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CN105092056A - 数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法 - Google Patents

数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法 Download PDF

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CN105092056A CN201510256096.2A CN201510256096A CN105092056A CN 105092056 A CN105092056 A CN 105092056A CN 201510256096 A CN201510256096 A CN 201510256096A CN 105092056 A CN105092056 A CN 105092056A
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Abstract

一种数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法，该干涉仪由光源、小孔掩模、第一空间光调制器、第二空间光调制器、二维光电探测器及计算机组成，通过计算机将第一空间光调制器设置为光栅，作为分光器件，将第二空间光调制器设置为针孔窗口掩模，作为滤波器件，滤除除0级与+1(或-1)级以外的衍射级次，使0级光通过针孔发生衍射产生准理想球面波作为参考光波，+1(或-1)级光通过窗口作为物光波，两者发生干涉，获取干涉图，从干涉图中提取待测光学系统波像差。本发明物光和参考光在像面汇聚点之间的距离可调，在不降低干涉条纹对比度的情况下实现较大的干涉条纹密度。

Description

数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法
技术领域
本发明属于光学检测领域，具体涉及一种数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法。
背景技术
光学成像系统的波像差测量对于成像质量控制非常重要。干涉测量法是光学成像系统波像差测量的一种重要方法，传统的干涉法以球面参考反射镜作为参考面产生球面波作为参考光波，与待测的物光波产生干涉，形成干涉条纹。这类方法的测量精度受限于参考面的面形精度，由于高精度参考面面形的制作技术和成本的限制，使得这类方法不能满足高精度的波像差测量需求。Smartt提出了一种点衍射干涉测量技术(在先技术[1]:R.N.SmarttandW.H.Steel,Jpn.J.Appl.Phys.14,Suppl.14-1,351(1975))，这种方法使用针孔点衍射产生参考球面波，代替传统的使用参考面产生参考球面波的方法，消除了对高精度参考面的需求，测量精度不再受限于参考面的制造精度，可以实现很高的测量精度，例如美国伯克利国家实验室、日本EUVA等组织基于该技术研发的极紫外光刻投影物镜波像差检测干涉仪，检测重复性达到了0.1nmRMS(均方根值)。这种点衍射干涉仪是共光路结构，参考光和物光光程几乎相同，使其对环境扰动和机械振动不敏感，但是也使得干涉条纹密度非常小，不适合采用傅里叶变换法从干涉图中提取相位，因此相移法相位提取技术成为最佳选择。由于物光和参考光几乎共光路，使得相移的引入非常困难。H.Medecki提出一种相移点衍射干涉仪(在先技术[2]：H.Medecki,E.Tejnil,K.A.Goldberg,etal.,Phase-shiftingpointdiffractioninterferometer,OpticsLetters,21(19),1526-1528(1996))，采用光栅做为分光器件，将待测波前分为多个衍射级次，在像面使用针孔窗口掩模作为滤波器，使+1级(或-1级)衍射光通过窗口作为物光，零级衍射光通过小孔衍射为理想球面波作为参考光，其他级次的衍射光被针孔窗口掩模滤除，通过在垂直于光轴和光栅线条的平面内移动光栅，在零级光和+1级(或-1级)光之间引入相移。这种方法通过PZT机械移动光栅引入相移，相移精度受PZT非线性效应(如迟滞效应、热漂移等)的影响，且为实现精确的相移，需要对电压进行精确校准。