[go: up one dir, main page]

CN104979253A - 加热盘安装或取出工装 - Google Patents

加热盘安装或取出工装 Download PDF

Info

Publication number
CN104979253A
CN104979253A CN201510318992.7A CN201510318992A CN104979253A CN 104979253 A CN104979253 A CN 104979253A CN 201510318992 A CN201510318992 A CN 201510318992A CN 104979253 A CN104979253 A CN 104979253A
Authority
CN
China
Prior art keywords
heating plate
column
tooling
handle
tool
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201510318992.7A
Other languages
English (en)
Inventor
郑旭东
苏欣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Piotech Inc
Original Assignee
Piotech Shenyang Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Piotech Shenyang Co Ltd filed Critical Piotech Shenyang Co Ltd
Priority to CN201510318992.7A priority Critical patent/CN104979253A/zh
Publication of CN104979253A publication Critical patent/CN104979253A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)

Abstract

加热盘安装或取出工装，主要解决现有技术中加热盘没有专用工装进行安装和取出的技术问题。它包括把手与立柱。所述的立柱上制有扳手口；所述的立柱通过下端所制的螺纹与把手上的凸台内螺纹连接；所述的立柱下部制有扳手口，通过工具拧动扳手口将立柱与凸台固紧。上述立柱分别固定在把手的凸台上。上述立柱的顶部制有端头，端头的直径与加热盘底部的固定孔相匹配；上述立柱的数量与加热盘底部的固定孔数量相匹配。操作时，将工装立柱的端头与加热盘下表面的孔对齐，双手向上推出或托住加热盘，实现取出或安装。该工装单人即可完成加热盘的取出和安装。通过工装可以方便、安全地实现加热盘安装和取出，不会损伤各个部件。适用于多种规格的加热盘，可广泛应用于半导体镀膜技术领域。

Description

加热盘安装或取出工装
技术领域
本发明涉及一种加热盘安装或取出工装，主要应用于半导体镀膜设备反应腔中加热盘的安装或取出工装，属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。
背景技术
现有的半导体镀膜设备对反应源的利用效率要求越来越高，这就要求反应腔内的容积要尽可能的减小，以实现高效的利用率，为实现腔体容积的减小同时又最小限度的更改设备，减小直径是最优化的方案，但是减小腔内直径的同时加热盘的尺寸又不能变化，因此就产生了加热盘无法徒手取出或取出过程中与侧壁摩擦的问题。
发明内容
本发明以解决上述问题为目的，主要解决现有技术中加热盘没有专用工装进行安装和取出的技术问题，而提供一种结构简单，操作方便，能不损伤加热盘及腔体侧壁的工装。
为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：加热盘安装或取出工装，包括把手，它还包括立柱。所述的立柱通过下端所制的螺纹与把手上的凸台内螺纹连接；所述的立柱下部制有扳手口，通过工具拧动扳手口将立柱与凸台固紧。上述立柱分别固定在把手的凸台上。
上述立柱的顶部制有端头，端头的直径与加热盘底部的固定孔相匹配；
上述立柱的数量与加热盘底部的固定孔数量相匹配。
操作时，将组装好的工装立柱的端头与加热盘下表面的孔对齐，双手向上推出或托住加热盘，实现取出或安装。
本发明的有益效果及特点在于：
本发明结构合理，使用此工装，单人即可完成加热盘的取出和安装。通过工装可以方便、安全地实现加热盘安装和取出，不会损伤各个部件。该工装适用于多种规格的加热盘，操作简单，拆卸方便，可广泛应用于半导体镀膜技术领域。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
实施例
参照图1，加热盘安装或取出工装，包括把手4，它还包括立柱2。所述的立柱2通过下端所制的螺纹5与把手4上的凸台6内螺纹连接；所述的立柱2下部制有扳手口3，通过工具拧动扳手口3将立柱2与凸台6固紧。上述立柱2分别固定在把手4的凸台6上。
所述立柱2的顶部制有端头1，端头1的直径与加热盘底部的固定孔相匹配。
所述立柱2的数量与加热盘底部的固定孔数量相匹配。
所述立柱2的数量选择6个。
取出加热盘的操作过程：
将组装后的本发明的六个立柱2的位置与加热盘底部的固定孔位置对齐，通过将立柱2的端头1与加热盘固定孔对接，双手握住工装把手4用力向上托起即可将加热盘取出。
安装加热盘的操作过程：
当安装加热盘时，同样利用立柱2的端头1与加热盘固定孔对接，双手握住工装把手4缓慢落下，当加热盘落到安装位置后继续向下移动工装直至脱离即可实现加热盘的安装。

