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CN104734005A - 面发光激光器以及原子振荡器 - Google Patents

面发光激光器以及原子振荡器 Download PDF

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CN104734005A
CN104734005A CN201410797511.0A CN201410797511A CN104734005A CN 104734005 A CN104734005 A CN 104734005A CN 201410797511 A CN201410797511 A CN 201410797511A CN 104734005 A CN104734005 A CN 104734005A
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CN
China
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emitting laser
surface emitting
layer
straight line
region
Prior art date
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Application number
CN201410797511.0A
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English (en)
Inventor
金子刚
西田哲朗
仓知祐司
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

本发明提供能够使激光的偏振方向稳定的面发光激光器以及原子振荡器。面发光激光器(100)包含基板、被设置在基板上方的层叠体(2)、以及至少被设置在层叠体(2)的侧面的树脂层(70)，层叠体(2)至少包含被设置在基板上方的第一反射镜层、被设置在第一反射镜层上方的活性层、以及被设置在上述活性层上方的第二反射镜层，在俯视时，Y轴方向上的层叠体(2)的长度比与Y轴方向正交的X轴方向上的层叠体(2)的长度长，在俯视时，Y轴方向上的树脂层(70)的长度比X轴方向上的树脂层(70)的长度长。

Description

面发光激光器以及原子振荡器
技术领域
本发明涉及面发光激光器以及原子振荡器。
背景技术
面发光激光器(VCSEL：Vertical Cavity Surface Emitting Laser(垂直腔表面发射激光器))例如，作为利用了作为量子干涉效应之一的CPT(Coherent Population Trapping：相干布居数俘获)的原子振荡器的光源被使用。
一般来说，面发光激光器由于共振器具有各向同性结构，所以从共振器射出的激光的偏振方向的控制较困难。例如专利文献1记载了通过与包含共振器的一部分的柱状的半导体沉积体的外侧面接触而形成的绝缘层，对共振器(活性层)施加各向异性应力，将激光的偏振方向控制在特定方向的面发光激光器。
专利文献1：日本特开2001－189525号公报
然而，在专利文献1所记载的面发光激光器中，存在通过绝缘层不能够对共振器施加充分的大小的应力，而激光的偏振方向不稳定的情况。
发明内容
本发明的几个方式的目的之一在于提供能够使激光的偏振方向稳定的面发光激光器。另外，本发明的几个方式的目的之一在于提供包含上述面发光激光器的原子振荡器。
本发明的面发光激光器包含：
基板；
层叠体，其被设置在上述基板上方；以及
树脂层，其至少被设置在上述层叠体的侧面，
上述层叠体至少包含被设置在上述基板上方的第一反射镜层、被设置在上述第一反射镜层上方的活性层、以及被设置在上述活性层上方的第二反射镜层，
俯视时，第一方向上的上述层叠体的长度比与上述第一方向正交的第二方向上的上述层叠体的长度长，
在上述俯视时，上述第一方向上的上述树脂层的长度比上述第二方向上的上述树脂层的长度长。
在这样的面发光激光器中，在俯视时，第一方向上的层叠体的长度比第二方向上的层叠体的长度长，所以能够赋予活性层各向异性应力。因此，在这样的面发光激光器中，能够赋予活性层由该层叠体的形状产生的应力、以及由树脂层产生的应力，使激光的偏振方向稳定。因此，例如，与仅靠树脂层赋予活性层应力的情况相比，能够使激光的偏振方向更稳定。
此外，在本发明的记载中，例如将“上方”这样的语句作为“在特定的部件(以下，称为“A”)的“上方”形成其他的特定的部件(以下，称为“B”)”等使用的情况下，作为包含在A上直接形成B那样的情况、和在A上经由其他的部件形成B这样的情况，使用“上方”这样的语句。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，上述层叠体包含第一部分、第二部分、以及被设置在上述第一部分与上述第二部分之间的第三部分，
上述第一部分与上述第二部分在上述第一方向对置，
上述俯视时，上述第二方向上的上述第三部分的长度比上述第二方向上的上述第一部分的长度或者上述第二部分的长度长。
在这样的面发光激光器中，层叠体具有第一部分和第二部分，从而能够对第三部分赋予应力。因此，在这样的面发光激光器中，能够赋予活性层由第一部分以及第二部分的产生的应力、以及由树脂层产生的应力，使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，上述树脂层的外缘具有第一直线、与上述第一直线对置的第二直线、与上述第一直线以及上述第二直线连续的第一曲线、以及与上述第一曲线对置并与上述第一直线以及上述第二直线连续的第二曲线。
在这样的面发光激光器中，与第一曲线为直线形状的情况相比，在第一直线以及第二直线与第一曲线连续的位置，应力不集中。因此，在该位置不容易产生裂缝。另外，由于相同的理由，在第一直线以及第二直线与第二曲线连续的位置不容易产生裂缝。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，上述第一部分与上述第一曲线从上述第三部分观察位于同一侧，
在上述俯视时，将上述第一直线与上述第一曲线连接的端作为第一端，并将上述第二直线与上述第一曲线连接的端作为第二端的情况下，画出通过第一端和第二端的第一虚拟直线时，上述第一部分的端部从上述第一虚拟直线观察位于上述第三部分侧。
在这样的面发光激光器中，即使假设在第一直线以及第二直线与第一曲线连续的位置产生了裂缝，第一部分的端部与该位置相比也位于作为内侧的第三部分侧，所以能够抑制该裂缝到达第一部分。因此，能够提高针对层叠体的保护性能。
在本发明的面发光激光器中，
也可以上述层叠体还包含被设置在上述第一反射镜层与上述第二反射镜层之间的电流狭窄层、包含与上述第一反射镜层连续而设置的多个氧化层的第一区域、以及与包含上述第二反射镜层连续而设置的多个氧化层的第二区域，
在上述俯视时，由上述层叠体的上述第一部分的上述第一区域与上述第二区域构成氧化区域，
在上述俯视时，将上述氧化区域的宽度设为W1，并将上述第一部分的上述第二反射镜层的上表面的宽度设为W2时，W2/W1≤3.3。
在这样的面发光激光器中，通过氧化区域能够使活性层产生较大的形变，能够使激光的偏振方向稳定(详细后述)。
在本发明的面发光激光器中，
也可以W2/W1≤2.2。
在这样的面发光激光器中，能够进一步使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以1.3≤W2/W1。
在这样的面发光激光器中，能够进一步使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，在上述第一部分上画出与上述第一方向正交的第二虚拟直线的情况下，上述第二反射镜层的上述上表面的宽度亦即W2位于上述第二虚拟直线上。
在这样的面发光激光器中，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，上述氧化区域的第一部分与第二部分以夹着上述第二反射镜层的上述上表面的方式存在于与上述第二虚拟直线重叠的位置，
上述氧化区域的宽度亦即W1是上述氧化区域的上述第一部分的宽度，
上述氧化区域的宽度亦即W1位于上述第二虚拟直线上。
在这样的面发光激光器中，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以上述层叠体还包含被设置在上述第一反射镜层与上述第二反射镜层之间的电流狭窄层、包含与上述第一反射镜层连续而设置的多个氧化层的第一区域、以及包含与上述第二反射镜层连续而设置的多个氧化层的第二区域，
在剖视时，上述第一区域的多个氧化层中、最下层的氧化层具有对置于和上述第一部分的上述第一反射镜层连接的端的第一端，
上述剖视时，上述第二区域的多个氧化层中、最上层的氧化层具有与上述第一部分的上述第二反射镜层连接的第二端，
上述俯视时，将从上述第一端到上述第二端的宽度设为W1，并将上述第一部分的上述第二反射镜层的上表面的宽度设为W2时，W2/W1≤3.3。
