上沉积的石墨烯薄膜层,支撑板上均匀布设通孔阵列;
下极板和上极板尺寸一致,下极板包括上支撑板、布线板和下支撑板,上支撑板上表面布设与通孔阵列对应的金属触点阵列,下支撑板下表面布设与金属触点阵列对应的放大电路单元阵列,布线板上所设布线用来将金属触点和放大电路单元一一对应连接;
绝缘层上也布设有通孔阵列,该通孔阵列与支撑板上通孔阵列相对应;绝缘层位于上极板和下极板间,且与上极板和下极板均接触。
2.如权利要求1所述的石墨烯声传感器阵列,其特征是:
所述的支撑板为PCB板。
3.如权利要求1所述的石墨烯声传感器阵列,其特征是:
所述的支撑板一角设有与石墨烯薄膜层连接的稳压电路。
4.如权利要求1所述的石墨烯声传感器阵列,其特征是:
所述的上支撑板、布线板和下支撑板均为PCB板。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110460941A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-11-15 | 武汉理工大学 | 收发一体式石墨烯声传感器 |
CN110715722A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-01-21 | 云南师范大学 | 基于掺硼硅量子点光电特性的声波探测器及系统 |
EP3834433A4 (en) * | 2018-08-08 | 2022-03-30 | Graphaudio Inc. | MASS PRODUCTION OF MICROELECTROSTATIC TRANSDUCERS |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100758515B1 (ko) * | 2006-02-21 | 2007-09-13 | 주식회사 비에스이 | 일렉트릿 콘덴서 마이크로폰 및 조립방법 |
CN201657310U (zh) * | 2010-03-08 | 2010-11-24 | 瑞声微电子科技(常州)有限公司 | Mems麦克风 |
CN102448002A (zh) * | 2010-09-30 | 2012-05-09 | 雅马哈株式会社 | 电容式传声器阵列芯片 |
CN105025423A (zh) * | 2015-06-04 | 2015-11-04 | 中国科学院半导体研究所 | 一种驻极体电容式超声传感器及其制作方法 |
CN105578368A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-05-11 | 中国科学院半导体研究所 | 驻极体电容式超声传感器及其制备方法 |
WO2016148860A1 (en) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | The Regents Of The University Of California | Ultrasonic microphone and ultrasonic acoustic radio |
US20160345083A1 (en) * | 2015-05-20 | 2016-11-24 | Clean Energy Labs, Llc | Compact electroacoustic transducer and loudspeaker system and method of use thereof |
-
2017
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100758515B1 (ko) * | 2006-02-21 | 2007-09-13 | 주식회사 비에스이 | 일렉트릿 콘덴서 마이크로폰 및 조립방법 |
CN201657310U (zh) * | 2010-03-08 | 2010-11-24 | 瑞声微电子科技(常州)有限公司 | Mems麦克风 |
CN102448002A (zh) * | 2010-09-30 | 2012-05-09 | 雅马哈株式会社 | 电容式传声器阵列芯片 |
WO2016148860A1 (en) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | The Regents Of The University Of California | Ultrasonic microphone and ultrasonic acoustic radio |
US20160345083A1 (en) * | 2015-05-20 | 2016-11-24 | Clean Energy Labs, Llc | Compact electroacoustic transducer and loudspeaker system and method of use thereof |
CN105025423A (zh) * | 2015-06-04 | 2015-11-04 | 中国科学院半导体研究所 | 一种驻极体电容式超声传感器及其制作方法 |
CN105578368A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-05-11 | 中国科学院半导体研究所 | 驻极体电容式超声传感器及其制备方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
IRA O.WYGANT: "Integration of 2D CMUT Arrays with Front-End Electronics for Volumetric Ultrasound Imaging", 《IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS, FERROELECTRICS, AND FREQUENCY CONTROL》 * |
周勤: "Graphene electrostatic microphone and ultrasonic radio", 《美国科学院院报》 * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3834433A4 (en) * | 2018-08-08 | 2022-03-30 | Graphaudio Inc. | MASS PRODUCTION OF MICROELECTROSTATIC TRANSDUCERS |
US11425507B2 (en) | 2018-08-08 | 2022-08-23 | Graphaudio Inc. | High volume manufacturing of micro electrostatic transducers |
CN110460941A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-11-15 | 武汉理工大学 | 收发一体式石墨烯声传感器 |
CN110715722A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-01-21 | 云南师范大学 | 基于掺硼硅量子点光电特性的声波探测器及系统 |
CN110715722B (zh) * | 2019-10-23 | 2022-01-04 | 云南师范大学 | 基于掺硼硅量子点光电特性的声波探测器及系统 |
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