CN106959409A

CN106959409A - 电子部件搬运装置以及电子部件检查装置

Info

Publication number: CN106959409A
Application number: CN201610950019.1A
Authority: CN
Inventors: 桐原大辅; 实方崇仁
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2015-10-30
Filing date: 2016-10-26
Publication date: 2017-07-18
Also published as: TW201812330A; TWI615624B; TW201715247A

Abstract

本发明提供在检查电子部件的电特性的情况下，该电子部件即使例如为圆形部件也能够使电子部件准确地成为适于检查的姿势的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。电子部件搬运装置具有：作为把持部的器件搬运头(13)，其能够在把持作为电子部件的IC器件(90)的把持状态下至少调整IC器件(90)的姿势；检测部，其能够检测把持状态的IC器件(90)的姿势；以及载置部，其载置由检测部检测出姿势的IC器件(90)并进行移动。

Description

电子部件搬运装置以及电子部件检查装置

技术领域

本发明涉及电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。

背景技术

以往，已知有对半导体元件等电子部件的电特性进行检查(试验)的电子部件检查装置。由该电子部件检查装置检查的电子部件，其俯视下的外形形状为矩形(例如参照专利文献1)。另外，在载置电子部件的托盘、更换工具等载置部件设置有各收纳一个电子部件的凹部。并且，各凹部也形成为俯视呈矩形，以与电子部件的俯视下的外形形状对应。

专利文献1：日本特开2008-45996号公报

然而，在想要使用专利文献1所记载的电子部件检查装置来检测例如俯视下的外形形状为圆形的电子部件的情况下，即使将该电子部件收纳于载置部件的凹部，电子部件也因装置的振动等在凹部内旋转，姿势不稳定，结果导致不能检查。

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够作为以下方式来实现。

应用例1本应用例的电子部件搬运装置具有：把持部，其能够在把持电子部件的把持状态下至少调整上述电子部件的姿势；检测部，其能够检测上述把持状态的上述电子部件的姿势；以及载置部，其能够载置由上述检测部检测出上述姿势的上述电子部件并进行移动。

由此，例如在利用电子部件检查部进行针对电子部件的电特性的检查的情况下，该电子部件即使为圆形部件，也能够将电子部件准确地调整为适于检查的姿势，即电子部件的各端子部与电子部件检查部的各端子部电接触的姿势。

应用例2在本应用例的电子部件搬运装置中，优选上述把持部是使上述把持状态的上述电子部件旋转的部件，利用上述把持部旋转的旋转角度至少是180°。

由此，能够恰当且迅速地进行电子部件的姿势调整。

应用例3在本应用例的电子部件搬运装置中，优选上述把持部具有能够调整上述姿势的多个姿势调整部。

由此，能够针对多个电子部件进行姿势调整。

应用例4在本应用例的电子部件搬运装置中，优选上述多个姿势调整部能够分别调整上述姿势。

由此，能够分别独立地设定各电子部件的姿势的调整量。

应用例5在本应用例的电子部件搬运装置中，优选上述各姿势调整部能够分别独立地对上述电子部件的旋转进行控制。

由此，即使处于把持状态的各电子部件的姿势不同，也能够将该各电子部件的姿势矫正为所希望的姿势。

应用例6在本应用例的电子部件搬运装置中，优选具有使上述多个姿势调整部转动驱动的一个转动驱动部。

由此，和转动驱动部与各姿势调整部对应地分别各设置一个的情况相比，能够使作为电子部件搬运装置整体的构成简单化。

应用例7在本应用例的电子部件搬运装置中，优选上述电子部件在外形的一部分具有曲线形状。

由此，电子部件能够通过本应用例的电子部件搬运装置例如边维持适于电检查的姿势边进行搬运。

应用例8在本应用例的电子部件搬运装置中，优选上述曲线形状是圆弧形状。

应用例9在本应用例的电子部件搬运装置中，优选上述电子部件的外形是圆形。

应用例10本应用例的电子部件检查装置具有：把持部，其能够在把持电子部件的把持状态下至少调整姿势；检测部，其能够检测上述把持状态的上述电子部件的姿势；载置部，其能够载置由上述检测部检测出上述姿势的上述电子部件载置并进行移动；以及电子部件检查部，其检查上述电子部件。

应用例11本应用例的电子部件搬运装置具备能够在载置电子部件的状态下转动的转动工作台、以及能够检测载置于上述转动工作台的上述电子部件的姿势的姿势检测部。

应用例12在上述应用例11所述的电子部件搬运装置中，优选具有能够把持上述电子部件的把持部。

由此，能够将电子部件从规定位置稳定地搬运至其它的规定位置。

应用例13在上述应用例11或12所述的电子部件搬运装置中，优选在上述转动工作台的载置上述电子部件的部分具有光能够透过的透光部。

由此，例如能够使姿势检测部通过拍摄电子部件来检测该电子部件的姿势，并且姿势检测部的配置位置的自由度也得到提高。

应用例14在上述应用例13所述的电子部件搬运装置中，优选上述姿势检测部经由上述透光部检测上述电子部件的姿势。

应用例15在上述应用例13或14所述的电子部件搬运装置中，优选上述透光部由开口的开口部构成。

由此，在将电子部件载置于转动工作台的状态下，电子部件的一部分从开口部露出，因而，能够准确地检测电子部件的姿势。

应用例16在上述应用例13或14所述的电子部件搬运装置中，优选上述透光部由能够透光的材料构成。

由此，能够与电子部件的大小无关地在透光部上载置电子部件。

应用例17在上述应用例11～16中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述转动工作台以使上述姿势成为预先决定的姿势的方式进行调整。

由此，例如在利用电子部件检查部进行针对电子部件的电特性的检查的情况下，能够将上述预先决定的姿势设定为电子部件适于检查的姿势。

应用例18在上述应用例11～17中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选具有在检测上述姿势后把持上述电子部件的把持部，上述姿势检测部检测通过上述把持部被把持的把持状态的上述电子部件的姿势。

由此，例如在利用电子部件检查部进行针对电子部件的电特性的检查的情况下，能够确认在检测姿势后被把持的电子部件是否在维持适于检查的姿势。

应用例19在上述应用例18所述的电子部件搬运装置中，优选上述姿势检测部在检测上述把持状态的上述电子部件的姿势的情况下，能够根据与上述电子部件的分离距离来调整焦点位置。

由此，能够防止针对电子部件的焦点不对准，该电子部件的图像不清晰。

应用例20在上述应用例19所述的电子部件搬运装置中，优选上述焦点位置的调整通过以使上述姿势检测部的位置移动的方式调整来进行。

由此，例如与姿势检测部具有自动对焦像机(具有自动焦点调整功能)的情况相比，能够实现姿势检测部的小型化。

应用例21在上述应用例18～20中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选在上述把持状态下的姿势从预先决定的规定偏离的情况下，再次将上述电子部件载置于上述转动工作台而调整上述姿势。

由此，在检测姿势后被把持的电子部件成为适于检查的姿势。

应用例22在上述应用例11～21中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述姿势的检测通过检测配置于上述电子部件的端子部来进行。

由此，能够与电子部件的俯视下的形状无关，准确地检测该电子部件的姿势。

应用例23在上述应用例11～22中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述姿势检测部具有能够拍摄上述电子部件的拍摄部。

由此，能够准确且迅速地检测电子部件的姿势。

应用例24在上述应用例11～23中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述姿势检测部经由反射光的反射部件朝向水平方向配置。

由此，与将姿势检测部沿着铅锤方向配置的情况相比，能够尽量抑制姿势检测部不必要地突出，因而，例如能够防止姿势检测部与正在搬运的电子部件发生干扰。

应用例25在上述应用例11～24中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述电子部件的外形是圆形。

应用例26本应用例的电子部件检查装置具备能够在载置电子部件的状态下转动的转动工作台、能够检测载置于上述转动工作台的上述电子部件的姿势的姿势检测部、以及检查上述电子部件的电子部件检查部。

应用例27本应用例的电子部件搬运装置具有能够把持电子部件且能够转动的多个把持部，上述把持部至少为2个，各上述把持部能够以不同的转动量转动。

应用例28在上述应用例27所述的电子部件搬运装置中，优选具有在以上述各把持部的转动量转动上述电子部件后，载置上述电子部件的载置部。

由此，例如在载置部能够移动至电子部件检查部的情况下，能够将电子部件保持适于检查的姿势地搬运至电子部件检查部。

应用例29在上述应用例28所述的电子部件搬运装置中，优选上述载置部能够移动。

由此，能够将电子部件保持适于检查的姿势地搬运至电子部件检查部。

应用例30在上述应用例27～29中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述电子部件在外形的一部分具有曲线形状。

由此，电子部件能够通过本发明的电子部件搬运装置例如边维持适于电检查的姿势边进行搬运。

应用例31在上述应用例30所述的电子部件搬运装置中，优选上述曲线形状是圆弧形状。

应用例32在上述应用例27～31中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述电子部件的外形是圆形。

应用例33在上述应用例27～32中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述把持部的转动角度至少是180°。

由此，能够恰当且迅速地进行电子部件的姿势调整。

应用例34在上述应用例27～33中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选具有使上述各把持部一并地旋转驱动的一个转动驱动部。

由此，与转动驱动部与各把持部对应地分别各设置一个的情况相比，能够使作为电子部件搬运装置整体的构成简单化。

应用例35在上述应用例27～33中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选具有使上述各把持部独立地旋转驱动的一个转动驱动部。

由此，能够使被各把持部把持的电子部件一并地旋转，并且也能够使针对该一并旋转时的各电子部件的旋转量不同。

应用例36在上述应用例34或35所述的电子部件搬运装置中，优选上述转动驱动部具有同步带、以及挂绕上述同步带的带轮。

由此，能够使旋转驱动部中的旋转力顺利地传递至各把持部，因而，该各把持部旋转，能够进行电子部件的迅速的姿势调整。

应用例37在上述应用例36所述的电子部件搬运装置中，优选上述转动驱动部具有能够调整上述同步带的张力的张紧轮。

由此，能够使旋转驱动部中的旋转力经由同步带恰当地传递至带轮。

应用例38本应用例的电子部件检查装置具备能够把持电子部件且能够转动的多个把持部、以及检查电子部件的电子部件检查部，上述把持部至少有2个，各上述把持部能够以不同的转动量转动。

应用例39本应用例的电子部件搬运装置具备能够载置具有成为定位基准的第一端子以及第二端子的电子部件的载置部，上述载置部具有能够与上述第一端子抵接的第一抵接部、以及能够与上述第二端子抵接的第二抵接部。

由此，在载置部载置电子部件的状态下，第一抵接部与第一端子抵接，第二抵接部与第二端子抵接。因而，能够在载置部中进行电子部件的定位。尤其在利用电子部件检查部进行针对电子部件的电特性的检查的情况下，该电子部件即使为圆形部件，也能够将电子部件维持适于检查的姿势，即电子部件的各端子部与电子部件检查部的各端子部电接触的姿势。

应用例40在上述应用例39所述的电子部件搬运装置中，优选上述载置部具有第一凹部、以及设置于与上述第一凹部不同的位置的第二凹部，上述第一抵接部是上述第一凹部的内周部，上述第二抵接部是上述第二凹部的内周部。

由此，能够通过在第一凹部插入第一端子、在第二凹部插入第二端子这样的简单的构成来进行定位。

应用例41在上述应用例40所述的电子部件搬运装置中，优选上述第一凹部以及上述第二凹部呈随着向深度方向行进内径变小的锥状。

由此，能够向第一凹部引导第一端子，向第二凹部引导第二端子。

应用例42在上述应用例39所述的电子部件搬运装置中，优选上述载置部具有第一凸部、以及设置于与上述第一凸部不同的位置的第二凸部，上述第一抵接部是上述第一凸部的外周部，上述第二抵接部是上述第二凸部的外周部。

