[go: up one dir, main page]

CN105845752B - 一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法 - Google Patents

一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105845752B
CN105845752B CN201610199516.2A CN201610199516A CN105845752B CN 105845752 B CN105845752 B CN 105845752B CN 201610199516 A CN201610199516 A CN 201610199516A CN 105845752 B CN105845752 B CN 105845752B
Authority
CN
China
Prior art keywords
oxide
transparent conductive
film
conductive film
coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610199516.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105845752A (zh
Inventor
李民
徐华
陈子凯
徐苗
王磊
邹建华
陶洪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
GUANGZHOU NEW VISION OPTOELECTRONIC CO Ltd
Original Assignee
GUANGZHOU NEW VISION OPTOELECTRONIC CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by GUANGZHOU NEW VISION OPTOELECTRONIC CO Ltd filed Critical GUANGZHOU NEW VISION OPTOELECTRONIC CO Ltd
Priority to CN201610199516.2A priority Critical patent/CN105845752B/zh
Publication of CN105845752A publication Critical patent/CN105845752A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105845752B publication Critical patent/CN105845752B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/20—Electrodes
    • H10F77/244—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. transparent conductive oxide [TCO] layers
    • H10F77/254—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. transparent conductive oxide [TCO] layers comprising a metal, e.g. transparent gold
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
    • H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
    • H01L21/32051—Deposition of metallic or metal-silicide layers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
    • H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
    • H01L21/32055—Deposition of semiconductive layers, e.g. poly - or amorphous silicon layers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F71/00—Manufacture or treatment of devices covered by this subclass
    • H10F71/138—Manufacture of transparent electrodes, e.g. transparent conductive oxides [TCO] or indium tin oxide [ITO] electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/20—Electrodes
    • H10F77/244—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. transparent conductive oxide [TCO] layers
    • H10F77/247—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. transparent conductive oxide [TCO] layers comprising indium tin oxide [ITO]
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/20—Electrodes
    • H10F77/244—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. transparent conductive oxide [TCO] layers
    • H10F77/251—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. transparent conductive oxide [TCO] layers comprising zinc oxide [ZnO]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，设置有第一氧化物层、金属膜夹层和位于金属膜夹层之上的第二氧化物层；第一氧化物层为单层或复合多层宽禁带一元氧化物非晶态薄膜，宽禁带一元氧化物为氧化钛、氧化铝、氧化锆或氧化镁。金属膜夹层为银或铜单质薄膜或者其合金薄膜。第二氧化物层为透明氧化物(In2O3)x(MO)y(ZnO)z非晶态薄膜。该透明导电薄膜结构简单，能够简化制备工序，所获得透明导电薄膜透光率高、导电性好、热稳定性佳。本发明的制备工艺实现了以简单步骤制备得到透光率高、导电性好、热稳定性佳的透明导电薄膜。