在这样的面发光激光器中，通过氧化层能够使活性层产生较大的形变，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以W2/W1≤2.2。
在这样的面发光激光器中，能够进一步使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以1.3≤W2/W1。
在这样的面发光激光器中，能够进一步使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，在上述第一部分上画出与上述第一方向正交的第二虚拟直线的情况下，上述第二反射镜层的上表面的宽度亦即W2位于上述第二虚拟直线上。
在这样的面发光激光器中，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述剖视时，上述第一区域的第一部分与第二部分以夹着上述层叠体的上述第一部分的上述第一反射镜层的方式存在，
在上述剖视时，在上述第一区域的上述第一部分的上方的上述第二区域的第一部分、与在上述第一区域的上述第二部分的上方上述第二区域的第二部分以夹着上述层叠体的上述第一部分的上述第二反射镜层的方式存在，
上述第一区域的上述第一部分具有上述最下层的氧化层，
上述第二区域的上述第一部分具有上述最上层的氧化层，
上述最下层的氧化层的上述第一端到上述最上层的氧化层的上述第二端的宽度亦即W1位于上述第二虚拟直线上。
在这样的面发光激光器中，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，上述树脂层是相对于通过上述第三部分的中心的上述第二方向的第三虚拟直线线对称的形状。
在这样的面发光激光器中，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，上述树脂层不是相对于通过上述第三部分的中心的上述第二方向的第三虚拟直线线对称的形状。
在这样的面发光激光器中，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，上述层叠体包含第一形变赋予部、第二形变赋予部、以及被设置在上述第一形变赋予部与上述第二形变赋予部之间并使上述活性层产生的光共振的共振部，
上述第一形变赋予部与上述第二形变赋予部在上述第一方向对置，
在上述俯视时，上述第二方向上的上述共振部的长度比上述第二方向上的上述第一形变赋予部的长度或者上述第二形变赋予部的长度长。
在这样的面发光激光器中，层叠体具有第一形变赋予部和第二形变赋予部，从而能够赋予共振部应力。因此，在这样的面发光激光器中，能够赋予活性层由第一形变赋予部以及第二形变赋予部产生的应力、以及由树脂层产生的应力，使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，上述树脂层的外缘具有第一直线、与上述第一直线对置的第二直线、与上述第一直线以及上述第二直线连续的第一曲线、以及与上述第一曲线对置并与上述第一直线以及上述第二直线连续的第二曲线。
在这样的面发光激光器中，在第一直线以及第二直线与第一曲线连续的位置，与第一曲线为直线形状的情况相比，应力不集中。因此，在该位置不容易产生裂缝。另外，由于相同的理由，在第一直线以及第二直线与第二曲线连续的位置不容易产生裂缝。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，上述第一形变赋予部与上述第一曲线从上述共振部观察位于同一侧，
在上述俯视时，将上述第一直线与上述第一曲线连接的端作为第一端，并将上述第二直线与上述第一曲线连接的端作为第二端的情况下，画出通过第一端与第二端的第一虚拟直线时，上述第一形变赋予部的端部从上述第一虚拟直线观察位于上述共振部侧。
在这样的面发光激光器中，即使假设在第一直线以及第二直线与第一曲线连续的位置产生了裂缝，第一形变赋予部的端部与该位置相比也位于内侧亦即第三部分侧，所以能够抑制该裂缝到达第一形变赋予部。因此，能够提高针对层叠体的保护性能。
在本发明的面发光激光器中，
也可以上述层叠体还包含被设置在上述第一反射镜层与上述第二反射镜层之间的电流狭窄层、包含与上述第一反射镜层连续而设置的多个氧化层的第一区域、以及包含与上述第二反射镜层连续而设置的多个氧化层的第二区域，
在上述俯视时，由上述层叠体的上述第一形变赋予部的上述第一区域和上述第二区域构成氧化区域，
在上述俯视时，将上述氧化区域的宽度设为W1，并将上述第一形变赋予部的上述第二反射镜层的上表面的宽度设为W2时，W2/W1≤3.3。
在这样的面发光激光器中，通过氧化区域能够使活性层产生较大的形变，能够使激光的偏振方向稳定(详细后述)。
在本发明的面发光激光器中，
也可以W2/W1≤2.2。
在这样的面发光激光器中，能够进一步使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以1.3≤W2/W1。
在这样的面发光激光器中，能够进一步使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，在上述第一形变赋予部上画出与上述第一方向正交的第二虚拟直线的情况下，上述第二反射镜层的上述上表面的宽度亦即W2位于上述第二虚拟直线上。
在这样的面发光激光器中，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，上述氧化区域的第一部分与第二部分以夹着上述第二反射镜层的上述上表面的方式存在于与上述第二虚拟直线重叠的位置，
上述氧化区域的宽度亦即W1是上述氧化区域的上述第一部分的宽度，
上述氧化区域的宽度亦即W1位于上述第二虚拟直线上。
在这样的面发光激光器中，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以上述层叠体还包含被设置在上述第一反射镜层与上述第二反射镜层之间的电流狭窄层、包含与上述第一反射镜层连续而设置的多个氧化层的第一区域、以及与包含上述第二反射镜层连续而设置的多个氧化层的第二区域，
在剖视时，上述第一区域的多个氧化层中、最下层的氧化层具有对置于和上述第一形变赋予部的上述第一反射镜层连接的端的第一端，
在上述剖视时，上述第二区域的多个氧化层中、最上层的氧化层具有与上述第一形变赋予部的上述第二反射镜层连接的第二端，
在上述俯视时，将从上述第一端到上述第二端的宽度设为W1，并将上述第一形变赋予部的上述第二反射镜层的上表面的宽度设为W2时，W2/W1≤3.3。
在这样的面发光激光器中，通过氧化区域能够使活性层产生较大的形变，能够使激光的偏振方向稳定(详细后述)。
在本发明的面发光激光器中，
也可以W2/W1≤2.2。
在这样的面发光激光器中，能够进一步使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以1.3≤W2/W1。
在这样的面发光激光器中，能够进一步使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，在上述第一形变赋予部上画出与上述第一方向正交的第二虚拟直线的情况下，上述第二反射镜层的上表面的宽度亦即W2位于上述第二虚拟直线上。
在这样的面发光激光器中，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述剖视时，上述第一区域的第一部分与第二部分以夹着上述层叠体的上述第一形变赋予部的上述第一反射镜层的方式存在，
在上述剖视时，在上述第一区域的上述第一部分的上方上述第二区域的第一部分、与在上述第一区域的上述第二部分的上方上述第二区域的第二部分以夹着上述层叠体的上述第一形变赋予部的上述第二反射镜层的方式存在，
上述第一区域的上述第一部分具有上述最下层的氧化层，
上述第二区域的上述第一部分具有上述最上层的氧化层，
从上述最下层的氧化层的上述第一端到上述最上层的氧化层的上述第二端的宽度亦即W1位于上述第二虚拟直线上。
在这样的面发光激光器中，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，上述树脂层是相对于通过上述共振部的中心的上述第二方向的第三虚拟直线线对称的形状。
在这样的面发光激光器中，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以在上述俯视时，上述树脂层不是相对于通过上述共振部的中心的上述第二方向的第三虚拟直线线对称的形状。
在这样的面发光激光器中，能够使激光的偏振方向稳定。
在本发明的面发光激光器中，
也可以上述树脂层的材质为聚酰亚胺。
在这样的面发光激光器中，树脂层能够赋予共振部(第三部分)较大的应力。因此，能够使激光的偏振方向稳定。
本发明的原子振荡器包含本发明的面发光激光器。
在这样的原子振荡器中，包含本发明的面发光激光器，所以例如，能够经由λ/4板，向气体电池稳定地照射圆偏振光的光，能够提高原子振荡器的频率稳定性。
附图说明
图1是示意地表示第一实施方式的面发光激光器的俯视图。
图2是示意地表示第一实施方式的面发光激光器的剖视图。
图3是示意地表示第一实施方式的面发光激光器的俯视图。
图4是示意地表示第一实施方式的面发光激光器的剖视图。
图5是示意地表示第一实施方式的面发光激光器的俯视图。
图6是示意地表示第一实施方式的面发光激光器的制造工序的剖视图。