由此，能够通过第一凸部的外周部与第一端子抵接，第二凸部的外周部与第二端子抵接，进行电子部件的定位。

应用例43在上述应用例39～42中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述第一抵接部从上述电子部件的内周侧朝向外周侧与上述第一端子抵接，上述第二抵接部从上述电子部件的内周侧朝向外周侧与上述第二端子抵接。

由此，能够维持电子部件的定位状态。

应用例44在上述应用例39～42中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述第一抵接部从上述电子部件的外周侧朝向内周侧与上述第一端子抵接，上述第二抵接部从上述电子部件的外周侧朝向内周侧与上述第二端子抵接。

由此，能够维持电子部件的定位状态。

应用例45优选在上述应用例39～44中任意一项所述的电子部件搬运装置中，上述载置部具有与上述电子部件的外周部抵接的外周抵接部。

由此，能够维持电子部件的定位状态。

应用例46在上述应用例39～45中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述载置部具有支承上述电子部件的支承部。

由此，能够与支承部和电子部件的接触相应地，减轻施加给端子的负荷。

应用例47在上述应用例46所述的电子部件搬运装置中，优选上述支承部由台阶部构成。

由此，能够减少电子部件与载置部的接触面积。

应用例48在上述应用例39～47中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述载置部设置于向进行上述电子部件的检查的检查区域搬运上述电子部件的搬运部。

由此，能够在即将检查之前维持定位状态，即适于检查的姿势。因而，能够准确地进行检查。

应用例49在上述应用例39～48中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述电子部件具有多个端子，具有避免与作为上述定位基准的上述端子不同的端子和上述载置部接触的逃避孔。

由此，能够使定位基准以外的端子与载置部为非接触。

应用例50在上述应用例39～49中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述载置部至少与上述电子部件接触的部分具有导电性。

由此，能够防止电子部件带电。

应用例51在上述应用例39～50中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选具有检测在上述载置部载置了上述电子部件的检测部。

由此，能够检测电子部件是否载置于载置部。

应用例52在上述应用例51所述的电子部件搬运装置中，优选上述检测部具有光学传感器。

由此，能够检测电子部件是否载置于载置部。

应用例53在上述应用例51或52所述的电子部件搬运装置中，优选上述载置部具有吸引上述电子部件的吸引部，上述检测部具有检测上述吸引部的吸引力的吸引力检测部。

由此，能够检测电子部件是否载置于载置部。

应用例54在上述应用例39～53中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述电子部件至少在外形的一部分具有曲线形状。

应用例55在上述应用例39～54中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述电子部件的外形是圆形。

应用例56本应用例的电子部件搬运装置具备能够载置具有成为定位基准的端子的电子部件的载置部，载置部具有能够与上述端子抵接的端子抵接部、以及能够与上述电子部件的外周部抵接的外周抵接部。

由此，在载置部载置电子部件的状态下，端子抵接部与端子抵接，外周抵接部与电子部件的外周部抵接。因而，能够在载置部中进行电子部件的定位。尤其在利用电子部件检查部进行针对电子部件的电特性的检查的情况下，该电子部件即使为圆形部件，也能够将电子部件维持适于检查的姿势，即电子部件的各端子部与电子部件检查部的各端子部电接触的姿势。

应用例57本应用例的电子部件检查装置具备能够载置具有成为定位基准的第一端子以及第二端子的电子部件的载置部、以及检查上述电子部件的检查部，上述载置部具有能够与上述第一端子抵接的第一抵接部、以及能够与上述第二端子抵接的第二抵接部。

应用例58本应用例的电子部件搬运装置具有能够载置电子部件的载置部、能够把持上述电子部件且能够在把持上述电子部件后解除把持的把持部、以及能够吸引载置于上述载置部的上述电子部件的吸引部，在将上述电子部件载置于上述载置部的情况下，在上述吸引部吸引上述电子部件的状态下上述把持部解除上述电子部件的把持。

由此，能够防止在把持部将电子部件载置于载置部时，电子部件旋转。尤其在利用电子部件检查部进行针对电子部件的电特性的检查的情况下，该电子部件即使为圆形部件，也能够将电子部件维持适于检查的姿势，即电子部件的各端子部与电子部件检查部的各端子部电接触的姿势。

应用例59在上述应用例58所述的电子部件搬运装置中，优选上述把持部设置于能够搬运上述电子部件的搬运部。

由此，能够在把持电子部件后进行搬运。

应用例60在上述应用例58或59所述的电子部件搬运装置中，优选上述吸引部在上述电子部件与上述载置部分离的状态下开始吸引。

由此，能够更加可靠地在吸引部吸引电子部件的状态下，把持部解除电子部件的把持。

应用例61在上述应用例58～60中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述把持部通过吸引把持上述电子部件。

由此，能够简化把持部的构成。

应用例62在上述应用例58～61中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述把持部在上述电子部件载置于上述载置部的状态下停止吸引。

由此，能够防止在把持部停止吸引时在电子部件产生位置偏移。

应用例63在上述应用例58～62中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述载置部构成为能够在从上述把持部载置上述电子部件的第一位置和与上述第一位置不同的第二位置移动，在上述第二位置解除上述载置部的吸引。

由此，能够向与载置于载置部的位置不同的位置搬运电子部件。

应用例64在上述应用例58～63中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选具有设置在进行上述电子部件的检查的检查区域内的检查用把持部，上述检查用把持部在上述第二位置，在上述载置部吸引上述电子部件的状态下把持上述电子部件。

由此，能够防止在即将进行电子部件的检查之前，在电子部件产生位置偏移。

应用例65在上述应用例58～64中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述把持部在上述吸引部吸引上述电子部件规定时间后，解除上述电子部件的把持。

应用例66在上述应用例58～65中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选上述载置部具有分别载置上述电子部件的多个凹部，在上述各凹部分别设置有上述吸引部。

由此，例如，与通过一个吸引部一并地吸引各凹部的情况相比，能够增强吸引力。

应用例67在上述应用例66所述的电子部件搬运装置中，优选上述各吸引部相互独立地工作。

由此，能够仅吸引载置了电子部件的载置部。

应用例68在上述应用例58～67中任意一项所述的电子部件搬运装置中，优选具有调节上述吸引部的吸引力的调节部。

由此，能够防止吸引力过强而对电子部件过度地施加负荷。

应用例69本应用例的电子部件检查装置具有能够载置电子部件的载置部、能够把持上述电子部件且能够在把持上述电子部件后解除把持的把持部、能够吸引载置于上述载置部的上述电子部件的吸引部、以及检查上述电子部件的检查部，在将上述电子部件载置于上述载置部的情况下，在上述吸引部吸引上述电子部件的状态下上述把持部解除上述电子部件的把持。

附图说明

图1是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的第一实施方式的概要立体图。

图2是表示图1所示的电子部件检查装置的动作状态的概要俯视图。

图3是表示利用图1所示的电子部件检查装置检查的作为电子部件的IC器件的一个例子的俯视图。

图4是表示利用图1所示的电子部件检查装置检查的作为电子部件的IC器件的一个例子的俯视图。

图5是表示利用图1所示的电子部件检查装置检查的作为电子部件的IC器件的一个例子的俯视图。

图6是在图1所示的电子部件检查装置的器件供给区域内工作的器件搬运头的俯视图。

图7是从图6中的箭头A方向观察的图。

图8是表示拍摄由图6所示的器件搬运头搬运的IC器件的状态的图。

图9是表示将正在搬运的IC器件的姿势调整为适当的姿势的状态的俯视图。

图10是按顺序表示基于图9调整IC器件的姿势，直至将该被调整的IC器件载置于供给用穿梭板的过程的俯视图。

图11是按顺序表示基于图9调整IC器件的姿势，直至将该被调整的IC器件载置于供给用穿梭板的过程的俯视图。

图12是按顺序表示基于图9调整IC器件的姿势，直至将该被调整的IC器件载置于供给用穿梭板的过程的俯视图。

图13是按顺序表示基于图9调整IC器件的姿势，直至将该被调整的IC器件载置于供给用穿梭板的过程的俯视图。

图14是按顺序表示基于图9调整IC器件的姿势，直至将该被调整的IC器件载置于供给用穿梭板的过程的俯视图。

图15是表示存储于图1所示的电子部件检查装置的控制程序的流程图。

图16是在第二实施方式的电子部件检查装置的器件供给区域内工作的器件搬运头的俯视图。

图17是从图16中的箭头A方向观察的图。

图18是表示将由第三实施方式的电子部件检查装置正在搬运的IC器件的姿势调整为适当的姿势的状态的局部垂直剖视图。

图19是表示将由第三实施方式的电子部件检查装置正在搬运的IC器件的姿势调整为适当的姿势的状态的局部垂直剖视图。

图20是表示将由第三实施方式的电子部件检查装置正在搬运的IC器件的姿势调整为适当的姿势的状态的局部垂直剖视图。

图21是表示将由第三实施方式的电子部件检查装置正在搬运的IC器件的姿势调整为适当的姿势的状态的局部垂直剖视图。

图22是表示将由第三实施方式的电子部件检查装置正在搬运的IC器件的姿势调整为适当的姿势的状态的局部垂直剖视图。

图23是表示将由第三实施方式的电子部件检查装置正在搬运的IC器件的姿势调整为适当的姿势的状态的局部垂直剖视图。

图24是表示存储于第三实施方式的电子部件检查装置的控制程序的流程图。

图25是将由第四实施方式的电子部件检查装置正在搬运的IC器件的姿势调整为适当的姿势的状态的局部垂直剖视图。

图26是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的第五实施方式的概要立体图。

图27是表示图26所示的电子部件检查装置的动作状态的概要俯视图。

图28是表示图26所示的电子部件检查装置的器件供给部的立体图。

图29是图28所示的器件供给部的放大立体图。

图30是图29中的B-B线剖视图。

图31是图30中的以虚线包围的区域的放大图。

图32是表示将IC器件收纳于器件供给部的收纳部的动作的剖视图。

图33是表示将IC器件收纳于器件供给部的收纳部的动作的剖视图。

图34是表示将IC器件收纳于器件供给部的收纳部的动作的剖视图。

图35是表示将IC器件收纳于器件供给部的收纳部的动作的剖视图。

图36是用于说明将IC器件收纳于器件供给部的收纳部的动作的时间图。

图37是表示检查用把持部把持载置于器件供给部的IC器件的动作的剖视图。

图38是表示检查用把持部把持载置于器件供给部的IC器件的动作的剖视图。

图39是表示图26所示的电子部件检查装置的控制动作的流程图。

图40是表示图26所示的电子部件检查装置的控制动作的流程图。

图41是表示第六实施方式的电子部件检查装置的器件供给部的收纳部的俯视图。

图42是表示第七实施方式的电子部件检查装置的器件供给部的收纳部的俯视图。

图43是表示第八实施方式的电子部件检查装置的器件供给部的收纳部的俯视图。

图44是表示第九实施方式的电子部件检查装置的器件供给部的收纳部的俯视图。

图45是表示第十实施方式的电子部件检查装置的器件供给部的收纳部的俯视图。

图46是表示第十一实施方式的电子部件检查装置的器件供给部的剖视图。

具体实施方式

以下，基于参照附图的优选的实施方式对本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置详细地进行说明。