V.Akondi提出一种相移点衍射干涉仪(在先技术[3]：VyasAkondi,A.R.Jewel,andBrianVohnsen,"Digitalphase-shiftingpointdiffractioninterferometer,"Opt.Lett.39,1641-1644(2014))，在待测光学系统的像面放置一个空间光调制器，将空间光调制器设置为一个针孔窗口掩模，待测波前一部分通过窗口作为物光波，一部分通过针孔衍射产生球面波，作为参考光波。通过计算机控制改变空间光调制器针孔窗口掩模上的针孔的相位在物光和参考光之间引入相移。这种方法使用数字的方法引入相移，避免了使用PZT机械移动存在的相移不准等问题，但是这种方法针孔和窗口之间的距离受限，窗口的中心在光学系统的焦点，针孔必须设置在焦点的附近，以保证有足够的光强通过小孔发生衍射，从而使通过小孔发生衍射的参考光和通过窗口的物光的光强相匹配，实现较高的干涉条纹对比度。如果针孔和窗口之间的距离过大，透过针孔的光强会很弱，从而使得干涉条纹对比度很差。由于针孔和窗口之间距离的限制，也使得干涉条纹密度比较小，不能实现较大的干涉条纹密度。
发明内容
本发明的目的在于克服上述在先技术的不足，提供一种数字相移点衍射干涉仪与光学系统波像差测量方法，该干涉仪结构在待测光学系统前和像面分别放置一个空间光调制器，通过计算机将光学系统前的空间光调制器设置为光栅，通过在垂直于光栅线条的方向数字移动光栅可以实现数字相移，将像面的空间光调制器设置为针孔窗口掩模，通过两个空间光调制器的配合使用，可以使像面掩模针孔和窗口之间的距离可调，光栅周期小，则针孔窗口之间的距离大，光栅周期大，则针孔窗口之间的距离小，从而避免干涉条纹对比度差的问题，同时也可使干涉条纹密度可调。
本发明的技术解决方案如下：
1、一种数字相移点衍射干涉仪，其特征在于该干涉仪包括光源，沿该光源输出光束方向依次是小孔掩模、第一空间光调制器、第二空间光调制器和二维光电探测器，该二维光电探测器的输出端与计算机的输入端相连；所述的第一空间光调制器和第二空间光调制器分别置于第一XYZ三维位移台和第二XYZ三维位移台上；所述的第一空间光调制器和第二空间光调制器的输入端分别与计算机的输出端相连；
所述的小孔掩模是一块方形的遮光板，在该遮光板的中心有一个透光的小孔，该透光小孔的直径小于待测光学系统的物方分辨率；
所述的第一空间光调制器为透射式空间光调制器，受计算机控制产生数字光栅，作为分光器件，将待测波前衍射为多级衍射光，第一空间光调制器的光栅线条沿x方向或者y方向，包含透光部分和不透光部分；
所述的第二空间光调制器为透射式空间光调制器，受计算机控制产生数字针孔窗口掩模，作为滤波器件，将除0级与+1或-1级外的衍射光滤除，0级光透过小孔发生衍射产生球面波作为参考光，+1或-1级光通过窗口作为物光，掩模包含透光小孔和透光窗口，掩模其他部分设置为不透光；
所述的二维光电传感器是CCD、CMOS或二维光电探测器阵列。
2、利用权利要求1所述的数字相移点衍射干涉仪对光学系统进行波像差测量的方法，其特征在于该方法包含以下步骤：
1)计算干涉仪系统的参数：
设定干涉条纹数N，一般在20～100之间取值，根据采用的第一空间光调制器的像素大小，设定光栅周期p，光栅周期p为第一空间光调制器像素宽度的整数倍，在设定的干涉条纹数N及光栅周期p的条件下，由所述的光源的波长λ及待测光学系统的物方数值孔径NAO，根据式d＝N×p/(2NAO)计算第一空间光调制器与小孔掩模之间的距离d；由设定的干涉条纹数N和待测光学系统的像方数值孔径NAI由下式x1＝N×λ/2NAI计算1级衍射光在像面汇聚点的位置x1；根据拟采用的相移算法及相移步数n及每一步的相移量计算每一步所述的第一空间光调制器的数字光栅需要移动的距离Δp，计算公式为 为相移量；
2)搭建干涉仪的测量系统：
将待测光学系统置于第一空间光调制器和第二空间光调制器之间，调整待测光学系统使小孔掩模处于待测光学系统的物面，使小孔掩模的透光小孔的中心位于数字相移点衍射干涉仪的光轴上，调整第二空间光调制器的位移台，使第二空间光调制器的表面垂直于光轴，并处于待测光学系统的物面，调整第一空间光调制器的位移台，使第一空间光调制器的表面垂直于光轴且与物面小孔掩模之间的距离为所述的d；
3)进行光学系统波像差测量：
计算机将第一空间光调制器设置为光栅，光栅线条方向沿y方向，光栅周期设置为设定值p；计算机将处于像面的第二空间光调制器设置为针孔窗口掩模，使所述的针孔的中心位置位于光轴上，该针孔的宽度小于待测光学系统的像方分辨率，所述的窗口的中心在像面二维坐标系中的位置为(x1,0)，所述的针孔窗口掩模的透光部分振幅透过率设置为1，其他部分振幅透过率设置为0；开启光源，由光电探测器探测干涉光强信号Ix1，该Ix1传入计算机保存；
