[go: up one dir, main page]

CN106594070B - 基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台 - Google Patents

基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台 Download PDF

Info

Publication number
CN106594070B
CN106594070B CN201611192773.XA CN201611192773A CN106594070B CN 106594070 B CN106594070 B CN 106594070B CN 201611192773 A CN201611192773 A CN 201611192773A CN 106594070 B CN106594070 B CN 106594070B
Authority
CN
China
Prior art keywords
workbench
grating encoder
flexible structure
sliding block
precision
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201611192773.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN106594070A (zh
Inventor
孔令飞
李超
崔博
江和龄
林宏斌
刘长
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shaanxi Nobet Automation Technology Co ltd
Original Assignee
Xian University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xian University of Technology filed Critical Xian University of Technology
Priority to CN201611192773.XA priority Critical patent/CN106594070B/zh
Publication of CN106594070A publication Critical patent/CN106594070A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106594070B publication Critical patent/CN106594070B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04—Ball or roller bearings
    • G—PHYSICS
    • G12—INSTRUMENT DETAILS
    • G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
    • G—PHYSICS
    • G12—INSTRUMENT DETAILS
    • G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G12B9/00—Housing or supporting of instruments or other apparatus
    • G12B9/08—Supports; Devices for carrying
    • G12B9/10—Instruments boards; Panels; Desks; Racks

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Abstract

本发明公开了基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，包括底座和工作台，底座上依次平行设置有直线导轨、直线电机、用于定位支撑直线电机的支撑板、侧挡板；直线导轨上装配有两个滑块，每个滑块和工作台之间均装有柔性体；侧挡板上设置有光栅编码器定尺，工作台上设置有与光栅编码器定尺相配合的光栅编码器滑尺。本发明基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，具有低成本、高精度和高敏捷度的特点，集成了结构设计优化与智能材料应用的优势，可有效解决目前滚柱或滚珠式超精密工作台的高速精准定位问题。