应予说明，以下，为便于说明，将图中所示的相互正交的3个轴设为X轴、Y轴和Z轴，将箭头的前端侧设为“正侧(+侧)”，将基端侧设为“负侧(-侧)”。另外，包括X轴和Y轴的XY平面呈水平，Z轴呈铅锤。另外，将与X轴平行的方向也称作“X方向”，将与Y轴平行的方向也称作“Y方向”，将与Z轴平行的方向也称作“Z方向”。另外，也存在将图中的+Z轴侧称作“上(或者上方)”，将-Z轴侧称作“下(或者下方)”的情况。另外，本申请说明书所指的“水平”不限于完全的水平，只要不阻碍电子部件的搬运，也包括相对于水平略微(例如小于5°程度)倾斜的状态。

另外，以下的实施方式所示的检查装置(电子部件检查装置)例如是搬运作为BGA(Ball grid array：球栅阵列)封装的IC器件等电子部件，并在该搬运过程中对电特性进行检查、试验(以下仅称作“检查”)的装置。应予说明，以下，为便于说明，代表性地说明使用IC器件作为上述电子部件的情况，将其作为“IC器件90”。

(第一实施方式)

图1是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的第一实施方式的概要立体图。图2是表示图1所示的电子部件检查装置的动作状态的概要俯视图。图3～图5分别是表示利用图1所示的电子部件检查装置检查的作为电子部件的IC器件的一个例子的俯视图。图6是在图1所示的电子部件检查装置的器件供给区域内工作的器件搬运头的俯视图。图7是从图6中的箭头A方向观察的图。图8是表示拍摄由图6所示的器件搬运头搬运的IC器件的状态的图。图9是表示将正在搬运的IC器件的姿势调整为适当的姿势的状态的俯视图。图10～图14分别是按顺序表示基于图9调整IC器件的姿势，直至将该该被调整的IC器件载置于供给用穿梭板的过程的俯视图。图15是表示存储于图1所示的电子部件检查装置的控制程序的流程图。

如图1以及图2所示，检查装置1被划分为托盘供给区域A1、器件供给区域(以下仅称作“供给区域”)A2、检查区域A3、器件回收区域(以下仅称作“回收区域”)A4、以及托盘去除区域A5。并且，IC器件90从托盘供给区域A1至托盘去除区域A5按顺序经由各区域，在中途的检查区域A3中进行检查。

这样，检查装置1具备在各区域搬运IC器件90的电子部件搬运装置(处理器)、在检查区域A3内进行检查的电子部件检查部16、以及控制部800。另外，除此以外，检查装置1具备监视器300、信号灯400、以及操作面板700。

应予说明，对于检查装置1，配置托盘供给区域A1、托盘去除区域A5的那一侧(图2中的-Y轴侧)成为正面侧，其相反侧即配置检查区域A3的那一侧(图2中的+Y轴侧)作为背面侧使用。

托盘供给区域A1是供给排列了未检查状态的多个IC器件90的托盘(载置部件)200的供给部。在托盘供给区域A1中，能够层叠许多托盘200。

供给区域A2是将来自托盘供给区域A1的配置在托盘200上的多个IC器件90分别供给至检查区域A3的区域。应予说明，以跨越托盘供给区域A1和供给区域A2的方式设置有沿水平方向逐个搬运托盘200的托盘搬运机构11A、11B。

托盘搬运机构11A是能够使托盘200连同载置于该托盘200的IC器件90向Y方向的正侧移动的移动部。由此，能够将IC器件90稳定地送入至供给区域A2。另外，托盘搬运机构11B是能够使空的托盘200移动至Y方向的负侧，即，从供给区域A2移动至托盘供给区域A1的移动部。

在供给区域A2设置有温度调整部12、器件搬运头13、托盘搬运机构15、以及姿势检测部(检测部)25。

温度调整部12是能够一并冷却或加热多个IC器件90的部件，有时被称作“吸收板”(soak plate)。能够通过该吸收板对由电子部件检查部16检查前的IC器件90预先进行冷却或加热，调整为适于该检查的温度。在图2所示的构成中，温度调整部12在Y方向配置固定有2个。并且，通过托盘搬运机构11A从托盘供给区域A1搬入(搬运)的托盘200上的IC器件90被搬运至任意一个温度调整部12。

器件搬运头13被以能够在供给区域A2内沿X方向以及Y方向移动、并且也能够沿Z方向移动的方式支承。由此，器件搬运头13能够担任从托盘供给区域A1搬入的托盘200与温度调整部12之间的IC器件90的搬运、以及温度调整部12与下述的器件供给部14之间的IC器件90的搬运。应予说明，在温度调整部12与器件供给部14之间的IC器件90的搬运中，IC器件90经过姿势检测部25上。

姿势检测部25检测被器件搬运头13把持的把持状态的IC器件90的姿势(参照图8)。该姿势检测部25能够通过拍摄把持状态的IC器件90来检测该IC器件90的姿势。

托盘搬运机构15是使去除全部的IC器件90的状态的空的托盘200在供给区域A2内向X方向的正侧搬运的机构。并且，在该搬运后，空的托盘200通过托盘搬运机构11B从供给区域A2返回至托盘供给区域A1。

检查区域A3是检查IC器件90的区域。在该检查区域A3设置有电子部件检查部16和器件搬运头17。另外，也设置有以跨越供给区域A2和检查区域A3的方式移动的器件供给部14、以及以跨越检查区域A3和回收区域A4的方式移动的器件回收部18。

器件供给部14是能够载置利用温度调整部12进行了温度调整的IC器件90，并将该IC器件90搬运(移动)至电子部件检查部16附近的载置部，有时被称作“供给用穿梭板”。该器件供给部14被以能够在供给区域A2与检查区域A3之间沿着X方向在水平方向上移动的方式支承。在图2所示的构成中，器件供给部14沿Y方向配置有2个，温度调整部12上的IC器件90被搬运至任意一个器件供给部14。另外，器件供给部14构成为能够针对上述进行了温度调整的IC器件90维持该温度调整状态。由此，能够冷却或加热IC器件90，因而，能够维持该IC器件90的温度调整状态。

应予说明，在本实施方式中，如图2所示，姿势检测部25在2个器件供给部14位于供给区域A2的状态下配置在这两个器件供给部14之间。

电子部件检查部16是对IC器件90的电特性进行检查、试验的单元。在电子部件检查部16设置有在保持IC器件90的状态下与该IC器件90的端子部902(参照图3)电连接的多个探针。并且，IC器件90的端子部902和探针电连接(接触)，经由探针进行IC器件90的检查。IC器件90的检查基于与电子部件检查部16连接的测试器具备的检查控制部所存储的程序来进行。应予说明，在电子部件检查部16中，与温度调整部12相同，能够冷却或加热IC器件90而将该IC器件90调整为适于检查的温度。

器件搬运头17被以能够在检查区域A3内向Y方向以及Z方向移动的方式支承。由此，器件搬运头17能够将从供给区域A2搬入的器件供给部14上的IC器件90搬运至电子部件检查部16上而载置。应予说明，器件搬运头17也能够冷却或加热IC器件90而将该IC器件90调整为适于检查的温度。

器件回收部18是能够载置在电子部件检查部16中的检查结束的IC器件90并将该IC器件90搬运(移动)至回收区域A4的载置部，有时被称作“回收用穿梭板”。该器件回收部18被以能够在检查区域A3与回收区域A4之间沿着X方向在水平方向上移动的方式支承。另外，在图2所示的构成中，器件回收部18与器件供给部14相同，在Y方向配置有2个，电子部件检查部16上的IC器件90被搬运至任意一个器件回收部18而载置。该搬运通过器件搬运头17来进行。

回收区域A4是回收检查结束的多个IC器件90的区域。在该回收区域A4设置有回收用托盘19、器件搬运头20、以及托盘搬运机构21。另外，在回收区域A4也准备了空的托盘200。

回收用托盘19是载置由电子部件检查部16进行了检查的IC器件90的载置部，并且被固定以不在回收区域A4内移动。由此，即使在较多地配置了器件搬运头20等各种可动部的回收区域A4，在回收用托盘19上，也稳定地载置检查完毕的IC器件90。应予说明，在图2所示的构成中，回收用托盘19沿着X方向配置有3个。

另外，空的托盘200也沿着X方向配置有3个。该空的托盘200也为载置由电子部件检查部16进行了检查的IC器件90的载置部。并且，向回收区域A4移动过来的器件回收部18上的IC器件90被搬运至回收用托盘19以及空的托盘200中的任意一个而被载置。由此，IC器件90能够按照各检查结果分类并被回收。

器件搬运头20被以能够在回收区域A4内沿X方向以及Y方向移动、并且也能够沿Z方向移动的方式支承。由此，器件搬运头20能够将IC器件90从器件回收部18搬运至回收用托盘19、空的托盘200。

托盘搬运机构21是将从托盘去除区域A5搬入的空的托盘200在回收区域A4内沿X方向搬运的机构。并且，在该搬运后，空的托盘200被配置于回收IC器件90的位置，即，能够成为上述3个空的托盘200中的任意一个。

托盘去除区域A5是回收排列了检查完毕状态的多个IC器件90的托盘200并去除的去除部。在托盘去除区域A5中，能够层叠许多托盘200。

另外，设置有以跨越回收区域A4和托盘去除区域A5的方式在Y方向逐个搬运托盘200的托盘搬运机构22A、22B。托盘搬运机构22A是能够使托盘200沿Y方向移动的移动部。由此，能够将检查完毕的IC器件90从回收区域A4搬运至托盘去除区域A5。另外，托盘搬运机构22B是能够使得用于回收IC器件90的空的托盘200从托盘去除区域A5移动至回收区域A4的移动部。

控制部800例如具有驱动控制部。驱动控制部例如控制托盘搬运机构11A、11B、温度调整部12、器件搬运头13、器件供给部14、托盘搬运机构15、电子部件检查部16、器件搬运头17、器件回收部18、器件搬运头20、托盘搬运机构21、托盘搬运机构22A、22B、以及姿势检测部25这些各部的驱动。

应予说明，上述测试器的检查控制部例如基于存储在未图示的存储器内的程序来进行配置于电子部件检查部16的IC器件90的电特性的检查等。

操作人员能够经由监视器300设定或者确认检查装置1的动作条件等。该监视器300具有例如由液晶画面构成的显示画面(显示部)301，并配置在检查装置1的正面侧上部。如图1所示，在托盘去除区域A5的图中的+X侧设置有载置在操作显示于监视器300的画面时使用的鼠标的鼠标台600。

另外，相对于监视器300在图1中的+X侧下方配置有操作面板700。操作面板700与监视器300独立地向检查装置1命令所希望的动作。

另外，信号灯400能够通过发光的颜色的组合来通知检查装置1的工作状态等。信号灯400配置在检查装置1的上部。应予说明，在检查装置1内置有扬声器500，也能够通过该扬声器500通知检查装置1的工作状态等。

如图2所示，对于检查装置1，托盘供给区域A1与供给区域A2之间被第一隔壁61划分(分隔)，供给区域A2与检查区域A3之间被第二隔壁62划分，检查区域A3与回收区域A4之间被第三隔壁63划分，回收区域A4与托盘去除区域A5之间被第四隔壁64划分。另外，供给区域A2与回收区域A4之间也被第五隔壁65划分。这些隔壁具有保持各区域的气密性的功能。并且，检查装置1的最外层被盖覆盖，该盖例如有前盖70、侧盖71、侧盖72、后盖73、顶盖74。

检查装置1为作为IC器件90能够检查俯视下的外形形状呈矩形的器件，但尤其适于检查俯视下在外形的至少一部分具有曲线形状即带圆弧的器件的装置。作为这样的带圆弧的IC器件90，不进行特别限定，例如，能够列举图3～图5所示的器件，例如能够内置于手表来使用。

图3所示的IC器件90具有呈小片状的主体部901、以及在主体部901的一侧的面(背侧的面901a)突出设置的多个端子部902。并且，在该IC器件90中，主体部901俯视呈圆形状。另外，主体部901的另一侧的面(表侧的面901b)为平坦面。多个端子部902沿着主体部901的边缘部901c拉开间隔配设，其配设密度有疏密。

