CN106706176A - 具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器 - Google Patents
具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106706176A CN106706176A CN201611047561.2A CN201611047561A CN106706176A CN 106706176 A CN106706176 A CN 106706176A CN 201611047561 A CN201611047561 A CN 201611047561A CN 106706176 A CN106706176 A CN 106706176A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electrode
- capacitive
- touch sensor
- micro
- protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器。由从上至下依次的指纹状表面微凸起、上层电容电极基底、上层电容电极、二维正弦微凸起介电层、下层电容电极和下层电容电极基底层叠而成，指纹状表面微凸起用于接收外部力刺激，上、下层电容电极基底作为结构支撑，上、下层电容电极上的电极极片串联方向呈正交布置，并与二维正弦微凸起介电层三者共同构成传感器的电容主体，在指纹状表面微凸起上表面受到外部力刺激后，通过电容主体感测电容变化并转换获得受力的大小、方向。本发明解决了传感器对于多维力的高灵敏度实时检测问题，可在对灵敏度要求高的人工假肢、手术机械手等领域应用。
Description
技术领域
本发明涉及柔性触觉传感器，尤其是涉及了一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器。
技术背景
为了使机器人的工作和行为能力尽可能接近人类，能够和人类协同工作，除了需要更精确的运动和操作控制，还需要一套与人类接近的识别感知系统。通常，机器人的控制主要是通过机械部件的空间位置信息或者加之以一定的图像识别信息的不断反馈来完成的。而触觉传感器的出现使其在原有的基础上增加了机械部件与外界环境的接触信息，使得机械部件与控制程序之间的相互反馈更加完善。同时，触觉传感器也在人类和机器人之间搭起了新的人机接口。可见触觉传感器的研究不可或缺。智能假肢是触觉传感器应用的一大领域。传统的假肢对于触觉感知能力的缺失，使其康复效果和残疾修复能力大打折扣。因此触觉传感器对于假肢的触觉感知系统建立具有重大的意义。触觉传感器的引入，可使人工假肢成为患者身体的一部分，在假肢与患者、假肢与环境之间搭建有效的信息交互的渠道，为患者建立触觉感知能力，实现人工假肢的仿生化、智能化。同时，触觉传感器可为手术机械手提供高灵敏度的触觉感知，在微创手术中能够发挥巨大的作用。
目前，触觉传感器可以根据其传感机制分为以下几种：电阻式、电容式、压电式、光学式及其他形式的传感器，其中电容式触觉传感器因其良好的灵敏度与空间分辨率、受温度影响小的特点得到了广泛的关注。
现有触觉传感器虽种类繁多，但在灵敏度上还未达到微小力精密检测的要求，因此，设计一种具有高灵敏度的传感器十分重要。
发明内容
为了弥补现有技术中的缺失，本发明的目的在于提供一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，具有高灵敏度特点。
本发明采用的技术方案是：
本发明的电容式触觉传感器主要是由从上至下依次的指纹状表面微凸起、上层电容电极基底、上层电容电极、二维正弦微凸起介电层、下层电容电极和下层电容电极基底紧密层叠而成，具备多维力测量能力。其中，指纹状表面微凸起用于接收外部力刺激，上层电容电极基底、下层电容电极基底作为结构支撑，上层电容电极与下层电容电极上的电极极片串联方向呈正交布置，并与二维正弦微凸起介电层三者共同构成传感器的电容主体，在指纹状表面微凸起上表面受到外部力刺激后，通过电容主体感测为电容变化，并进而通过电容变化转换获得所受力的大小、方向。
所述上层指纹状表面微凸起、电容电极基底、二维正弦微凸起介电层、下层电容电极基底均采用具备良好柔性的材料，具体可采用有机聚合物制造。
所述微凸起介电层为具有二维正交正弦波形貌上表面的柔性薄膜，单个凸起高度6～10μm，宽度65～75μm，介电层的平均厚度55～60μm，使得能增强传感器对于多维力检测的灵敏度。二维正交正弦波形貌上表面是指上表面沿相正交的两个方向的截面均为正弦波形状。
所述的指纹状表面微凸起上表面具有与人手指尖皮肤相近的纹理形貌，单个凸起高度3～5μm，宽度65～75μm，微凸起层的平均厚度45～50μm，使得能接收外部力刺激并改善受力情况。