Description

基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台
技术领域
本发明属于机械设计与制造技术领域，具体涉及一种基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台。
背景技术
超精密工作台是微机电系统监测、微纳加工及微量增材制造等检测或加工过程中最重要的机械驱动部件。近年来，国内外学者关于高速超精密驱动问题进行了大量研究，采用了包括柔性结构体、静压导轨、磁悬浮导轨或滚珠、滚柱滑块等导向零部件，以期实现高速、精确的移动位置控制，但到目前为止，尚未得到很好的解决。一般说来，柔性体工作台具有结构紧凑、成本低廉且不存在摩擦力的优势，但受柔性结构自身工作行程和承载能力的限制，使其很难应用于大行程或中、高载荷工况，例如纳米光刻机。与之相比，磁悬浮式工作台具有较高的承载能力，但由于其制造成本过高且控制复杂，因而仅应用于高端装备领域，例如半导体制造。此外，静压导轨也具有较大行程时的精准定位能力，可是受工作原理的限制，使其难以满足超洁净室或真空环境的需求。目前，滚柱、滚珠滑块式工作台是使用最为广泛且有效的驱动形式，它可以在各种工况环境下实现较为精确的移动定位，无论是洁净室或是真空环境(例如扫描电子显微镜和聚焦离子束系统)并具有较低的制造成本。然而，由于预滑阶段摩擦力的非线性特征，在点对点纳米级定位方式下必须消耗大量的时间到达指定位置，因而极大地约束了驱动台的工作效率和产品生产能力。
由此可见，在高效、低成本的前提下，解决滚柱、滚珠滑块式超精密驱动台预滑阶段摩擦力的补偿问题，对推动超精密驱动领域的创新开发和发展具有重要意义。
发明内容
本发明的目的是提供一种基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，解决了现有滚柱或滚珠滑块式超精密驱动台预滑非线性摩擦力带来的定位误差的问题。
本发明所采用的技术方案是，基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，包括底座和工作台，底座上依次平行设置有直线导轨、直线电机、用于定位支撑直线电机的支撑板、侧挡板；直线导轨上装配有两个滑块，每个滑块和工作台之间均装有柔性体；侧挡板上设置有光栅编码器定尺，工作台上设置有与光栅编码器定尺相配合的光栅编码器滑尺。
本发明的特点还在于：
滑块为滚珠式滑块或者滚柱式滑块。
柔性体包括通过交叉铰接板连接的U型框架和矩形块，U型框架上开有螺栓孔a，U型框架与滑块通过穿过螺栓孔a的螺栓连接，矩形块上开有螺栓孔b，矩形块与工作台通过穿过螺栓孔b的螺栓连接，交叉铰接板上装有压电柱。
底座两端对称设置有端面挡板，端面挡板上设置有缓冲器。
工作台通过连接板与拖链连接，拖链内穿有用于连接光栅编码器滑尺的电缆。
本发明的有益效果是：本发明基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，具有低成本、高精度和高敏捷度的特点，集成了结构设计优化与智能材料应用的优势，有效解决了目前滚柱式超精密工作台的精准定位问题。
附图说明
图1是本发明次纳米级精密驱动工作台的结构示意图一；
图2是本发明次纳米级精密驱动工作台的结构示意图二；
图3是本发明次纳米级精密驱动工作台中柔性体的结构示意图一；
图4是本发明次纳米级精密驱动工作台中柔性体的结构示意图二。
图中，1.工作台，2.连接板，3.光栅编码器滑尺，4.柔性体，5.端面挡板，6.缓冲器，7.滑块，8.直线导轨，9.直线电机，10.底座，11.支撑板，12.侧挡板，13.电缆，14.光栅编码器定尺，15.拖链，16.压电柱，17.螺栓孔a，18.螺栓孔b，19.交叉铰接板。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
本发明基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，结构如图1、2所示，包括底座10和工作台1，底座10上依次平行设置有直线导轨8、直线电机9、用于定位支撑直线电机9的支撑板11、侧挡板12，直线电机9为超精密工作台的运动提供动力，同时还提供了一个补偿力来抵消可变刚度交叉铰接板未消除的外界绕动力所引发的振动或机械部件磨损所导致的位置精度下降。
直线导轨8上装配有两个滑块7，滑块7为工作台1运动提供导向和定位功能，滑块7可采用滚珠式滑块或者滚柱式滑块，每个滑块7和工作台1之间均装有柔性体4，柔性体4在轴向近似为柔性，在竖向和横向近似为刚性，如图3、4所示，柔性体4包括通过交叉铰接板19连接的U型框架和矩形块，U型框架上开有螺栓孔a17，U型框架与滑块7通过穿过螺栓孔a17的螺栓连接，矩形块上开有螺栓孔b18，矩形块与工作台1通过穿过螺栓孔b18的螺栓连接，交叉铰接板19上装有压电柱16。
交叉铰接板19在正常情况下，在电机驱动力方向具有近似零刚度和柔性而在其它方向刚度较大。
交叉铰接板19上装有压电柱16(智能压电柱)，通过调节压电柱16的输出力就可以修正交叉铰接板19在驱动力方向上的刚度，由此可依据预滑或正常滑动模式调整交叉铰接板19在驱动力方向上的刚度，避免非线性摩擦力对工作台1定位精度的影响，即在工作台1预滑阶段，将压电柱16的输出力调整为零，使得交叉铰接板19在驱动方向的刚度近似为零，进而避免预滑阶段非线性摩擦力对工作台1定位的直接影响，在工作台1正常滑动阶段，可依据滑行状态的特征将压电柱16的输出力进行调整，使得交叉铰接板19在驱动方向上获得适当的刚性，避免外界扰动力所引发的振动对工作台1定位精度的直接影响，实现工作台1的超精密快速定位。压电柱16为交叉铰接板19提供可变的刚度，有效地减少了预滑阶段摩擦力及滑行阶段外界扰动力所引发的振动对工作台1定位精度的影响，同时减少定位时间实现快速定位。
侧挡板12上设置有光栅编码器定尺14，工作台1上设置有与光栅编码器定尺14相配合的光栅编码器滑尺3，光栅编码器滑尺3装配在工作台1上并随其运动，与光栅编码器定尺14配合可以实现工作台1运动位置测量，便于实现超精密工作台的高速、精确定位。
底座10两端对称设置有端面挡板5，端面挡板5上设置有缓冲器6，两端的端面挡板5及缓冲器6为超精密工作台的运动提供保护作用，防止其在高速工作过程中超出工作范围，提供缓冲保护作用。
工作台1通过连接板2与拖链15连接，拖链15内穿有用于连接光栅编码器滑尺3的电缆13，拖链15保护电缆13在工作台1运动过程中不会受到拉力，避免出现电缆13的损坏。
实际加工或操作过程中存在外力扰动、热或磨损效应，可通过直线电机9提供的补偿力使其对工作台定位精度和运行效率的影响最小化。
本发明基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，使用时，直线电机9通电，工作台1在滑块7的支撑下在直线导轨8上开始直线运动，光栅编码器滑尺3随工作台1同步运动，通过与固定在侧挡板12上的光栅编码器定尺14共同作用实时测量并反馈工作台1的位置信息；在工作台1启动或即将到达指定位置时，其两端的柔性体4中压电柱16同时开始工作，在摩擦力方向直接减少输出支撑力，进而降低交叉铰接板19的刚度，以此来抵消直线导轨8与滑块7之间的预滑非线性摩擦力对工作台1起停时的扰动；依据工作台1的运行状态，利用压电柱16合理地调控柔性体4的输出刚度，将极大地提升超精密工作台的定位精度，同时相对于传统的工作台，它的定位时间也在很大程度上得到了缩减，大大提高了超精密加工的效率。
本发明基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，利用可变刚度柔性结构交叉铰接板19减小直线导轨8与滑块7之间预滑摩擦力的有害影响，从而实现超精密工作台的快速、精准地定位。采用可变刚度柔性体4来联接工作台1与滑块7，并通过柔性体4上的智能压电柱16来改变柔性体刚度，使其直接作用于摩擦力方向，极大地减小了预滑摩擦力对超精密工作台定位的不良影响，同时利用直线电机9又避免了外界扰动力对工作台定位的干扰作用。在变刚度交叉柔性板的作用下，超精密工作台的定位精度可得到极大地提升。相比传统的工作台而言，本发明超精密驱动工作台在定位时间方面也得到了缩减，大大提升了超精密加工的效率。
本发明基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，具有低成本、高精度和高敏捷度的特点，集成了结构设计优化与智能材料应用的优势，可有效解决目前滚柱或滚珠式超精密工作台的高速精准定位问题。

