CN105793975B - 具有底盘的净化室-运输容器 - Google Patents

Abstract

对于净化室设备来说，将运输容器（1）与底盘（6）连接成尤其是在所述底盘方面非常简单的结构单元，该结构单元尤其可以有利地用在具有较小的容量的净化室设备中用于转移大而重的运输容器（1）。

Description

具有底盘的净化室-运输容器

技术领域

本发明涉及一种净化室-运输容器（Reinraum-Transportbehälter）。

背景技术

有待在净化室条件下处理的、面状的基片具有越来越大的平面重量。根据对于这样的处理来说有待通过的工作站的数目，由此-如果所述基片在整个处理过程中应该留在所述净化室中-需要在尺寸方面被设计得很大的、本身封闭的净化室，该净化室在技术上还仅仅难以实现并且在经济上还几乎不能支持。为此作为替代方案，因此将在处理周期中有待通过的、用于这样大面积的基片的工作站划分成多个分别有待在净化室条件下运行的结构单元。这引起以下后果：相应有待处理的基片必须在所述处理单元之间转移并且由此可能与受到污染的大气相接触或者在转移时由于机械的情况而可能受到污染。

为了避免这一点，要在不同的处理单元之间在大气方面封闭的运输容器、经常是所谓的SMIF-或者FOUP-盒子中转移所述基片，这对于大面积的基片来说导致相应庞大的并且笨重的运输容器。这取决于机械的转移辅助装置，因为还几乎不能在相应的处理单元之间进行手动的转移。不过，机械的转移装置、比如悬挂式输送机和自动化地引导的地面运输车（Flurförderwagen）最后仅仅对于为较大的容量而设计的设备来说在经济上是合理的，并且由此对于为更小的容量而设计的设备几乎不能考虑。

相应地，尤其对于具有更小的容量的设备来说并且对于尤其在面积方面大多较小的基片的处理来说，比如从DE 101 44 955 B4中已经知道，对于接纳基片的运输容器来说在首先在处理单元之间手动地转移相应的处理单元、也就是比如过程站（Prozessstation）时-为了以必需的精度使这种转移过程变容易-关联了转交装置，所述转交装置形成这个过程站的一个构件，并且所述转交装置具有一个倾斜地朝向相应的装料机的、用于相应的有待对接到所述过程站上的运输容器的支撑机构。为了使所述运输容器对接到所述过程站的相应的装载口上，通过所述支撑机构的偏转来将所述运输容器置于其对接位置中，在所述对接位置中所述运输容器以其盖子侧的端面在边缘侧密封地包围着所述装载口，从而在移走所述盖子之后可以通过所述装载口来抓住以间距在所述运输容器中分层的基片。直至密封地放上所述运输容器之前，所述装载口通过一块将其覆盖的、能够升降移动的门板来封闭，所述门板通过相对所述运输容器的盖子移动的方式来与所述运输容器相连接，从而通过所述门板的升降移位来将所述门板和所述盖子置于将转交口开启的打开位置中。对于大面积的基片、比如约450mm的晶片必需的、用于运输盒子的尺寸以及这样的、用晶片来装填的运输盒子的重量来说很清楚的是，尽管这样的辅助装置也难以用手动来操纵所述运输盒子。

此外，通过DE 199 16 932 C1也知道，将用于板状的基片的转交装置构造为能够移动的装配单元，所述装配单元位置固定地、静止地如此与相应的处理单元或者相应的过程站相连接，使得其以其装料口与所述处理单元或者过程站中的相应的装载口叠合。在所述转交装置的方面在这些开口方面设置了能够升降移位的闸门。

为了使将运输容器安置到这样的转交装置上的过程变得容易，所述转交装置具有两个能够沿着高度方向伸缩地相对于彼此移位的腔室件（Kammerteile），相对于所述腔室件中的上方的腔室件沿着高度方向突出地、位置固定地如此布置所述闸门，使得装料口和装载口在上方的腔室件的、移入在下方的腔室件中的位置中通过所述闸门被封闭。在上方的腔室件的这个移入的位置中，所述上方的腔室件的上侧面形成处于抓取高度上的支撑机构，相应的运输容器应安放到所述支撑机构上。在所述运输容器的壳体留在上方的腔室件的、作为支撑机构的上侧面上的情况下，通过使所述上方的腔室件从所述下方的腔室件中移出这种方式，在将所述上方的腔室件闭锁在其移出的位置时，将在所述运输容器中所堆放的基片转移到所述上方的腔室件中并且就这样将其置于与装料口和装载口相连接的连接位置中。