图4所示的IC器件90除主体部901的俯视下的外形形状不同以外，与图3所示的IC器件90相同。该IC器件90的主体部901为俯视下在边缘部901c(外形)的至少一部分具有椭圆弧的部件，在本实施方式中整体为呈椭圆形状的部件。

图5所示的IC器件90除主体部901的俯视下的外形形状不同以外，也与图3所示的IC器件90相同。该IC器件90的主体部901为俯视下在边缘部901c的至少一部分具有圆弧的部件，在本实施方式中为在边缘部901c具有对置的平行的2条边901d的具有对边宽度的部件。

在将IC器件90搬运至电子部件检查部16时，在俯视呈矩形的IC器件90中，能够以其直线状的边缘部为基准进行定位，但在俯视下带圆弧的IC器件90中，由于边缘部901c弯曲成圆弧状或椭圆弧状，所以难以以边缘部901c为基准进行定位。

例如如图10所示，利用器件搬运头13正在搬运的4个IC器件90的端子部902的朝向分别不同。作为其原因，能够想到例如在操作人员将收纳了未检查的IC器件90的托盘200载置至托盘供给区域A1时，载置时的振动传递至IC器件90，该IC器件90绕中心点O₉₀旋转，保持原样地由器件搬运头13搬运等。

以下，对适于搬运带这样的圆弧的IC器件90的构成进行说明。应予说明，在本实施方式中，作为带圆弧的IC器件90，代表性地处理图3所示的IC器件90。

如图6、图7所示，器件搬运头13具有4个吸引部131、支承4个吸引部131的基体132、以及使各吸引部131旋转的转动驱动部3。

4个吸引部131沿X方向、Y方向各分散2个且等间隔配置。应予说明，吸引部131的设置数量在本实施方式中为4个，但并不局限于此，例如，也可以是1个、2个、3个、或5个以上。

各吸引部131具有经由具有挠性的管与喷射器(ejector)等真空产生装置连接的硬质的管体133、以及设置于管体133的下端部的圆环状的吸附盘134。通过在吸附盘134与IC器件90的表侧的面901b抵接的状态下真空产生装置工作，能够利用吸附盘134吸引IC器件90。并且，能够保持该吸引状态搬运IC器件90。这样，吸引部131通过吸引来把持IC器件90，为能够维持该把持状态的把持部。另外，解除IC器件90的把持状态能够通过真空产生装置中的真空破坏来进行。

另外，各吸引部131被以能够相对于基体132旋转的方式支承。由此，能够使把持状态的IC器件90绕其中心点O₉₀旋转，调整IC器件90的姿势(参照图10～图14)。在此，“调整姿势”是指在检查IC器件90时，各端子部902以能够与电子部件检查部16的上述各探针电接触的朝向设置。

在检查装置1中，能够利用各吸引部131分别调整IC器件90的姿势，因此，该各吸引部131也作为调整IC器件90的姿势的姿势调整部发挥功能。由此，在进行IC器件90的检查的情况下，该IC器件90即使为圆形的部件，也能够将各IC器件90准确地调整为适于检查的姿势，即各IC器件90的各端子部902与电子部件检查部16的上述各探针电接触的姿势。以下，将适于该检查的姿势称作“检查适当姿势”。

另外，优选各吸引部131能够旋转的最大旋转角度(最大转动角度)至少为180°，更加优选为180°以上且360°以下。由此，能够恰当且迅速地进行IC器件90的姿势调整。

如图6所示，转动驱动部3以顺时针或逆时针一并地转动驱动各吸引部131。这样，针对4个吸引部131设置一个转动驱动部3与和各吸引部131对应地分别各设置一个转动驱动部3的情况相比，能够使作为器件搬运头13整体的构成简单化。由此，能够抑制器件搬运头13的大小的增大、器件搬运头13的重量的增加。

如图7所示，转动驱动部3具有相对于基体132固定的马达31、相对于马达31的轴(输出轴)311以及各吸引部131固定的带轮32、被以能够相对于基体132转动的方式支承的张紧轮33、以及按顺序绕挂于各带轮32以及张紧轮33的同步带34。在这样的构成的转动驱动部3中，通过被施加电压的马达31工作，其旋转力经由同步带34传递至各带轮32。由此，能够使各吸引部131向相同方向旋转。另外，在使对马达31的施加电压的正负与上述相反的情况下，能够使各吸引部131的旋转方向反转。

应予说明，固定于马达31的带轮32的公称直径与固定于各吸引部131的带轮32的公称直径在图6所示的构成中相同，但并不局限于此，例如，前者的带轮32的公称直径也可以比后者的带轮32大。

另外，能够通过张紧轮33调整同步带34的张力。由此，能够使马达31的旋转力经由同步带34恰当地传递至各带轮32。

如图8所示，姿势检测部25检测被器件搬运头13的各吸引部131把持的把持状态的IC器件90的姿势。姿势检测部25具有能够拍摄把持状态的IC器件90的拍摄部251、反射光的反射部件252、以及呈环状的环状照明253。

拍摄部251例如是CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)像机，以其透镜朝向水平方向(在图8所示的构成中为X方向的负侧)的方式配置。这样的配置与沿着铅锤方向(Z方向)配置拍摄部251的情况相比，能够尽量抑制拍摄部251在供给区域A2内突出，因而，能够防止拍摄部251与器件搬运头13等发生干扰。

在拍摄部251的前方，即上述透镜侧配置有反射部件252。反射部件252是反射镜，相对于水平方向即XY平面倾斜45°配置。由此，在把持状态的IC器件90位于反射部件252的铅锤上方时(以下将该位置称作“拍摄用位置”)，能够利用拍摄部251拍摄该IC器件90。应予说明，作为反射部件252，在图8所示的构成中为反射镜，但并不局限于此，例如也可以是棱镜。

环状照明253配置于反射部件252的上方。该环状照明253在由拍摄部251进行拍摄时能够照亮作为拍摄对象的IC器件90。由此，能够清晰地拍摄IC器件90。

接下来，参照图9对检测出IC器件90的姿势的结果，求出该检测出的姿势相对于检查适当姿势偏移何种程度，即使IC器件90以何种程度的旋转角度(旋转量)θ则旋转为检查适当姿势进行说明。图9中的左上的IC器件90是由拍摄部251拍摄的IC器件90的图像(实际图像)IM，右上的IC器件90是预先存储于控制部800的检查适当姿势的IC器件90的图像IM₀。应予说明，在检查装置1中，对于图像IM内的哪个端子部902与图像IM₀内的哪个端子部902对应，例如能够通过模板匹配来进行。

首先，提取(检测)图像IM内的多个端子部902中的、成为基准的端子部902a和端子部902b。该提取能够通过将图像IM二值化而使其为灰度图像来进行。另外，作为端子部902a和端子部902b，优选经由中心点O₉₀位于相互相反侧，为尽量分离的端子部902。

接下来，比较通过图像IM内的端子部902a的中心和端子部902b的中心的直线903与通过图像IM₀内的端子部902a的中心和端子部902b的中心的直线903，运算前者的直线903相对于后者的直线903向哪个方向以何种程度倾斜即旋转角度θ。由此，能够求出作为修正值的旋转角度θ。

并且，若像图9中的中央下侧的IC器件90那样，向箭头的方向旋转旋转角度θ，则IC器件90成为检查适当姿势。

例如如图10所示，在器件搬运头13处于把持状态的4个IC器件90的姿势通常分别不同，全部为相同的姿势的情况很少。因此，4个IC器件90与各自的姿势相应地，求出的旋转角度θ不同。以下，为了容易说明，将图10～图14中的4个吸引部131中的、左下侧的吸引部131称作“吸引部131a”，将右下侧的吸引部131称作“吸引部131b”，将左上侧的吸引部131称作“吸引部131c”，将右上侧的吸引部131称作“吸引部131d”。

由吸引部131a把持的IC器件90的旋转角度θ被求出为旋转角度θa。由吸引部131b把持的IC器件90的旋转角度θ被求出为旋转角度θb。由吸引部131c把持的IC器件90的旋转角度θ被求出为旋转角度θc。由吸引部131d把持的IC器件90的旋转角度θ被求出为旋转角度θd。

将处于这样的把持状态的4个IC器件90载置在器件供给部14的收纳部23内。应予说明，收纳部23由各收纳一个IC器件90的凹部构成，在器件供给部14中以格子状(矩阵状)配置有多个。

首先，如图11所示，在应载置由吸引部131a把持的IC器件90的收纳部23上，使由吸引部131a把持的IC器件90向箭头的方向旋转旋转角度θa。由此，该IC器件90成为检查适当姿势。另外，该旋转如上述那样通过转动驱动部3的工作进行。然后，通过使吸引部131a下降，能够将该IC器件90保持检查适当姿势地收纳并载置于收纳部23。

接下来，如图12所示，在应载置由吸引部131b把持的IC器件90的收纳部23上，使由吸引部131b把持的IC器件90向箭头的方向旋转旋转角度θb。由此，该IC器件90成为检查适当姿势。该旋转也通过转动驱动部3的工作来进行。然后，通过使吸引部131b下降，能够将该IC器件90保持检查适当姿势地收纳并载置于收纳部23。

接下来，如图13所示，在应载置由吸引部131c把持的IC器件90的收纳部23上，使由吸引部131c把持的IC器件90向箭头的方向旋转旋转角度θc。由此，该IC器件90成为检查适当姿势。然后，通过使吸引部131c下降，能够将该IC器件90保持检查适当姿势地收纳并载置于收纳部23。

接下来，如图14所示，在应载置由吸引部131d把持的IC器件90的收纳部23上，使由吸引部131d把持的IC器件90向箭头的方向旋转旋转角度θd。由此，该IC器件90成为检查适当姿势。然后，通过使吸引部131d下降，能够将该IC器件90保持检查适当姿势地收纳并载置于收纳部23。

然后，载置了4个IC器件90的器件供给部14朝向检查区域A3移动。

应予说明，在各收纳部23中，构成为能够维持IC器件90的检查适当姿势。由此，IC器件90在从器件供给部14的移动开始至停止的期间维持检查适当姿势。维持检查适当姿势能够通过吸引收纳于收纳部23的IC器件90来进行。另外，该吸引从IC器件90载置于收纳部23的IC器件90按顺序开始。

这样，在检查装置1中，在将4个IC器件90载置于器件供给部14时，能够分别独立地对IC器件90进行旋转控制，能够使其旋转时的旋转角度θ不同。由此，与把持状态的IC器件90的姿势无关，能够将该IC器件90矫正为检查适当姿势，能够保持原样载置于器件供给部14。

应予说明，在4个IC器件90中的、至少2个IC器件90的旋转角度θ相同(处于规定的允许范围内)的情况下，也能够将该至少2个IC器件90同时载置于器件供给部14。由此，能够实现生产率(每单位时间的IC器件90的搬运个数)的提高。

接下来，基于图15所示的流程图对从在检查装置1将IC器件90配置于拍摄用位置开始至载置于器件供给部14的程序进行说明。

利用器件搬运头13将处于把持状态的IC器件90搬运至拍摄用位置，并在该位置停止(步骤S101)。

接下来，利用姿势检测部25的拍摄部251拍摄处于拍摄用位置的IC器件90(步骤S102)。

接下来，像上述那样检测旋转角度θ(步骤S103)，并判断该检测出的旋转角度θ是否处于预先设定的规定的允许范围(规定值(阈值)θ₀)内(步骤S104)。在此，“规定的允许范围”是指即使省略旋转角度θ的旋转，也能够将当前处于把持状态的IC器件90的姿势视为检查适当姿势的范围。