计算机控制第一空间光调制器光栅，使其沿+x或-x方向平移，平移量为所述的Δp，由光电探测器探测干涉光强信号Ix2，并将Ix2传入计算机保存；共重复n次，n为相移算法的相移步数，最终计算机保存n幅干涉光强信号Ix1、Ix2、…、Ixn；
采用n步相移算法，由计算机存储的n幅干涉图计算出相位，并进行解包裹(参见T.R.JudgeandP.J.Bryanston-Cross,“Areviewofphaseunwrappingtechniquesinfringeanalysis,”Opt.LasersEng.21,199～239(1994))、消除几何光程差的处理(参见：K.A.Goldberg,“Extremeultravioletinterferometry,”Ph.D.dissertation(UniversityofCalifornia,Berkeley,Berkeley,Calif.,1997).)，获得待测光学系统的波像差。
本发明的原理为：采用两个空间光调制器，通过计算机分别将二者设置为数字光栅和数字针孔窗口滤波器，两者配合，可以使针孔窗口之间的距离可调，从而可以获得较高的干涉条纹对比度。干涉条纹密度相应可调，光栅周期设置较大则滤波掩模上的针孔窗口之间的距离较小，干涉条纹密度也相应较小，光栅周期设置较小，则滤波掩模上的针孔窗口之间的距离较大，干涉条纹密度也相应较大。通过数字移动光栅可以在物光(即0级衍射光)与参考光(即1级或-1级衍射光)之间引入相移。
本发明与在先技术相比，具有以下优点：
1、与在先技术[1]相比，本发明可以在物光和参考光之间引入相移；
2、与在先技术[2]相比，本发明采用可以实现数字相移，避免了使用PZT相移带来的相移不准、电压需要精确校准等问题，相移更精确、方便；
3、与在先技术[3]相比，本发明参考光和物光取自光栅的0级和1级衍射光，使得物光和参考光像面汇聚点的距离可调，从而使得干涉条纹密度和对比度可调。
附图说明
图1为本发明数字相移点衍射干涉仪结构示意图；
图2为本发明数字相移点衍射干涉仪中的物面小孔掩模示意图；
图3为用本发明数字相移点衍射干涉仪进行光学系统波像差测量时在第一空间光调制器上设置的光栅示意图；
图4为用本发明数字相移点衍射干涉仪进行波像差测量时在第二空间光调制器上设置的针孔窗口掩模示意图；
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。
先请参阅图1，图1为本发明数字相移点衍射干涉仪的光路结构图，由图1可见，本发明数字相移点衍射干涉仪，其特征在于该干涉仪包括光源1，沿该光源1输出光束方向依次是小孔掩模2、第一空间光调制器3、第二空间光调制器6和二维光电探测器8，该二维光电探测器8的输出端与计算机9的输入端相连；所述的第一空间光调制器3和第二空间光调制器6分别置于第一XYZ三维位移台4和第二XYZ三维位移台7上；所述的第一空间光调制器3和第二空间光调制器6的输入端分别与计算机9的输出端相连；
请参阅图2，所述的小孔掩模2是一块方形的遮光板，在该遮光板的中心有一个透光的小孔21，该透光小孔21的直径小于待测光学系统5的物方分辨率；
请参阅图3，所述的第一空间光调制器3为透射式空间光调制器，受计算机9控制产生数字光栅，作为分光器件，将待测波前衍射为多级衍射光，第一空间光调制器3的光栅线条沿x方向或者y方向，包含透光部分31和不透光部分32；
请参阅图4，所述的第二空间光调制器6为透射式空间光调制器，受计算机9控制产生数字针孔窗口掩模，作为滤波器件，将除0级与+1或-1级外的衍射光滤除，0级光透过小孔发生衍射产生球面波作为参考光，+1或-1级光通过窗口作为物光，掩模包含透光小孔61和透光窗口62，掩模其他部分设置为不透光；
所述的二维光电传感器8是CCD、CMOS或二维光电探测器阵列。
使用所述的数字相移点衍射干涉仪进行光学系统进行波像差测量的方法包含以下步骤：
1)计算干涉仪系统的参数：
设定干涉条纹数N，一般在20～100之间取值，根据采用的第一空间光调制器3的像素大小，设定光栅周期p，光栅周期p为第一空间光调制器3像素宽度的整数倍，在设定的干涉条纹数N及光栅周期p的条件下，由所述的光源1的波长λ及待测光学系统5的物方数值孔径NAO，根据式d＝N×p/(2NAO)计算第一空间光调制器3与小孔掩模2之间的距离d；由设定的干涉条纹数N和待测光学系统5的像方数值孔径NAI由下式x1＝N×λ/2NAI计算1级衍射光在像面汇聚点的位置x1；根据拟采用的相移算法及相移步数n及每一步的相移量计算每一步所述的第一空间光调制器3的数字光栅需要移动的距离Δp，计算公式为 为相移量；