此外，从US 5 364 219中知道，必要时使用自动地引导的地面运输车来给处理单元或者过程站装料，其中在所述处理单元或者过程站以及地面运输车的方面设置了转交口，所述转交口通过所述地面运输车的对接密封地被包围。为所述处理单元或者过程站的装载口分配了能够通过升降驱动装置（Hubantrieb）来移位的闸门，所述闸门在所述地面运输车的对接位置中相对于为其装料口分配的盖子得到固定并且能够与所述盖子一起沿着升降方向移位。从所述地面运输车的方面设置的装料口被分配给净化室腔室（Reinraumkammer），在所述净化室腔室中设置了操纵器具，通过所述操纵器具可以抓住所述处理单元并且抓住与所述净化室腔室对置地处于连接之中的、同样被分配给所述地面运输车的、用于基片的存放室，从而在所述地面运输车中合并了不同的功能，所述功能引起一种相当专门的设计方案。

从US 5 609 459中也公开了一种用于给净化室设备装载及卸载基片的系统，所述基片被接纳在封闭的、具有端侧的装料口的运输容器中，其中所述运输容器在相对于所述设备的工作站的对接位置中定位在所述工作站的支撑机构上放下并且所述装料口占据相对这个工作站的装载口的连接位置。

对于另一种从US 6, 364, 331 B1中公开的用于净化室-运输容器的运输装置来说，在大气方面封闭的运输容器通过装有轮子的底盘作为工作单元朝工作站的对接平面移动，并且在对于相对于这个工作站的对接过程的原始位置中被接合装置（Kupplungsanordung）抓住，所述接合装置能够以竖直的回转轴在底架与工作站之间实现相互的定向。所述运输容器相对于所述底盘通过回转框架来得到支撑，所述回转框架在底盘侧能够围绕着与行驶平面平行的轴偏转，并且更确切地说能够在相对于所述对接平面倾斜地立放的行驶位置与在所述底盘移到所述对接平面上之后所达到的、通过接合装置来抓住的并且向里偏转到所述对接平面中的对接位置之间偏转。随着所述对接位置的到达，在所述回转框架处相对所述对接平面伸出的悬臂在得到缓冲的情况下被安放在用于所述运输容器的放置面上，并且在转交所述运输容器之后又将所述底盘用所述回转框架从所述对接平面上移走。

原则上，已知的解决方案虽然提供了如下可行方案：使封闭的运输容器对接到相应的加工单元或者过程站上的过程变得容易并且降低或者避免相应地有待从所述运输容器转交到相应的设备或者工作站上的基片的污染。这些可行方案也包含一些解决方案，用于尤其是结合闸门和/或盖子的升降移位通过以下方式来避免相应的环境由于摩擦而出现的污染：为了所述升降移位而通过横向移动将闸门和/或盖子从其与相应的密封面的贴靠中提升起来。但是，这些解决方案相当麻烦并且几乎不适合于大而重的、独立的运输容器。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种简单而便宜的、用于转移大而重的、接纳着大面积的基片的运输容器的解决方案，其中这样的解决方案应该在技术上和经济上尤其在与具有更小的容量的设备的结合中是有利的，并且此外不应该引起对于这样的设备的构造的如下干预，该干预会阻碍后来将这样的设备加装或者改装到更大的容量。

按照本发明，为此设置了一种按本发明所述的、具有底盘的净化室-运输容器。本发明给出了其它的有利的设计方案，所述有利的设计方案就像按照本发明的解决方案一样在下面尤其也依据附图并且补充地通过这些附图来得到解释。

按照本发明，相应的、用于大面积的基片的净化室-运输容器、由此也就是说大而重的运输容器与底盘形成一种基本上固定地彼此相连接的、以结构及功能单元的形式构成的工作单元，对于所述工作单元来说相应的运输容器分别拥有一个底盘并且可以在通过这个底盘来承载的情况下沿着行驶平面尤其手动地、也就是尤其通过操作人员来移动，并且也可以用所述底盘并且通过所述底盘来对接。在此，所述工作单元尽管相应的移动速度和可能也较大的质量也可以灵敏地运动，用于避免振动和运动进程，其可能通过相应的颗粒形成而导致大气的污染。

因为就此而言尤其在所述运输容器对接到相应的工作站上时的情况是关键的，所以这种对接过程要借助于如下机构在受到控制并且得到缓冲的情况下进行：所述机构构造为接合装置并且对于该机构来说对于由底盘和运输容器构成的工作单元而言处于底盘与工作站之间的连接中的回转轴形成平放的、用于所述工作单元的支承轴。底盘和运输容器在此形成相对于彼此位置固定地连接的、在保持其彼此间位置的情况下能够偏转的工作单元，该工作单元在总体上能够相对于所述支承轴并且围绕所述支承轴回转，其中考虑到这种可偏转性所述接合装置被驱动并且使所述工作单元围绕着所述支承轴偏转到相对于行驶平面被抬起的、尤其是相对于所述行驶平面被升高的、相对于相应的工作站的连接位置中。

在所述接合装置的第一种设计方案中，在所述支承轴的方面设置了伸出到所述底盘上的、能够围绕着所述支承轴偏转并且被驱动的载荷臂，该载荷臂在插入到所述底盘中并且优选也得到缓冲的情况下相对于所述底盘得到支撑并且/或者缓冲地由所述底盘来接纳（相对于所述底盘定向地得到固定），可以在围绕着所述支承轴偏转的情况下抬起所述底盘并且由此抬起所述工作单元。