在步骤S104中判断为旋转角度θ不在上述规定的允许范围内的情况下，使转动驱动部3工作，使已经检测出旋转角度θ的IC器件90旋转该旋转角度θ(步骤S105)。

接下来，将以旋转角度θ旋转的IC器件90搬运至器件供给部14的规定的收纳部23上，并使把持着该IC器件90的吸引部131保持原样下降(步骤S106)。

接下来，像上述那样解除吸引部131的吸引(步骤S107)。由此，IC器件90被以检查适当姿势载置于器件供给部14的规定的收纳部23。

另外，在步骤S104中判断为旋转角度θ处于上述规定的允许范围内的情况下，依次执行步骤S106以下的步骤。

应予说明，在本实施方式中，利用一个拍摄部251逐个拍摄IC器件90并检测旋转角度θ，但并不局限于此，也能够利用一个拍摄部251一并拍摄4个IC器件90，并检测各IC器件90的旋转角度θ。

(第二实施方式)

图16是在第二实施方式的电子部件检查装置的器件供给区域内工作的器件搬运头的俯视图。图17是从图16中的箭头A方向观察的图。

以下，参照这些图对本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置的第二实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略其说明。

本实施方式的检查装置1A除转动驱动部的构成不同以外，与上述第一实施方式的检查装置1相同。

如图16、图17所示，在本实施方式的检查装置1A中，器件搬运头13A的转动驱动部3A分别与各吸引部131对应地配置有马达35。由此，能够使各吸引部131独立地转动驱动，结果，各IC器件90也能够独立地旋转。通过这样的构成，能够在使在器件搬运头13处于把持状态的4个IC器件90旋转时，使其以相互不同的旋转角度θ一并地旋转。

另外，如图17所示，器件搬运头13A构成为能够变更在X方向上相邻的吸引部131彼此的间隔。由此，也能够将旋转后的4个IC器件90一并载置于器件供给部14，因而，生产率提高。

应予说明，器件搬运头13A也可以构成也能够变更在Y方向上相邻的吸引部131彼此的间隔。

(第三实施方式)

图18～图23是表示将由第三实施方式的电子部件检查装置正在搬运的IC器件的姿势调整为适当的姿势的状态的局部垂直剖视图。图24是表示存储于第三实施方式的电子部件检查装置的控制程序的流程图。

以下，参照这些图对本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置的第三实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略其说明。

在本实施方式的检查装置1B中，在供给区域内搬运IC器件的器件搬运头13B与上述第一实施方式不同，为省略转动驱动部的装置。并且，本实施方式的检查装置1B除代替转动驱动部使IC器件旋转的机构的构成不同，并且姿势检测部的构成不同以外，与上述第一实施方式的检查装置1相同。

如图18～图23所示，在本实施方式的检查装置1B中，相对于姿势检测部25B在Z方向正侧设置有作为使IC器件90旋转将姿势矫正为检查适当姿势的机构的旋转工作台(转动工作台)4。旋转工作台4是所谓的“中空回转台”，能够在载置IC器件90的状态下转动。该旋转工作台4具有载置IC器件90的工作台部41、设置于工作台部41的下方的大齿轮部42、与大齿轮部42啮合的作为小齿轮部的小齿轮43、以及与小齿轮43连结的马达44。

工作台部41呈圆板状，在其中心部形成有通过贯通开口的开口部411。开口部411作为在将IC器件90载置于工作台部41时防止该IC器件90的各端子部902与工作台部41接触的的逃避部发挥功能(参照图19～图22)。另外，开口部411也作为光能够透过的透光部发挥功能。通过具有这样的2个功能的开口部411，在IC器件90载置于工作台部41的状态下各端子部902在开口部411内露出，因而，能够利用姿势检测部25B的拍摄部251清晰地拍摄这些各端子部902。由此，能够准确地检测IC器件90的姿势。应予说明，不管工作台部41本身的透光性。

大齿轮部42呈筒状，在其外周部形成有齿轮421。另外，大齿轮部42与工作台部41同心配置。

小齿轮43配置于大齿轮部42的外周侧。该小齿轮43形成有与大齿轮部42的齿轮421啮合的齿轮431。

马达44能够使小齿轮43旋转。通过该旋转，能够使大齿轮部42连同工作台部41上的IC器件90旋转(参照图21)。并且，IC器件90旋转由姿势检测部25B检测出的旋转角度θ，因而，调整成为检查适当姿势。

姿势检测部25B的拍摄部251被配置为其透镜朝向铅锤上方，即面对工作台部41的开口部411。

另外，姿势检测部25B除拍摄部251外，还具有支承拍摄部251和环状照明253的支承部254。

环状照明253与该拍摄部251同心地配置于拍摄部251的外周侧。并且，环状照明253能够在由拍摄部251进行拍摄时照亮作为拍摄对象的IC器件90。由此，能够清晰地拍摄IC器件90。

支承部254与未图示的移动机构连接。通过该移动机构的工作，能够使拍摄部251和环状照明253一并地向Z方向的正侧(参照图23)、或者Z方向的负侧移动。由此，能所够如下述调整拍摄部251的焦点位置，因而，能够防止针对IC器件90的焦点不对准，图像IM不清晰。

接下来，参照图18～图23对IC器件90以旋转角度θ旋转直至由器件搬运头13B把持的检查装置1的动作进行说明。另外，在本实施方式中，当然能够拍摄作台部41上的IC器件90，也能够拍摄以旋转角度θ转动后，即在调整姿势后由器件搬运头13B把持的状态的IC器件90。

如图18所示，将在利用器件搬运头13B处于把持状态的IC器件90搬运至旋转工作台4上的规定位置，并在该位置停止。

接下来，如图19所示，使吸引IC器件90的吸引部131下降，使该IC器件90与旋转工作台4的工作台部41抵接。此时，IC器件90的各端子部902配置在工作台部41的开口部411内。

接下来，如图20所示，解除针对IC器件90的吸引状态，使吸引部131上升。由此，IC器件90载置在工作台部41上。另外，此时，使拍摄部251工作，拍摄工作台部41上的IC器件90的各端子部902。并且，如上述那样求出旋转角度θ。

接下来，如图21所示，使旋转工作台4工作，使IC器件90旋转旋转角度θ。由此，工作台部41上的IC器件90成为检查适当姿势。

接下来，如图22所示，使吸引IC器件90的吸引部131再次下降，使吸附盘134与IC器件90接触。并且，再次开始针对保持该状态的IC器件90的吸引状态。

接下来，如图23所示，使吸引部131上升。由此，IC器件90成为由吸引部131把持的状态，并且与旋转工作台4分离。然后，使拍摄部251再次工作，拍摄IC器件90的各端子部902，求出此时的旋转角度θ。然后，能够根据该旋转角度θ的程度来确认再吸附后的IC器件90是否在维持检查适当姿势。在维持检查适当姿势、即旋转角度θ在规定值θ₀的范围内的情况下，能够将IC器件90搬运至器件供给部14。另一方面，在未维持检查适当姿势、即旋转角度θ在规定值θ₀的范围外的情况下，再次将IC器件90载置于旋转工作台4来调整姿势。重复该调整直至再吸附后的IC器件90的旋转角度θ在规定值θ₀的范围内。

另外，在拍摄再吸附后的IC器件90时，该IC器件90处于上升而与旋转工作台4分离的位置。因此，如图23所示，姿势检测部25B追随IC器件90的上升向上方移动。由此，能够调整为与IC器件90和拍摄部251的分离距离相应的焦点位置，能够进行清晰的拍摄。

应予说明，拍摄部251在上下方向的移动被限制的情况下，也能够更换为具有自动焦点调整功能的自动对焦像机。

接下来，基于图24所示的流程图对将IC器件90从在检查装置1中载置于旋转工作台4直至载置于器件供给部14的程序进行说明。

像上述那样使器件搬运头13B工作，将IC器件90载置在旋转工作台4上(步骤S201)。

接下来，在解除了针对IC器件90的利用吸引部131的吸引后(步骤S202)，使该吸引部131上升(步骤S203)。

接下来，利用姿势检测部25B的拍摄部251拍摄旋转工作台4上的IC器件90(步骤S204)。

接下来，像上述那样检测旋转角度θ(步骤S205)，并判断该检测出的旋转角度θ是否在规定值θ₀内(步骤S206)。

在步骤S206中判断为旋转角度θ不在规定值θ₀内的情况下，使旋转工作台4工作，使旋转工作台4上的IC器件90旋转该旋转角度θ(步骤S207)。

接下来，使吸引部131下降至与IC器件90抵接(步骤S208)，开始吸引(步骤S209)。应予说明，在步骤S206中判断为旋转角度θ在规定值θ₀内的情况下，依次执行步骤S208以下的步骤。

接下来，使吸引了IC器件90的吸引部131上升，从旋转工作台4暂时去除IC器件90(步骤S210)。

接下来，利用姿势检测部25B的拍摄部251拍摄与旋转工作台4分离的状态的IC器件90(步骤S211)。此时，像上述那样使姿势检测部25B向上方移动，调整拍摄部251的焦点位置。

接下来，像上述那样检测旋转角度θ(步骤S212)，并判断该检测出的旋转角度θ是否在规定值θ₀内(步骤S213)。

接下来，使吸引着IC器件90的吸引部131下降，将IC器件90再次载置在旋转工作台4上(步骤S214)。

接下来，在解除针对IC器件90的利用吸引部131的吸引后(步骤S215)，使该吸引部131上升(步骤S216)。

接下来，使旋转工作台4工作，使旋转工作台4上的IC器件90旋转在步骤S212中检测出的旋转角度θ(步骤S217)。

接下来，使吸引部131下降至与IC器件90抵接(步骤S218)，开始吸引(步骤S219)。

接下来，使吸引部131上升，从旋转工作台4去除IC器件90(步骤S220)，通过器件搬运头13B的工作将该IC器件90载置于器件供给部14。

另外，在步骤S213中判断为旋转角度θ在上述规定的允许范围内的情况下，保持原样使器件搬运头13B工作，将IC器件90载置于器件供给部14。

另外，在本实施方式中，也能够在步骤S207与步骤S208之间追加“利用姿势检测部25B的拍摄部251拍摄IC器件90”的步骤。

(第四实施方式)

图25是表示将由第四实施方式的电子部件检查装置正在搬运的IC器件的姿势调整为适当的姿势的状态的局部垂直剖视图。

以下，参照该图对本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置的第四实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略其说明。

本实施方式的检查装置1C除旋转工作台的工作台部的构成不同以外，与上述第三实施方式的检查装置1B相同。

如图25所示，在本实施方式的检查装置1C中，旋转工作台4C的工作台部41C省略开口部411，为整体能够透光的例如由玻璃材料构成的透光部。由此，能够与IC器件90的大小无关，将IC器件90稳定地载置于工作台部41。

(第五实施方式)

图26是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的第五实施方式的概要立体图。图27是表示图26所示的电子部件检查装置的动作状态的概要俯视图。图28是表示图26所示的电子部件检查装置的器件供给部的立体图。图29是图28所示的器件供给部的放大立体图。图30是图29中的B-B线剖视图。图31是图30中的以虚线包围的区域的放大图。图32～图35是表示将IC器件收纳于器件供给部的收纳部的动作的剖视图。图36是用于说明将IC器件收纳于器件供给部的收纳部的动作的时间图。图37以及图38是表示检查用把持部把持载置于器件供给部的IC器件的动作的剖视图。图39以及图40是表示图26所示的电子部件检查装置的控制动作的流程图。

以下，参照该图对本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置的第五实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略其说明。