2)搭建干涉仪的测量系统：
将待测光学系统5置于第一空间光调制器3和第二空间光调制器6之间，调整待测光学系统5使小孔掩模2处于待测光学系统5的物面，使小孔掩模2的透光小孔21的中心位于数字相移点衍射干涉仪的光轴上，调整第二空间光调制器6的位移台7，使第二空间光调制器6的表面垂直于光轴，并处于待测光学系统5的物面，调整第一空间光调制器3的位移台，使第一空间光调制器3的表面垂直于光轴且与物面小孔掩模2之间的距离为所述的d；
3)进行光学系统波像差测量：
计算机9将第一空间光调制器3设置为光栅，光栅线条方向沿y方向，光栅周期设置为设定值p；计算机9将处于像面的第二空间光调制器6设置为针孔窗口掩模，使所述的针孔61的中心位置位于光轴上，该针孔61的宽度小于待测光学系统5的像方分辨率，所述的窗口62的中心在像面二维坐标系中的位置为(x1,0)，所述的针孔窗口掩模的透光部分振幅透过率设置为1，其他部分振幅透过率设置为0；开启光源1，由光电探测器8探测干涉光强信号Ix1，该Ix1传入计算机9保存；
计算机9控制第一空间光调制器3光栅，使其沿+x或-x方向平移，平移量为所述的Δp，由光电探测器8探测干涉光强信号Ix2，并将Ix2传入计算机9保存；共重复n次，n为相移算法的相移步数，最终计算机9保存n幅干涉光强信号Ix1、Ix2、…、Ixn；
采用n步相移算法，由计算机9存储的n幅干涉图计算出相位，并进行解包裹、消除几何光程差的处理，获得待测光学系统5的波像差。
下面给一个实施例的具体参数：
光源采用He-Ne激光器，波长λ为632.8nm，干涉条纹数N取20，第一和第二空间光调制器均采用中科院西安光机所研发的振幅型透射式空间光调制器，像素宽度为8.5μm，第一空间光调制器的光栅周期设置为4个像素宽度，即34μm，待测光学系统像方数值孔径0.01，放大倍率为1/5，像方分辨率为31.6μm(0.5λ/NAI)，物方分辨率为158μm，计算第一空间光调制器3与小孔掩模2之间的距离d为17cm，物方小孔掩模上的透光小孔的直径设置为10μm，基板厚度为100nm，材料为铬，像方小孔窗口掩模上的小孔直径设置为一个像素，即8.5μm，窗口宽度设置为50像素即425μm，小孔中心和窗口中心的距离设置为632.8μm，约75个像素，实验采用三步相移算法，每步相移量π/2，计算公式为 为待测相位分布，I1、I2、I3为三次相移得到的干涉图强度分布，光栅每一步移动距离p/4，即8.5μm，二维光电探测器为像素数为1024×768的CCD。
与在先技术相比，本发明可以通过数字移动光栅的方式产生相移，避免了PZT相移需要精确校准电压及非线性效应的问题，而且物光和参考光在像面汇聚点之间的距离可调，可以在不降低干涉条纹对比度的情况下实现较大的干涉条纹密度。
本发明的主要限制因素在于目前空间光调制器的像素尺寸最小为数微米，使得光栅的周期和针孔的直径都只能做到数微米量级，能够测量的数值孔径非常小，或者在大数值孔径下的测量精度不高，应用范围受到限制。但是随着空间光调制器技术的发展，像素尺寸会越来越小，本发明的应用范围也将越来越广，测量精度也会越来越高。

Claims (2)

1.一种数字相移点衍射干涉仪，其特征在于该干涉仪包括光源(1)，沿该光源(1)输出光束方向依次是小孔掩模(2)、第一空间光调制器(3)、第二空间光调制器(6)和二维光电探测器(8)，该二维光电探测器(8)的输出端与计算机(9)的输入端相连；所述的第一空间光调制器(3)和第二空间光调制器(6)分别置于第一XYZ三维位移台(4)和第二XYZ三维位移台(7)上；所述的第一空间光调制器(3)和第二空间光调制器(6)的输入端分别与计算机(9)的输出端相连；
所述的小孔掩模(2)是一块方形的遮光板，在该遮光板的中心有一个透光的小孔(21)，该透光小孔(21)的直径小于待测光学系统(5)的物方分辨率；
所述的第一空间光调制器(3)为透射式空间光调制器，受计算机(9)控制产生数字光栅，作为分光器件，将待测波前衍射为多级衍射光，第一空间光调制器(3)的光栅线条沿x方向或者y方向，包含透光部分(31)和不透光部分(32)；
所述的第二空间光调制器(6)为透射式空间光调制器，受计算机(9)控制产生数字针孔窗口掩模，作为滤波器件，将除0级与+1或-1级外的衍射光滤除，0级光透过小孔发生衍射产生球面波作为参考光，+1或-1级光通过窗口作为物光，掩模包含透光小孔(61)和透光窗口(62)，掩模其他部分设置为不透光；
