CN106672660A - 掩膜版装载装置及显示面板制备系统 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种掩膜版装载装置及显示面板制备系统，该掩膜版装载装置包括开口、托架、第一驱动组件，门板和第二驱动组件，开口位于一隔离面上；托架用于承载掩膜版；第一驱动组件与所述托架连接，用于驱动所述托架相对所述隔离面往复移动，以带动所述掩膜版从所述开口穿出或缩回；门板与所述隔离面平行设置且面积不小于所述开口；第二驱动组件用于驱动所述门板相对于所述开口往复平移，以遮蔽所述开口或露出所述开口。

Description

掩膜版装载装置及显示面板制备系统

技术领域

本公开涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种掩膜版装载装置及显示面板制备系统。

背景技术

目前，在半导体和液晶显示面板的制造领域，光刻工艺是必不可少核心工艺，通常包括涂布光刻胶、曝光、显影和刻蚀等工艺。其中，在曝光工序中，需要使用掩膜版，掩膜版一般包括透光和不透光的区域，以便在光刻胶上形成所需图形。

随着产量的提高，掩膜版的使用十分频繁，需要对掩膜版进行清洗、搬运。但现有技术中，通常需要人工将掩膜版从清洗装置或者其它装置取出，再通过台车等运输工具运至指定位置，以便对使掩膜版在不同工位间输送。但由于需要人工进行较多操作，使得工作效率较低，不利于节省人力资源，同时，人工操作过多也容易造成产品损坏，不利于降低成本。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种掩膜版装载装置及显示面板制备系统，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

根据本公开的一个方面，提供一种掩膜版装载装置，包括：

开口，位于一隔离面上；

托架，用于承载掩膜版；

第一驱动组件，与所述托架连接，用于驱动所述托架相对所述隔离面往复移动，以带动所述掩膜版从所述开口穿出或缩回；

门板，与所述隔离面平行设置且面积不小于所述开口；

第二驱动组件，用于驱动所述门板相对于所述开口往复平移，以遮蔽所述开口或露出所述开口。

在本公开的一种示例性实施方式中，驱动所述门板相对于所述开口往复平移包括驱动所述门板相对于所述开口沿竖直方向或水平方向直线往复平移。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述掩膜版装载装置还包括：

控制组件，用于响应第一启动信号以控制所述第一驱动组件使所述托架往复移动和响应第一停止信号以控制所述第一驱动组件使所述托架停止；以及，响应第二启动信号以控制第二驱动组件使所述门板往复平移和响应第二停止信号以控制所述第二驱动组件使所述门板停止。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述掩膜版装载装置还包括：

第一感应组件，用于感应所述托架的位置，且用于在所述托架穿出所述开口至第一预定位置或缩回所述开口至第二预定位置时触发所述第一停止信号。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述第一感应组件包括：

第一传感器，用于感应所述托架位置，且用于在所述托架移动至所述第一预定位置时向所述控制组件发送所述第一停止信号；

第二传感器，用于感应所述托架位置，且用于在所述托架移动至所述第二预定位置时向所述控制组件发送所述第一停止信号。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述掩膜版装载装置还包括：

第二感应组件，用于感应所述门板的位置，且用于在所述门板平移至遮蔽所述开口或露出所述开口的位置时触发所述第二停止信号。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述第二感应组件还包括：

第三传感器，用于感应所述门板位置，且用于在所述门板平移至遮蔽所述开口的位置时向所述控制组件发送所述第二停止信号；

第四传感器，用于感应所述门板位置，且用于在所述门板平移至露出所述开口的位置时向所述控制组件发送所述第二停止信号。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述掩膜版装载装置还包括：

通信组件；

远程控制系统，用于通过所述通信组件与所述控制组件通信，并向所述控制组件发送所述第一启动信号和所述第二启动信号。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述第一驱动组件包括第一直线电机，所述第一直线电机与所述托架连接，并能驱动所述托架往复移动；