如图27所示，检查装置1D被划分为托盘供给区域A1、器件供给区域(以下仅称作“供给区域”)A2、检查区域A3、器件回收区域(以下仅称作“回收区域”)A4、以及托盘去除区域A5。并且，IC器件90从托盘供给区域A1至托盘去除区域A5按顺序经由上述各区域，在中途的检查区域A3进行检查。这样，检查装置1D具备在各区域搬运IC器件90的电子部件搬运装置(处理器)、在检查区域A3内进行检查的电子部件检查部16、以及控制部800。另外，除此以外，检查装置1D具备监视器300、信号灯400、以及操作面板700(参照图26)。

应予说明，对于检查装置1D，配置托盘供给区域A1、托盘去除区域A5的那一侧(图27中的-Y轴侧)作为正面侧，其相反侧即配置检查区域A3的那一侧(图27中的+Y轴侧)作为背面侧使用。

在供给区域A2设置有温度调整部12、器件搬运头13D、托盘搬运机构15、以及姿势检测部(检测部)25。

器件搬运头13D被以在供给区域A2内能够沿X方向以及Y方向移动、并且也能够沿Z方向移动的方式支承。由此，器件搬运头13D能够担任从托盘供给区域A1搬入的托盘200与温度调整部12之间的IC器件90的搬运、以及温度调整部12与下述的器件供给部14D之间的IC器件90的搬运。应予说明，在温度调整部12与器件供给部14D之间的IC器件90的搬运中，IC器件90经过姿势检测部25上。

姿势检测部25检测利用器件搬运头13D把持的把持状态的IC器件90的姿势。该姿势检测部25能够通过拍摄把持状态的IC器件90来检测该IC器件90的姿势。

检查区域A3是检查IC器件90的区域。在该检查区域A3设置有电子部件检查部16、以及作为搬运部的器件搬运头17D。另外，也设置有以跨越供给区域A2和检查区域A3的方式移动的器件供给部14D、以及以跨越检查区域A3和回收区域A4的方式移动的器件回收部18。

器件供给部14D是能够载置利用温度调整部12进行了温度调整的IC器件90，并将该IC器件90搬运(移动)至电子部件检查部16附近的载置部，有时被称作“供给用穿梭板”。该器件供给部14D被以能够在供给区域A2与检查区域A3之间沿着X方向在水平方向移动的方式支承。在图27所示的构成，器件供给部14D在Y方向配置有2个，温度调整部12上的IC器件90被搬运至任意一个器件供给部14D。另外，器件供给部14D构成为能够针对上述进行了温度调整的IC器件90维持该温度调整状态。由此，能够冷却或加热IC器件90，因而，能够维持该IC器件90的温度调整状态。

应予说明，在本实施方式中，如图27所示，姿势检测部25在2个器件供给部14D位于供给区域A2的状态下配置在这两个器件供给部14D之间。

作为搬运部的器件搬运头17D被以能够在检查区域A3内沿Y方向以及Z方向移动的方式支承。由此，器件搬运头17D能够将从供给区域A2搬入的器件供给部14D上的IC器件90搬运并载置在电子部件检查部16上。应予说明，器件搬运头17D也能够冷却或加热IC器件90而将该IC器件90调整为适于检查的温度。

器件回收部18是能够载置利用电子部件检查部16的检查结束的IC器件90并将该IC器件90搬运(移动)至回收区域A4的载置部，有时被称作“回收用穿梭板”。该器件回收部18被以能够在检查区域A3与回收区域A4之间沿着X方向在水平方向移动的方式支承。另外，在图27所示的构成中，器件回收部18与器件供给部14D相同，在Y方向配置有2个，电子部件检查部16上的IC器件90被搬运至任意一个器件回收部18而载置。该搬运通过器件搬运头17D来进行。

控制部800例如具有驱动控制部。驱动控制部例如控制托盘搬运机构11A、11B、温度调整部12、器件搬运头13D、器件供给部14D、托盘搬运机构15、电子部件检查部16、器件搬运头17D、器件回收部18、器件搬运头20、托盘搬运机构21、托盘搬运机构22A、22B、以及姿势检测部25的各部的驱动。

应予说明，上述测试器的检查控制部例如基于存储于未图示的存储器内的程序来进行配置于电子部件检查部16的IC器件90的电特性的检查等。

操作人员能够经由监视器300设定或者确认检查装置1D的动作条件等。该监视器300具有例如由液晶画面构成的显示画面(显示部)301，并配置在检查装置1D的正面侧上部。如图26所示，在托盘去除区域A5的图中的右侧设置有载置在操作显示于监视器300的画面时使用的鼠标的鼠标台600。

另外，相对于监视器300在图26中的右下方配置有操作面板700。操作面板700与监视器300独立地向检查装置1D命令所希望的动作。

另外，信号灯400能够通过发光的颜色的组合来通知检查装置1D的工作状态等。信号灯400配置在检查装置1D的上部。应予说明，在检查装置1D内置扬声器500，也能够通过该扬声器500来通知检查装置1D的工作状态等。

如图27所示，对于检查装置1D，托盘供给区域A1与供给区域A2之间被第一隔壁61划分(分隔)，供给区域A2与检查区域A3之间被第二隔壁62划分，检查区域A3与回收区域A4之间被第三隔壁63划分，回收区域A4与托盘去除区域A5之间被第四隔壁64划分。另外，供给区域A2与回收区域A4之间也被第五隔壁65划分。这些隔壁具有保持各区域的气密性的功能。并且，检查装置1D的最外层被盖覆盖，该盖例如有前盖70、侧盖71、侧盖72、后盖73、以及顶盖74。

检查装置1D为作为IC器件90能够检查俯视下的外形形状呈矩形的器件，但尤其适于检查俯视下在外形的至少一部分具有曲线形状即带圆弧的器件的装置。作为这样的带圆弧的IC器件90，不进行特别限定，例如能够列举图3～图5所示的器件，例如能够内置于手表使用。

在将IC器件90搬运至电子部件检查部16时，在俯视呈矩形的IC器件90中，能够以其直线状的边缘部为基准进行定位，但在俯视带有圆弧的IC器件90，由于边缘部901c弯曲成圆弧状或者椭圆弧状，所以难以以该边缘部901c为基准进行定位。

以下，对适于搬运这样的带圆弧的IC器件90的构成进行说明。应予说明，在本实施方式中，作为带圆弧的IC器件90，代表性地处理图3所示的IC器件90。

首先，对器件搬运头13D进行说明。

如图27以及图32～图35所示，器件搬运头13D具有吸引部131、以及支承吸引部131的基体(未图示)。应予说明，在本实施方式中，吸引部131设置有4个，但在图32～图35，代表性图示1个。

各吸引部131例如具有与喷射器等真空产生装置连接的圆环状的吸附盘134。通过在吸附盘134与IC器件90的表侧的面901b抵接的状态下真空产生装置工作，能够利用吸附盘134吸引IC器件90。并且，能够保持该吸引状态搬运IC器件90。这样，吸引部131为通过吸引来把持IC器件90并能够维持该把持状态的把持部。另外，解除IC器件90的把持状态能够通过真空产生装置中的真空破坏来进行。

另外，通过由吸引部131把持IC器件90，例如与通过手指、爪等把持IC器件90的构成相比，能够简化器件搬运头13D的构成。

接下来，对器件供给部14D进行说明。

如图28以及图29所示，器件供给部14D由板状部件构成，具备收纳IC器件90的4个收纳部23、设置在收纳部23内并支承IC器件90的支承部24、进行IC器件90的定位的定位孔5、吸引部8、以及检测IC器件90的有无的IC器件检测部9。

如图28所示，各收纳部23以格子状配置。应予说明，由于各收纳部23分别是同样的构成，所以在下文中，代表性地对一个收纳部23进行说明。

如图29所示，收纳部23由在+Z侧开放且具有底部231和内周部(外周抵接部)232的凹部构成。该收纳部23在从Z轴向观察时呈圆形，并能够在内侧收纳IC器件90。应予说明，以下，将在收纳部23收纳IC器件90的状态称作“收纳状态”，在该收纳状态下，为适于检查的姿势(检查适当姿势)。

在底部231设置有吸引部8的吸引孔81和支承部24。另外，内周部232在收纳状态下与IC器件90的外周部即边缘部901c抵接(参照图30)。由此，能够防止在收纳状态下IC器件90在XY面内移动。因而，能够维持收纳状态。

支承部24是在收纳状态下与IC器件90的下表面抵接的部分。支承部24具有第一支承部241、第二支承部242、第三支承部243、以及第四支承部244。第一支承部241～第四支承部244配置在设置于底部231的中央部的吸引孔81的周边。

第一支承部241配置在吸引孔81的-X轴侧。第二支承部242配置在吸引孔81的+Y轴侧。第三支承部243配置在吸引孔81的+X轴侧。第四支承部244配置在吸引孔81的-Y轴侧。

另外，第一支承部241、第二支承部242以及第三支承部243呈板状，厚度比收纳部23的深度小。第四支承部244呈沿着X轴向设置的棱柱状。另外，第一支承部241～第四支承部244的厚度(Z轴向的厚度)相同，例如可以为0.5mm以上、0.8mm以下。

另外，第一支承部241的上表面241a、第二支承部242的上表面242a、第三支承部243的上表面243a、以及第四支承部244的上表面244a在收纳状态下与和IC器件90的端子部902不同的部分即主体部901的背侧的面901a抵接而支承IC器件90。

这样，第一支承部241～第四支承部244形成于底部231，成为Z轴向的高度与底部231不同的台阶部。由此，能够成为使IC器件90的端子部902与底部231分离的状态。因而，能够防止在收纳状态下，由于端子部902与底部231接触引起损伤。

优选面对这样的第一支承部241～第四支承部244以及器件供给部14D的收纳部23的部分，即与IC器件90接触的部分由具有导电性的材料构成。由此，能够防止IC器件90带电。因而，能够防止由IC器件90带电引起故障。

作为具有导电性的材料，不进行特别限定，例如能够使用不锈钢、铝、铝合金等这样的各种金属材料、使丙烯酸类、聚氨酯系、聚酯系、环氧类、聚氯乙烯系、三聚氰胺系、聚酰亚胺系等树脂材料中含有具有导电性的填充物的材料等。另外，作为该填充物，不进行特别限定，例如能够列举氧化锌系、氧化钛系、氧化锡系、氧化铟系、氧化锑系等。

如图29所示，在第一支承部241，在相互不同的位置各形成一个在上表面241a开放的定位孔5以及逃避孔10。另外，在第二支承部242，在相互不同的位置形成有在上表面242a开放的3个逃避孔10。另外，在第三支承部243，在相互不同的位置各形成一个在上表面243a开放的定位孔5以及逃避孔10。在此，在第一支承部241以及第三支承部243分别设置的2个定位孔5分别相当于第一凹部或第二凹部，例如若第一支承部241的定位孔5相当于第一凹部，则第三支承部243的定位孔5相当于第二凹部。

以下，对定位孔5以及逃避孔10进行说明，各定位孔5除形成位置不同以外，为同样的构成，因此代表性地对一侧的定位孔5进行说明。另外，各逃避孔10除形成位置不同以外，为同样的构成，因此代表性对一个逃避孔10进行说明。

定位孔5在从Z轴向观察时由圆形的孔构成。该定位孔5是成为IC器件90相对于器件供给部14D的定位的基准的端子部902所插入的孔。

另外，如图31所示，定位孔5的开口51附近的内周部52呈锥状。即，定位孔5具有开口51附近随着向深度方向行进内径变小的锥部53。由此，在使之为插入状态时，端子部902边被锥部53引导边被插入至定位孔5内。因而，在使之为插入状态时，即使端子部902与定位孔5的位置略微偏移，也能够成为插入状态。应予说明，如图3所示，对于定位用的端子部902，以下作为第一端子以及第二端子也称作端子部902a、902b。