所述的二维光电传感器(8)是CCD、CMOS或二维光电探测器阵列。
2.利用权利要求1所述的数字相移点衍射干涉仪对光学系统进行波像差测量的方法，其特征在于该方法包含以下步骤：
1)计算干涉仪系统的参数：
设定干涉条纹数N，一般在20～100之间取值，根据采用的第一空间光调制器(3)的像素大小，设定光栅周期p，光栅周期p为第一空间光调制器(3)像素宽度的整数倍，在设定的干涉条纹数N及光栅周期p的条件下，由所述的光源(1)的波长λ及待测光学系统(5)的物方数值孔径NAO，根据式d＝N×p/(2NAO)计算第一空间光调制器(3)与小孔掩模(2)之间的距离d；由设定的干涉条纹数N和待测光学系统(5)的像方数值孔径NAI由下式x1＝N×λ/2NAI计算1级衍射光在像面汇聚点的位置x1；根据拟采用的相移算法及相移步数n及每一步的相移量计算每一步所述的第一空间光调制器(3)的数字光栅需要移动的距离Δp，计算公式为 为相移量；
2)搭建干涉仪的测量系统：
将待测光学系统(5)置于第一空间光调制器(3)和第二空间光调制器(6)之间，调整待测光学系统(5)使小孔掩模(2)处于待测光学系统(5)的物面，使小孔掩模(2)的透光小孔(21)的中心位于数字相移点衍射干涉仪的光轴上，调整第二空间光调制器(6)的位移台(7)，使第二空间光调制器(6)的表面垂直于光轴，并处于待测光学系统(5)的物面，调整第一空间光调制器(3)的位移台，使第一空间光调制器(3)的表面垂直于光轴且与物面小孔掩模(2)之间的距离为所述的d；
3)进行光学系统波像差测量：
计算机(9)将第一空间光调制器(3)设置为光栅，光栅线条方向沿y方向，光栅周期设置为设定值p；计算机(9)将处于像面的第二空间光调制器(6)设置为针孔窗口掩模，使所述的针孔(61)的中心位置位于光轴上，该针孔(61)的宽度小于待测光学系统(5)的像方分辨率，所述的窗口(62)的中心在像面二维坐标系中的位置为(x1,0)，所述的针孔窗口掩模的透光部分振幅透过率设置为1，其他部分振幅透过率设置为0；开启光源(1)，由光电探测器(8)探测干涉光强信号Ix1，该Ix1传入计算机(9)保存；
计算机(9)控制第一空间光调制器(3)光栅，使其沿+x或-x方向平移，平移量为所述的Δp，由光电探测器(8)探测干涉光强信号Ix2，并将Ix2传入计算机(9)保存；共重复n次，n为相移算法的相移步数，最终计算机(9)保存n幅干涉光强信号Ix1、Ix2、…、Ixn；
采用n步相移算法，由计算机(9)存储的n幅干涉图计算出相位，并进行解包裹、消除几何光程差的处理，获得待测光学系统(5)的波像差。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105466668A (zh) * 2015-12-24 2016-04-06 中国科学院上海光学精密机械研究所 点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法
CN107796594A (zh) * 2017-08-24 2018-03-13 南京理工大学 一种基于空间光调制器的大气湍流模拟器
CN108169175A (zh) * 2016-12-08 2018-06-15 松下知识产权经营株式会社 光检测系统及发光装置
CN108196091A (zh) * 2018-03-30 2018-06-22 南京邮电大学 基于cmos的光电加速度传感器
CN112802154A (zh) * 2021-03-09 2021-05-14 西安中科微星光电科技有限公司 用于获取空间光调制器相位调制曲线的测试方法及测试系统
CN113049224A (zh) * 2019-12-27 2021-06-29 上海微电子装备（集团）股份有限公司 测量装置及其测量方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040252311A1 (en) * 2001-09-27 2004-12-16 Nikon Corporation Method and apparatus for point diffraction interferometry

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5835217A (en) * 1997-02-28 1998-11-10 The Regents Of The University Of California Phase-shifting point diffraction interferometer