所述上层电容电极与下层电容电极均由多片电极极片间隔阵列排布而成，上层电容电极电极极片的阵列排布方式和下层电容电极电极极片的阵列排布方式相同，使得上层电容电极每一片电极极片与其正下方的下层电容电极一片电极极片相对应形成一平板电容；所有电极极片以相同列方向相串联的方式或者相同行方向相串联的方式相连接而分为多条电极极板，上层电容电极的电极极片串联方向与下层电容电极的电极极片串联方向相正交(相垂直)。
具体实施中，每条电极极板的端部均连接到外部的信号采集器件中，在上层电容电极与下层电容电极的每条电极极板的中间作断开处理，使得原先每条电极极板分为两条电极极板，由四角的四个区域将上层电容电极与下层电容电极的所有电极极板均分为四个部分，从而即将上层电容电极与下层电容电极之间形成的所有平板电容分为四个部分，每个部分均连接到一个外部信号采集器件来遍历采集电容值，以此提高采集的效率。
所述上层电容电极与下层电容电极在行方向和列方向上的平板电容的数量均相同，均包含N行×N列个平板电容，并以每2行×2列个平板电容形成一个多维力检测单元，多维力检测单元受到外部力刺激后，其中的四个平板电容的电容值发生变化，根据电容值的变化转换为所受力的大小和方向，从而将外部力刺激引发的电容变化转换为受力信息，实现触觉传感检测。
本发明具有的有益效果是：
(1)利用电容式触觉传感器本身良好的灵敏特性与高柔性二维正弦微凸起介电层相结合，使触觉传感器具有高灵敏度，解决了传感器对于多维力的高灵敏度实时检测问题，可在对灵敏度要求高的人工假肢、手术机械手等领域应用。
(2)采用具有与人手指尖皮肤相似纹理形貌的传感器表面微凸起，改善传感器受外部力刺激时的受力情况。
(3)以2行×2列个电容作为一个多维力检测单元，将4个电容的变化转换为所受外力的大小和方向。
(4)电容式触觉传感器采用高柔性有机聚合物制造，使传感器具备良好的柔性，对曲面装载具有良好的适应性。
附图说明
图1是本发明分层结构拆分立体图。
图2是本发明指纹状表面微凸起立体图。
图3是本发明二维正弦微凸起介电层立体图。
图4是本发明上电容电极平面图及多维力检测单元分区图。
图5是本发明下电容电极平面图及多维力检测单元分区图。
图6是本发明上、下层电容电极布置立体图。
图7是本发明单个多维力检测单元及检测原理立体图。
图8是本发明最终形成的电容式触觉传感器的剖面图。
图9是本发明最终形成的电容式触觉传感器的立体图。
图中：1、指纹状表面微凸起，2、上层电容电极基底，3、上层电容电极，4、二维正弦微凸起介电层，5、下层电容电极，6、下层电容电极基底，7、多维力检测单元。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
如图1、图8、图9所示，本发明的电容式触觉传感器主要是由从上至下依次的指纹状表面微凸起1、上层电容电极基底2、上层电容电极3、二维正弦微凸起介电层4、下层电容电极5和下层电容电极基底6紧密层叠而成，具备多维力测量能力。
其中如图1所示，指纹状表面微凸起1用于接收外部力刺激，上层电容电极基底2、下层电容电极基底6作为结构支撑，上层电容电极3与下层电容电极5上的电极极片串联方向呈正交布置，并与二维正弦微凸起介电层4三者共同构成传感器的电容主体，在指纹状表面微凸起1上表面受到外部力刺激后，通过电容主体感测为电容变化，并进而通过电容变化转换获得所受力的大小、方向。
如图3所示，微凸起介电层4为具有二维正交正弦波形貌上表面的柔性薄膜。如图2所示，指纹状表面微凸起1上表面具有与人手指尖皮肤相近的纹理形貌。图2中的指纹状表面微凸起的上表面仅是示意，实际的指纹状表面微凸起1上表面应是不规则的形态。
如图4、图5所示，上层电容电极3与下层电容电极5均由多片电极极片间隔阵列排布而成，上层电容电极3电极极片的阵列排布方式和下层电容电极5电极极片的阵列排布方式相同，使得上层电容电极3每一片电极极片与其正下方的下层电容电极5一片电极极片相对应形成一平板电容；所有电极极片以相同列方向相串联的方式或者相同行方向相串联的方式相连接而分为多条电极极板，上层电容电极3的电极极片串联方向与下层电容电极5的电极极片串联方向相正交(相垂直)。例如上层电容电极3的电极极片以相同列相串联的方式布置连接，则下层电容电极5的电极极片以相同行相串联的方式布置连接。反之同理。
如图4-6所示，上层电容电极3与下层电容电极5在行方向和列方向上的平板电容的数量均相同，图中均包含以12行×12列为例，并以每2行×2列个平板电容形成一个多维力检测单元7，多维力检测单元7受到外部力刺激后，其中的四个平板电容的电容值发生变化，根据电容值的变化转换为所受力的大小和方向，从而将外部力刺激引发的电容变化转换为受力信息，实现触觉传感检测。
如图6所示，具体实施中，每条电极极板的端部均连接到外部的信号采集器件中，在上层电容电极3与下层电容电极5的每条电极极板的中间作断开处理，使得原先每条电极极板分为两条电极极板，由四角的四个区域将上层电容电极3与下层电容电极5的所有电极极板均分为四个部分，从而即将上层电容电极3与下层电容电极5之间形成的所有平板电容分为四个部分，每个部分均连接到一个外部信号采集器件来遍历采集电容值，以此提高采集的效率。