应予说明，在将端子部902a、902b插入至定位孔5内时，通过减弱器件搬运头13D的励磁状态，成为所谓的“浮置状态”，能够使器件搬运头13D绕Z轴略微旋转。通过作为该浮置状态将端子部902插入至定位孔5内，端子部902容易被锥部53引导。因而，能够更加顺利地进行端子部902的插入。

另外，如图30所示，在插入状态下，定位孔5的内周部52与定位用的端子部902(端子部902a、902b)抵接。由此，端子部902被定位孔5的内周部52限制移动。因而，能够防止在插入状态下IC器件90沿周方向旋转。因此，能够在进行了IC器件90的定位的状态下，尤其进行了周方向的定位的状态下将IC器件90搬运至电子部件检查部16。结果，能够准确地进行检查。

如图29所示，逃避孔10设置于定位孔5的附近。逃避孔10是在收纳状态下定位用的端子部902a、902b以外的端子部902所插入的部分。

该逃避孔10的内径φ₁₀比定位孔5的内径φ₅大。因此，在收纳状态下，端子部902与逃避孔10的内周部101成为非接触状态。因而，能够防止定位用的端子部902以外的端子由于与内周部101接触而引起损伤。

在此，定位用的端子部902a、902b像上述那样与定位孔5的内周部52接触(参照图30)。在检查装置1D中，由于IC器件90的主体部901与第一支承部241～第四支承部244接触，所以能够在以IC器件整体观察时，使端子部902a、902b与定位孔5的内周部52接触的面积与主体部901与第一支承部241～第四支承部244接触的面积相比较小。由此，即使在收纳状态下施加IC器件90与器件供给部14D位置偏移的方向的外力，也能够防止或抑制在定位用的端子部902a、902b集中负荷。结果，能够防止或抑制在端子部902a、902b产生损伤。

通过在位于检查区域A3的紧前的器件供给部14D设置以上说明那样的构成，能够减少IC器件90在搬运中引起位置偏移的风险。因而，能够更加准确地进行检查。

此外，在上文中，对将多个端子部902中的2个端子部902a、902b作为作为定位基准的第一端子以及第二端子，将2个定位孔5的内周部52分别作为第一抵接部以及第二抵接部进行了说明。本发明并不局限于此，也可以以3个以上的端子部902作为定位基准，设置与它们对应的3个以上的定位孔5。

接下来，对吸引部8进行说明。

如图30以及图32～图35所示，吸引部8具有设置于收纳部23的底部231的吸引孔81、以及经由吸引孔81进行吸引的吸引泵82。

如图32～图35所示，吸引孔81与位于器件供给部14D的厚度方向的中途的空洞部141连通。另外，该空洞部141也与上述的定位孔5以及逃避孔10连通。因此，在器件供给部14D中，在逃避孔10也能够进行吸引。

作为吸引泵82，能够使用喷射器等真空产生装置。另外，吸引泵82与控制部800电连接，通过控制部800控制工作。

根据这样的吸引部8，通过在收纳状态下使吸引泵82工作，能够将IC器件90向-Z轴侧吸引。因而，能够稳定地维持上述定位状态。

在此，第一支承部241～第四支承部244在XY平面相互分离。即，在第一支承部241～第四支承部244之间分别形成有间隙S。因此，在收纳状态下，成为吸引孔81经由各间隙S与收纳部23的外侧连通的状态。通过该连通，吸引部8的吸引力与省略间隙S的情况相比变弱。因而，与吸引力变弱相应地，IC器件90被吸附至第一支承部241～第四支承部244的力变弱。结果，能够减少由吸引对IC器件90产生的负荷。

这样，在检查装置1D中，能够兼顾基于吸引的检查适当姿势的维持和对IC器件90的负荷的减少这两个相反的特性。

另外，吸引部8针对4个收纳部23分别各设置一个。因此，与通过一个吸引泵82吸引4个收纳部23内的IC器件90的情况相比，能够增强吸引力。另外，各吸引部8能够相互独立地工作。由此，能够独立地调节各吸引部8的吸引力的强弱。

接下来，对IC器件检测部9进行说明。

如图29以及图32～图35所示，IC器件检测部9是检测在收纳部23收纳了IC器件90的部件。该IC器件检测部9具有光学传感器91和吸引力传感器(吸引力检测部)92。

图29所示的光学传感器91具有发出激光L的发光部911、以及接受发出的激光L的受光部912。

发光部911配置在与收纳部23连通的槽233内。该槽233从收纳部23向+Y轴向延伸，发光部911向-Y轴向发出激光L。这样的发光部911与控制部800电连接，控制工作。

受光部912配置在与收纳部23连通的槽234内。该槽234从收纳部23向-Y轴向延伸。因此，受光部912设置于经由收纳部23与发光部911对置的位置。这样的受光部912与控制部800电连接，控制工作。

在成为收纳状态以前，受光部912接受激光L。另一方面，在收纳状态下，发光部911发出的激光L被IC器件90遮挡。能够根据该遮挡检测成为收纳状态。

如图32～图35所示，吸引力传感器92配置在吸引泵82的附近。作为该吸引力传感器92，若是检测吸引力传感器92的吸引力的传感器，则不进行特别限定，能够使用公知的传感器。

在成为收纳状态时，收纳部23的开口被IC器件90堵塞，吸引力发生变化。通过检测该变化，能够掌握成为收纳状态。

另外，如图32～图35所示，在吸引孔81与吸引泵82之间设置有阀体(调节部)83。该阀体83以任意开闭的方式构成，通过开闭的程度来调节吸引力。由此，例如能够根据IC器件90的种类来调节吸引力。因而，例如在吸引端子部902比较易损伤的IC器件90的情况下，能够使吸引力较弱。

接下来，基于图32～图35以及图36所示的时间图对将IC器件90配置于收纳部23的动作详细地进行说明。

在图36图示3个曲线图，最上方的曲线图(以下称作“上曲线图”)以纵轴由器件搬运头13D的高度表示，以横轴由时间表示的曲线图。正中间的曲线图(以下称作“中曲线图”)是以纵轴由器件搬运头13D的吸引部131的ON/OFF(开/关)表示，以横轴由时间表示的曲线图。最下方的曲线图(以下称作“下曲线图”)是以纵轴由吸引部8的ON/OFF(开/关)表示，横轴由实际感觉表示的图。

应予说明，图36中的t0与图32所示的状态对应。图35中的t1与图33所示的状态对应。图36中的t2与图34所示的状态对应。并且，图36中的t3与图35所示的状态对应。

图32是在成为收纳状态以前，即器件搬运头13D在保持把持IC器件90的状态下位于收纳部23的上方的状态。如图36的上曲线图所示，在图32所示的状态下，器件搬运头13D吸引IC器件90。

接下来，如图33所示，从图32所示的位置在保持把持IC器件90的状态下使13下降。此时，如图36的下曲线图所示，在IC器件90与收纳部23分离的状态下使器件供给部14D侧的吸引部8工作。即，吸引部8在从IC器件90收纳于收纳部23以前工作。因此，像下述那样，能够在将IC器件90配置于收纳部23时，已经成为吸引部8吸引IC器件90的状态。

接下来，如图34所示，器件搬运头13D从图32所示的位置下降至在保持把持IC器件90的状态下IC器件90收纳于收纳部23。此时，如图36的中曲线图所示，器件搬运头13D解除IC器件90的吸引，即解除把持。

并且，如图35所示，器件搬运头13D在保持将IC器件90保留于收纳部23的状态下上升。由此，能够成为收纳状态。

在此，假设像以往那样，在吸引部8未进行吸引的状态下解除器件搬运头13D的吸引的情况下，存在IC器件90虽然是略微的，但会旋转的情况。与此相对，在检查装置1D中，在吸引部8吸引IC器件90，维持IC器件90的收纳状态的状态下解除器件搬运头13D的吸引。由此，能够有效地防止以往那样的成为收纳状态时的位置偏移。因而，能够防止从器件搬运头13D向器件供给部14D的IC器件90的交接时检查适当姿势走样。结果，能够将IC器件90保持检查适当姿势地搬运至检查区域A3，能够准确地进行检查。

另外，如图36的中曲线图以及下曲线图所示，在吸引部8将IC器件90吸引规定时间(从时间t1至时间t2的期间)后，器件搬运头13D解除吸引。即，从时间t1至时间t2的期间为吸引部8和器件搬运头13D的双方吸引IC器件90。因而，能够更加可靠地在吸引部8吸引IC器件90的状态下解除器件搬运头13D的吸引。

以上，对在器件搬运头13D与器件供给部14D之间的供给区域(第一位置)A2的IC器件90的交换进行了说明。如图27所示，在检查装置1D，器件供给部14D在保持收纳IC器件90的状态下向检查区域(第二位置)A3内移动，器件搬运头17D把持IC器件90而将其载置在电子部件检查部16上。在器件供给部14D与器件搬运头17D之间的IC器件90的交换中也能够维持检查适当姿势。

首先，对器件搬运头(检查用把持部)17D进行说明。

如图37以及图38所示，器件搬运头17D是与器件搬运头13D同样的构成，具有吸引部171。应予说明，虽未图示，但吸引部171设置有4个，各吸引部171与各收纳部23对应。

吸引部171例如具有与喷射器等真空产生装置连接的圆环状的吸附盘174。通过在吸附盘174与IC器件90的表侧的面901b抵接的状态下真空产生装置工作，能够利用吸附盘174吸引IC器件90。然后，在该吸引状态下将IC器件90搬运至电子部件检查部16。

接下来，使用图37以及图38对从收纳部23把持IC器件90的动作进行说明。

图37是表示向检查区域A3内移动过来的状态的图。此时，器件搬运头17D位于收纳部23的上方，是吸引部171尚未工作的状态，是器件供给部14D侧的吸引部8工作的状态。

接下来，如图38所示，使器件搬运头17D下降至吸附盘174与IC器件90的表侧的面901b抵接。从抵接开始使吸引部171工作并进行把持。此时，IC器件90在收纳部23内被吸引部171和吸引部8双方吸引。

然后，在双方的吸引进行规定时间后，解除吸引部8的吸引。由此，器件搬运头17D在保持把持IC器件的状态下上升，能够将IC器件90搬运至电子部件检查部16。

这样，在检查装置1D中，在吸引部8吸引IC器件90的状态下，器件搬运头17D把持IC器件90，并在该把持的状态下解除吸引部8的吸引。由此，能够在保持维持检查适当姿势的状态下，器件搬运头17D从器件供给部14D接受IC器件90并进行搬运。因而，能够进一步准确地进行检查。

接下来，基于图39所示的流程图对器件搬运头13D将IC器件90载置于器件供给部14D时的控制部800的控制动作进行说明。

在步骤S301中，在保持吸引IC器件90的状态下使器件搬运头13D下降(参照图32)。

接下来，在步骤S302中，在器件搬运头13D下降的中途使吸引部8工作而开始吸引(参照图33)。

在步骤S303中，判断IC器件90是否收纳在收纳部23内。该判断基于受光部912的激光L的受光的有无、以及吸引力传感器92检测出的吸引力的变化来进行(参照图29以及图32～图35)。

在步骤S303中，若判断为IC器件90收纳在收纳部23内，则使计时器工作(步骤S304)。

然后，在步骤S305中，判断是否时间已到。若时间已到，则在步骤S306中解除器件搬运头13D的吸引。

接下来，基于图40所示的流程图对器件搬运头17D把持载置于器件供给部14D的IC器件90时的控制部800的控制动作进行说明。

首先，在步骤S401中，使器件搬运头17D下降至吸附盘174与IC器件90抵接(参照图37以及图38)。在该下降时，吸引部8吸引IC器件90。

在步骤S402中，若判断为吸附盘174与IC器件90抵接，则在步骤S403中，使吸引部171工作而吸引IC器件90。

然后，在步骤S404中，使计时器工作。在步骤S405中判断是否时间已到。若时间已到，则在步骤S406中停止吸引部8的吸引，在步骤S407中，器件搬运头17D在保持检查适当姿势的状态下将IC器件90搬运至电子部件检查部16。