根据上述任意一项所述掩膜版装载装置，所述第二驱动组件包括第二直线电机，所述第二直线电机与所述门板连接，用于驱动所述门板往复平移。

根据本公开的另一个方面，提供一种显示面板制备系统，包括上述任意一项所述的掩膜版装载装置。

本公开的掩膜版装载装置及显示面板制备系统，可通过第二驱动组件驱动门板遮蔽开口，实现关门动作；或着驱动门板露出开口，实现开门动作；可将掩膜版承载于托架上，在门板露出开口时，通过第一驱动组件驱动托架载运掩膜版从开口穿出至隔离面外，以便台车运输，或者从开口缩回，以便将掩膜版载运至隔离面内；避免了采用人工方式将掩膜版取出或放回，在隔离面内，可进行清洗、存放等工作。由此，可提高工作效率，节省了人力资源；有利于减少人工操作造成产品损坏，使成本降低。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施方式，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示意性示出掩膜版装载装置一实施方式的开口打开时的示意图。

图2示意性示出图1中的托架穿出开口时的示意图。

图3示意性示出图1中的开口关闭时的示意图。

图4示意性示出掩膜版装载装置的另一实施方式的示意图。

图5示意性示出掩膜版装载装置的电路原理框图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本发明将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。其他相对性的用语，例如“”高”“低”“顶”“底”等也作具有类似含义。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。

用语“该”和“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。

本示例实施方式中提供了一种掩膜版装载装置，如图1～图3，该掩膜版装载装置可以包括隔离面1、开口2、托架3、门板4、第一驱动组件5、和第二驱动组件6，其中：

隔离面1可以可为一平板结构的表面，该平板结构可用于分隔出至少两个独立的两个区域，掩膜版12可在这两个区域之间移动；或者，隔离面1也可以是一中空的箱体结构的表面，在该箱体结构内可用来对掩膜版12的清洗或存放等，在此不做特殊限定；且在本公开的其它示例实施方式中，隔离面1还可以是其它结构的一表面，只要能起到分隔作用即可。

开口2可开设于位于一隔离面上，开口2的形状在此不作特殊限定；

托架3可以是一平板或者框架，掩膜版12可置于该托架3上，当然，托架3也可以是其它结构，只要能够承载掩膜版12即可，在此不再列举其结构；托架3可相对隔离面1沿水平方向滑动或相对于水平面斜向滑动，以隔离面1为上述箱体结构的表面为例，托架3可与该箱体结构的内壁通过滑轨滑动连接，且当托架3移动时，可载运其上的掩膜版12同时移动；托架3的位置可与上述的开口2相对，且托架3及掩膜版12的整体尺寸小于开口2，使得托架3及其上的掩膜版12可顺利穿出或缩回开口2；实现托架3可滑动的方式还可以是其它方式，只要能实现托架3载运掩膜版12穿过或缩回开口2即可。

门板4可为一平板，可与隔离面1贴合也或者与隔离面1间具有一定间隙；门板4可相对隔离面1往复平移，以遮蔽或露出开口2；门板4的面积大于或小于(即不小于)开口2的面积，当门板4遮蔽开口2时，开口2关闭，阻挡托架3和掩膜版12从开口2穿出；当门板4露出开口2时，开口2打开，托架3可载运掩膜版12穿出开口2；其中，门板4的移动方向可以是竖直方向也可以是水平方向，当然，还可以是其它方向。

第一驱动组件5可以包括第一直线电机，该第一直线电机可相对隔离面1保持固定并可与托架3连接，从而能驱动托架3往复移动，实现托架3穿出和缩回开口2；在本公开的其它示例实施方式中，第一驱动组件5还可以是气缸、液压缸等可以驱动托架3直线移动的驱动件，或者可采用普通的旋转电机配合丝杠螺母等传动组件驱动托架3直线移动，在此不对第一驱动组件5进行特殊限定。

第二驱动组件6可以包括第二直线电机，该第二直线电机可直接固定于隔离面1上或者以其它方式与隔离面1保持固定；该第二直线电机的输出端可与门板4连接，从而能驱动门板4往复平移，以遮蔽所述开口或露出所述开口。在本公开的其它示例实施方式中，第二驱动组件6还可以是气缸、液压缸等可以驱动门板4直线移动的驱动件，或者可采用普通的旋转电机配合丝杠螺母等传动组件驱动托架门板4直线移动，在此不对第二驱动组件6进行特殊限定。

在本示例实施方式中，该掩膜版装载装置还可以第一感应组件7，该第一感应组件7可以设于托架3移动方向的侧方，可检测托架3的位置，该第一感应组件7可以包括第一传感器71和第二传感器72，其中：