通过蜗杆传动装置，所述载荷臂可以以紧凑的结构用简单的器件来驱动，其中蜗杆传动装置能够实现额外的、简单的、通过自锁来固定相应的调节位置的可行方案。

在另一种按照本发明的另一种设计方案中，所述接合装置包括第一和第二接合单元。在此所述第一接合单元应该履行在安置由运输容器和底盘构成的工作单元时优选大约在行驶平面的高度上与对接平面相邻地捕获并且支撑所述底盘的任务，用于由此为了使所述运输容器朝所述工作站进行对接而提供较好的原始位置。

通过所述第二接合单元，所述工作单元优选在其接近所述原始位置时就已经被抓住，尤其也缓冲地被捕获并且超过所述原始位置朝所述对接平面移动，尤其是围绕着通过所述第一接合单元来提供的、作为旋转轴的支撑机构来偏转，并且也被固定在由此所提供的对接位置中。所述第二接合单元为此可以以简单的方式基本上通过调节缸来构成，所述调节缸从所述工作站的方面得到支撑，并且所述调节缸优选在通过传感器来控制的情况下用为其调节杆所分配的抓具来抓住相应的、从所述底盘的方面设置的配对元件。

这些功能可以如可以看出的那样用简单的器件来实现，并且尤其也没有引起与所述运输容器一起被合并成工作单元的底盘的麻烦的结构。

所描述的、用于缓冲地使与底盘连接成工作单元的运输容器对接到相应的工作站上的装置尤其有利地起作用，如果运输容器和底盘作为工作单元在其相对于工作站的对接位置中以及在其相对于行驶平面的行驶位置中如下不同程度地倾斜，使得所述工作单元具有与所述对接位置成角度地相对所述行驶平面放置的行驶位置，如其对于所述基片尽可能好的并且也在所述运输容器的内部较少运动的运输过程来说是有利，同样如对于通过相应的操作人员来操纵所述工作单元的过程来说是有利的。

以用于进行对接的、如在移动所述工作单元时在相对于对接位置成角度地放置的行驶位置中所产生的原始位置为出发点，通过所述用于缓冲地使所述工作站对接的装置的、按本发明的设计方案可以很好地掌控相应的工作进程。

用所述工作单元的位置固定的支撑机构通过所述接合装置或者通过所述接合装置的第一接合单元在与行驶平面相邻的区域中使所述工作单元如此从所述原始位置偏转到所对接的位置中，这引起以下结果：所述工作单元从其相对于所述行驶平面通过有弹性的工作轮得到支撑的位置中提升，由此仅仅通过所述接合装置被固定在对接位置中，并且由于强制导引也已经在对接期间排除了其它方面的对所述工作单元的影响（如通过操作人员或者由于行驶路面情况引起），这些影响可能对于所述工作单元的必需的精确的以及无振动的转移产生不好的影响。

可看出：尽管所述接合装置的前面所谈及的设计方案也在所述接合装置与中间构件关联时在相应的工作单元和有待装料的工作站的布置方面产生特别的灵活性，从而比如为了与在工作站和/或工作单元上作了改动的设备相匹配而可以使用不同的中间构件。

附图说明

下面借助于附图对本发明进行详细解释，其中在附图中：

图1到6是具有底盘的净化室容器连同净化室设备的截取部分的、基本上依据功能原理的图示，所述净化室设备通过这样的净化室设备的工作站来示出，在所述工作站处所述运输容器通过其底盘并且利用其底盘来对接并且其中这些附图示出了与此相关的对接过程的流程；

图7是底盘与图6中的剖切引导线VII相对应的示意性的视图；并且其中

图8到14是又在使用相同的功能原理的情况下示出的、在由底盘支承的运输容器与净化室设备的工作站之间进行对接的流程，并且更确切地说与尤其中间构件的另一种结构上的设计方案相关，所述中间构件在底盘连同运输容器对接到相应的工作站的过程室上时在相对于所述工作站位置固定地布置的情况下包含处于过程室与运输容器之间的过渡开口，并且所述中间构件不仅接纳用于使尤其手动地被导引到所述中间构件处的底盘及运输容器自动化对接的辅助器件而且接纳用于盖子的移位器件，通过所述移位器件在所述过渡开口的区域中可锁闭通往所述工作室以及通往所述运输容器的入口，其中所述中间构件优选也可以形成单独的净化室部件，尤其具有用于该净化室部件的冲洗接头。

具体实施方式

首先参照图1到7。图1到7示出，所述运输容器1构造为在大气方面封闭的、具有在其壳体2中设置的前侧的装料口3的运输容器（构造为所谓的FOUP或者SMIF），在所述运输容器中接纳以间距堆叠的、上下放置的基片4。所述基片4比如通过具有450mm的直径的晶片构造为大面积的基片。相应地，由于将基片4（也就是比如晶片）的堆垛接纳在所述运输容器1中，对于其产生较大的体积连同相应的重量，这即使在有利的工作情况中也很难通过在图1中勾画出来的操作人员5来掌控。