本发明的工作原理描述如下：
通过控制电路选通相应的上层电容电极3、下层电容电极5，触觉传感器中的一个电容被选通接入电容检测电路中，并屏蔽其余电容。如图8、图9所示，当触觉传感器受到外力作用时，传感器受压而使上层电容电极3、下层电容电极5的间距变小，电容值增大。如图7所示，通过测量一个多维力检测单元7中4个电容的变化，可以得到这个单元所受外力的大小和方向。多维力检测单元7受到外力F作用时，可将F分解为三个正交方向上的力：法向力Fz，切向力Fx，切向力Fy。法向力Fz使多维力检测单元7内的四个电容均受压，且电极间距减小量相同；切向力Fx使四个电容中，位于切向力方向上一侧的两个电容受压，且电极间距减小量相同，另外两个电容受拉，电极间距增加量相同；切向力Fy则同理。通过控制电路对传感器中的电容进行高速逐个扫描，随后经由检测电路测量每一个电容的值，即可将整个传感器中各个多维力检测单元7的受力情况检测出来。
本发明的实施例如下：
完成该具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器的制作步骤如下：
(1)采用MEMS微纳制造工艺制造上、下层电容电极与基底。其中，基底采用25μm厚的PET薄膜制造，上、下层电容极板以铜为材料通过磁控溅射工艺制造。
(2)采用PEGDA材料，利用3D打印技术制造二维正弦微凸起介电层与指纹状表面微凸起。
(3)如图9所示，将制造好的各层粘贴装配为触觉传感器。经检测，传感器灵敏度为0.03％/mN。
本发明的实施例中的触觉传感器各参数为：总厚度约为200μm、边长为10mm的正方形，单个电容为边长500μm的正方形，多维力检测单元空间分辨率为800μm。微凸起介电层4中，单个凸起高度为6～10μm，宽度为65～75μm，介电层的平均厚度为45～50μm。指纹状表面微凸起1中，单个凸起高度为3～5μm，宽度为65～75μm，微凸起层的平均厚度为55～60μm。
实施例按照以上步骤，制造出来的触觉传感器的灵敏度达到0.03％/mN，具有高灵敏度、高柔性的特点，对于人体智能假肢触觉感知建立具有重大的意义。
本发明的触觉传感器能用作机器人的“柔性触觉敏感皮肤”，增强其在各种环境下完成精细、复杂作业的能力，大大提高机器人的智能化程度。在生物医疗方面，触觉传感器可应用于高精度外科手术机器人和微创手术智能器械领域。
Claims (7)
1.一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：所述电容式触觉传感器主要是由从上至下依次的指纹状表面微凸起(1)、上层电容电极基底(2)、上层电容电极(3)、二维正弦微凸起介电层(4)、下层电容电极(5)和下层电容电极基底(6)紧密层叠而成，指纹状表面微凸起(1)用于接收外部力刺激，上层电容电极基底(2)、下层电容电极基底(6)作为结构支撑，上层电容电极(3)与下层电容电极(5)上的电极极片串联方向呈正交布置，并与二维正弦微凸起介电层(4)三者共同构成传感器的电容主体，在指纹状表面微凸起(1)上表面受到外部力刺激后，通过电容主体感测为电容变化，进而转换获得所受力的大小、方向。
2.根据权利要求1所述的一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：所述上层指纹状表面微凸起(1)、电容电极基底(2)、二维正弦微凸起介电层(4)、下层电容电极基底(6)均采用具备良好柔性的材料。
3.根据权利要求1所述的一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：所述微凸起介电层(4)为具有二维正交正弦波形貌上表面的柔性薄膜，单个凸起高度6～10μm，宽度65～75μm，介电层的平均厚度55～60μm，使得能增强传感器对于多维力检测的灵敏度。
4.根据权利要求1所述的一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：所述的指纹状表面微凸起(1)上表面具有与人手指尖皮肤相近的纹理形貌，单个凸起高度3～5μm，宽度65～75μm，微凸起层的平均厚度45～50μm，使得能接收外部力刺激并改善受力情况。
5.根据权利要求1所述的一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：所述上层电容电极(3)与下层电容电极(5)均由多片电极极片间隔阵列排布而成，上层电容电极(3)电极极片的阵列排布方式和下层电容电极(5)电极极片的阵列排布方式相同，使得上层电容电极(3)每一片电极极片与其正下方的下层电容电极(5)一片电极极片相对应形成一平板电容；所有电极极片以相同列方向相串联的方式或者相同行方向相串联的方式分为多条电极极板，上层电容电极(3)的电极极片串联方向与下层电容电极(5)的电极极片串联方向相正交。
