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CN106527062B - 一种曝光机及其图像偏移防治方法和系统 - Google Patents

一种曝光机及其图像偏移防治方法和系统 Download PDF

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CN106527062B CN201710020601.2A CN201710020601A CN106527062B CN 106527062 B CN106527062 B CN 106527062B CN 201710020601 A CN201710020601 A CN 201710020601A CN 106527062 B CN106527062 B CN 106527062B
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Abstract

本发明实施例提供一种曝光机及其图像偏移防治方法和系统，通过在轴承和升降杆相连接的一端设置由透明材料制成的防尘罩，便于通过人工或机器视觉方式检测轴承是否已磨损，从而有效防治因轴承磨损掉落残渣而导致的光阻图像产生局部偏移的现象，可以有效提高黄光制程中经光刻蚀得到的玻璃基板的良品率，从而提高黄光制程的生产效率。

Description

一种曝光机及其图像偏移防治方法和系统
技术领域
本发明实施例属于曝光设备技术领域，尤其涉及一种曝光机及其图像偏移防治方法和系统。
背景技术
在黄光制程中，玻璃基板在经过涂胶机涂布光阻之后，会进入曝光机进行曝光，以使玻璃基板表面被光阻覆盖的部分能够形成光阻图像。在实际使用过程中，曝光机的载物台上若存在异物，则会导致放置在载物台上玻璃基板在有异物的地方局部隆起，从而导致获得的光阻图像产生局部偏移，降低黄光制程中经光刻蚀得到的玻璃基板的良品率。
曝光机台上的异物通常是因曝光机的升降杆的轴承磨损而掉落的残渣，为了防治曝光机的轴承磨损，现有的检测方法通常是依靠人工手动摇动升降杆，根据手感来判断轴承是否磨损，容易发生误判，并且检测效率低下，从而严重降低了黄光制程的生产效率。
发明内容
本发明实施例提供一种曝光机及其图像偏移防治方法和系统，通过在轴承和升降杆相连接的一端设置由透明材料制成的防尘罩，便于通过人工或机器视觉方式检测轴承是否已磨损，从而有效防治因轴承磨损掉落残渣而导致的光阻图像产生局部偏移的现象，可以有效提高黄光制程中经光刻蚀得到的玻璃基板的良品率，从而提高黄光制程的生产效率。
本发明实施例一方面提供一种曝光机，包括主壳体以及设置在所述主壳体内的载物机台、曝光组件和升降杆轴承机构，所述升降杆轴承机构与所述载物机台和所述曝光组件机械连接，所述升降杆轴承机构包括：
轴承，与所述曝光组件机械连接；
升降杆，与所述轴承机械连接，用于绕所述轴承旋转以控制所述曝光组件上下升降；以及
防尘罩，设置在所述轴承与所述升降杆相连接的一端的外侧，所述防尘罩由透明材料制成。
优选的，所述透明材料为高硅氧玻璃、石英玻璃或亚克力。
优选的，所述曝光组件包括光源，所述光源正对所述载物机台设置，用于发光照射玻璃基板；
所述曝光机还包括反射灯罩，所述反射灯罩设置在所述主壳体内且位于所述光源组件的上方，用于将所述光源组件发射的光线反射至所述玻璃基板。
优选的，所述光源包括散射光源、点光源或平行光源。
优选的，所述光源为毛细灯、长弧灯、短弧灯或紫外灯。
优选的，所述反射灯罩为散射型灯罩。
本发明实施例还提供一种曝光机的图像偏移防治方法，所述曝光机为上述述的曝光机，所述方法包括：
检测轴承是否已磨损；
若所述轴承已磨损，则发出表示所述轴承已磨损的提示信息。
优选的，所述检测所述轴承是否已磨损，包括：
获取当前的轴承图像；
比较所述轴承图像与预存的轴承图像之间的偏差是否在预设偏差范围内；
若所述偏差在预设偏差范围内，则判定所述轴承未磨损，否则，判定所述轴承已磨损。
本发明实施例另一方面提供一种曝光机的图像偏移防治系统，所述曝光机为上述的曝光机，所述系统包括：