鉴于此，为所述运输容器1分配了底盘6，并且底盘6与运输容器1形成功能及结构单元，该功能及结构单元作为工作单元7在相应的净化室设备的内部使用，用于在所述净化室设备的工作站8之间转移基片4，其中所述工作单元7优选配备了自身的能量供给机构（比如通过插塞式连接56，参见图8到15）或者可以连接到外部的能量供给机构上。尤其由这样的工作单元7的、尽可能可变的使用看来，所述底盘6也可以以能够松开的方式与所述运输容器1相连接，从而通过用不同的运输容器1来装备这种方式也可以与设备中的可变的运行情况相匹配。

如果如在图4到6中所示出的那样所述工作单元7被固定在其相对于所述工作站8的对接位置中并且如果所述运输容器1通过其装料口3在相对于环境大气密封地被隔开的情况下如在图6中所示出的那样与所述工作站8的过程室9的装载及卸载口10处于敞开的连接之中，相应的工作单元7准备用于在运输容器1与相应的工作站8之间转交基片4。

所述工作单元7首先能够沿着行驶平面11通常通过操作人员5移到相应的相对于工作站8的对接位置上、移到相对于工作站8的接近位置上，在所述接近位置处应该使所述工作单元7对接。优选通过传感器来检测所述工作单元7的接近位置，这一点在这里没有示出，而在图2中得到图解。在这种接近位置中，所述工作单元7处于所述接合装置12的抓取区域中，所述接合装置12具有接合单元24和28连同属于所述工作站8及工作单元7的接合部件。

如在图1和2中所示出的那样，所述工作单元7在其相对于所述行驶平面11的移动位置中相对于所述行驶平面11占据在总体上相对于工作单元7与工作站8之间的对接平面13成角度的并且与朝所述对接平面1的移近方向相反地倾斜的位置。所述底盘6的工作轮14安放在行驶平面11上，所述底盘6具有通过所述工作轮14来支承的架构15，所述架构优选作为简单的、支架状的架构相应于在所述底盘6的移动位置中倾斜的位置相对于所述行驶平面11倾斜地延伸。

所述架构15在其如可以从图1到7中看出的那样的、简单的设计方案中在按照图1到6的侧视图中具有U形的、反向于所述对接方向并且由此朝背侧16敞开的基本形状，该基本形状具有对所述工作轮14进行支撑的、作为下方的支臂17的支承板以及作为上方的支臂18的支承架（Tragauflage）。下方的支臂17与上方的支臂18之间的支承性的支撑机构通过具有前侧20的侧向的斜部（Wangen）19来构成。所述前侧20相应于所述底盘6相对于行驶平面11的倾斜的位置在行驶位置中相对于行驶平面11倾斜地延伸，并且关于所述工作单元7的运输容器1基本上与所述运输容器的前侧处于一个平面中。

在所述架构15的上方的支臂18与安放的运输容器1之间的过渡部中，优选作为单独的构件以能够更换的方式与所述架构15相连接的、作为用于所述运输容器1的支承架21设置了一个功能元件，通过该功能元件所述运输容器1能够根据箭头22相对于所述底盘6的架构15沿着或者反向于所述工作单元7的行驶方向来移位。有利地在区域中或者在所述支承架21上也设置了用于所述工作单元7的手柄23。有利地为所述支承架21分配了用于识别所述运输容器1、用于相对于所述底盘6固定地定位所述运输容器1和/或用于定位所述底盘6的功能元件，其中，结合相应的供电机构尤其所述定位和/或固定在对接过程的自动化的范围内尤其受控制地进行，并且设置了相应的马达方面的调节元件、尤其是伺服电动机用于所述支承架21。

所述工作单元7相应于前面的解释相对于所述行驶平面11反向于对接方向所产生的倾斜度以有利的方式引起以下结果：在所述运输容器1中所接纳的基片4在所述工作单元7的行驶位置中反向于行驶方向斜着向下倾斜，由此对于所述基片4来说产生由重力来保证的、后面的位置，所述后面的位置尤其由于在行驶运行中尽管所有的缓冲而产生的振动来阻止所述基片4由于振动引起的滑动。此外，所述底盘6的架构15在行驶位置中朝所述行驶平面11折弯的构造引起以下结果：所述运输容器1连同所述架构15的上方的部件相对于通过所述工作轮14产生的、相对于所述行驶平面11的支撑面向后伸出，这不仅在所述工作单元7移动时随之为相应的操作人员5带来有利的工作位置而且使可能必要地将已装填的运输容器1安放到所述底盘6上的过程变得容易。