US6100978A (en) * 1998-10-21 2000-08-08 Naulleau; Patrick P. Dual-domain point diffraction interferometer
US6111646A (en) * 1999-01-12 2000-08-29 Naulleau; Patrick Null test fourier domain alignment technique for phase-shifting point diffraction interferometer
US6266147B1 (en) * 1999-10-14 2001-07-24 The Regents Of The University Of California Phase-shifting point diffraction interferometer phase grating designs
US6573997B1 (en) * 2000-07-17 2003-06-03 The Regents Of California Hybrid shearing and phase-shifting point diffraction interferometer
JP2005127981A (ja) * 2003-10-27 2005-05-19 Nikon Corp 干渉計測装置
CN101183042B (zh) * 2007-12-13 2011-10-12 上海微电子装备有限公司 点衍射干涉仪
CN101236362B (zh) * 2008-01-29 2010-06-23 北京理工大学 光刻机投影物镜波像差在线检测方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040252311A1 (en) * 2001-09-27 2004-12-16 Nikon Corporation Method and apparatus for point diffraction interferometry

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
VYAS AKONDI ET AL.: "Digital phase-shifting point diffraction interferometer", 《OPTICS LETTERS》 *
李艳秋等: "相移点衍射干涉仪的关键技术研究", 《激光与光电子学进展》 *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105466668A (zh) * 2015-12-24 2016-04-06 中国科学院上海光学精密机械研究所 点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法
CN108169175A (zh) * 2016-12-08 2018-06-15 松下知识产权经营株式会社 光检测系统及发光装置
CN107796594A (zh) * 2017-08-24 2018-03-13 南京理工大学 一种基于空间光调制器的大气湍流模拟器
CN107796594B (zh) * 2017-08-24 2019-06-21 南京理工大学 一种基于空间光调制器的大气湍流模拟器
CN108196091A (zh) * 2018-03-30 2018-06-22 南京邮电大学 基于cmos的光电加速度传感器
CN108196091B (zh) * 2018-03-30 2024-01-26 南京邮电大学 基于cmos的光电加速度传感器
CN113049224A (zh) * 2019-12-27 2021-06-29 上海微电子装备（集团）股份有限公司 测量装置及其测量方法
CN113049224B (zh) * 2019-12-27 2023-02-17 上海微电子装备（集团）股份有限公司 测量装置及其测量方法
CN112802154A (zh) * 2021-03-09 2021-05-14 西安中科微星光电科技有限公司 用于获取空间光调制器相位调制曲线的测试方法及测试系统

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