Description

一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法
技术领域
本发明涉及柔性光电器件技术领域，特别是涉及一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法。
背景技术
透明导电氧化物（Transparent Conductor Oxide，TCO）具有禁带宽、光透射率高和电阻率低等特点，已在太阳能电池、平面显示、特殊功能窗口涂层等领域获得了广泛的应用。目前，掺锡氧化铟、掺氟氧化锡和掺铝氧化锌等透明导电薄膜在光电领域已应用广泛。但是，随着柔性电子的高速发展，对透明导电膜在导电性、可靠性方面都提出了新的要求。近年来发展的氧化物-金属-氧化物透明导电薄膜具有透光率和导电率高等特点，而且具有制备抗弯折导电膜的潜力，正收到研究的关注，并已逐步应用到柔性太阳能电池和显示等光电领域。
因为柔性电子器件通常制作于塑料衬底之上。而塑料衬底对水氧阻隔能力远远不及传统的玻璃、不锈钢衬底。因此通常柔性电子器件在制作之前还需要制作额外的水氧阻隔层，如此一来增加了器件结构的复杂度，增加了工艺工序。
因此，针对现有技术不足，提供一种能够简化结构和工艺的透明导电薄膜及其制备方法甚为必要。
发明内容
本发明的目的在于避免现有技术的不足之处而提供一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法，在金属氧化物/金属膜/金属氧化物三层结构的透明导电膜中，通过将封装膜与导电膜相结合，合并了工序步骤，实现了结构和工艺简化，所获得的透明导电薄膜具有更好的光学、电学以及力学性能。
本发明的上述目的通过如下技术手段实现。
提供一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，设置有第一氧化物层、设置于第一氧化物层之上的金属膜夹层和设置于金属膜夹层之上的第二氧化物层；
所述第一氧化物层为单层或复合多层宽禁带一元氧化物非晶态薄膜，所述宽禁带一元氧化物为氧化钛、氧化铝、氧化锆或氧化镁。
上述金属膜夹层为银或铜单质薄膜，或者为含银、铜的合金薄膜。
上述第二氧化物层为透明氧化物非晶态薄膜，所述透明氧化物为金属氧化物(In2O3)x(MO)y(ZnO)z，其中0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1，且x+y+z=1，M为镓、锡、钛、铝、镁、钽、铪、镱、锆中的一种元素或两种以上的元素的任意组合。
优选的，上述第一氧化物层的厚度为1 nm ~100 nm。
优选的，上述金属膜夹层的厚度为7 nm ~12nm。
优选的，上述第二氧化物层的厚度为5~15 nm。
上述第一氧化物层具体是采用热生长或者等离子增强的原子层沉积方式，在80~250℃下生长成膜制备而成；
所述第二氧化物层具体是采用热生长或者等离子增强的原子层沉积方式，在80~250℃下生长成膜制备而成，或者采用物理气相方式制备而成。
上述金属膜夹层采用物理气相方式制备，具体是在本底真空小于5×10-3 Pa的状态下，在溅射气压为0.1 Pa~1.0 Pa、溅射功率为50 W~500 W、溅射速率为0.2 nm/s~1.0nm/s的的条件下进行溅射成膜，溅射成膜过程中，衬底的温度为20 oC ~150 oC。
本发明的另一目的在于提供一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜的制备方法，上述的透明导电薄膜在硬质衬底上采用片到片方式制备。
本发明的另一目的在于提供一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜的制备方法，上述透明导电薄膜在柔性衬底上采用卷到卷方式制备。柔性衬底包括金属箔、超薄玻璃、聚酰亚胺薄膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底、聚萘二甲酸乙二醇酯衬底、聚醚醚酮衬底或聚甲基丙烯酸甲酯衬底。
本发明的应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，设置有第一氧化物层、金属膜夹层和位于金属膜夹层之上的第二氧化物层；第一氧化物层为单层或复合多层宽禁带一元氧化物非晶态薄膜，宽禁带一元氧化物为氧化钛、氧化铝、氧化锆或氧化镁。该透明导电薄膜通过宽禁带一元氧化物非晶态薄膜实现水氧阻隔、光学减反、薄膜增粘的作用，通过第一氧化物层、金属膜夹层和第二氧化物层的结构，实现封装膜与导电膜相结合，结构简单，能够简化制备工序，所获得透明导电薄膜透光率高、导电性好、热稳定性佳。本发明的制备工艺实现了以简单步骤制备得到透光率高、导电性好、热稳定性佳的透明导电薄膜。
附图说明
利用附图对本发明作进一步的说明，但附图中的内容不构成对本发明的任何限制。
图1是本发明一种透明导电薄膜的结构示意图。
在图1中，包括：
第一氧化物层01、
金属膜夹层02、
第二氧化物层03。
具体实施方式
结合以下实施例对本发明作进一步描述。
实施例1。
一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，如图1所示，设置有第一氧化物层01、金属膜夹层02和位于金属膜夹层02之上的第二氧化物层03。
第一氧化物层01为单层或复合多层宽禁带一元氧化物非晶态薄膜，宽禁带一元氧化物为氧化钛、氧化铝、氧化锆或氧化镁。第一氧化物层01采用宽禁带一元氧化物非晶态薄膜，起水氧阻隔、光学减反、薄膜增粘的作用。第一氧化物层01的厚度为1 nm ~100 nm，优选为7 nm ~12nm。
金属膜夹层02为银或铜单质薄膜，或者为含银、铜的合金薄膜，金属膜夹层02主要起到导电作用。第二氧化物层03的厚度为5~15 nm。
第二氧化物层03为透明氧化物非晶态薄膜，透明氧化物为金属氧化物(In2O3)x(MO)y(ZnO)z，其中0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1，且x+y+z=1，M为镓、锡、钛、铝、镁、钽、铪、镱、锆中的一种元素或两种以上的元素的任意组合。
该应用于柔性光电器件的透明导电薄膜的制备方法，可以是在硬质衬底上采用片到片方式制备。