第一传感器71和第二传感器72均可以采用激光传感器、超声波传感器或其它可用来检测托架3位置传感器，且第一传感器71和和第二传感器72可采用相同或不同类型的传感器。

第一传感器71和第二传感器72均可设于托架3两侧或同一侧，如图2所示，当托架3移动至第一预定位置时，即托架3穿出开口2时，第一传感器71检测到托架3并被触发，可产生第一停止信号；在此位置，可将承载在托架3上的掩膜版12取下；如图3所示，当托架3移动至第二位置时，即托架3缩回开口2时，第一传感器71检测到托架3并被触发，也可产生第一停止信号，使得托架2可进行复位或者运回另一掩膜版。

在本公开的其它示例实施方式中，第一传感器71和第二传感器72感应托架3位置方式，还可以是：如图4所示，将第一传感器71和第二传感器72设于与第二预定位置对应的位置，当托架3位于第二预定位置时，第一传感器71和第二传感器72均可检测到托架3，当托架3位于第一预定位置时，第一传感器71和第二传感器72均未检测到托架3；可设定在此两种情况下均可产生上述第一停止信号；此种实施方式同样可对托架3进行限位。当然，还可以采用其它方式。

在本示例实施方式中，该掩膜版装载装置还可以包括第二感应组件8，该第二感应组件8可以设于隔离面1靠近门板4的一侧，用来感应门板4的位置。第二感应组件8可以包括第三传感器81和第四传感器82，其中：

第三传感器81和第四传感器82均可以采用激光传感器、超声波传感器或其它可用来检测门板4位置传感器，且第三传感器81和和第三传感器81可采用相同或不同类型的传感器。

第三传感器81和第四传感器82可沿门板4的移动方向固定于隔离面1上，当门板4平移至第三预定位置时，将开口2遮蔽，第三传感器81被触发并产生第二停止信号；当门板4平移至第四预定位置时，使开口2露出以供托架3穿过，第四传感器82被触发并产生第二停止信号。从而便于对门板4的移动进行限位。

在本公开的其它示例实施方式中，第三传感器81和第四传感器82感应门板4位置方式，还可以是：如图4所示，将第三传感器81和第四传感器82设于与第三预定位置对应的位置，当门板4位于第四预定位置时，第三传感器81和第四传感器82均可检测到门板4，当门板4位于第三预定位置时，第三传感器81和第二传感器82均未检测到门板4；可设定在此两种情况下均可产生上述第二停止信号；此种实施方式同样可对门板4进行限位。当然，还可以采用其它方式。

需要说明的是，上述的第一感应组件7和第二感应组件8还可以采用接近开关等其它可用于确定位置门板4和托架3位置的器件，上述对第一感应组件7和第二感应组件8的描述仅为示例性说明，并不构成对第一感应组件7和第二感应组件8的限定。

在本示例实施方式中，如图5所示，该掩膜版装载装置还可以包括控制组件9，该控制组件9可以是PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)、单片机、计算机等，并能接收第一启动信号、第二启动信号以及上述的第一停止信号和第二停止信号；该控制组件9可与第一驱动组件5和第二驱动组件6连接，举例而言，当该控制组件9接收到上述第一启动信号后，可响应该第一启动信号以控制第一驱动组件5使托架3往复移动；当该控制组件9接收到上述第一停止信号，可响应该第一停止信号以控制第一驱动组件5使托架3停止；当该控制组件9接收到上述第二启动信号后，可响应第二启动信号以控制第二驱动组件6使门板4往复平移；当该控制组件9接收到上述第二停止信号后，响应第二停止信号以控制第二驱动组件6使门板4停止。

需要说明的是，控制组件9可通过判断第一启动信号来自第一传感器71还是第二传感器72，控制托架3的移动方向，保证托架3在第一预定位置和第二预定位置间往复移动；同理，可通过判断第二启动信号来自第三传感器81还是第四传感器82，控制门板4的移动方向，保证门板4在第三预定位置和第四预定位置间往复移动。