图7是示意地表示第一实施方式的面发光激光器的制造工序的剖视图。
图8是示意地表示第一实施方式的面发光激光器的制造工序的剖视图。
图9是示意地表示第一实施方式的面发光激光器的制造工序的剖视图。
图10是示意地表示第一实验例的面发光激光器M1的俯视图。
图11是示意地表示参考例的面发光激光器M2的俯视图。
图12是示意地表示参考例的面发光激光器M3的俯视图。
图13是示意地表示参考例的面发光激光器M4的俯视图。
图14是表示第一实验例的面发光激光器M1的实验结果的直方图。
图15是表示参考例的面发光激光器M2的实验结果的直方图。
图16是表示参考例的面发光激光器M3的实验结果的直方图。
图17是表示参考例的面发光激光器M4的实验结果的直方图。
图18是第二实验例所使用的面发光激光器的照片。
图19是第二实验例所使用的面发光激光器的照片。
图20是第二实验例所使用的面发光激光器的照片。
图21是第二实验例所使用的面发光激光器的照片。
图22是表示合格品的面发光激光器的电流与输出的关系的图。
图23是表示NG品的面发光激光器的电流与输出的关系的图。
图24是示意地表示第一实施方式的第一变形例的面发光激光器的俯视图。
图25是示意地表示本实验例的面发光激光器M5的俯视图。
图26是表示本实验例的面发光激光器M5的实验结果的直方图。
图27是示意地表示第一实施方式的第二变形例的面发光激光器的剖视图。
图28是示意地表示第二实施方式的面发光激光器的俯视图。
图29是示意地表示第二实施方式的面发光激光器的俯视图。
图30是示意地表示第二实施方式的面发光激光器的变形例的俯视图。
图31是第三实施方式的原子振荡器的功能框图。
图32是表示共振光的光谱的图。
图33是表示碱金属原子的Λ型三能级模型与第一边带波以及第二边带波的关系的图。
具体实施方式
以下，使用附图对本发明的优选实施方式进行详细的说明。此外，以下所说明的实施方式并未不恰当地限定要求保护的范围所记载的本发明的内容。另外，并非以下所说明的构成的全部均为本发明的必须构成要件。
1.第一实施方式
1.1.面发光激光器
首先，参照附图对第一实施方式的面发光激光器进行说明。图1是示意地表示第一实施方式的面发光激光器100的俯视图。图2是示意地表示第一实施方式的面发光激光器100的图1中的II－II线剖视图。图3是示意地表示第一实施方式的面发光激光器100的俯视图。图4是示意地表示第一实施方式的面发光激光器100的图3中的IV－IV线剖视图。
此外，为了方便，在图2中，简化图示了层叠体2。另外，在图3中，省略面发光激光器100的层叠体2以外的部件的图示。另外，在图1～图4中，图示X轴、Y轴、以及Z轴，作为相互正交的三个轴。
如图1～图4所示，面发光激光器100包含基板10、第一反射镜层20，活性层30、第二反射镜层40、电流狭窄层42、接触层50、第一区域60、第二区域62、树脂层70、第一电极80、以及第二电极82。
基板10例如是第一导电型(例如n型)的GaAs基板。
第一反射镜层20形成在基板10上。第一反射镜层20是第一导电型的半导体层。如图4所示，第一反射镜层20是高折射率层24与低折射率层26交替地层叠而成的分布式布拉格反射(DBR)镜。高折射率层24例如是了掺杂硅的n型的Al0.12Ga0.88As层。低折射率层26例如是掺杂了硅的n型的Al0.9Ga0.1As层。高折射率层24与低折射率层26的层叠数(对数)例如是10对以上50对以下，具体而言是40.5对。
活性层30被设在第一反射镜层20上。活性层30例如，具有重叠了三层由i型的In0.06Ga0.94As层和i型的Al0.3Ga0.7As层构成的量子阱结构的多重量子阱(MQW)结构。
第二反射镜层40形成在活性层30上。第二反射镜层40是第二导电型(例如p型)的半导体层。第二反射镜层40是交替地层叠了高折射率层44与低折射率层46的分布式布拉格反射(DBR)镜。高折射率层44例如是掺杂了碳的p型的Al0.12Ga0.88As层。低折射率层46例如是掺杂了碳的p型的Al0.9Ga0.1As层。高折射率层44与低折射率层46的层叠数(对数)例如为3对以上40对以下，具体而言是20对。
第二反射镜层40、活性层30、以及第一反射镜层20构成垂直共振器型的pin二极管。若对电极80、82之间施加pin二极管的正向电压，则在活性层30引起电子与空穴的复合，产生发光。在活性层30产生的光在第一反射镜层20与第二反射镜层40之间往复(多重反射)，此时引起受激发射，强度被放大。而且，若光增益在光损耗以上，则引起激光振荡，从接触层50的上表面向垂直方向(第一反射镜层20与活性层30的层叠方向)射出激光。
电流狭窄层42被设在第一反射镜层20与第二反射镜层40之间。在图示的例子中，电流狭窄层42被设在活性层30上。电流狭窄层42也能够设在第一反射镜层20或者第二反射镜层40的内部。在这种情况下，电流狭窄层42也视为被设在第一反射镜层20与第二反射镜层40之间。电流狭窄层42是形成了开口部43的绝缘层。电流狭窄层42能够防止通过电极80、82注入垂直共振器的电流向平面方向(与第一反射镜层20和活性层30的层叠方向正交的方向)扩散。
接触层50被设在第二反射镜层40上。接触层50是第二导电型的半导体层。具体而言，接触层50是掺杂了碳的p型的GaAs层。
如图4所示，第一区域60被设在构成层叠体2的第一反射镜层20的侧方。第一区域60包含与第一反射镜层20(在图示的例子中是第一反射镜层20的一部分)连续地设置的多个氧化层6。具体而言，第一区域60通过交替地层叠与构成第一反射镜层20的低折射率层(例如Al0.9Ga0.1As层)26连续的层被氧化而成的氧化层6、和与构成第一反射镜层20的高折射率层(例如Al0.12Ga0.88As层)24连续的层4而构成。
第二区域62被设在构成层叠体2的第二反射镜层40的侧方。第二区域62包含与第二反射镜层40连续地设置的多个氧化层16。具体而言，第二区域62通过交替地层叠与构成第二反射镜层40的低折射率层(例如Al0.9Ga0.1As层)46连续的层被氧化而成的氧化层16、和与构成第二反射镜层40的高折射率层(例如Al0.12Ga0.88As层)44连续的层14而构成。俯视时(从第一反射镜层20与活性层30的层叠方向观察)，由第一区域60和第二区域62构成氧化区域8。
第一反射镜层20、活性层30、第二反射镜层40、电流狭窄层42、接触层50、第一区域60、以及第二区域62构成层叠体2。在图1以及图2所示的例子中，层叠体2被树脂层70包围。
在图3所示的例子中，俯视时，Y轴方向上的层叠体2的长度比X轴方向上的层叠体2的长度长。即，层叠体2的长边方向是Y轴方向。俯视时，层叠体2例如，关于通过层叠体2的中心并与X轴平行的虚拟直线对称。另外，俯视时，层叠体2例如，关于通过层叠体2的中心并与Y轴平行的虚拟直线对称。
层叠体2如图3所示俯视时，包含第一形变赋予部(第一部分)2a、第二形变赋予部(第二部分)2b、以及共振部(第三部分)2c。
第一形变赋予部2a以及第二形变赋予部2b在俯视时，以夹着共振部2c的方式在Y轴方向对置。第一形变赋予部2a在俯视时，从共振部2c向+Y轴方向突出。第二形变赋予部2b在俯视时，从共振部2c向－Y轴方向突出。第一形变赋予部2a以及第二形变赋予部2b与共振部2c被一体地设置。
第一形变赋予部2a以及第二形变赋予部2b对活性层30赋予形变，使在活性层30产生的光偏振。这里，所谓的使光偏振是指使光的电场的振动方向恒定。构成第一形变赋予部2a以及第二形变赋予部2b的半导体层(第一反射镜层20、活性层30、第二反射镜层40、电流狭窄层42、接触层50、第一区域60、以及第二区域62)成为使赋予给活性层30的形变产生的产生源。第一形变赋予部2a以及第二形变赋予部2b具有：第一区域60，其具有多个氧化层6；以及第二区域62，其具有多个氧化层16，所以能够赋予给活性层30较大的形变。
共振部2c被设在第一形变赋予部2a与第二形变赋予部2b之间。X轴方向上的共振部2c的长度比X轴方向上的第一形变赋予部2a的长度或者X轴方向上的第二形变赋予部2b的长度大。共振部2c的平面形状(从第一反射镜层20与活性层30的层叠方向观察到的形状)例如为圆形。
共振部2c使在活性层30产生的光共振。即，在共振部2c中，形成有垂直共振器。
树脂层70至少被设在层叠体2的侧面。在图1所示的例子中，树脂层70覆盖第一形变赋予部2a以及第二形变赋予部2b。即，树脂层70被设在第一形变赋予部2a的侧面、第一形变赋予部2a的上表面、第二形变赋予部2b的侧面、以及第二形变赋予部2b的上表面。树脂层70可以完全覆盖第一形变赋予部2a以及第二形变赋予部2b，也可以覆盖第一形变赋予部2a以及第二形变赋予部2b的一部分。树脂层70的材质例如是聚酰亚胺。
在图3所示的例子中，俯视时，Y轴方向上的树脂层70的长度比X轴方向上的树脂层70的长度大。即，树脂层70的长边方向是Y轴方向。树脂层70的长边方向与层叠体2的长边方向一致。
第一电极80被设在第一反射镜层20上。第一电极80与第一反射镜层20欧姆接触。第一电极80与第一反射镜层20电连接。作为第一电极80，例如，使用从第一反射镜层20侧开始依次层叠了Cr层、AuGe层、Ni层、以及Au层的电极。第一电极80是用于向活性层30注入电流的一个电极。此外，虽然未图示，但第一电极80也可以被设在基板10的下表面。