6.根据权利要求1所述的一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：每条电极极板的端部均连接到外部的信号采集器件中，在上层电容电极(3)与下层电容电极(5)的每条电极极板的中间作断开处理，使得原先每条电极极板分为两条电极极板，由四角的四个区域将上层电容电极(3)与下层电容电极(5)的所有电极极板均分为四个部分，每个部分均连接到一个外部信号采集器件来遍历采集电容值。
7.根据权利要求1所述的一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：所述上层电容电极(3)与下层电容电极(5)在行方向和列方向上的平板电容的数量均相同，并以每2行×2列个平板电容形成一个多维力检测单元(7)，多维力检测单元(7)受到外部力刺激后，其中的四个平板电容的电容值发生变化，根据电容值的变化转换为所受力的大小和方向，实现触觉传感检测。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201611047561.2A CN106706176A (zh) | 2016-11-23 | 2016-11-23 | 具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201611047561.2A CN106706176A (zh) | 2016-11-23 | 2016-11-23 | 具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106706176A true CN106706176A (zh) | 2017-05-24 |
Family
ID=58934874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201611047561.2A Pending CN106706176A (zh) | 2016-11-23 | 2016-11-23 | 具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106706176A (zh) |
Cited By (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107664545A (zh) * | 2017-10-20 | 2018-02-06 | 南京外国语学校 | 一种以天然微结构为模板的电容型柔性压力传感器 |
| CN108036879A (zh) * | 2017-12-15 | 2018-05-15 | 广州智能装备研究院有限公司 | 一种电容式柔性触觉传感器及其制造方法 |
| CN108195490A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-06-22 | 北京他山科技有限公司 | 具有分时、分区域屏蔽功能的传感器、电子皮肤和机器人 |
| CN108433734A (zh) * | 2018-02-08 | 2018-08-24 | 浙江大学 | 一种离散阈值式足底压力传感装置 |
| CN108593153A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-09-28 | 深圳东部世界仿生科技有限公司 | 一种压力检测方法及系统、存储介质、移动终端 |
| CN108871629A (zh) * | 2018-07-20 | 2018-11-23 | 浙江大学 | 一种柔性电阻式压力传感器阵列及其制备方法 |
| CN109163824A (zh) * | 2018-10-10 | 2019-01-08 | 北京理工大学 | 一种具有触觉和接近觉双模感知功能的柔性电子皮肤 |
| CN109186817A (zh) * | 2018-09-13 | 2019-01-11 | 深圳光韵达机电设备有限公司 | 一种电容式柔性压力传感器及其制造方法 |
| CN109533000A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-29 | 吉林大学 | 一种带有触觉感知的智能人机交互方向盘装置和应用方法 |
| CN109752029A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-05-14 | 东北大学 | 一种纸基电容型柔性传感器的制备方法 |
| CN109781311A (zh) * | 2019-01-23 | 2019-05-21 | 济南大学 | 一种柔性电容式压力传感器及其制备方法 |