在本示例实施方式中，如图5所示，该掩膜版装载装置还包括通信组件10和远程控制系统11，其中：

该通信组件10可以是可以进行有线或无线方式传输数据的通信模块，例如蓝牙模块、WIFI模块等；

远程控制系统11可以计算机、手机等终端，可通过上述通信组件10与控制组件9进行通信，并可根据用户的操作或者预设的程序向该控制组件9发送上述的第一启动信号和第二启动信号，从而可远程控制托架3和门板4的启动吗；当然，通过发送第一停止信号和第二停止信号也可以远程控制托架3和门板4停止。

本示例实施方式中还提供了一种显示面板制备系统，该显示面板制备系统可以包括上述任一示例实施方式所提供的掩膜版装载装置。而显示面板制备系统的其它构成部件已为公知，在此不再赘述。

本公开的掩膜版装载装置及显示面板制备系统，可通过第二驱动组件驱动门板遮蔽开口，实现关门动作；或着驱动门板露出开口，实现开门动作；可将掩膜版承载于托架上，在门板露出开口时，通过第一驱动组件驱动托架载运掩膜版从开口穿出至隔离面外，以便台车运输，或者从开口缩回，以便将掩膜版载运至隔离面内；避免了采用人工方式将掩膜版取出或放回，在隔离面内，可进行清洗、存放等工作。由此，可提高工作效率，节省了人力资源；有利于减少人工操作造成产品损坏，使成本降低。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施方式仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由所附的权利要求指出。

Claims (10)

1.一种掩膜版装载装置，其特征在于，包括：

开口，位于一隔离面上；

托架，用于承载掩膜版；

第一驱动组件，与所述托架连接，用于驱动所述托架相对所述隔离面往复移动，以带动所述掩膜版从所述开口穿出或缩回；

门板，与所述隔离面平行设置且面积不小于所述开口；

第二驱动组件，用于驱动所述门板相对于所述开口往复平移，以遮蔽所述开口或露出所述开口。

2.根据权利要求1所述掩膜版装载装置，其特征在于，驱动所述门板相对于所述开口往复平移包括驱动所述门板相对于所述开口沿竖直方向或水平方向直线往复平移。

3.根据权利要求1或2所述掩膜版装载装置，其特征在于，所述掩膜版装载装置还包括：

控制组件，用于响应第一启动信号以控制所述第一驱动组件使所述托架往复移动和响应第一停止信号以控制所述第一驱动组件使所述托架停止；以及，响应第二启动信号以控制第二驱动组件使所述门板往复平移和响应第二停止信号以控制所述第二驱动组件使所述门板停止。

4.根据权利要求3所述掩膜版装载装置，其特征在于，所述掩膜版装载装置还包括：

第一感应组件，用于感应所述托架的位置，且用于在所述托架穿出所述开口至第一预定位置或缩回所述开口至第二预定位置时触发所述第一停止信号。

5.根据权利要求4所述掩膜版装载装置，其特征在于，所述第一感应组件包括：

第一传感器，用于感应所述托架位置，且用于在所述托架移动至所述第一预定位置时向所述控制组件发送所述第一停止信号；

第二传感器，用于感应所述托架位置，且用于在所述托架移动至所述第二预定位置时向所述控制组件发送所述第一停止信号。

6.根据权利要求3所述掩膜版装载装置，其特征在于，所述掩膜版装载装置还包括：

第二感应组件，用于感应所述门板的位置，且用于在所述门板平移至遮蔽所述开口或露出所述开口的位置时触发所述第二停止信号。

7.根据权利要求6所述掩膜版装载装置，其特征在于，所述第二感应组件还包括：

第三传感器，用于感应所述门板位置，且用于在所述门板平移至遮蔽所述开口的位置时向所述控制组件发送所述第二停止信号；

第四传感器，用于感应所述门板位置，且用于在所述门板平移至露出所述开口的位置时向所述控制组件发送所述第二停止信号。

8.根据权利要求3所述掩膜版装载装置，其特征在于，所述掩膜版装载装置还包括：

通信组件；

远程控制系统，用于通过所述通信组件与所述控制组件通信，并向所述控制组件发送所述第一启动信号和所述第二启动信号。

9.根据权利要求1所述掩膜版装载装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括第一直线电机，所述第一直线电机与所述托架连接，并能驱动所述托架往复移动；所述第二驱动组件包括第二直线电机，所述第二直线电机与所述门板连接，用于驱动所述门板往复平移。

10.一种显示面板制备系统，其特征在于，包括权利要求1～9任一项所述的掩膜版装载装置。