由于所述工作单元7的、反向于所述移动方向朝所述对接位置倾斜的、相对于所述行驶平面11折弯的构造，从所述接近位置出发通过所述接合装置12利用其第一接合单元24对所述工作单元7的抓住以及支撑产生所述工作单元7的偏转，所述第一接合单元24在接入的状态中形成用于所耦合的工作单元7的、靠近行驶平面11的旋转支撑机构。所述第一接合单元24，如尤其可以从图2和7中看出的那样通过在前侧处于所述架构15的斜部19的附近的旋转支撑机构25来构成，所述旋转支撑机构确定与所述对接平面13平行的旋转轴并且分别具有相对于所述工作站8位置固定的支撑球26以及相对于所述支撑球26优选卡锁的、在所述架构15上所设置的支撑臂27。

第二接合单元28在沿着高度方向与所述第一接合单元24隔开的情况下以相对于其旋转支撑机构25大致处于中间的方式来布置，并且通过调节机构29来构成，该调节机构具有在所述工作站8的方面得到支撑的调节缸30以及在所述架构15的方面布置的、尤其以支撑球的形式的支撑体31，所述调节缸30以在其活塞杆上在端面上设置的、优选在受控制的情况下能够在其捕集位置与其打开位置之间转换的捕集爪（Fangklaue）32来抓住所述支撑体31。

如尤其可以从图2中看出的那样，优选在传感器控制的情况下-该传感器未示出-在所述对接位置中如此进行这种抓住所述支撑体31的过程，从而如在图3中示出的那样对于通过所述接合单元24和28来抓住的工作单元7来说所述工作单元在相对所述对接平面13通过所述旋转支撑机构25得到支撑的情况下借助于所述调节缸30的相应的加载来向里偏转。在通过接合单元24、28来偏转的并且承载着运输容器1的底盘6的、如此达到的对接位置中，所述运输容器1可以在相对于所述支承架21位置定位的情况下通过被分配给所述支承架21的调节机构-相应于箭头22-来调整地移位，使得所述运输容器1的、结合所述工作单元7从所述轮14关于行驶平面11的安放位置中偏转出来并且朝所述对接平面13向里偏转的过程而相对于所述对接平面13产生的定位不精确性可以通过所述运输容器1相对于其确定对接位置的底盘6的移动来无摩擦地得到补偿，不过，运输容器1和底盘6作为工作单元7在总体上得到固定的位置得到保持。

为所述运输容器1在装料口3方面并且为所述工作站8在其过程室9的装载及卸载口10方面分配了盖子33、34，这些盖子在所述工作单元7相对于工作站8的对接位置中彼此叠合，并且这些盖子在这种对接位置中相对于环境大气被遮隔、彼此相连接并且能够通过共同的驱动装置、尤其是升降驱动装置35在侧室（Seitenkammer）36中移到将开口3和10开启的位置中。为了在鉴于将所述盖子33和34移位到其打开位置中的情况下将其连接起来，使所述盖子34紧贴着所述盖子33并且闭锁，其中，这种横向移位通过所述升降驱动装置35的升降杆37的相应的横向移动来进行。为此，所述升降杆37与转向平行四边形（Lenkerparallelogramm）39的横档（Joch）38相连接，所述转向平行四边形能够通过具有能够相对于彼此从其作为静止位置的中间位置中移位出来的活塞的调节缸40来偏转。所述被设置在中间构件41中的侧室36在通过所述侧室36的一侧来确定的对接平面13与优选作为独立的中间构件41的对置的工作站8之间如此延伸，从而可以如已经解释的那样通过这个中间构件41的设计结构在没有对总体结构进行进一步干预的情况下与比如不同的运输容器1相匹配。

在考虑关于图1到7的解释的情况下（借助于图1到7对所述功能上的关联进行了详细解释），图8到15示出了一种与此相关地很大程度仅仅在结构上改动的、但是在功能上得到扩展的、用于中间构件42的结构形式，所述中间构件42代替按照图1到7的中间构件41与在图8到15中作为结构体而示出的工作站8相连接，所述结构体关于所述中间构件42在连接面43中终止，所述连接面43能够面状地覆盖地连接到所述中间构件42上。所述工作站8-对于参照图1和7在很大程度上相应的、用于至少在功能上彼此相对应的构件的附图标记来说-又设有过程室9，该过程室具有装载及卸载口10，该装载及卸载口在运输容器1的对接的位置中与其相应的装料口3相对应。所述中间构件42中的装载及卸载口10又能够通过盖子34来闭锁，所述盖子34与被分配给所述装料口3的盖子33相一致地设置并且可以与这个盖子33相连接。该连接借助于调节装置44来进行，所述调节装置不仅用于使所述盖子33、34在其相对于运输容器1以及相对于过程室9的闭锁位置之间移位，而且用于从在运输容器1和过程室9之间的相对于彼此闭锁的位置以及将运输容器1与过程室9之间的通路开启的打开位置出发使所述盖子进行升降移位，在该打开位置中所述盖子33、34在所述中间构件42中沿着高度方向移动，如在图13中示出的那样占据将所述通路开启的位置。