该应用于柔性光电器件的透明导电薄膜的制备方法，也可以在柔性衬底上采用卷到卷方式制备。柔性衬底包括金属箔、超薄玻璃、聚酰亚胺薄膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底、聚萘二甲酸乙二醇酯衬底、聚醚醚酮衬底或聚甲基丙烯酸甲酯衬底。
本实施例的透明导电薄膜通过宽禁带一元氧化物非晶态薄膜实现水氧阻隔、光学减反、薄膜增粘的作用，通过第一氧化物层01、金属膜夹层02和第二氧化物层03的结构，实现封装膜与导电膜相结合，结构简单，能够简化制备工序，所获得透明导电薄膜透光率高、导电性好、热稳定性佳。本发明的制备工艺实现了以简单步骤制备得到透光率高、导电性好、热稳定性佳的透明导电薄膜。
实施例2。
一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其它特征与实施例1相同，不同之处在于，还具有如下技术特征：第一氧化物层01具体是采用热生长或者等离子增强的原子层沉积方式，在80~250℃下生长成膜制备而成。
第二氧化物层03具体是采用热生长或者等离子增强的原子层沉积方式，在80~250℃下生长成膜制备而成，或者采用物理气相方式制备而成。
金属膜夹层02采用物理气相方式制备，具体是在本底真空小于5×10-3 Pa的状态下，在溅射气压为0.1 Pa~1.0 Pa、溅射功率为50 W~500 W、溅射速率为0.2 nm/s~1.0 nm/s的的条件下进行溅射成膜，溅射成膜过程中，衬底的温度为20 oC ~150 oC。
本实施例的透明导电薄膜通过宽禁带一元氧化物非晶态薄膜实现水氧阻隔、光学减反、薄膜增粘的作用，通过第一氧化物层01、金属膜夹层02和第二氧化物层03的结构，实现封装膜与导电膜相结合，结构简单，能够简化制备工序，所获得透明导电薄膜透光率高于84%，方阻值不高于10Ω/□，水氧阻隔性能良好、热稳定性佳。
实施例3。
一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，如图1所示，设置有第一氧化物层01、金属膜夹层02和位于金属膜夹层02之上的第二氧化物层03。
第一氧化物层01，其材料为氧化锆，厚度为40 nm。金属膜夹层02为银膜，厚度为9nm。第二氧化物层03，其材料为氧化铟锡，厚度为10nm。衬底基板为透明柔性聚酰亚胺（PI）衬底。
第一氧化物层01采用原子层沉积方式制备，采用热生长或者等离子增强的原子层沉积方式，在250℃下生长成膜制备而成。
银膜采用磁控溅射方式制备，具体是在本底真空小于5×10-3 Pa的状态下，在溅射气压为1.0 Pa、溅射功率为300 W、溅射速率为0.8 nm/s的的条件下进行溅射成膜，溅射成膜过程中，衬底的温度为150 oC。
第二氧化物层03采用物理气相沉积方法制备，具体是本底真空小于5×10-3 Pa的状态下，在溅射气压为0.6 Pa、溅射功率为300 W、溅射速率为2 nm/s的的条件下进行溅射成膜，溅射成膜过程中，衬底的温度为250 oC。
该实施例制备的透明导电薄膜的方阻值为9.5 Ω/□，可见光透过率大于84.5%，水氧阻隔性能(WVTR)达到4*10-4 cm2/g day。薄膜在100 oC环境温度下放置24小时，未有退化现象发生。
可见，本实施例的透明导电薄膜结构简单，能够简化制备工序，所获得透明导电薄膜透光率高、导电性好、热稳定性佳。
实施例4。
一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，如图1所示，设置有第一氧化物层01、金属膜夹层02和位于金属膜夹层02之上的第二氧化物层03。
第一氧化物层01，其材料为氧化钛，厚度为50 nm。金属膜夹层02为铜膜，厚度为10nm。第二氧化物层03，其材料为氧化铟镓锡，厚度为10nm。衬底基板为透明柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底。
第一氧化物层01采用原子层沉积方式制备，采用热生长或者等离子增强的原子层沉积方式，在200℃下生长成膜制备而成。
铜膜采用磁控溅射方式制备，具体是在本底真空小于5×10-3 Pa的状态下，在溅射气压为0.8 Pa、溅射功率为400 W、溅射速率为0.6 nm/s的的条件下进行溅射成膜，溅射成膜过程中，衬底的温度为100 oC。
第二氧化物层03采用物理气相沉积方法制备，具体是本底真空小于5×10-3 Pa的状态下，在溅射气压为0.8 Pa、溅射功率为320 W、溅射速率为2 nm/s的的条件下进行溅射成膜，溅射成膜过程中，衬底的温度为200 oC。
该实施例制备的透明导电薄膜的方阻值为9.45 Ω/□，可见光透过率大于84.5%，水氧阻隔性能(WVTR)达到3.96*10-4 cm2/g day。薄膜在100 oC环境温度下放置24小时，未有退化现象发生。
可见，本实施例的透明导电薄膜结构简单，能够简化制备工序，所获得透明导电薄膜透光率高、导电性好、热稳定性佳。
实施例5。
一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，如图1所示，设置有第一氧化物层01、金属膜夹层02和位于金属膜夹层02之上的第二氧化物层03。
第一氧化物层01，其材料为氧化镁，厚度为30 nm。金属膜夹层02为铜薄膜，厚度为9nm。第二氧化物层03，其材料为氧化铟钽锡，厚度为11nm。衬底基板为透明柔性聚萘二甲酸乙二醇酯衬底。
第一氧化物层01采用原子层沉积方式制备，采用等离子增强的原子层沉积方式，在190℃下生长成膜制备而成。
铜膜采用磁控溅射方式制备，具体是在本底真空小于5×10-3 Pa的状态下，在溅射气压为0.9 Pa、溅射功率为390 W、溅射速率为0.6 nm/s的的条件下进行溅射成膜，溅射成膜过程中，衬底的温度为90 oC。
第二氧化物层03采用物理气相沉积方法制备，具体是本底真空小于5×10-3 Pa的状态下，在溅射气压为0.9 Pa、溅射功率为300 W、溅射速率为2 nm/s的的条件下进行溅射成膜，溅射成膜过程中，衬底的温度为200 oC。
该实施例制备的透明导电薄膜的方阻值为9.4 Ω/□，可见光透过率大于84.5%，水氧阻隔性能(WVTR)达到4.02*10-4 cm2/g day。薄膜在100 oC环境温度下放置24小时，未有退化现象发生。
可见，本实施例的透明导电薄膜结构简单，能够简化制备工序，所获得透明导电薄膜透光率高、导电性好、热稳定性佳。
最后应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。