第二电极82被设在接触层50上(层叠体2上)。第二电极82与接触层50欧姆接触。在图示的例子中，第二电极82还在树脂层70上形成。第二电极82经由接触层50，与第二反射镜层40电连接。作为第二电极82，例如，使用从接触层50侧开始依次层叠了Cr层、Pt层、Ti层、Pt层、以及Au层的电极。第二电极82是用于向活性层30注入电流的另一个电极。
第二电极82与焊盘84电连接。在图示的例子中，第二电极82经由引出布线86与焊盘84电连接。焊盘84被设在树脂层70上。焊盘84以及引出布线86的材质例如与第二电极82的材质相同。
这里，对层叠体2进行更详细的说明。层叠体2具有：第一形变赋予部2a，其具有第一宽度(X轴方向的长度)、第二形变赋予部2b，其具有第二宽度、以及共振部2c，其具有比第一宽度以及第二宽度宽的第三宽度。在图示的例子中，第一宽度与第二宽度为相同的宽度。
此外，所谓的第一宽度，例如，是指在与第一形变赋予部2a和第二形变赋予部2b对置的方向(Y轴方向)正交的方向(X轴方向)上，第一形变赋予部2a的宽度中的最大宽度。所谓的第二宽度，例如，是指在与第一形变赋予部2a和第二形变赋予部2b对置的方向正交的方向上，第二形变赋予部2b的宽度中的最大宽度。所谓的第三宽度，例如，是指在与第一形变赋予部2a和第二形变赋予部2b对置的方向正交的方向上，共振部2c的宽度中的最大宽度。
俯视时，由第一形变赋予部2a中的第一区域60与第二区域62构成氧化区域8。俯视时，将氧化区域8的宽度(X轴方向的大小)设为W1，将第一形变赋予部2a的第二反射镜层40的上表面48的宽度设为W2时，W2/W1≤3.3，更优选1.3≤W2/W1≤2.2。例如，若将第二形变赋予部2b中的氧化区域8的宽度设为W3(未图示)，则满足1.3≤W2/W3≤2.2的关系。
俯视时，在第一形变赋予部2a上画出与第一形变赋予部2a和第二形变赋予部2b对置的方向(Y轴方向)正交的虚拟直线L的情况下，第二反射镜层40的上表面48的宽度亦即W2位于虚拟直线L上。即，虚拟直线L与X轴平行，W2是第二反射镜层40的上表面48的X轴方向的长度。
在图3所示的例子中，俯视时，氧化区域8的第一部分8a与第二部分8b以夹着第二反射镜层40的上表面48方式位于与虚拟直线L重叠位置。即，第一部分8a与第二部分8b在X轴方向上夹着上表面48。在图示的例子中，第一部分8a被设在第二反射镜层40的上表面48的+X轴方向侧，第二部分8b被设在上表面48的－X轴方向侧。氧化区域8的宽度亦即W1是第一部分8a的宽度，位于虚拟直线L上。即，W1是氧化区域8的第一部分8a的X轴方向的长度。
在图4所示的例子中，剖视时，第一区域60的多个氧化层6中，最下层的氧化层6a具有与和第一形变赋予部2a的第一反射镜层20接触的端6b对置的第一端6c。另外，剖视时，第二区域62的多个氧化层16中，最上层的氧化层16a具有与第一形变赋予部2a的第二反射镜层40接触的第二端16b。俯视时，W1是从第一端6c到第二端16b的宽度。
如图4所示，第一区域60具有第一部分60a以及第二部分60b。剖视时，第一区域60的第一部分60a以及第二部分60b以夹着第一形变赋予部2a的第一反射镜层20的方式被设置。在图示的例子中，第一部分60a被设于第一反射镜层20的+X轴方向侧，第二部分60b被设于第一反射镜层20的－X轴方向侧。第一区域60的第一部分60a具有最下层的氧化层6a。
第二区域62具有第一部分62a以及第二部分62b。剖视时，第二区域62的第一部分62a以及第二部分62b以夹着第一形变赋予部2a的第二反射镜层40的方式被设置。第二区域62的第一部分62a被设在第一区域60的第一部分60a的上方。第二区域62的第二部分62b被设在第一区域60的第二部分60b的上方。第二区域62的第一部分62a具有最上的氧化层16a。
第二区域62的上表面63向基板10侧倾斜。在图示的例子中，第二区域62的上表面63相对于第二反射镜层40的上表面48向基板10侧倾斜。
图5是示意地表示面发光激光器100的俯视图。在图5中，为了方便，省略层叠体2以及树脂层70以外的部件的图示。以下，参照图5对层叠体2以及树脂层70进行详细的说明。
俯视时，Y轴方向上的层叠体2的长度Y2比X轴方向上的层叠体2的长度X2大。这里，所谓的Y轴方向上的层叠体2的长度Y2，例如，是层叠体2的长度Y2中的最大长度。在图5所示的例子中，层叠体2的长度Y2是第一形变赋予部2a的+Y轴方向侧的端部E2a与第二形变赋予部2b的－Y轴方向侧的端部E2b之间的Y轴方向上的距离。另外，所谓的X轴方向上的层叠体2的长度X2，例如，是层叠体2的长度X2中的最大长度。在图5所示的例子中，层叠体2的长度X2是共振部2c的X轴方向的长度。
俯视时，Y轴方向上的树脂层70的长度Y70比X轴方向上的树脂层70的长度X70大。这里，所谓的Y轴方向上的树脂层70的长度Y70，例如，是Y轴方向上的树脂层70的长度Y70中的最大长度。在图5所示的例子中，树脂层70的长度Y70是第一曲线C1的+Y轴方向侧的端部与第二曲线C2的－Y轴方向侧的端部之间的Y轴方向上的距离。另外，所谓的X轴方向上的树脂层70的长度X70，例如，是X轴方向上的树脂层70的长度X70中的最大长度。在图5所示的例子中，树脂层70的长度X70是第一直线S1与第二直线S2之间的X轴方向上的距离。
这样，在面发光激光器100中，俯视时，层叠体2的长边方向与树脂层70的长边方向为相同的方向(Y轴方向)。由此，在面发光激光器100中，能够使激光的偏振方向稳定。后述其理由。
X轴方向上的共振部2c的长度比X轴方向上的第一形变赋予部2a的长度或者X轴方向上的第二形变赋予部2b的长度大。这里，所谓的X轴方向上的共振部2c的长度，例如，是X轴方向上的共振部2c的长度中的最大长度。另外，所谓的X轴方向上的第一形变赋予部2a的长度，例如，是X轴方向上的第一形变赋予部2a的长度中的最大长度。另外，所谓的X轴方向上的第二形变赋予部2b的长度，例如，是X轴方向上的第二形变赋予部2b的长度中的最大长度。
俯视时，树脂层70的外缘具有第一直线S1、与第一直线S1对置的第二直线S2、与第一直线S1以及第二直线S2连续的第一曲线C1、以及与第一曲线C1对置并与第一直线S1以及第二直线S2连续的第二曲线C2。第一直线S1与第二直线S2相互平行。在图示的例子中，第一直线S1以及第二直线S2与Y轴平行。第一曲线C1以及第二曲线C2例如，具有相同的曲率。第一曲线C1位于共振部2c的+Y轴方向侧，第二曲线C2位于共振部2c的－Y轴方向侧。这里，俯视时，所谓的树脂层70的外缘，例如，是俯视时树脂层70的最外侧的边缘。
俯视时，第一形变赋予部2a与第一曲线C1从共振部2c观察位于同一侧(+Y轴方向侧)。俯视时，将第一直线S1与第一曲线C1接触的端设为第一端E1，将第二直线S2与第一曲线C1接触的端设为第二端E2的情况下，画出通过第一端E1和第二端E2的虚拟直线(第一虚拟直线)LE1－E2时，第一形变赋予部2a的端部E2a从虚拟直线LE1－ E2观察，位于共振部2c侧(－Y轴方向侧)。即，俯视时，第一形变赋予部2a不与虚拟直线LE1－E2交叉。也可以说第一形变赋予部2a的端部E2a是层叠体2的+Y轴方向侧的端。
同样地，俯视时，第二形变赋予部2b与第二曲线C2从共振部2c观察位于同一侧(－Y轴方向侧)。这里，俯视时，将第一直线S1与第二曲线C2接触的端设为第三端E3，并将第二直线S2与第二曲线C2接触的端设为第四端E4的情况下，画出通过第三端E3与第四端E4的虚拟直线LE3－E4时，第二形变赋予部2b的端部E2b从虚拟直线LE3－E4观察，位于共振部2c侧(+Y轴方向侧)。即，俯视时，第二形变赋予部2b不与虚拟直线LE3－E4交叉。也可以说第二形变赋予部2b的端部E2b是层叠体2的－Y轴方向侧的端。
俯视时，树脂层70是关于通过共振部2c的中心O2c的X轴方向的虚拟直线(第三虚拟直线)LO2cX线对称的形状。另外，俯视时，树脂层70是关于通过共振部2c的中心O2c的Y轴方向的虚拟直线LO2cY线对称的形状。树脂层70的中心O70与共振部2c的中心O2c例如一致。
此外，树脂层70的平面形状只要是具有长边方向的形状则并不特别限定。树脂层70的平面形状例如，也可以是长边与Y轴方向平行的长方形。另外，例如，树脂层70的平面形状也可以不是关于虚拟直线LO2cX、虚拟直线LO2cY线对称的形状。另外，共振部2c的中心O2c与树脂层70的中心O70也可以不一致。
在面发光激光器100中，作为基板10，使用了主面为(001)面的(001)GaAs基板的情况下，+X轴方向为[1－10]方向，+Y轴方向为[110]方向。因此，树脂层70的长边方向以及层叠体2的长边方向为[110]方向。另外，第一形变赋予部2a从共振部2c向[110]方向延伸，第二形变赋予部2b从共振部2c向[－1－10]方向延伸。另外，如图1所示，面发光激光器100的平面形状(基板10的平面形状)为长方形(包含正方形)，由与[110]方向平行的两个边、以及与[1－10]方向平行的两个边构成。
此外，树脂层70的长边方向以及层叠体2的长边方向并不限定于[110]方向，例如，能够为＜110＞方向。