由此，关于所述盖子33、34的升降移位产生所述中间构件42的一种结构，这种结构能够在没有相互的穿透的情况下面状地、覆盖地连接到邻接的工作站8上。这通过现在与盖子34相连接的升降驱动装置35被接纳在所述中间构件42中这种方式并且更确切地说包括所述转向平行四边形39来进行，通过所述转向平行四边形使与盖子34相连接的升降杆37包括所属的调节缸35沿着横向方向移动。这种移动按照本发明可以以简单的方式通过具有偏心盘46的偏心传动装置45来进行，所述偏心盘比如如此被放置在所述转向平行四边形39的转向杆之间，使得所述转向平行四边形30相应于所述偏心轮46的旋转位置用所述升降杆37使所述盖子33、34横向地在所述装料口3与所述装载及卸载口10之间移动。

在另一种按本发明的设计方案中，如可以从图8到15中看出的那样，可以将用于将底盘6与运输容器1作为工作单元7一起从移动位置转移到被抬起的、朝所述工作站8对接的位置中的调节机构47插入到所述中间构件43中，而由此没有突破所述连接面43。为此，如可以从图8到15中看出的那样，在所述中间构件42中设置了马达方面的驱动装置48、尤其是电动机，并且与该驱动装置48关联地设置了尤其是以传动蜗杆的形式的输出元件49，所述传动蜗杆与齿扇50相啮合，通过该齿扇摇杆（Schwenkhebel）51能够围绕着平放的轴线52偏转。在底盘6被朝所述中间构件42推近时，该底盘占据在所述摇杆51上相对于所述轴线52定心的位置，从而通过所述摇杆51沿着按照箭头53的高度方向的偏转使所述底盘6连同所述运输容器1向里偏转到相对于所述过程室9的对接位置中。所述摇杆51与所述底盘6的连接可以以简单的方式在位置固定的情况下通过以下方式来设计：所述底盘6设有相应的接纳凹处54并且通过所述接纳凹处54、比如其侧壁来相对于所述轴线52进行定心的支撑，如在图8中通过在关于所述接纳凹处54的侧壁中的刻槽55示出的可行方案。尤其所述摇杆51还在相对于所述接纳凹处54得到缓冲的情况下被所述接纳凹处54所接纳，从而可以将所述摇杆51在很大程度上无振动地插入到所述接纳凹处54中。

如此设计的调节机构47可以以较小的开销来实现，并且也能够用简单的手段比如已经由于所述驱动元件47构造为具有相应的自锁的蜗杆而使底盘6和运输容器1可靠地定位在向里偏转的对接位置中。如果所述工作单元7在其行驶位置中差不多与行驶平面11垂直地指向并且对于所述对接过程来说仅仅需要很小的回转角度以达到相应所要求的、密封的对接位置，利用这样的调节机构47也可以按照本发明进行工作。

在所示出的解决方案中，在向里偏转到所述对接位置中的情况下，对于所述由底盘6和运输容器1构成的工作单元7的能量供给也有利地通过插塞式连接56来得到保证，从而可以以最为简单的方式并且尽可能轻地构造装有轮子的底盘6，并且通过关于底盘6来设置的支承架21所述运输容器1如通过比如图3中的箭头22所勾画出来的那样在所述底盘6对接的情况下也可以移到相对于所述中间构件42得到密封的对接位置中。

由此也提供了如下假设：在与所述工作站对接的、在实际上作为支承台（Tragpodest）的底盘6停留的情况下如在图10中所勾画出来的那样更换运输容器1，从而比如可以彼此补充地运行悬挂式输送系统（Hängefördersysteme）与具有能够沿着行驶平面11移动的、由底盘6和运输容器1构成的工作单元的系统。

在按照图8到15的、按本发明的解决方案中，所述中间构件42优选如此构造为工作站8与运输容器1之间的连接的部分，使得其也可以在按照本发明所述中间构件42一方面通过所述盖子34并且另一方面通过所对接的运输容器1的壳体2相对于周围的大气得到密封时形成独立的净化室区域。所述中间构件42可以根据所述盖子33、34的调节位置也在彼此独立的情况下被连接到冲洗空气供给机构（Spülluftversorgung）上，所述冲洗空气供给机构通过至所述中间构件42的接头57来表示，由此也提供了在大气方面将所述过程室9与所述中间构件42的内部空间59连接起来的可行方案。

在按照图8到15的设计方案中，这样的连接通过以下方式得到简化：处于从中间构件42到过程室9的连接中的盖子34在开启这种连接通路的情况下能够移到第二闭锁位置中，在所述第二闭锁位置中通过这个盖子34来将处于所述中间构件42朝向运输容器1的一侧中的、与所对接的运输容器1的装料口3相对应的转交口58封闭。这种闭锁位置比如可以在图8和9中看出来，其中从这个闭锁位置出发并且在所述运输容器1的盖子33朝所述盖子34移近时相应于在图11中示出的情况这两个盖子33、34现在可以按照图12通过所述调节装置44偏转到处于其闭锁位置之间的中间位置中，并且可以从这个中间位置被置于其按照图13的存放位置中。