| CN110006559A (zh) * | 2018-01-05 | 2019-07-12 | 财团法人工业技术研究院 | 触觉传感器 |
| CN110346837A (zh) * | 2019-08-06 | 2019-10-18 | 南京大学 | 一种基于电容器边缘场效应的柔性电容型接近传感器及传感方法 |
| CN110362196A (zh) * | 2019-06-10 | 2019-10-22 | 杨松 | 电子皮肤、智能终端及触觉干预信号处理方法 |
| CN110487450A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-11-22 | 南方科技大学 | 一种柔性触觉传感器及其制备方法和应用 |
| CN110579225A (zh) * | 2019-09-11 | 2019-12-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 平面电容传感器及其制作方法 |
| CN110954250A (zh) * | 2018-12-05 | 2020-04-03 | 奇异平台股份有限公司 | 多轴力量感测器 |
| CN111504521A (zh) * | 2020-05-07 | 2020-08-07 | 腾讯科技（深圳）有限公司 | 柔性电容阵列及其制备方法、和电容阵列检测系统 |
| CN111829697A (zh) * | 2020-06-17 | 2020-10-27 | 华中科技大学 | 一种带凸半球结构的柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN111982162A (zh) * | 2020-08-18 | 2020-11-24 | 西安电子科技大学 | 一种柔性电容式接近-触觉双模传感阵列及制备方法 |
| CN112067176A (zh) * | 2019-05-22 | 2020-12-11 | 西安交通大学 | 一种压电式柔性三维力传感器 |
| CN112179529A (zh) * | 2020-09-03 | 2021-01-05 | 电子科技大学 | 一种基于弹性微珠的电容型压力传感器及其制备方法 |
| CN112504518A (zh) * | 2020-09-25 | 2021-03-16 | 杭州电子科技大学 | 一种柔性电容式压力传感器及其制备方法 |
| CN113125065A (zh) * | 2021-03-30 | 2021-07-16 | 苏州大学 | 一种柔性三维力传感器及其制备方法 |
| CN114674467A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-06-28 | 福州大学 | 一种电容型触觉传感器 |
| CN114993523A (zh) * | 2022-04-16 | 2022-09-02 | 福州大学 | 回字型凸起结构的变面积电容式压力传感器及其制备方法 |
| CN115307787A (zh) * | 2022-01-25 | 2022-11-08 | 衢州学院 | 一种高灵敏度分体式柔性力传感器 |
| CN115752817A (zh) * | 2022-11-15 | 2023-03-07 | 宁波韧和科技有限公司 | 电容式压力阵列传感器、其制备方法以及智能床垫 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102589759A (zh) * | 2012-02-20 | 2012-07-18 | 浙江大学 | 基于压阻式和电容式组合的仿生柔性触觉传感阵列 |
| CN104316224A (zh) * | 2014-11-04 | 2015-01-28 | 浙江大学 | 基于电容与压敏橡胶组合的三维力触觉传感单元 |
| CN105865667A (zh) * | 2016-05-19 | 2016-08-17 | 北京印刷学院 | 基于微结构化介电层的电容式柔性压力传感器及其制备方法 |
-
2016
- 2016-11-23 CN CN201611047561.2A patent/CN106706176A/zh active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102589759A (zh) * | 2012-02-20 | 2012-07-18 | 浙江大学 | 基于压阻式和电容式组合的仿生柔性触觉传感阵列 |
| CN104316224A (zh) * | 2014-11-04 | 2015-01-28 | 浙江大学 | 基于电容与压敏橡胶组合的三维力触觉传感单元 |