(第六实施方式)

以下，参照该图对本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置的第六实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略其说明。

本实施方式的检查装置1E除支承部的构成/形状不同以外，与上述第五实施方式的检查装置1D相同。

如图41所示，检查装置1E的支承部24A具有第一支承部241A、第二支承部242A、第三支承部243A、以及第四支承部244A。第一支承部241A～第四支承部244A分别呈棱柱状，以从Z轴向观察时包围吸引孔81的方式设置。

第一支承部241A设置于吸引孔81的+Y轴侧，沿X轴向延伸。第二支承部242A设置于吸引孔81的-Y轴侧，沿X轴向延伸。第三支承部243A设置于吸引孔81的-X轴侧，沿Y轴向延伸。第四支承部244A设置于吸引孔81的+X轴侧，沿Y轴向延伸。

这样的支承部24A在收纳状态下，第一支承部241A～244A的上表面245分别与IC器件90的主体部901抵接，支承IC器件90。

另外，第一支承部241A的+Y轴侧的面(外周部)2411A与端子部902中的偏向+Y轴侧的2个端子部902抵接。另外，第二支承部242A的-Y轴侧的面(外周部)2421A与端子部902中的偏向-Y轴侧的2个端子部902抵接。另外，第三支承部243A的-X轴侧的面(外周部)2431A与端子部902中的偏向-X轴侧的一个端子部902抵接。

另外，第四支承部244A的+X轴侧的面(外周部)2441A与端子部902中的偏向+X轴侧的一个端子部902抵接。

根据这样的本实施方式，第一支承部241A～第四支承部244A能够从IC器件90的内周侧朝向外周侧与端子部902抵接。因而，能够在收纳状态下有效地维持检查适当姿势。

应予说明，第一支承部241A～第四支承部244A能够省略它们中的2个，即使仅以2个的构成也能够发挥与上述相同的功能。该情况下，2个支承部作为第一抵接部(第一凸部)以及第二抵接部(第二凸部)发挥功能。

(第七实施方式)

以下，参照该图对本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置的第七实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略其说明。

本实施方式的检查装置1F除支承部的配置位置不同以外，与上述第六实施方式的检查装置1E相同。

如图42所示，检查装置1F的支承部24B具有第一支承部241B、第二支承部242B、第三支承部243B、以及第四支承部244B。

第一支承部241B是与上述的第六实施方式中的第一支承部241A相同的构成。另外，第二支承部242B是与上述的第六实施方式中的第二支承部242A相同的构成。

第三支承部243B(外周抵接部)配置在吸引孔81的-X轴侧，在收纳状态下，与IC器件90的边缘部901c抵接。第四支承部244B(外周抵接部)配置在吸引孔81的+X轴侧，在收纳状态下，与IC器件90的边缘部901c抵接。

根据这样的本实施方式，在收纳状态下，能够防止IC器件90在收纳部23内引起位置偏移，并且能够有效地维持检查适当姿势。

尤其是由于第三支承部243B以及第四支承部244B作为外周抵接部发挥功能，所以能够消除收纳部23的大小的限制。即，无需使收纳部23与IC器件90的从Z轴向观察时的大小相同，能够使收纳部23的大小比IC器件90大。因而，也能够收纳比图示的IC器件90大的IC器件90，通用性优良。

(第八实施方式)

以下，参照该图对本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置的第八实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略其说明。

本实施方式的检查装置1G除指示部的构成/形状不同以外，与上述第六实施方式的检查装置1E相同。

如图43所示，检查装置1G的支承部24C具有第一支承部241C、第二支承部242C、第三支承部243C、以及第四支承部244C。

第一支承部241C在收纳状态下位于偏向+Y轴侧的端子部902的外侧(+Y轴侧)。第二支承部242C在收纳状态下位于偏向-Y轴侧的端子部902的外侧(-Y轴侧)。第三支承部243C在收纳状态下位于偏向-X轴侧的端子部902的外侧(-X轴侧)。第四支承部244C在在收纳状态下位于偏向+X轴侧的端子部902的外侧(+X轴侧)。

根据这样的本实施方式，第一支承部241C～第四支承部244C能够从IC器件90的外周侧朝向内周侧与端子部902抵接。因而，能够在收纳状态下有效地维持检查适当姿势。

(第九实施方式)

以下，参照该图对本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置的第九实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略其说明。

本实施方式的检查装置1H除抵接部的构成/形状不同以外，与上述第五实施方式的检查装置1D相同。

如图44所示，在本实施方式的检查装置1H中，省略支承部24，在收纳部23H的底部231H设置有定位孔5H。定位孔5H在从Z轴向观察时相对于收纳部23H偏心地设置。即，位于从收纳部23H的中央部(吸引孔81)偏离的位置。在收纳状态下，端子部902与定位孔5H的内周部52抵接。另外，收纳部23H的内周部232与IC器件90的边缘部901c抵接。

这样，在本实施方式中，能够通过定位孔5H的内周部52和收纳部23H的内周部232在收纳状态下有效地维持检查适当姿势。并且，能够省略支承部，能够简化构成。

(第十实施方式)

以下，参照该图对本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置的第十实施方式进行说明，以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略其说明。

本实施方式的检查装置1J除抵接部的构成/形状不同以外，与上述第六实施方式的检查装置1E相同。

如图45所示，本实施方式的检查装置1J还具有支承部24D。支承部24D具有第一支承部241D、第二支承部242D、第三支承部243D、以及第四支承部244D。

第一支承部241D与IC器件90的+Y轴侧的边缘部901c抵接。第二支承部242D与IC器件90的-Y轴侧的边缘部901c抵接。第三支承部243D与IC器件90的-X轴侧的边缘部901c抵接。第四支承部244D与IC器件90的+X轴侧的边缘部901c抵接。

根据这样的本实施方式，能够通过支承部24D以IC器件90的外形为基准进行定位(预先定位)，通过支承部24A与端子部902抵接，以成为检查适当姿势的方式进行定位(正式定位)。即，根据本实施方式，能够以IC器件90的外形基准进行X方向以及Y方向的定位，通过支承部24A进行绕Z轴的定位。因而，能够在收纳部23中，进一步准确且迅速地成为检查适当姿势。

(第十一实施方式)

以下，参照该图对本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置的第十一实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略其说明。

本实施方式的检查装置1K除器件供给部的构成/形状不同以外，与上述第五实施方式的检查装置1D相同。

如图46所示，器件供给部14K具有设置于与收纳部23相反侧的照相机26。照相机26例如由CCD像机等构成，经由吸引孔81从下侧拍摄器件搬运头13D把持的IC器件90。另外，以下对通过照相机26在器件搬运头13D提起IC器件90即IC器件90与收纳部23分离的状态下拍摄IC器件90的情况进行说明。应予说明，照相机26也可以在收纳状态下拍摄IC器件90。

由这样的照相机26拍摄出的图像被发送至控制部800，进行以下这样的控制。

在判断为IC器件90维持检查适当姿势的情况下，向电子部件检查部16搬运IC器件90(参照图27)。另一方面，在判断为IC器件90不是检查适当姿势的情况下，能够再次在收纳部23收纳IC器件90并使其成为检查适当姿势。应予说明，在判断为IC器件90不是检查适当姿势的情况下，也可以不进行检查而搬运至器件回收部18(参照图27)。

以上，通过图示的实施方式对本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置进行了说明，但本发明并不局限于此，能够将构成电子部件搬运装置以及电子部件检查装置的各部置换为能够发挥同样的功能的任意的构成。另外，也可以附加任意的构成物。

另外，本发明的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置也可以是上述各实施方式中的任意2个以上的构成(特征)的组合。

IC器件除矩形、图3～图5所示的形状外，例如也可以是圆形的一部分缺损的形状、星形。

附图标记说明：1…检查装置(电子部件检查装置)；11A…托盘搬运机构；11B…托盘搬运机构；12…温度调整部；13…器件搬运头；131…吸引部；131a…吸引部；131b…吸引部；131c…吸引部；131d…吸引部；132…基体；133…管体；134…吸附盘；14…器件供给部；15…托盘搬运机构；16…电子部件检查部；17…器件搬运头；18…器件回收部；19…回收用托盘；20…器件搬运头；21…托盘搬运机构；22A…托盘搬运机构；22B…托盘搬运机构；23…收纳部；25…姿势检测部；251…拍摄部；252…反射部件；253…环状照明；254…支承部；3…转动驱动部；31…马达；311…轴(输出轴)；32…带轮；33…张紧轮；34…同步带；35…马达；4…旋转工作台；41…工作台部；411…开口部；42…大齿轮部；421…齿轮；43…小齿轮；431…齿轮；44…马达；61…第一隔壁；62…第二隔壁；63…第三隔壁；64…第四隔壁；65…第五隔壁；70…前盖；71…侧盖；72…侧盖；73…后盖；74…顶盖；90…IC器件；901…主体部；901a…背侧的面；901b…表侧的面；901c…边缘部；901d…边；902…端子部；902a…端子部；902b…端子部；903…直线；200…托盘(载置部件)；300…监视器；301…显示画面；400…信号灯；500…扬声器；600…鼠标台；700…操作面板；800…控制部；A1…托盘供给区域；A2…器件供给区域(供给区域)；A3…检查区域；A4…器件回收区域(回收区域)；A5…托盘去除区域；IM…图像(实际图像)；IM₀…图像；O₉₀…中心点；S101～S107…步骤；S201～S220…步骤；θ…旋转角度(旋转量)；θa…旋转角度；θb…旋转角度；θc…旋转角度；θd…旋转角度；θ₀…规定值(阈值)。

Claims

1.一种电子部件搬运装置，其特征在于，具有：

把持部，其能够在把持电子部件的把持状态下至少调整所述电子部件的姿势；

检测部，其能够检测所述把持状态的所述电子部件的姿势；以及

载置部，其能够载置由所述检测部检测出所述姿势的所述电子部件并进行移动。

2.根据权利要求1所述的电子部件搬运装置，其特征在于，

所述把持部是使所述把持状态的所述电子部件旋转的部件，

利用所述把持部旋转的旋转角度至少是180°。

3.根据权利要求1或2所述的电子部件搬运装置，其特征在于，

在所述把持部具有能够调整所述姿势的多个姿势调整部。

4.根据权利要求3所述的电子部件搬运装置，其特征在于，

所述多个姿势调整部能够分别调整所述姿势。

5.根据权利要求3或4所述的电子部件搬运装置，其特征在于，

所述多个姿势调整部能够分别独立地对所述电子部件进行旋转控制。

6.根据权利要求5所述的电子部件搬运装置，其特征在于，

具有使所述多个姿势调整部转动驱动的一个转动驱动部。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的电子部件搬运装置，其特征在于，

所述电子部件在外形的一部分具有曲线形状。

8.根据权利要求7所述的电子部件搬运装置，其特征在于，

所述曲线形状是圆弧形状。

9.根据权利要求1～8中任意一项所述的电子部件搬运装置，其特征在于，

所述电子部件的外形是圆形。

10.一种电子部件检查装置，其特征在于，具有：

把持部，其能够在把持电子部件的把持状态下至少调整姿势；

载置部，其能够载置由所述检测部检测出所述姿势的所述电子部件并进行移动；以及

电子部件检查部，其检查所述电子部件。