检测单元，用于检测轴承是否已磨损；
提示单元，用于若所述轴承已磨损，则发出表示所述轴承已磨损的提示信息。
优选的，所述检测单元包括：
图像获取单元，用于获取所述轴承图像；
比较单元，用于比较所述轴承图像与预存的轴承图像之间的偏差是否在预设偏差范围内；
判断单元，用于若所述偏差在预设偏差范围内，则判定所述轴承未磨损，否则，判定所述轴承已磨损。
本发明实施例通过在轴承和升降杆相连接的一端设置由透明材料制成的防尘罩，便于通过人工或机器视觉方式检测轴承是否已磨损，从而有效防治因轴承磨损掉落残渣而导致的光阻图像产生局部偏移的现象，可以有效提高黄光制程中经光刻蚀得到的玻璃基板的良品率，从而提高黄光制程的生产效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明的一个实施例提供的曝光机的结构框图；
图2是本发明的另一个实施例提供的曝光机的结构框图；
图3是本发明的一个实施例提供的曝光机的图像偏移防治方法的流程框图；
图4是本发明的一个实施例提供的轴承图像偏差示意图；
图5是本发明的一个实施例提供的曝光机的图像偏移防治系统的结构框图；
图6是本发明的另一个实施例提供的曝光机的图像偏移防治系统的结构框图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“包括”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含一系列步骤或单元的过程、方法或系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。此外，术语“第一”、“第二”和“第三”等是用于区别不同对象，而非用于描述特定顺序。
如图1所示，本发明的一个实施例提供一种曝光机100，包括主壳体101、载物机台10、曝光组件20和升降杆轴承机构30，其中，升降杆轴承机构30包括轴承31、升降杆32和防尘罩33。
载物机台10用于承载需要曝光的玻璃基板。
曝光组件20，设置在载物机台10上方预设距离处，用于对放置在载物机台上的玻璃基板进行曝光。
升降杆轴承机构30与载物机台10和曝光组件20机械连接，用于控制曝光组件20上下移动。
轴承31，与曝光组件20机械连接。
在具体应用中，轴承可以设置在曝光组件的底部、上部或者曝光组件的侧面，只要与曝光组件连接固定在一起且不妨碍曝光组件曝光即可。本实施例中，轴承设置在曝光组件侧面。
升降杆32，与轴承31机械连接，用于绕轴承旋31转以控制曝光组件上下升降。
在具体应用中，升降杆设置在轴承端部的外侧通过紧固件与轴承连接在一起，也可以通过在升降杆上开设连接孔，以使轴承穿过该连接孔与升降杆连接。本实施例中，升降杆上开有用于穿过轴承的连接孔。
防尘罩33，设置在轴承31与升降杆32相连接的一端的外侧，该防尘罩22由透明材料制成。
在具体应用中，防尘罩可通过螺纹连接或者紧固件紧固的方式固定在轴承的端部外侧，用于阻挡灰尘。本实施例中，未示出用于固定防尘罩的螺纹或紧固件。
在具体应用中，制造防尘罩的透明材料可以为高硅氧玻璃、石英玻璃或亚克力，也可以选用其他类型透明材料。本实施例中，选用亚克力材料来制造防尘罩。
本实施例通过在轴承和升降杆相连接的一端设置由透明材料制成的防尘罩，便于通过人工或机器视觉方式检测轴承是否已磨损，从而有效防治因轴承磨损掉落残渣而导致的光阻图像产生局部偏移的现象，可以有效提高黄光制程中经光刻蚀得到的玻璃基板的良品率，从而提高黄光制程的生产效率。
如图2所示，在本发明的一个实施例中，曝光组件20包括光源21，曝光机100还包括反射罩40。
其中，光源21正对载物机台10设置，用于发光照射玻璃基板。
在具体应用中，光源具体可以包括散射光源、点光源或平行光源，具体可以选用毛细灯、长弧灯、短弧灯或紫外灯。
反射灯罩40，设置在主壳体101内且设置在光源21的上方，用于将光源21发射的光线反射至玻璃基板。
在具体应用中，反射灯罩具体可以选用散射型灯罩。本实施例中，反射灯罩为呈弧形对称式结构的反射型灯罩。