| CN105865667A (zh) * | 2016-05-19 | 2016-08-17 | 北京印刷学院 | 基于微结构化介电层的电容式柔性压力传感器及其制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 何发昌等: "《多功能机器人的原理及应用》", 30 June 1996, 高等教育出版社 * |
Cited By (44)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107664545A (zh) * | 2017-10-20 | 2018-02-06 | 南京外国语学校 | 一种以天然微结构为模板的电容型柔性压力传感器 |
| CN108036879A (zh) * | 2017-12-15 | 2018-05-15 | 广州智能装备研究院有限公司 | 一种电容式柔性触觉传感器及其制造方法 |
| CN110006559A (zh) * | 2018-01-05 | 2019-07-12 | 财团法人工业技术研究院 | 触觉传感器 |
| CN110006559B (zh) * | 2018-01-05 | 2021-04-06 | 财团法人工业技术研究院 | 触觉传感器 |
| JP7054561B2 (ja) | 2018-01-31 | 2022-04-14 | 北京他山科技有限公司 | 時間に分けてシールドしかつ領域に分けてシールドする機能を有するセンサ、電子皮膚及びロボット |
| CN108195490B (zh) * | 2018-01-31 | 2019-10-11 | 北京他山科技有限公司 | 具有分时、分区域屏蔽功能的传感器、电子皮肤和机器人 |
| JP2021512329A (ja) * | 2018-01-31 | 2021-05-13 | 北京他山科技有限公司Ｂｅｉｊｉｎｇ Ｔａｓｈａｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | 時間に分けてシールドしかつ領域に分けてシールドする機能を有するセンサ、電子皮膚及びロボット |
| CN108195490A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-06-22 | 北京他山科技有限公司 | 具有分时、分区域屏蔽功能的传感器、电子皮肤和机器人 |
| US11598681B2 (en) | 2018-01-31 | 2023-03-07 | Beijing Tashan Technology Co., Ltd. | Sensor with time-sharing regional shielding function, electronic skin and robot |
| WO2019148306A1 (zh) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 北京他山科技有限公司 | 具有分时、分区域屏蔽功能的传感器、电子皮肤和机器人 |
| CN108433734A (zh) * | 2018-02-08 | 2018-08-24 | 浙江大学 | 一种离散阈值式足底压力传感装置 |
| CN108593153A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-09-28 | 深圳东部世界仿生科技有限公司 | 一种压力检测方法及系统、存储介质、移动终端 |
| CN108871629A (zh) * | 2018-07-20 | 2018-11-23 | 浙江大学 | 一种柔性电阻式压力传感器阵列及其制备方法 |
| CN109186817B (zh) * | 2018-09-13 | 2022-10-11 | 深圳光韵达机电设备有限公司 | 一种电容式柔性压力传感器及其制造方法 |
| CN109186817A (zh) * | 2018-09-13 | 2019-01-11 | 深圳光韵达机电设备有限公司 | 一种电容式柔性压力传感器及其制造方法 |
| CN109163824A (zh) * | 2018-10-10 | 2019-01-08 | 北京理工大学 | 一种具有触觉和接近觉双模感知功能的柔性电子皮肤 |
| CN110954250A (zh) * | 2018-12-05 | 2020-04-03 | 奇异平台股份有限公司 | 多轴力量感测器 |
| CN109752029A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-05-14 | 东北大学 | 一种纸基电容型柔性传感器的制备方法 |
| CN109752029B (zh) * | 2018-12-11 | 2020-08-07 | 东北大学 | 一种纸基电容型柔性传感器的制备方法 |