Claims (3)

1.基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，其特征在于，包括底座(10)和工作台(1)，底座(10)上依次平行设置有直线导轨(8)、直线电机(9)、用于定位支撑直线电机(9)的支撑板(11)、侧挡板(12)；
直线导轨(8)上装配有两个滑块(7)，每个滑块(7)和工作台(1)之间均装有柔性体(4)；
所述滑块(7)为滚珠式滑块或者滚柱式滑块；
侧挡板(12)上设置有光栅编码器定尺(14)，工作台(1)上设置有与光栅编码器定尺(14)相配合的光栅编码器滑尺(3)；
所述柔性体(4)包括通过交叉铰接板(19)连接的U型框架和矩形块，U型框架上开有螺栓孔a(17)，U型框架与所述滑块(7)通过穿过螺栓孔a(17)的螺栓连接，矩形块上开有螺栓孔b(18)，矩形块与所述工作台(1)通过穿过螺栓孔b(18)的螺栓连接，交叉铰接板(19)上装有压电柱(16)。
2.根据权利要求1所述基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，其特征在于，所述底座(10)两端对称设置有端面挡板(5)，端面挡板(5)上设置有缓冲器(6)。
3.根据权利要求1所述基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，其特征在于，所述工作台(1)通过连接板(2)与拖链(15)连接，拖链(15)内穿有用于连接光栅编码器滑尺(3)的电缆(13)。
CN201611192773.XA 2016-12-21 2016-12-21 基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台 Active CN106594070B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611192773.XA CN106594070B (zh) 2016-12-21 2016-12-21 基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611192773.XA CN106594070B (zh) 2016-12-21 2016-12-21 基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106594070A CN106594070A (zh) 2017-04-26
CN106594070B true CN106594070B (zh) 2019-09-27

Family

ID=58602238

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611192773.XA Active CN106594070B (zh) 2016-12-21 2016-12-21 基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106594070B (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108015564A (zh) * 2017-12-19 2018-05-11 广东工业大学 一种超声辅助克服摩擦直线运动平台
DE102019101974A1 (de) * 2019-01-28 2020-07-30 Man Energy Solutions Se Gleitlager mit additiv gefertigten Strukturen
CN110202472B (zh) * 2019-05-31 2021-11-16 西安理工大学 闭式静压导轨运动精度的压电调控装置及压电调控方法
TWI735295B (zh) * 2020-07-24 2021-08-01 潤達精密股份有限公司 線性致動裝置
CN112879427B (zh) * 2021-03-01 2022-03-29 东台超德机械有限公司 一种带有便于拆装滑块的低阻直线导轨