在面发光激光器100中，如上述那样，层叠体2的长边方向能够为＜110＞方向。由此，能够使电流狭窄层42的开口部43(参照图3)的平面形状为分别关于通过开口部43的中心并与X轴平行的轴、以及通过开口部43的中心并与Y轴平行的轴对称的形状。以下，对其理由进行说明。
电流狭窄层42通过从层叠体2的侧面开始使半导体层(后述的被氧化层42a)氧化来形成。在(001)GaAs基板中，＜100＞方向的氧化速度较快。因此，电流狭窄层42的开口部43的平面形状从开口部43的中心观察，追随[100]方向、[010]方向、[－100]方向、[0－10]方向上的层叠体2的外缘的形状。
在面发光激光器100中，层叠体2的长边方向，即第一形变赋予部2a以及第二形变赋予部2b延伸的方向为＜110＞方向(在图示的例子中，为[110]方向、[－1－10]方向)，所以追随了[100]方向、[010]方向、[－100]方向、以及[0－10]方向上的层叠体2的外缘的形状的结果，能够使电流狭窄层42的开口部43成为分别关于通过开口部43的中心的与X轴平行的轴、以及与Y轴平行的轴对称的形状。
例如，层叠体2的长边方向，即、形变赋予部2a、2b的长边方向为＜110＞方向以外的方向的情况下，开口部43的平面形状不成为分别关于通过开口部43的中心并与X轴平行的轴、以及通过开口部43的中心并与Y轴平行的轴对称的形状，而成为扭曲的形状。
在图3所示的例子中，电流狭窄层42的开口部43的平面形状为与Y轴方向平行的对角线比与X轴方向平行的对角线长的菱形。此外，电流狭窄层42的开口部43的平面形状也可以是菱形的角、边具有曲率的形状。
此外，这里，对树脂层70的长边方向以及层叠体2的长边方向为[110]方向的例子进行了说明，但只要树脂层70的长边方向以及层叠体2的长边方向一致，则晶面取向并不特别限定。
在上述中，对AlGaAs系的面发光激光器进行了说明，但本发明的面发光激光器根据振荡波长，例如，也可以使用GaInP系、ZnSSe系、InGaN系、AlGaN系、InGaAs系、GaInNAs系、GaAsSb系的半导体材料。
面发光激光器100例如，具有以下的特征。
在面发光激光器100中，俯视时，Y轴方向上的层叠体2的长度Y2比X轴方向上的层叠体2的长度X2大，俯视时，Y轴方向上的树脂层70的长度Y70比X轴方向上的树脂层70的长度X70长。因此，在面发光激光器100中，由形变赋予部2a、2b以及树脂层70双方赋予活性层30应力，能够使激光的偏振方向稳定(参照后述的实验例)。因此，例如，与仅以树脂层70(或者形变赋予部2a、2b)赋予给活性层30应力的情况相比，能够进一步使激光的偏振方向稳定。
在面发光激光器100中，像这样，能够使激光的偏振方向稳定，所以例如，将面发光激光器100作为原子振荡器的光源使用的情况下，能够经由λ/4板，稳定地向气体电池照射圆偏振光的光。其结果，能够提高原子振荡器的频率稳定度。例如，从面发光激光器射出的激光的偏振方向不稳定的情况下，存在经由λ/4板得到的光成为椭圆偏振光的情况、圆偏振光的旋转方向变动的情况。
这样，在面发光激光器100中，能够使激光的偏振方向稳定，所以能够经由λ/4板，稳定地向气体电池照射圆偏振光的光，能够提高原子振荡器的频率稳定性。
在面发光激光器100中，俯视时，树脂层70的外缘具有第一直线S1、与第一直线S1对置的第二直线S2、与第一直线S1以及第二直线S2连续的第一曲线C1、以及与第一曲线C1对置并与第一直线S1以及第二直线S2连续的第二曲线C2。因此，与在第一直线S1以及第二直线S2和第一曲线C1连续的位置，第一曲线C1为直线形状的情况相比，应力不集中。因此，在该位置，不容易产生裂缝。另外，由于相同的理由，在第一直线S1以及第二直线S2与第二曲线C2连续的位置，不容易产生裂缝。
在面发光激光器100中，俯视时，第一形变赋予部2a与第一曲线C1从共振部2c观察位于同一侧，俯视时，将第一直线S1与第一曲线C1接触的端设为第一端E1，并将第二直线S2与第一曲线C1接触的端设为第二端E2的情况下，画出通过第一端E1和第二端E2的虚拟直线LE1－E2时，第一形变赋予部2a的端部E2a从虚拟直线观察位于共振部2c侧。因此，即使假设在第一直线S1以及第二直线S2与第一曲线C1连续的位置产生了裂缝，但由于第一形变赋予部2a的端部E2a与该位置相比位于内侧亦即共振部2c侧，所以也能够抑制该裂缝到达第一形变赋予部2a。因此，在面发光激光器100中，能够提高对层叠体2的保护性能。
同样地，在面发光激光器100中，俯视时，将第一直线S1与第二曲线C2接触的端设为第三端E3，并将第二直线S2与第二曲线C2接触的端设为第四端E4的情况下，画出通过第三端E3和第四端E4的虚拟直线LE3－E4时，第二形变赋予部2b的端部E2b从虚拟直线LE3－E4观察位于共振部2c侧。因此，即使假设在第一直线S1以及第二直线S2与第二曲线C2连续的位置产生了裂缝，也能够抑制该裂缝到达第二形变赋予部2b。
在面发光激光器100中，俯视时，树脂层70为关于通过共振部2c的中心O2c的X轴方向的虚拟直线LO2cX线对称的形状。因此，在面发光激光器100中，能够使激光的偏振方向稳定。
在面发光激光器100中，树脂层70的材质为聚酰亚胺。这里，聚酰亚胺是通过给予热量而固化的树脂。聚酰亚胺在用于使该聚酰亚胺固化的加热工序(固化工序)中收缩。并且，聚酰亚胺在从上述加热工序向常温返回时收缩。由于该聚酰亚胺的收缩，能够对活性层30赋予较大的应力。因此，在面发光激光器100中，能够使激光的偏振方向稳定。
在面发光激光器100中，俯视时，由第一形变赋予部2a的第一区域60和第二区域62构成氧化区域8，将氧化区域8的宽度设为W1，并将第一形变赋予部2a的第二反射镜层40的上表面48的宽度设为W2时，W2/W1≤3.3。由此，在面发光激光器100中，能够通过氧化区域8使活性层30产生较大的形变，能够使激光的偏振方向稳定(参照后述的实验例)。
在面发光激光器100中，W2/W1≤2.2。由此，在面发光激光器100中，能够进一步使激光的偏振方向稳定(参照后述的实验例)。
在面发光激光器100中，1.3≤W2/W1≤2.2。由此，在面发光激光器100中，能够更进一步地使激光的偏振方向稳定(参照后述的实验例)。
1.2.面发光激光器的制造方法
接下来，参照附图对第一实施方式的面发光激光器的制造方法进行说明。图6～图9是示意地表示第一实施方式的面发光激光器100的制造工序的剖视图，与图2对应。
如图6所示，使第一反射镜层20、活性层30、被氧化而成为电流狭窄层42的被氧化层42a、第二反射镜层40、以及接触层50依次在基板10上外延生长。作为使其外延生长的方法，例如，能够列举MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition：金属有机化学气相沉积)法、MBE(Molecular Beam Epitaxy：分子束外延)法。
如图7所示，对接触层50、第二反射镜层40、被氧化层42a、活性层30、以及第一反射镜层20进行图案化，形成层叠体2。图案化例如，通过光刻以及蚀刻进行。
如图8所示，氧化被氧化层42a，形成电流狭窄层42。被氧化层42a例如，是AlxGa1－xAs(x≥0.95)层。例如，在400℃左右的水蒸气环境中，投入形成了层叠体2的基板10，从而从侧面开始氧化AlxGa1－ xAs(x≥0.95)层，形成电流狭窄层42。
在面发光激光器100的制造方法中，在上述的氧化工序中，从侧面氧化构成第一反射镜层20的层形成第一区域60。并且，从侧面氧化构成第二反射镜层40的层形成第二区域62。具体而言，通过400℃左右的水蒸气环境，构成反射镜层20、40的Al0.9Ga0.1As层的砷被置换为氧，形成区域60、62。区域60、62例如从400℃左右的高温向室温返回时收缩，第二区域62的上表面63向基板10侧倾斜(参照图4)。第一形变赋予部2a以及第二形变赋予部2b能够赋予给活性层30起因于区域60、62的收缩的形变(应力)。
如图9所示，以包围层叠体2的方式形成树脂层70。树脂层70例如，使用旋涂法等在第一反射镜层20的上表面以及层叠体2的整个面形成由聚酰亚胺树脂等构成的层，并通过对该层进行图案化来形成。图案化例如，通过光刻以及蚀刻进行。接下来，通过加热处理(固化)使树脂层70固化。通过本加热处理，树脂层70收缩。并且，树脂层70在从加热处理向常温返回时收缩。
如图2所示，在接触层50上以及树脂层70上形成第二电极82，在第一反射镜层20上形成第一电极80。电极80、82例如，通过真空蒸镀法以及剥离法的组合等形成。此外，形成电极80、82的顺序并不特别限定。另外，也可以利用形成第二电极82的工序形成焊盘84以及引出布线86(参照图1)。
通过以上的工序，能够制造面发光激光器100。
1.3.实验例
以下，示出实验例，对本发明进行具体的说明。此外，本发明并不被以下的实验例进行任何限定。
(1)第一实验例
首先，对第一实验例进行说明。图10是示意地表示第一实验例的面发光激光器M1的俯视图。在图10中，为了方便，省略层叠体2以及树脂层70以外的部件的图示。