如图3所示，本发明的一个实施例提供一种曝光机的图像偏移防治方法，该曝光机为图1或图2所对应的实施例中的曝光机，所述方法包括：
步骤S201：检测轴承是否已磨损。
在具体应用中，可以通过人眼观察或者采用机器视觉获取当前的轴承图像来检测轴承是否已磨损。
在本发明的一个实施例中，步骤S201具体包括：
获取当前的轴承图像；
比较所述轴承图像与预存的轴承图像之间的偏差是否在预设偏差范围内；
若所述偏差在预设偏差范围内，则判定所述轴承未磨损，否则，判定所述轴承已磨损。
在具体应用中，可以通过具备图像采集功能的摄像类产品，例如摄像头，来获取当前的轴承图像。
在具体应用中，正常情况下轴承未磨损时其截面图像形状应该接近于标准圆，若轴承被磨损，则其图像将会在磨损位置有缺损，如图4所示，为轴承被磨损前后的示意图，其中实线表示轴承未磨损时的轴承轮廓，虚线表示轴承部分磨损时的轴承轮廓。
在本发明的一个实施例中，可以在轴承未磨损时获取轴承图像并存储作为预存的轴承图像，在曝光机使用过程中，在相同图像获取条件下获取当前的轴承图像，然后在相同的显示条件下，比较当前的轴承图像和预存的轴承图像上相同位置处的像素点之间的差异，若当前获取到的轴承图像与预存的轴承图像相比，存在差异的像素点较多，则说明轴承磨损程度严重，反之则说明轴承磨损程度相对较轻。
步骤S202：若所述轴承已磨损，则发出表示所述轴承已磨损的提示信息。
在具体应用中，提示信息具体可以以语音、文字、图形图像或亮灯等形式实现。
本实施例通过提供一种曝光机的图像偏移防治方法，可以通过获取并分析轴承的图像来判断轴承是否已经被磨损，简单高效，可以有效避免因轴承磨损而导致的曝光图像偏移现象。
如图5所示，本发明的一个实施例提供一种曝光机的图像偏移防治系统200，用于执行图3所对应的实施例中的方法步骤，其包括：
检测单元201，用于检测轴承是否已磨损；
提示单元202，用于若所述轴承已磨损，则发出表示所述轴承已磨损的提示信息。
在本发明的一个实施例中，检测单元201包括：
图像获取单元，用于获取所述轴承图像；
比较单元，用于比较所述轴承图像与预存的轴承图像之间的偏差是否在预设偏差范围内；
判断单元，用于若所述偏差在预设偏差范围内，则判定所述轴承未磨损，否则，判定所述轴承已磨损。
在具体应用中，图像获取单元具体可以为摄像头，比较单元具体可以为图像处理器，判断单元具体可以通过处理器来实现。
本实施例通过提供一种曝光机的图像偏移防治系统，可以通过获取并分析轴承的图像来判断轴承是否已经被磨损，简单高效，可以有效避免因轴承磨损而导致的曝光图像偏移现象。
如图6所示，本实施例提供的曝光机的图像偏移防治系统300，其包括：
处理器(processor)110，通信接口(Communications Interface)120，存储器(memory)130，总线140和摄像头150。
处理器110，通信接口120，存储器130和摄像头150通过总线140完成相互间的通信。
通信接口120，用于与外界设备，例如，个人电脑、智能手机等通信。
处理器110，用于执行程序131。
具体地，程序131可以包括程序代码，所述程序代码包括计算机操作指令。
处理器110可能是一个中央处理器CPU，或者是特定集成电路ASIC(ApplicationSpecific Integrated Circuit)，或者是被配置成实施本发明实施例的一个或多个集成电路。
存储器130，用于存放程序131。存储器130可能包含高速RAM存储器，也可能还包括非易失性存储器(non-volatile memory)，例如至少一个磁盘存储器。程序131具体可以包括：
检测单元1311，用于检测轴承是否已磨损；
提示单元1312，用于若所述轴承已磨损，则发出表示所述轴承已磨损的提示信息。
在本发明的一个实施例中，程序131具体还包括：
图像获取单元，用于获取所述轴承图像；
比较单元，用于比较所述轴承图像与预存的轴承图像之间的偏差是否在预设偏差范围内；
判断单元，用于若所述偏差在预设偏差范围内，则判定所述轴承未磨损，否则，判定所述轴承已磨损。