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002156480A (ja) * 2000-11-15 2002-05-31 Fujitsu Ltd ステージ移動機構
CN1701925A (zh) * 2005-07-22 2005-11-30 北京航空航天大学 带双边直线电机同步驱动的h型气浮工作台
CN101770166A (zh) * 2010-01-06 2010-07-07 天津大学 一种用于纳米压印光刻系统的两平动精密定位工作台
CN102543217A (zh) * 2012-01-20 2012-07-04 澳门大学 宏微驱动二维一体式微定位平台
CN103252761A (zh) * 2013-04-28 2013-08-21 合肥工业大学 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
JP2015117958A (ja) * 2013-12-17 2015-06-25 日本精工株式会社 ＸＹθテーブル装置
CN106002312A (zh) * 2016-06-29 2016-10-12 广东工业大学 一种单驱动刚柔耦合精密运动平台及其实现方法及应用

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002156480A (ja) * 2000-11-15 2002-05-31 Fujitsu Ltd ステージ移動機構
CN1701925A (zh) * 2005-07-22 2005-11-30 北京航空航天大学 带双边直线电机同步驱动的h型气浮工作台
CN101770166A (zh) * 2010-01-06 2010-07-07 天津大学 一种用于纳米压印光刻系统的两平动精密定位工作台
CN102543217A (zh) * 2012-01-20 2012-07-04 澳门大学 宏微驱动二维一体式微定位平台
CN103252761A (zh) * 2013-04-28 2013-08-21 合肥工业大学 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
JP2015117958A (ja) * 2013-12-17 2015-06-25 日本精工株式会社 ＸＹθテーブル装置
CN106002312A (zh) * 2016-06-29 2016-10-12 广东工业大学 一种单驱动刚柔耦合精密运动平台及其实现方法及应用

Also Published As

Publication number Publication date
CN106594070A (zh) 2017-04-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106594070B (zh) 基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台
CN102943839B (zh) 一种精密定位隔振平台
CN103557412B (zh) 双极二维全柔性高精度伺服平台
CN102152131B (zh) 滚珠丝杠副压电致动器串联宏微驱动及导轨装置
CN106891306A (zh) 基于变刚度柔性结构的磁辅助激励精密驱动工作台
JP5353710B2 (ja) スライドステージおよびｘｙ方向可動スライドステージ
CN104440344B (zh) 直线电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台
CN105666225B (zh) 一种超精密低速滚珠丝杠直线进给装置
CN105729141A (zh) 一种基于开放数控系统控制的精密直线二维双驱工作台
CN102307031A (zh) 一种永磁电磁相结合的磁悬浮直线运动平台
CN101924450B (zh) 一种固定音圈电机直驱式x-y微动平台
CN103021473A (zh) 一种直驱式运动解耦的高精度伺服平台
CN104440345B (zh) 异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台
CN107387959B (zh) 一体式高速超精密定位二维平台
CN104765382A (zh) 跨尺度二维大行程高速高精度运动平台
CN105290805B (zh) 并联x‑y工作台
CN1963374A (zh) 大运动范围高速精密两坐标轴定位装置
CN205166401U (zh) 一种并联x-y工作台
CN102059576B (zh) 双轴直线移动微驱动装置
CN108890324A (zh) 基于方箱的超精密x-y气浮平面定位平台
CN105765663B (zh) 一种高精度平面定位系统
CN101474758A (zh) 具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统
CN110434621B (zh) 一种基于主动隔振的宏微双驱动精密定位装置及控制方法
CN102723303B (zh) Xy两坐标气浮定位平台
CN104400374B (zh) 用于航空发动机转静子装配测量的双框共面导向式调心方法与装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20210520

Address after: No.70, Jinye 1st Road, high tech Zone, Xi'an, Shaanxi 710000

Patentee after: SHAANXI OBOTR AUTOMATION TECHNOLOGY Co.,Ltd.

Address before: 710048 No. 5 Jinhua South Road, Shaanxi, Xi'an

Patentee before: XI'AN University OF TECHNOLOGY

TR01 Transfer of patent right
CP03 Change of name, title or address

Address after: 710000 No. 16, Shanglinyuan Third Road, high tech Zone, Xi'an, Shaanxi

Patentee after: Shaanxi nobet Automation Technology Co.,Ltd.

Address before: No.70, Jinye 1st Road, high tech Zone, Xi'an, Shaanxi 710000

Patentee before: SHAANXI OBOTR AUTOMATION TECHNOLOGY CO.,LTD.

CP03 Change of name, title or address