所述盖子34由此在总体上看能够通过所述调节装置44在闭锁位置之间移动，在这些闭锁位置中的一个闭锁位置中（参见图15）所述中间构件42的能够由冲洗空气贯穿流过的内部空间59相对于过程室9以及布置在这个过程室9中的操纵装置60隔绝；并且在与上述闭锁位置对置的闭锁位置中，在所述运输容器1没有朝所述中间构件42对接时，所述中间构件42的内部空间59通过用所述盖子34来将所述转交口58封闭这种方式所述中间构件42的内部空间59相对于相应的环境大气得到封闭。

在总体上看，由此在所述按本发明的解决方案中，所述盖子34作为一方面相对于过程室9并且另一方面相对于环境大气的闭锁元件来使用，并且此外在所述运输容器1对接的情况下形成用于为运输容器1的装料口3分配的盖子33的接合及支承元件。

对于大体积的并且较重的运输容器1来说，所述按本发明的解决方案能够通过将相应的运输容器1与相应的底盘6合并为一个工作单元7这种方式在净化室设备中使所述运输容器1在相对于不同的工作站8的对接位置之间移动，所述工作单元能够在其相应的相对于工作站8的对接位置之间移动，并且对于所述工作单元来说所述运输容器1在相应的对接位置中通过其相对于所述工作站8对接的底盘6来得到支承。

在附图中没有示出的是，所述工作单元7设有连接到能量供给机构上的接头（优选通过在所述接合装置24或者28之一的区域中设置的接合接头）。

Claims (26)

1.具有底盘的净化室-运输容器，

其中，在大气方面封闭的、用于基片（11）的运输容器（1）具有能够封闭的、端侧的装料口（3）并且通过装有轮子的、安放在行驶平面（11）上的底盘（6）能够移到用于相对工作站（8）的对接平面（13）对接的原始位置中；

其中，设置了接合装置（12），通过所述接合装置在所述原始位置中所述底盘（6）和由这个底盘支承的运输容器（1）作为工作单元在底盘侧在所述行驶平面（11）的附近并且在与所述工作站（8）的对接平面相邻的情况下被抓住并且通过回转轴得到保持；并且

其中，所述运输容器（1）能够偏转到与所述工作站（8）的对接位置中，

其特征在于，

用于包括底盘（6）和运输容器（1）的工作单元（7）的回转轴作为旋转支撑机构（25）对于所述工作单元形成平放的支承轴；

所述底盘（6）和通过所述底盘（6）支承的运输容器（1）关于所述支承轴彼此是位置固定的并且在总体上在保持其彼此间位置的情况下相对于所述支承轴且围绕所述支承轴能够回转；

所述接合装置（12）被驱动；并且

所述包括底盘（6）和运输容器（1）的工作单元（7）能够通过所述被驱动的接合装置（12）围绕所述支承轴偏转到相对于所述行驶平面（11）被抬起的、与相应的工作站（8）的连接位置中。

2.按权利要求1所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述接合装置（12）被分配给相对于相应的工作站（8）得到固定的中间构件（41、42）。

3.按权利要求1所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述接合装置具有抓住底架的并且能够接入到所述底架中的支承臂，所述支承臂在所述支承轴上得到支撑的情况下以能够旋转的方式被驱动。

4.按权利要求2所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述接合装置具有抓住底架的并且能够接入到所述底架中的支承臂，所述支承臂在所述支承轴上得到支撑的情况下以能够旋转的方式被驱动。

5.按权利要求4所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述支承臂通过处于所述中间构件中的旋转驱动装置以能够围绕所述回转轴旋转的方式被驱动。

6.按权利要求5所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述旋转驱动装置构造为蜗杆传动装置。

7.按权利要求3或4所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

在所述底架处为所述支承臂分配了接纳凹处，并且被接纳在所述接纳凹处中的支承臂相对于所述底架定心地定向。

8.按权利要求1至6中任一项所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述底盘（6）具有通过工作轮（14）得到支承的架构（15），该架构在所述工作单元（7）通过所述工作轮（14）支撑在所述行驶平面（11）上的行驶位置中相对于所述行驶平面（11）倾斜地延伸。

9.按权利要求8所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述架构（15）具有支承支架，所述支承支架相对于所述行驶平面（11）在所述行驶位置中具有与所述运输容器（11）的倾斜度互补的倾斜度。

10.按权利要求1至6中任一项所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

在所述底盘（6）方面设置的、用于安上的运输容器（11）的支承架（21）在驱动单元（7）中具有用于所述运输容器（11）的驱动及闭锁机构。

11.按权利要求1至6中任一项所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

在所述底盘（6）方面设置的支承架（21）在所述底盘（6）的对接位置和行驶位置中相对于所述行驶平面（11）不同程度地倾斜并且在所述底盘（6）的行驶位置中朝对接方向上升地相对于所述行驶平面（11）倾斜。

12.按权利要求9所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述支承架（21）具有用于识别所述运输容器（1）、用于相对于所述底盘（6）定位所述运输容器（1）和/或用于定位所述底盘（6）的功能元件。