在面发光激光器M1中，层叠体2的长边方向以及树脂层70的长边方向为Y轴方向。另外，第一形变赋予部2a以及第二形变赋予部2b的X轴方向的长度(宽度)为12μm左右。另外，共振部2c的中心O2c与第一形变赋予部2a的端部E2a之间的距离为50μm左右。另外，共振部2c的直径为20μm左右。树脂层70的Y轴方向的长度为300μm左右，树脂层70的X轴方向的长度为100μm左右。另外，形变赋予部2a、2b被树脂层70完全覆盖。另外，树脂层70的材质为聚酰亚胺。面发光激光器M1的构成与上述的面发光激光器100的构成相同。
在本实验例中，经由偏振滤光器测定面发光激光器M1的光输出。具体而言，向面发光激光器M1供给单模振荡的规定的电流(在本实验中为2mA)，并使从面发光激光器M1射出的光通过在X轴方向具有偏振透光轴的偏振滤光器，来测定光输出。准备多个面发光激光器M1，进行上述的测定。
另外，作为参考例，准备了面发光激光器M2、M3、M4。图11～图13是示意地表示参考例的面发光激光器M2、M3、M4的俯视图。此外，在图11～13中，为了方便，省略层叠体2以及树脂层70以外的部件的图示。
如图11所示，面发光激光器M2在不具有形变赋予部2a、2b这一点与面发光激光器M1不同。面发光激光器M2的层叠体2的平面形状为圆形。
如图12所示，面发光激光器M3在俯视时层叠体2的长边方向与树脂层70的长边方向为不同的方向这一点与面发光激光器M1不同。具体而言，在面发光激光器M3中，层叠体2的长边方向为Y轴方向，树脂层70的长边方向为相对于Y轴倾斜了45°的方向。另外，共振部2c的中心O2c与树脂层70的中心不一致。
如图13所示，面发光激光器M4在俯视时层叠体2的长边方向与树脂层70的长边方向为不同的方向这一点与面发光激光器M1不同。具体而言，在面发光激光器M4中，层叠体2的长边方向为X轴方向，树脂层70的长边方向为Y轴方向。
面发光激光器M2、M3、M4除了上述的点之外，具有与面发光激光器M1相同的构成。
对于面发光激光器M2、M3、M4，也利用与面发光激光器M1的情况相同的方法测定光输出。
图14是表示面发光激光器M1的实验结果的直方图。图15是表示面发光激光器M2的实验结果的直方图。图16是表示面发光激光器M3的实验结果的直方图。图17是表示面发光激光器M4的实验结果的直方图。此外，在图14～图17所示的直方图中，横轴为光输出[mW]，纵轴为元件的数目[个]。
在面发光激光器M1中，如图14所示，光输出为1.3～1.4mW的元件的数目最多，与其他的面发光激光器M2、M3、M4相比，光输出的偏差也较少。
这里，在面发光激光器M1～M4中，供给了2mA的电流的情况下，光输出为1.4mW左右。因此，在本实验例中，对于光输出为1.4mW左右的元件来说，射出的激光几乎不被偏振滤光器吸收而通过。即，光输出为1.4mW左右的元件可以说激光仅向X轴方向偏振。另外，例如光输出为0mW的元件可以说激光仅向Y轴方向偏振。
因此，根据图14所示的实验结果，可知面发光激光器M1能够稳定地射出向X轴方向偏振的激光。
在参考例的面发光激光器M2中，如图15所示，光输出为0～0.1mW的元件的数目最多，但光输出也在1.3～1.4mW存在峰值，与面发光激光器M1相比，光输出的偏差较多。因此，可知面发光激光器M2的激光的偏振方向不稳定。
在参考例的面发光激光器M3中，如图16所示，光输出不均。因此，可知面发光激光器M3的激光的偏振方向不稳定。
在参考例的面发光激光器M4中，如图17所示，光输出在0～0.1mW以及1.3～1.4mW具有峰值。因此，可知在面发光激光器M4中，激光的偏振方向在X轴方向与Y轴方向两个方向稳定。即，可以说面发光激光器M4的激光在两个方向稳定。
这样，根据本实验例，可知层叠体2的长边方向与树脂层70的长边方向为相同的方向时，偏振光方向在一个方向稳定。
(2)第二实验例
在第二实验例中，使用了图3所示的W1与W2的比W2/W1不同的面发光激光器(类型A～D)。图18～图21是表示类型A～D的层叠体的照片，是使用共焦激光显微镜拍摄的照片。此外，在图18～图20中，(a)表示层叠体的整体图，(b)表示层叠体的形变赋予部的放大图。
如图18所示，类型A的形变赋予部的宽度为6μm，W2/W1为1.3。如图19所示，类型B的形变赋予部的宽度为8μm，W2/W1为2.2。如图20所示，类型C的形变赋予部的宽度为10μm，W2/W1为3.3。如图21所示，类型D的形变赋予部的宽度为12μm，W2/W1为4.3。此外，本实验例所使用的面发光激光器的构成与上述的面发光激光器100的构成相同。
在本实验例中，经由偏振滤光器测定类型A～D的光输出。具体而言，向类型A～D的面发光激光器供给0～2.5mA左右的电流，并使从类型A～D射出的光通过在X轴方向具有偏振透光轴的偏振滤光器，来测定光输出。准备多个类型A～D的各个，进行上述的测定。
在本测定中，如图22所示，将随着电流值增大而输出增大的面发光激光器作为合格品。另一方面，如图23所示，将具有即使电流值增大输出也不增大的部分(在图23的例子中，电流值为0～0.6mA左右的区域)的面发光激光器作为NG品。在图23的例子中，在电流值为0～0.6mA左右的区域中，射出的光不向X轴方向偏振，在电流值大约在0.6mA以上的区域中，射出的光向X轴方向偏振。即，在图23那样的例子中，可以说偏振光方向不稳定。
表1表示类型A～D的NG品的个数。
【表1】
根据表1可知在W2/W1≤3.3的情况下，NG品的个数在总数(测量数)的一半以下，面发光激光器的偏振方向稳定。并且，可知1.3≤W2/W1≤2.2的情况下，NG品的个数为零，面发光激光器的偏振方向更稳定。
1.4.变形例
接下来，对第一实施方式的面发光激光器的变形例进行说明。
(1)第一变形例
首先，参照附图对第一变形例进行说明。图24是示意地表示第一变形例的面发光激光器200的俯视图。在图24中，为了方便，省略层叠体2以及树脂层70以外的部件的图示。以下，在第一变形例的面发光激光器200中，对具有与上述的面发光激光器100的构成部件相同的功能的部件赋予同一符号，并省略其详细的说明。
在面发光激光器200中，如图24所示，俯视时，树脂层70在不为关于通过共振部2c的中心O2c的X轴方向的虚拟直线LO2cX线对称的形状这一点，与面发光激光器100不同。
在图24所示的例子中，俯视时，树脂层70为关于虚拟直线LO70X线对称的形状，虚拟直线LO70X位于虚拟直线LO2cX的+Y轴方向侧。在面发光激光器200中，俯视时，树脂层70的中心O70与共振部2c的中心O2c不一致。
在面发光激光器200中，与面发光激光器100相同，能够使激光的偏振方向稳定(参照下述的实验例)。
以下，示出实验例，并对本发明进行具体的说明。此外，本发明并不被以下的实验例进行任何限定。
图25是示意地表示本实验例的面发光激光器M5的俯视图。在图25中，为了方便，省略层叠体2以及树脂层70以外的部件的图示。在面发光激光器M5中，如图25所示，俯视时，树脂层70在不为关于通过共振部2c的中心O2c的X轴方向的虚拟直线LO2cX线对称的形状这一点，与图10所示的面发光激光器M1不同。面发光激光器M5除了上述的点之外，具有与面发光激光器M1相同的构成。
在本实验例中，与第一实验例相同，经由偏振滤光器测定面发光激光器M5的光输出。
图26是表示面发光激光器M5的实验结果的直方图。在图26所示的直方图中，横轴是光输出[mW]，纵轴是元件的数目[个]。
在面发光激光器M5中，如图26所示，光输出为1.3～1.4mW的元件的数目最多，与参考例的面发光激光器M2、M3、M4相比，光输出的偏差也较少。例如，与面发光激光器M1相比，偏差的程度也为同等程度。
因此，根据图26所示的结果，可知面发光激光器M5能够稳定地射出向X轴方向偏振的激光。
这样，可知在面发光激光器中，即使在树脂层70不为关于虚拟直线LO2cX线对称的形状的情况下，只要层叠体2的长边方向与树脂层70的长边方向为相同的方向，则偏振光方向也在一个方向稳定。
(2)第二变形例
接下来，参照附图对第二变形例进行说明。图27是示意地表示第二变形例的面发光激光器201的剖视图，与图2对应。以下，在面发光激光器201中，对与上述的面发光激光器100的例子不同的点进行说明，并省略相同点的说明。
在面发光激光器100中，如图2所示，层叠体2的侧面相对于基板10的上表面倾斜。与此相对，在面发光激光器201中，如图27所示，层叠体2的侧面相对于基板10的上表面垂直。
在面发光激光器201中，与面发光激光器100相同，也能够使激光的偏振方向稳定。
2.第二实施方式
接下来，参照附图对第二实施方式的面发光激光器进行说明。图28以及图29是示意地表示第二实施方式的面发光激光器300的俯视图。此外，在图29中，省略面发光激光器300的层叠体2以外的部件的图示。以下，在第二实施方式的面发光激光器300中，对具有与上述的面发光激光器100的构成部件相同的功能的部件赋予同一符号，并省略其详细的说明。
在面发光激光器300中，如图28以及图29所示，在层叠体2的平面形状为椭圆形这一点，与上述的面发光激光器100不同。
如图29所示，层叠体2在俯视时，Y轴方向上的长度Y2比X轴方向上的长度X2大。即，层叠体2具有俯视时具有Y轴方向的长边方向的形状。在图29所示的例子中，层叠体2的平面形状为具有长轴a以及短轴b的椭圆，长轴a与Y轴方向平行，短轴b与X轴方向平行。
此外，层叠体2的平面形状并不限定于椭圆。图30是示意地表示面发光激光器300的变形例的俯视图。此外，在图30中，省略层叠体2以外的部件的图示。