Claims (8)

1.一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：设置有第一氧化物层、设置于第一氧化物层之上的金属膜夹层和设置于金属膜夹层之上的第二氧化物层；
所述第一氧化物层为单层或复合多层宽禁带一元氧化物非晶态薄膜，所述宽禁带一元氧化物为氧化钛、氧化铝、氧化锆或氧化镁；
所述金属膜夹层为银或铜单质薄膜，或者为含银、铜的合金薄膜；
所述第二氧化物层为透明氧化物非晶态薄膜，所述透明氧化物为金属氧化物(In2O3)x(MO)y(ZnO)z，其中0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1，且x+y+z＝1，M为镓、锡、钛、铝、镁、钽、铪、镱、锆中的一种元素或两种以上的元素的任意组合。
2.根据权利要求1所述的应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：所述第一氧化物层的厚度为1nm～100nm。
3.根据权利要求2所述的应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：所述金属膜夹层的厚度为7nm～12nm。
4.根据权利要求3所述的应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：所述第二氧化物层的厚度为5～15nm。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：所述第一氧化物层具体是采用热生长或者等离子增强的原子层沉积方式，在80-250℃下生长成膜制备而成；
所述第二氧化物层具体是采用热生长或者等离子增强的原子层沉积方式，在80-250℃下生长成膜制备而成，或者采用物理气相方式制备而成。
6.根据权利要求5所述的应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：所述金属膜夹层采用物理气相方式制备，具体是在本底真空小于5×10-3Pa的状态下，在溅射气压为0.1Pa～1.0Pa、溅射功率为50W～500W、溅射速率为0.2nm/s～1.0nm/s的的条件下进行溅射成膜，溅射成膜过程中，衬底的温度为20℃～150℃。
7.一种如权利要求1至6任意一项所述的应用于柔性光电器件的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述透明导电薄膜在硬质衬底上采用片到片方式制备。
8.一种如权利要求1至6任意一项所述的应用于柔性光电器件的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述透明导电薄膜在柔性衬底上采用卷到卷方式制备；所述柔性衬底包括金属箔、超薄玻璃、聚酰亚胺薄膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底、聚萘二甲酸乙二醇酯衬底、聚醚醚酮衬底或聚甲基丙烯酸甲酯衬底。
CN201610199516.2A 2016-04-04 2016-04-04 一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法 Active CN105845752B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610199516.2A CN105845752B (zh) 2016-04-04 2016-04-04 一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610199516.2A CN105845752B (zh) 2016-04-04 2016-04-04 一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105845752A CN105845752A (zh) 2016-08-10
CN105845752B true CN105845752B (zh) 2017-07-11