| CN109533000B (zh) * | 2018-12-14 | 2024-06-28 | 吉林大学 | 一种带有触觉感知的智能人机交互方向盘装置和应用方法 |
| CN109533000A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-29 | 吉林大学 | 一种带有触觉感知的智能人机交互方向盘装置和应用方法 |
| CN109781311A (zh) * | 2019-01-23 | 2019-05-21 | 济南大学 | 一种柔性电容式压力传感器及其制备方法 |
| CN112067176A (zh) * | 2019-05-22 | 2020-12-11 | 西安交通大学 | 一种压电式柔性三维力传感器 |
| CN110362196A (zh) * | 2019-06-10 | 2019-10-22 | 杨松 | 电子皮肤、智能终端及触觉干预信号处理方法 |
| CN110346837A (zh) * | 2019-08-06 | 2019-10-18 | 南京大学 | 一种基于电容器边缘场效应的柔性电容型接近传感器及传感方法 |
| CN110487450A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-11-22 | 南方科技大学 | 一种柔性触觉传感器及其制备方法和应用 |
| CN110487450B (zh) * | 2019-08-23 | 2021-09-07 | 南方科技大学 | 一种柔性触觉传感器及其制备方法和应用 |
| CN110579225A (zh) * | 2019-09-11 | 2019-12-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 平面电容传感器及其制作方法 |
| US12104968B2 (en) | 2020-05-07 | 2024-10-01 | Tencent Technology (Shenzhen) Company Limited | Flexible capacitor array and preparation method therefor, capacitor array detection system, and robot |
| CN111504521B (zh) * | 2020-05-07 | 2021-09-03 | 腾讯科技（深圳）有限公司 | 柔性电容阵列及其制备方法、和电容阵列检测系统 |
| WO2021223581A1 (zh) * | 2020-05-07 | 2021-11-11 | 腾讯科技（深圳）有限公司 | 柔性电容阵列及其制备方法、电容阵列检测系统和机器人 |
| CN111504521A (zh) * | 2020-05-07 | 2020-08-07 | 腾讯科技（深圳）有限公司 | 柔性电容阵列及其制备方法、和电容阵列检测系统 |
| CN111829697A (zh) * | 2020-06-17 | 2020-10-27 | 华中科技大学 | 一种带凸半球结构的柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN111982162A (zh) * | 2020-08-18 | 2020-11-24 | 西安电子科技大学 | 一种柔性电容式接近-触觉双模传感阵列及制备方法 |
| CN112179529A (zh) * | 2020-09-03 | 2021-01-05 | 电子科技大学 | 一种基于弹性微珠的电容型压力传感器及其制备方法 |
| CN112179529B (zh) * | 2020-09-03 | 2021-07-27 | 电子科技大学 | 一种基于弹性微珠的电容型压力传感器及其制备方法 |
| CN112504518A (zh) * | 2020-09-25 | 2021-03-16 | 杭州电子科技大学 | 一种柔性电容式压力传感器及其制备方法 |
| CN113125065A (zh) * | 2021-03-30 | 2021-07-16 | 苏州大学 | 一种柔性三维力传感器及其制备方法 |
| CN115307787A (zh) * | 2022-01-25 | 2022-11-08 | 衢州学院 | 一种高灵敏度分体式柔性力传感器 |
| CN115307787B (zh) * | 2022-01-25 | 2024-11-08 | 衢州学院 | 一种高灵敏度分体式柔性力传感器 |
| CN114674467A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-06-28 | 福州大学 | 一种电容型触觉传感器 |