如图30所示，层叠体2的平面形状也可以为长方形(除了正方形之外)。如图30所示，层叠体2在俯视时，Y轴方向上的长度Y2比X轴方向上的长度X2大。即，层叠体2具有俯视时具有Y轴方向的长边方向的形状。在图30所示的例子中，层叠体2的平面形状为长方形，长方形的长边与Y轴方向平行，长方形的短边与X轴方向平行。
层叠体2不具有形变赋予部2a、2b(参照图3等)，共振部2c通过具有在Y轴方向具有长边方向的形状，赋予给活性层30各向异性应力(形变)。
在面发光激光器300中，俯视时，Y轴方向上的层叠体2的长度Y2比X轴方向上的层叠体2的长度X2大，俯视时，Y轴方向上的树脂层70的长度Y70比X轴方向上的树脂层70的长度X70长。俯视时，Y轴方向上的层叠体2的长度Y2比X轴方向上的层叠体2的长度X2长，所以能够赋予给活性层30各向异性应力。因此，能够赋予给活性层30因该层叠体2的形状而产生的应力、以及因树脂层70而产生的应力，使激光的偏振方向稳定。因此，例如，与仅利用树脂层70赋予给活性层30应力的情况相比，能够使激光的偏振方向更稳定。
此外，面发光激光器300的制造方法与上述的面发光激光器100的制造方法相同，省略其说明。
3.第三实施方式
接下来，参照附图对第三实施方式的原子振荡器进行说明。图31是表示第三实施方式的原子振荡器1000的功能框图。
如图31所示，原子振荡器1000包含光学模块1100、中心波长控制部1200、以及高频控制部1300而构成。
光学模块1100具有本发明的面发光激光器(在图示的例子中，是面发光激光器100)、气体电池1110、以及光检测部1120。
图32是表示面发光激光器100射出的光的光谱的图。图33是表示碱金属原子的Λ型三能级模型与第一边带波W1以及第二边带波W2的关系的图。从面发光激光器100射出的光包含如图32所示的、具有中心频率f0(＝c/λ0：c是光的速度，λ0是激光的中心波长)的基波F、相对于中心频率f0在上边带具有频率f1的第一边带波W1、以及相对于中心频率f0在下边带具有频率f2的第二边带波W2。第一边带波W1的频率f1为f1＝f0+fm，第二边带波W2的频率f2为f2＝f0－fm。
如图33所示，第一边带波W1的频率f1与第二边带波W2的频率f2的频率差与和碱金属原子的基态能级GL1与基态能级GL2的能量差ΔE12相当的频率一致。因此，碱金属原子由于具有频率f1的第一边带波W1、和具有频率f2的第二边带波W2引起EIT现象。
气体电池1110在容器中封入有气体状的碱金属原子(钠原子、铷原子、铯原子等)。若对该气体电池1110照射具有与碱金属原子的两个基态能级的能量差相当的频率(波长)的两个光波，则碱金属原子引起EIT现象。例如，若碱金属原子为铯原子，则D1线上的相当于基态能级GL1和基态能级GL2的能量差的频率为9.19263···GHz，所以若照射频率差为9.19263···GHz的两个光波则引起EIT现象。
光检测部1120检测透过了被封入在气体电池1110内的碱金属原子的光的强度。光检测部1120输出与透过碱金属原子的光的量对应的检测信号。作为光检测部1120，例如，使用光电二极管。
中心波长控制部1200产生与光检测部1120输出的检测信号对应的大小的驱动电流并供给至面发光激光器100，控制面发光激光器100射出的光的中心波长λ0。通过经过了面发光激光器100、气体电池1110、光检测部1120、以及中心波长控制部1200的反馈环路，面发光激光器100射出的激光的中心波长λ0被微调而稳定。
高频控制部1300基于光检测部1120输出的检测结果，以第一边带波W1以及第二边带波W2的波长(频率)差与和被封入气体电池1110的碱金属原子的两个基态能级的能量差相当的频率相等的方式进行控制。高频控制部1300产生具有与光检测部1120输出的检测结果对应的调制频率fm(参照图32)的调制信号。
通过经过了面发光激光器100、气体电池1110、光检测部1120、以及高频控制部1300的反馈环路，以第一边带波W1与第二边带波W2的频率差极其正确地与和碱金属原子的两个基态能级的能量差相当的频率一致的方式实施反馈控制。其结果，调制频率fm成为极其稳定的频率，所以能够将调制信号作为原子振荡器1000的输出信号(时钟输出)。
接下来，参照图31～图33对原子振荡器1000的动作进行说明。
从面发光激光器100射出的激光射入气体电池1110。从面发光激光器100射出的光包含具有与碱金属原子的两个基态能级的能量差相当的频率(波长)的两个光波(第一边带波W1、第二边带波W2)，碱金属原子引起EIT现象。利用光检测部1120检测透过气体电池1110的光的强度。
中心波长控制部1200以及高频控制部1300以第一边带波W1与第二边带波W2的频率差极其正确地与和碱金属原子的两个基态能级的能量差相当的频率一致的方式进行反馈控制。在原子振荡器1000中，利用EIT现象，检测第一边带波W1与第二边带波W2的频率差f1－f2偏离与基态能级GL1和基态能级GL2的能量差ΔE12相当的频率时的光吸收举动的急剧的变化并控制，从而能够制作高精度的振荡器。
上述的实施方式以及变形例是一个例子，并不限定于这些实施方式以及变形例。例如，也能够适当地组合各实施方式以及各变形例。
本发明包含与实施方式所说明的构成实质上相同的构成(例如，功能、方法以及结果相同的构成，或者目的以及效果相同的构成)。另外，本发明包含置换了实施方式所说明的构成的非本质的部分的构成。另外，本发明包含能够起到与实施方式所说明的构成相同的作用效果的构成或者实现相同的目的的构成。另外，本发明包含对实施方式所说明的构成附加了公知技术的构成。
附图符号说明
2…层叠体，2a…第一形变赋予部，2b…第二形变赋予部，2c…共振部，4…层，6、6a…氧化层，6b…端，6c…第一端，8…氧化区域，8a…第一部分，8b…第二部分，10…基板，14…层，16、16a…氧化层，16b…第二端，20…第一反射镜层，24…高折射率层，26…低折射率层，30…活性层，40…第二反射镜层，42…电流狭窄层，42a…被氧化层，43…开口部，44…高折射率层，46…低折射率层，48…上表面，50…接触层，60…第一区域，60a…第一部分，60b…第二部分，62…第二区域，62a…第一部分，62b…第二部分，63…上表面，70…树脂层，80…第一电极，82…第二电极，84…焊盘，86…引出布线，100、200、201、300…面发光激光器，1000…原子振荡器，1100…光学模块，1110…气体电池，1120…光检测部，1200…中心波长控制部，1300…高频控制部，C1…第一曲线，C2…第二曲线，E1…第一端，E2…第二端，E3…第三端，E4…第四端，E2a、E2b…端部，S1…第一直线，S2…第二直线

Claims (33)

1.一种面发光激光器，其特征在于，包含：
基板；
层叠体，其被设置在所述基板上方；以及
树脂层，其至少被设置在所述层叠体的侧面，
所述层叠体至少包含被设置在所述基板上方的第一反射镜层、被设置在所述第一反射镜层上方的活性层、以及被设置在所述活性层上方的第二反射镜层，
在俯视时，第一方向上的所述层叠体的长度比与所述第一方向正交的第二方向上的所述层叠体的长度长，
在所述俯视时，所述第一方向上的所述树脂层的长度比所述第二方向上的所述树脂层的长度长。
2.根据权利要求1所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，所述层叠体包含第一部分、第二部分、以及被设置在所述第一部分与所述第二部分之间的第三部分，
所述第一部分与所述第二部分在所述第一方向对置，
在所述俯视时，所述第二方向上的所述第三部分的长度比所述第二方向上的所述第一部分的长度或者所述第二部分的长度长。
3.根据权利要求2所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，所述树脂层的外缘具有第一直线、与所述第一直线对置的第二直线、与所述第一直线以及所述第二直线连续的第一曲线、以及与所述第一曲线对置并且与所述第一直线以及所述第二直线连续的第二曲线。
4.根据权利要求3所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，所述第一部分与所述第一曲线从所述第三部分观察位于同一侧，
在所述俯视时，将所述第一直线与所述第一曲线连接的端设为第一端，并将所述第二直线与所述第一曲线连接的端设为第二端的情况下，画出通过第一端与第二端的第一虚拟直线时，所述第一部分的端部从所述第一虚拟直线观察位于所述第三部分侧。
5.根据权利要求2～4的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
所述层叠体还包含被设置在所述第一反射镜层与所述第二反射镜层之间的电流狭窄层、包含与所述第一反射镜层连续而设置的多个氧化层的第一区域、以及包含与所述第二反射镜层连续而设置的多个氧化层的第二区域，
在所述俯视时，由所述层叠体的所述第一部分的所述第一区域与所述第二区域构成氧化区域，
在所述俯视时，将所述氧化区域的宽度设为W1，并将所述第一部分的所述第二反射镜层的上表面的宽度设为W2时，W2/W1≤3.3。
6.根据权利要求5所述的面发光激光器，其特征在于，
W2/W1≤2.2。