13.按权利要求1至6中任一项所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

在向里偏转到所述对接位置中的运输容器（1）中，在到工作站（8）上的过渡部中设置了侧室（36），该侧室作为中间构件（41、42）接纳驱动装置用于使在所述对接位置中彼此对置的盖子（33、34）相对于所述运输容器（1）和对置的工作站（8）移位。

14.按权利要求13所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述中间构件（42）在运输容器（1）被对接并且内部空间（9）相对所述工作站（8）被隔绝的情况下形成在大气方面隔绝的冲洗和/或净化室区域。

15.按权利要求14所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述中间构件（42）设有供给接头（57）。

16.按权利要求15所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述供给接头（57）是冲洗接头。

17.具有底盘的净化室-运输容器，

其中，所述运输容器作为在大气方面封闭的、用于基片（11）的运输容器（1）具有能够封闭的、端侧的装料口（3），并且通过装有轮子的、安放在行驶平面（11）上的所述底盘（6）能够移到用于相对工作站（8）的对接平面（13）进行对接的原始位置中；

其中，在这样的原始位置中所述底盘（6）在所述行驶平面（11）的区域中与所述对接平面（13）相邻并且所述运输容器（1）反向于到所述对接平面（13）的移动方向与所述对接平面（13）隔开；

其中，为了使运输容器（1）和底盘（6）相对所述工作站（8）对接而设置了具有第一接合单元（24）和第二接合单元（28）的接合装置（12）；并且

其中，所述第一接合单元（24）在用于进行对接的原始位置中相对于所述工作站（8）形成靠近所述行驶平面（11）的、用于所述底盘（6）及所述运输容器（1）的旋转支撑机构（25），并且所述运输容器（1）通过所述第二接合单元（28）在缓冲的情况下以能够向里偏转到其相对于所述工作站（8）的对接位置中的方式得到支撑；

其特征在于，

所述运输容器（1）和所述底盘（6）相对于彼此位置固定地得到支撑并且被合并为能够一起偏转的工作单元（7），该工作单元在其相对于相应的工作站（8）的对接位置中以及在其相对于所述行驶平面（11）的行驶位置中如下不同程度地倾斜，使得所述工作单元（7）在总体上具有相对于所述对接平面（13）成角度地相对所述行驶平面（11）放置的行驶位置；

所述第一接合单元（24）靠近所述行驶平面（11）的旋转支撑机构（25）形成与所述行驶平面（11）平行的旋转轴，并且所述工作单元（7）在通过该旋转轴得到支承的情况下能够围绕该旋转轴（25）在作为用于进行对接的原始位置的行驶位置与所述对接平面（13）之间偏转；并且

所述第二接合单元（28）具有受控制的、抓住所述工作单元（7）的并且有待与所述工作单元相连接的调节机构（29），通过所述调节机构通过所述第一接合单元（24）得到支撑的、装有轮子的工作单元（7）能够相对所述对接平面（13）偏转到其相对于所述行驶平面（11）被抬起的对接位置中。

18.按权利要求17所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述底盘（6）具有通过工作轮（14）得到支承的架构（15），该架构在所述工作单元（7）通过所述工作轮（14）支撑在所述行驶平面（11）上的行驶位置中相对于所述行驶平面（11）倾斜地延伸。

19.按权利要求18所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述架构（15）具有支承支架，所述支承支架相对于所述行驶平面（11）在所述行驶位置中具有与所述运输容器（11）的倾斜度互补的倾斜度。

20.按权利要求17至19中任一项所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

在所述底盘（6）方面设置的、用于安上的运输容器（11）的支承架（21）在驱动单元（7）中具有用于所述运输容器（11）的驱动及闭锁机构。

21.按权利要求17至19中任一项所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

在所述底盘（6）方面设置的支承架（21）在所述底盘（6）的对接位置和行驶位置中相对于所述行驶平面（11）不同程度地倾斜并且在所述底盘（6）的行驶位置中朝对接方向上升地相对于所述行驶平面（11）倾斜。

22.按权利要求19所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述支承架（21）具有用于识别所述运输容器（1）、用于相对于所述底盘（6）定位所述运输容器（1）和/或用于定位所述底盘（6）的功能元件。

23.按权利要求17至19中任一项所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

在向里偏转到所述对接位置中的运输容器（1）中，在到工作站（8）上的过渡部中设置了侧室（36），该侧室作为中间构件（41、42）接纳驱动装置用于使在所述对接位置中彼此对置的盖子（33、34）相对于所述运输容器（1）和对置的工作站（8）移位。

24.按权利要求23所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述中间构件（42）在运输容器（1）被对接并且内部空间（9）相对所述工作站（8）被隔绝的情况下形成在大气方面隔绝的冲洗和/或净化室区域。

25.按权利要求24所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述中间构件（42）设有供给接头（57）。

26.按权利要求25所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述供给接头（57）是冲洗接头。