| CN114993523A (zh) * | 2022-04-16 | 2022-09-02 | 福州大学 | 回字型凸起结构的变面积电容式压力传感器及其制备方法 |
| CN114993523B (zh) * | 2022-04-16 | 2023-04-11 | 福州大学 | 回字型凸起结构的变面积电容式压力传感器及其制备方法 |
| CN115752817A (zh) * | 2022-11-15 | 2023-03-07 | 宁波韧和科技有限公司 | 电容式压力阵列传感器、其制备方法以及智能床垫 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106706176A (zh) | 具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器 | |
| CN206192550U (zh) | 一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器 | |
| CN109406012B (zh) | 一种柔性压电式的三维触觉传感器阵列及其制备方法 | |
| CN106959175B (zh) | 一种基于金字塔结构的全柔性电容式滑触觉传感器 | |
| Chen et al. | Multi-sized planar capacitive pressure sensor with ultra-high sensitivity | |
| CN111352525B (zh) | 一种低压力的电容式触觉感测器及其制备方法 | |
| CN105738012B (zh) | 一种人工皮肤柔性触觉传感器测量装置 | |
| CN103954382B (zh) | 一种变介质式电容柔性三维力触觉传感器 | |
| CN111609953B (zh) | 一种基于球曲面电极的全柔性电容式三维力触觉传感器 | |
| JP7478824B2 (ja) | フレキシブルコンデンサアレイおよびその製造方法、コンデンサアレイ検出システムならびにロボット | |
| US12196626B2 (en) | Sensor apparatus for normal and shear force differentiation | |
| CN108871629A (zh) | 一种柔性电阻式压力传感器阵列及其制备方法 | |
| Sun et al. | Intrinsically flexible and breathable supercapacitive pressure sensor based on MXene and ionic gel decorating textiles for comfortable and ultrasensitive wearable healthcare monitoring | |
| CN105300572A (zh) | 压电式柔性三维触觉传感阵列及其制备方法 | |
| KR20170103758A (ko) | 이온 전도성 물질로 된 플렉서블 투명 센서 | |
| CN110531863B (zh) | 一种基于超级电容感知原理的柔性触觉手套及其制备方法 | |
| CN104316224A (zh) | 基于电容与压敏橡胶组合的三维力触觉传感单元 | |
| Dahiya et al. | Tactile sensing technologies | |
| CN111467781A (zh) | 一种基于多感知系统的电容式触觉手柄及其制作方法 | |
| CN209117220U (zh) | 一种柔性压电式的三维触觉传感器阵列 | |
| CN104897317A (zh) | 基于仿生结构的柔性触-压觉传感器 | |
| Xu et al. | High-sensitivity flexible tri-axial capacitive tactile sensor for object grab sensing | |
| Hu et al. | A flexible capacitive tactile sensor array with micro structure for robotic application | |
| CN201051025Y (zh) | 一种阵列压电传感装置 | |
| Wu et al. | Bimodal intelligent electronic skin based on proximity and tactile interaction for pressure and configuration perception |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170524 |