7.根据权利要求5或者6所述的面发光激光器，其特征在于，
1.3≤W2/W1。
8.根据权利要求5～7的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，在所述第一部分上画出与所述第一方向正交的第二虚拟直线的情况下，所述第二反射镜层的所述上表面的宽度亦即W2位于所述第二虚拟直线上。
9.根据权利要求8所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，所述氧化区域的第一部分与第二部分以夹着所述第二反射镜层的所述上表面的方式存在于与所述第二虚拟直线重叠的位置，
所述氧化区域的宽度亦即W1是所述氧化区域的所述第一部分的宽度，
所述氧化区域的宽度亦即W1位于所述第二虚拟直线上。
10.根据权利要求2～4的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
所述层叠体还包含被设置在所述第一反射镜层与所述第二反射镜层之间的电流狭窄层、包含与所述第一反射镜层连续而设置的多个氧化层的第一区域、以及包含与所述第二反射镜层连续而设置的多个氧化层的第二区域，
在剖视时，所述第一区域的多个氧化层中、最下层的氧化层具有对置于和所述第一部分的所述第一反射镜层连接的端的第一端，
在所述剖视时，所述第二区域的多个氧化层中、最上层的氧化层具有与所述第一部分的所述第二反射镜层连接的第二端，
在所述俯视时，将从所述第一端到所述第二端的宽度设为W1，并将所述第一部分的所述第二反射镜层的上表面的宽度设为W2时，W2/W1≤3.3。
11.根据权利要求10所述的面发光激光器，其特征在于，
W2/W1≤2.2。
12.根据权利要求10或者11所述的面发光激光器，其特征在于，
1.3≤W2/W1。
13.根据权利要求10～12的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，在所述第一部分上画出与所述第一方向正交的第二虚拟直线的情况下，所述第二反射镜层的上表面的宽度亦即W2位于所述第二虚拟直线上。
14.根据权利要求13所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述剖视时，所述第一区域的第一部分与第二部分以夹着所述层叠体的所述第一部分的所述第一反射镜层的方式存在，
在所述剖视时，在所述第一区域的所述第一部分的上方所述第二区域的第一部分、与在所述第一区域的所述第二部分的上方所述第二区域的第二部分以夹着所述层叠体的所述第一部分的所述第二反射镜层的方式存在，
所述第一区域的所述第一部分具有所述最下层的氧化层，
所述第二区域的所述第一部分具有所述最上层的氧化层，
所述最下层的氧化层的所述第一端到所述最上层的氧化层的所述第二端的宽度亦即W1位于所述第二虚拟直线上。
15.根据权利要求2～14的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，所述树脂层是相对于通过所述第三部分的中心的所述第二方向的第三虚拟直线线对称的形状。
16.根据权利要求2～14的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，所述树脂层不是相对于通过所述第三部分的中心的所述第二方向的第三虚拟直线线对称的形状。
17.根据权利要求1所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，所述层叠体包含第一形变赋予部、第二形变赋予部、以及被设置在所述第一形变赋予部与所述第二形变赋予部之间并使所述活性层产生的光共振的共振部，
所述第一形变赋予部与所述第二形变赋予部在所述第一方向对置，
在所述俯视时，所述第二方向上的所述共振部的长度比所述第二方向上的所述第一形变赋予部的长度或者所述第二形变赋予部的长度长。
18.根据权利要求17所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，所述树脂层的外缘具有第一直线、与所述第一直线对置的第二直线、与所述第一直线以及所述第二直线连续的第一曲线、以及与所述第一曲线对置并与所述第一直线以及所述第二直线连续的第二曲线。
19.根据权利要求18所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，所述第一形变赋予部与所述第一曲线从所述共振部观察位于同一侧，
在所述俯视时，将所述第一直线与所述第一曲线连接的端设为第一端，并将所述第二直线与所述第一曲线连接的端设为第二端的情况下，画出通过第一端与第二端的第一虚拟直线时，所述第一形变赋予部的端部从所述第一虚拟直线观察位于所述共振部侧。
20.根据权利要求17～19的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
所述层叠体还包含被设置在所述第一反射镜层与所述第二反射镜层之间的电流狭窄层、包含与所述第一反射镜层连续而设置的多个氧化层的第一区域、以及包含与所述第二反射镜层连续而设置的多个氧化层的第二区域，
在所述俯视时，由所述层叠体的所述第一形变赋予部的所述第一区域与所述第二区域构成氧化区域，
在所述俯视时，将所述氧化区域的宽度设为W1，并将所述第一形变赋予部的所述第二反射镜层的上表面的宽度设为W2时，W2/W1≤3.3。
21.根据权利要求20所述的面发光激光器，其特征在于，
W2/W1≤2.2。
22.根据权利要求20或者21所述的面发光激光器，其特征在于，
1.3≤W2/W1。
23.根据权利要求20～22的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，在所述第一形变赋予部上画出与所述第一方向正交的第二虚拟直线的情况下，所述第二反射镜层的所述上表面的宽度亦即W2位于所述第二虚拟直线上。
24.根据权利要求23所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，所述氧化区域的第一部分与第二部分以夹着所述第二反射镜层的所述上表面的方式存在于与所述第二虚拟直线重叠的位置，
所述氧化区域的宽度亦即W1是所述氧化区域的所述第一部分的宽度，
所述氧化区域的宽度亦即W1位于所述第二虚拟直线上。
25.根据权利要求17～19的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
所述层叠体还包含被设置在所述第一反射镜层与所述第二反射镜层之间的电流狭窄层、包含与所述第一反射镜层连续而设置的多个氧化层的第一区域、以及包含与所述第二反射镜层连续而设置的多个氧化层的第二区域，
在剖视时，所述第一区域的多个氧化层中、最下层的氧化层具有对置于和所述第一形变赋予部的所述第一反射镜层连接的端的第一端，
在所述剖视时，所述第二区域的多个氧化层中、最上层的氧化层具有与所述第一形变赋予部的所述第二反射镜层连接的第二端，
在所述俯视时，将从所述第一端到所述第二端的宽度设为W1，并将所述第一形变赋予部的所述第二反射镜层的上表面的宽度设为W2时，W2/W1≤3.3。
26.根据权利要求25所述的面发光激光器，其特征在于，
W2/W1≤2.2。
27.根据权利要求25或者26所述的面发光激光器，其特征在于，
1.3≤W2/W1。
28.根据权利要求25～27的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，在所述第一形变赋予部上画出与所述第一方向正交的第二虚拟直线的情况下，所述第二反射镜层的上表面的宽度亦即W2位于所述第二虚拟直线上。
29.根据权利要求28所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述剖视时，所述第一区域的第一部分与第二部分以夹着所述层叠体的所述第一形变赋予部的所述第一反射镜层的方式存在，
在所述剖视时，在所述第一区域的所述第一部分的上方所述第二区域的第一部分、与在所述第一区域的所述第二部分的上方所述第二区域的第二部分以夹着所述层叠体的所述第一形变赋予部的所述第二反射镜层的方式存在，
所述第一区域的所述第一部分具有所述最下层的氧化层，
所述第二区域的所述第一部分具有所述最上层的氧化层，
从所述最下层的氧化层的所述第一端到所述最上层的氧化层的所述第二端的宽度亦即W1位于所述第二虚拟直线上。
30.根据权利要求17～29的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，所述树脂层是相对于通过所述共振部的中心的所述第二方向的第三虚拟直线线对称的形状。
31.根据权利要求17～29的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
在所述俯视时，所述树脂层不是相对于通过所述共振部的中心的所述第二方向的第三虚拟直线线对称的形状。
32.根据权利要求1～31的任意一项所述的面发光激光器，其特征在于，
所述树脂层的材质为聚酰亚胺。
33.一种原子振荡器，其特征在于，
包含权利要求1～32的任意一项所述的面发光激光器。
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