Claims (4)

1.一种加热盘安装或取出工装，包括把手，其特征在于：它还包括立柱，所述的立柱通过下端所制的螺纹与把手上的凸台内螺纹连接；所述的立柱下部制有扳手口，通过工具拧动扳手口将立柱与凸台固紧；所述的立柱分别固定在把手的凸台上；所述立柱的顶部制有端头。
2.如权利要求1所述的加热盘安装或取出工装，其特征在于：所述立柱顶部端头的直径与加热盘底部的固定孔相匹配。
3.如权利要求1所述的加热盘安装或取出工装，其特征在于：所述立柱的数量与加热盘底部的固定孔数量相匹配。
4.如权利要求1所述的加热盘安装或取出工装，其特征在于：所述立柱的数量选择6个。
CN201510318992.7A 2015-06-10 2015-06-10 加热盘安装或取出工装 Pending CN104979253A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510318992.7A CN104979253A (zh) 2015-06-10 2015-06-10 加热盘安装或取出工装

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510318992.7A CN104979253A (zh) 2015-06-10 2015-06-10 加热盘安装或取出工装

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104979253A true CN104979253A (zh) 2015-10-14

Family

ID=54275641

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510318992.7A Pending CN104979253A (zh) 2015-06-10 2015-06-10 加热盘安装或取出工装

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104979253A (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2320882A1 (fr) * 1975-08-14 1977-03-11 Monjo Jacques Dispositif d'extraction de plateaux alveoles
FR2450767A1 (fr) * 1979-03-09 1980-10-03 Blanc Philippe Dispositif pour enlever d'une pile des emballages, notamment a usage alimentaire
US6931704B1 (en) * 2003-09-30 2005-08-23 Richard Tanner Engine valve lifter lifting tool
CN201372321Y (zh) * 2009-01-20 2009-12-30 西安创联新能源设备有限公司 单晶炉上传动水平调整装置
CN103612237A (zh) * 2013-10-30 2014-03-05 合保电气（芜湖）有限公司 弧形减震器更换工具
CN204295598U (zh) * 2014-11-19 2015-04-29 奇瑞汽车股份有限公司 一种夹紧垫片拆卸辅具

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2320882A1 (fr) * 1975-08-14 1977-03-11 Monjo Jacques Dispositif d'extraction de plateaux alveoles
FR2450767A1 (fr) * 1979-03-09 1980-10-03 Blanc Philippe Dispositif pour enlever d'une pile des emballages, notamment a usage alimentaire
US6931704B1 (en) * 2003-09-30 2005-08-23 Richard Tanner Engine valve lifter lifting tool
CN201372321Y (zh) * 2009-01-20 2009-12-30 西安创联新能源设备有限公司 单晶炉上传动水平调整装置
CN103612237A (zh) * 2013-10-30 2014-03-05 合保电气（芜湖）有限公司 弧形减震器更换工具
CN204295598U (zh) * 2014-11-19 2015-04-29 奇瑞汽车股份有限公司 一种夹紧垫片拆卸辅具

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN206219703U (zh) 一种用于晶圆的电镀挂具
CN204545329U (zh) 一种铸造装配用砂芯固定装置
CN204195608U (zh) 内六角扳手
CN205269720U (zh) 一种新型铁架台
CN203109872U (zh) 一种力矩可调的丝攻扳手
CN104979253A (zh) 加热盘安装或取出工装
CN206215807U (zh) 一种扁平铜线立绕方向折弯的工装
CN108371410B (zh) 一种带旋转定置机构的梯形实训桌
CN205197511U (zh) 一种屏风夹
CN202367475U (zh) 一种方体车削夹具
CN208023958U (zh) 一种模板边框夹具
CN204107799U (zh) 一种注塑件喷涂用万能固定治具
CN203750572U (zh) 一种试管烧杯两用夹
CN207901016U (zh) 一种自动内六角扳手
CN204525356U (zh) 螺栓拆卸工具
CN202292548U (zh) 外六角套筒旋拧工具
CN205870400U (zh) 螺丝刀辅助工具
CN206169995U (zh) 一种螺丝拆除工具
CN205703902U (zh) 一种内腔螺钉装卸装置
CN202941886U (zh) 一种夹钉
CN206588899U (zh) 一种新型螺母夹持机构
CN109398971A (zh) 一种可快捷取用焊条的盛用装置
CN204321673U (zh) 离合器外壳加工夹具
CN204134663U (zh) 一种多功能试管夹
CN204381862U (zh) 一种新型夹头拆卸结构

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20151014