本发明所有实施例中的单元，可以通过通用集成电路，例如CPU(CentralProcessing Unit，中央处理器)，或通过ASIC(Application Specific IntegratedCircuit，专用集成电路)来实现。
本发明实施例方法中的步骤可以根据实际需要进行顺序调整、合并和删减。
本发明实施例装置中的单元可以根据实际需要进行合并、划分和删减。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的程序可存储于一计算机可读取存储介质中，该程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，所述的存储介质可为磁碟、光盘、只读存储记忆体(Read-Only Memory，ROM)或随机存储记忆体(Random AccessMemory，RAM)等。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种曝光机的图像偏移防治方法，其特征在于，所述曝光机包括主壳体以及设置在所述主壳体内的载物机台、曝光组件和升降杆轴承机构，所述升降杆轴承机构与所述载物机台和所述曝光组件机械连接，所述升降杆轴承机构包括：
轴承，与所述曝光组件机械连接；
升降杆，与所述轴承机械连接，用于绕所述轴承旋转以控制所述曝光组件上下升降；以及
防尘罩，设置在所述轴承与所述升降杆相连接的一端的外侧，所述防尘罩由透明材料制成；
所述方法包括：
检测轴承是否已磨损；
若所述轴承已磨损，则发出表示所述轴承已磨损的提示信息；
所述检测轴承是否已磨损，包括：
获取当前的轴承图像；
比较所述轴承图像与预存的轴承图像之间的偏差是否在预设偏差范围内；
若所述偏差在预设偏差范围内，则判定所述轴承未磨损，否则，判定所述轴承已磨损。
2.如权利要求1所述的曝光机的图像偏移防治方法，其特征在于，所述透明材料为高硅氧玻璃、石英玻璃或亚克力。
3.如权利要求1所述的曝光机的图像偏移防治方法，其特征在于，所述曝光组件包括光源，所述光源正对所述载物机台设置，用于发光照射玻璃基板；所述曝光机还包括反射灯罩，所述反射灯罩设置在所述主壳体内且位于所述光源组件的上方，用于将所述光源组件发射的光线反射至所述玻璃基板。
4.如权利要求3所述的曝光机的图像偏移防治方法，其特征在于，所述光源包括散射光源、点光源或平行光源。
5.如权利要求3所述的曝光机的图像偏移防治方法，其特征在于，所述光源为毛细灯、长弧灯、短弧灯或紫外灯。
6.如权利要求3所述的曝光机的图像偏移防治方法，其特征在于，所述反射灯罩为散射型灯罩。
7.一种曝光机的图像偏移防治系统，其特征在于，所述曝光机包括主壳体以及设置在所述主壳体内的载物机台、曝光组件和升降杆轴承机构，所述升降杆轴承机构与所述载物机台和所述曝光组件机械连接，所述升降杆轴承机构包括：
轴承，与所述曝光组件机械连接；
升降杆，与所述轴承机械连接，用于绕所述轴承旋转以控制所述曝光组件上下升降；以及
防尘罩，设置在所述轴承与所述升降杆相连接的一端的外侧，所述防尘罩由透明材料制成；
所述系统包括：
检测单元，用于检测轴承是否已磨损；
提示单元，用于若所述轴承已磨损，则发出表示所述轴承已磨损的提示信息；
所述检测单元包括：
图像获取单元，用于获取所述轴承图像；
比较单元，用于比较所述轴承图像与预存的轴承图像之间的偏差是否在预设偏差范围内；
判断单元，用于若所述偏差在预设偏差范围内，则判定所述轴承未磨损，否则，判定所述轴承已磨损。
8.如权利要求7所述的曝光机的图像偏移防治系统，其特征在于，所述透明材料为高硅氧玻璃、石英玻璃或亚克力。
9.如权利要求7所述的曝光机的图像偏移防治系统，其特征在于，所述曝光组件包括光源，所述光源正对所述载物机台设置，用于发光照射玻璃基板；所述曝光机还包括反射灯罩，所述反射灯罩设置在所述主壳体内且位于所述光源组件的上方，用于将所述光源组件发射的光线反射至所述玻璃基板。
10.如权利要求9所述的曝光机的图像偏移防治系统，其特征在于，所述光源包括散射光源、点光源或平行光源。
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