Family

ID=56596550

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610199516.2A Active CN105845752B (zh) 2016-04-04 2016-04-04 一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105845752B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107452881A (zh) * 2017-07-19 2017-12-08 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 基于柔性玻璃的透明导电薄膜电极及其制备方法
CN107357108A (zh) * 2017-07-19 2017-11-17 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 柔性可弯曲玻璃电致变色器及其制备方法
CN108074991A (zh) * 2017-12-06 2018-05-25 中国航发北京航空材料研究院 一种复合透明导电膜

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09305126A (ja) * 1996-05-14 1997-11-28 Toppan Printing Co Ltd 表示装置用電極基板

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69629613T2 (de) * 1995-03-22 2004-06-17 Toppan Printing Co. Ltd. Mehrschichtiger, elektrisch leitender Film, transparentes Elektrodensubstrat und Flüssigkristallanzeige die diesen benutzen
JP2006012431A (ja) * 2004-06-22 2006-01-12 Toppan Printing Co Ltd 防湿性を有する積層フィルム状透明電極及び無機電界発光素子
TW200834610A (en) * 2007-01-10 2008-08-16 Nitto Denko Corp Transparent conductive film and method for producing the same
CN202067794U (zh) * 2011-03-09 2011-12-07 常州亚玛顿股份有限公司 带有单面减反射膜的薄膜太阳能电池用导电玻璃

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09305126A (ja) * 1996-05-14 1997-11-28 Toppan Printing Co Ltd 表示装置用電極基板

Also Published As

Publication number Publication date
CN105845752A (zh) 2016-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102779944B (zh) 一种透明导电薄膜
TWI381401B (zh) Transparent conductive film and manufacturing method thereof
TW201233827A (en) Transparent electroconductive film and manufacturing method therefor
JP2013522813A (ja) 透明導電性酸化物、金属、及び酸化物の組み合わせに基づく透明電極
CN113299426B (zh) 一种透明导电阻隔薄膜、其制备方法及应用
TW201301310A (zh) 導電膜用素材、導電膜積層體、電子機器及其等之製造方法
CN109613781A (zh) 含无机透明导电膜的全无机固态电致变色模组
JPWO2014115770A1 (ja) 透明導電性基材ならびにその製造方法
Liu et al. Indium tin oxide with titanium doping for transparent conductive film application on CIGS solar cells
CN105845752B (zh) 一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法
Yu et al. Investigation of low resistance transparent F-doped SnO2/Cu bi-layer films for flexible electronics
Pei et al. Sputtered ITO/Ag/ITO films: growth windows and Ag/ITO interfacial properties
CN106119778A (zh) 室温溅射沉积柔性azo透明导电薄膜的方法
CN105489270B (zh) 一种夹层结构透明导电薄膜及其制备方法
Wu et al. Highly performance of flexible transparent conductive Cu-based ZnO multilayer thin films via BS barrier layer
JP3511337B2 (ja) 透明導電性積層体及びその製造方法
US11500257B2 (en) Inorganic solid-state electrochromic module containing inorganic transparent conductive film
Zhang et al. Nb2O5/Ag/ZnO multilayer electrodes with surface rearrangement of Ag deposited on flexible substrate
CN114231903B (zh) 一种氧化铌/银纳米线双层结构柔性透明导电薄膜及其制备方法
WO2014196460A1 (ja) 透明導電体及びその製造方法
Lin et al. The electro-optical characteristics of AZO/Mo/AZO transparent conductive film
CN214152473U (zh) 一种双面导电膜及触控屏
Lee et al. Highly transparent and flexible TiN doped In2O3 (ITON)/Ag-Ti/ITON multilayer electrodes coated on polyethylene terephthalate substrate
CN103993282A (zh) 一种双层透明导电薄膜及其制备方法
TWI824213B (zh) 可撓式透明導電複合膜及其製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant