CN104730743B - 真空贴合设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种真空贴合设备，用于从机械手受取待贴合基板后，将待贴合基板进行贴合；所述真空贴合设备包括：相对设置的两基台；以及用于从机械手受取待贴合基板时，对机械手的伸入至两基台之间的部分进行支撑，以使机械手上吸附的待贴合基板保持水平的支撑部件，所述支撑部件设置于至少一基台上。本发明所提供的真空贴合设备能够保证吸附杆吸取基板时的平整度，提高贴合精度，并减少单件工时。

Description

真空贴合设备

技术领域

本发明涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种真空贴合设备。

背景技术

在TFT-LCD行业的封装工艺中，通常采用真空贴合设备(Vacuum Aligner System，简称VAS)将涂布Sealant(密封剂)的上基板玻璃和涂布LC(液晶)的下基板玻璃在真空条件下进行对位贴合，从而得到贴合基板。

如图1所示，真空贴合设备通常包括固定于基座上的下基台20和与下基台20配合的上基台10。上基台10中心部设有上腔室11，上腔室11内安装有上吸附基板12(Table)，上吸附基板12上设置有可上下移动的多个吸附杆13(Support Pad)；下基台20中心部设有下腔室21，下腔室21内安装有下吸附基板22，下吸附基板22上设置有可上下移动的支撑杆23。

如图1和图2所示，当真空贴合设备工作时，首先，机械手40的牙叉伸入真空贴合设备内，真空贴合设备的上基台10上的吸附杆13从机械手40(Robot Hand)上受取涂布Sealant的上基板玻璃50，吸附杆再上移将上基板玻璃50移至上吸附基板12的表面，然后，通过上吸附基板12的真空吸附将上基板玻璃50固定在上吸附基板12的表面；然后，通过机械手40将涂布LC的下基板玻璃置于支撑杆上，支撑杆再下移将下基板玻璃移至下吸附基板22的表面，然后通过下吸附基板22的真空吸附将下基板玻璃固定在下吸附基板22的表面；上基台10在动力系统的带动下慢慢落下，与下基台20紧密贴合，完成贴合工作。

目前现有的真空贴合设备存在着以下问题：

如图2所示，在机械手40(Robot Fork)的牙叉伸进设备内时，因牙叉以及上基板玻璃重力原因，机械手40的牙叉前端会有向下弯曲的现象，导致上基台10的吸附杆在真空吸取上基板玻璃50时会发生偏移，从而影响真空贴合设备的贴合精度；另外，由于自身重量原因，机械手40的牙叉在伸进设备内时，会有一定时间颤动，待其稳定需要几秒时间，增加了额外单件工时(Tact Time)。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空贴合设备，其能够保证吸附杆吸取基板时的平整度，提高贴合精度，并减少单件工时。

本发明所提供的技术方案如下：

一种真空贴合设备，用于从机械手受取待贴合基板后，将待贴合基板进行贴合；所述真空贴合设备包括：

相对设置的两基台；

以及用于从机械手受取待贴合基板时，对机械手的伸入至两基台之间的部分进行支撑，以使机械手上吸附的待贴合基板保持水平的支撑部件，所述支撑部件设置于至少一基台上。

进一步的，所述支撑部件可移动地设置于至少一基台上，具有第一状态和第二状态，

在所述第一状态，所述支撑部件移动至两基台的相对的两表面之间，以对机械手的伸入至两基台之间的部分进行支撑，使机械手上吸附的待贴合基板保持水平；

在所述第二状态，所述支撑部件移动至两基台的相对的两表面之间的区域之外，以使两基台能够相对靠近而将待贴合基板贴合。

进一步的，所述基台包括第一端和与所述第一端相对的第二端，其中机械手自所述基台第一端伸入两基台之间，所述支撑部件设置在所述基台的第二端。

进一步的，所述支撑部件包括：

用于支撑机械手的伸入至两基台之间的部分的支撑部；

以及活动连接于基台上，用于移动所述支撑部的移动部。

进一步的，所述支撑部为一框架结构，具有用于供机械手的伸入至两基台之间的部分插入的中空区。

进一步的，所述移动部包括：一端与所述支撑部固定，另一端可移动地设置于基台上的至少一个连接杆，所述连接杆能够在垂直于基台的表面的方向上进行往复运动，并在所述第一状态时，带动所述支撑部移动至两基台的相对的两表面之间，在所述第二状态时，带动所述支撑部移动至两基台的相对的两表面之间的区域之外。

进一步的，所述两基台包括第一基台和位于所述第一基台下方的第二基台，其中，

所述第一基台的表面上可移动地设置有用于吸附从机械手受取的待贴合基板，并在垂直于基台的表面的方向上进行往复运动的多个吸附杆；

所述第二基台的表面上设置有用于支撑从机械手受取的待贴合基板，并在垂直于基台的表面的方向上进行往复运动的多个支撑杆。

进一步的，所述连接杆设置于所述第一基台上，并与所述吸附杆通过同一驱动机构驱动进行往复运动。

进一步的，所述连接杆设置于所述第二基台上。

本发明的有益效果如下：

本发明所提供的真空贴合设备，通过设置一支撑部件，可以在从机械手受取待贴合基板时，对机械手的伸入至两基台之间的部分(如牙叉)进行支撑，一方面，使得机械手上吸附的待贴合基板保持水平，从而保证基台上的吸附杆吸取待贴合基板时的待贴合基板的平整度，减少基台从机械手受取待贴合基板时待贴合基板的偏移量，提高贴合精度，另一方面，还可以使得伸入至基台之间的机械手能够快速达到稳定状态，减少机械手伸入设备后的稳定时间，从而减少单件工时(Tact Time)。

附图说明

图1表示现有技术中的真空贴合设备的结构示意图；

图2表示机械手的牙齿由于重力原因发生弯曲的示意图；

图3表示本发明所提供的一种实施例中的真空贴合设备的结构示意图。

图4表示图3的侧视图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。

针对现有技术中真空贴合设备在从机械手受取待贴合基板时机械手的伸入至基台之间的部分由于重力原因而发生弯曲和颤动，从而影响贴合精度以及增加额外单件工时的技术问题，本发明提供了一种真空贴合设备，其能够提高贴合精度，并减少单件工时。

本发明所提供的真空贴合设备，用于从机械手受取待贴合基板后，将待贴合基板进行贴合。如图3和图4所示，所述真空贴合设备包括：

相对设置的两基台100，每一基台100包括用于吸附固定待贴合基板的表面，且两基台100的表面相对；

以及支撑部件200，所述支撑部件200设置于至少一基台100上，用于从机械手400受取待贴合基板500时，对机械手400的伸入至两基台100之间的部分进行支撑，以使机械手400上吸附的待贴合基板500保持水平。

本发明所提供的真空贴合设备，通过设置一支撑部件200，可以在从机械手400受取待贴合基板500时，对机械手400的伸入至两基台100之间的部分(如：机械手400的牙叉)进行支撑，一方面，使得机械手400上吸附的待贴合基板500保持水平，从而能够保证基台100在吸取待贴合基板500时，待贴合基板500处于水平状态，从而减少基台100从机械手400受取待贴合基板500时待贴合基板500的偏移量，提高贴合精度，另一方面，还可以使得机械手400的伸入至基台100之间的部分能够快速达到稳定状态，从而减少机械手400伸入设备后的稳定时间，减少单件工时(Tact Time)。

在本发明中，当机械手400的伸入至两基台100之间的部分(如：机械手400的牙叉)长度足够(能够自基台100的一端伸入两基台100之间，并从基台100的另一端伸出两基台100的相对的两表面之间的区域之外)时，所述支撑部件200可以直接设置在两基台100的相对的两表面之间的区域以外的位置，而不会妨碍从机械手400受取待贴合基板500之后两基台100相对靠近。然而，机械手400的伸入至两基台100之间的部分长度越大，越容易由于重力原因而发生弯曲，因此，通常机械手400的伸入至两基台100之间的部分的长度与待贴合基板500的长度相匹配，这样，在从机械手400受取待贴合基板500时，支撑部件200需位于两基台100的相对的两表面之间，以支撑机械手400的伸入至两基台100之间的部分，但是这样支撑部件200在两基台100相对靠近时会对基台100产生干涉，而妨碍基台100的运动。

因此，为了避免支撑部件200妨碍基台100的运动，在本发明所提供的实施例中，优选的，所述支撑部件200可移动地设置于至少一基台100上，具有第一状态和第二状态，其中，

在所述第一状态，所述支撑部件200移动至两基台100的相对的两表面之间，以对机械手400的伸入至两基台100之间的部分进行支撑，使机械手400上吸附的待贴合基板500保持水平；

在所述第二状态，所述支撑部件200移动至两基台100的相对的两表面之间的区域之外，以使两基台100能够相对靠近而将待贴合基板500贴合。

采用上述方案，支撑部件200能够移动，在从机械手400受取待贴合基板500时(即第一状态时)，支撑部件200可以移动至两基台100的相对的两表面之间，以对机械手400的伸入至两基台100之间的部分进行支撑，而当从机械手400受取待贴合基板500完成之后(即第二状态时)，支撑部件200可以移动至两基台100的相对的两表面之间的区域以外的位置，以使得两基台100相对靠近而将两基台100表面上的待贴合基板500进行贴合时，该支撑部件200不会与基台100产生干涉。

此外，通常，机械手400的伸入至两基台100之间的部分(牙叉)的前端更容易因重力作用会发生弯曲以及颤动现象，因此，在本发明的实施例中，优选的，如图所示，所述基台100包括第一端和与所述第一端相对的第二端，其中机械手400自所述基台100第一端伸入两基台100之间，且所述支撑部件200设置在所述基台100的第二端。

采用上述方案，将支撑部件200至少设置在基台100的第二端，即，支撑部件200设置在机械手400的伸入至两基台100之间的部分的前端所对应的位置，用于对机械手400的伸入至两基台100之间的部分的前端进行支撑。应当理解的是，在实际应用中，所述支撑部件200也可以设置在其他位置，在此仅是提供了一种支撑部件200的优选设置位置，但并不对支撑部件200的具体设置位置进行局限。

在本发明所提供的实施例中，优选的，如图3和图4所示，所述支撑部件200包括：

用于支撑机械手400的伸入至两基台100之间的部分的支撑部201；

以及活动连接于基台100上，用于移动所述支撑部201的移动部。

上述方案中，通过支撑部201对机械手400的伸入两基台100之间的部分进行支撑，而通过移动部使得支撑部201可以在第一状态和第二状态下移动至不同位置。

其中，优选的，如图3和图4所示，所述支撑部201可以为一框架结构，该框架结构具有一用于供机械手400的伸入至两基台100之间的部分插入的中空区。在从机械手400受取待贴合基板500时，机械手400的伸入两基台100之间的部分的前端可以插入至该框架结构的中空区内，从而被该框架结构支撑。

应当理解的是，在本发明的其他实施例中，所述支撑部201的具体结构可以有多种实现方式，例如：所述支撑部201还可以是一横梁结构等，在此对于支撑部201的具体实现方式不再一一列举。

此外，在本发明所提供的实施例中，优选的，如图3和图4所示，所述移动部包括：一端与所述支撑部201固定，另一端可移动地设置于基台100上的至少一个连接杆202，

其中，所述连接杆202能够在垂直于基台100的表面的方向上进行往复运动，并在所述第一状态时，带动所述支撑部201移动至两基台100的相对的两表面之间，

在所述第二状态时，带动所述支撑部201移动至两基台100的相对的两表面之间的区域之外。

采用上述方案，所述移动部采用连接杆202实现，且该连接杆202能够在垂直于基台100的表面的方向上进行直线往复移动地，以带动支撑部201在第一状态和第二状态时分别移动至不同位置。具体地，在第一状态时，所述连接杆202带动所述支撑部201伸出基台100的表面而位于两基台100之间，以对机械手400进行支撑，在第二状态时，所述连接杆202带动所述支撑部201移动至所述支撑部201移动至两基台100的相对的两表面之间的区域之外，即，收回至该连接杆202所在基台100内部。

需要说明的是，在本发明的其他实施例中，所述移动部也可以采用其他方式实现，例如：

所述移动部能够在平行于基台100的表面的方向上进行往复运动，即，所述移动部能够进行平移，在第一状态时，带动所述支撑部201移动至两基台100之间，而在第二状态时，带动所述支撑部201平移至两基台100的相对的两表面之间的区域以外的位置；

或者，所述移动部的第一端活动连接在基台100上，第二端连接所述支撑部201，且第二端可绕第一端旋转，从而，在第一状态时，所述移动部带动所述支撑部201移动至两基台100之间，在第二状态时，所述移动部带动所述支撑部201转动至两基台100的相对的两表面之间的区域以外的位置。

应当理解的是，在本发明的实施例中仅提供了移动部的优选实现方式，但并不是对移动部的具体结构进行限制，对于移动部的具体实现方式在此不再一一列举。

需要说明的是，如图1所示，现有技术中的真空贴合设备，两基台100为上下相对设置，其中，上基台10上由于在从机械手40受取待贴合基板50时，待贴合基板50通过上基台10上的多个吸附杆13的吸附能力来进行吸附固定，其下方并无支撑，从而会由于机械手400的牙叉弯曲而不能保持水平，而下基台20在从机械手40受取待贴合基板50时，由于下基台20上的多个支撑杆23位于待贴合基板50下方进行支撑，从而待贴合基板500可以保证其平整度，因此，在本发明所提供的真空贴合设置中，所述支撑部201件200可以仅对上基台10上在从机械手400受取待贴合基板500时对机械手400的伸入至两基台100之间的部分进行支撑。

在本发明所提供的实施例中，如图3和图4所示，所述两基台100包括第一基台101和位于所述第一基台101下方的第二基台102，其中，

所述第一基台101的表面上可移动地设置有多个吸附杆103，所述吸附杆103用于吸附从机械手400受取的待贴合基板500，并在垂直于基台100的表面的方向上进行往复运动；

所述第二基台102的表面上设置有多个支撑杆104，所述支撑杆104用于支撑从机械手400受取的待贴合基板500，并在垂直于基台100的表面的方向上进行往复运动；

其中，所述连接杆202可以设置在第一基台101上，所述连接杆202与所述吸附杆103通过同一驱动机构驱动进行往复运动。

采用上述方案，所述连接杆202设置在第一基台101上，在第一基台101从机械手400上受取待贴合基板500时，所述连接杆202下移，伸出第一基台101的表面，而将所述支撑部201移动至两基台100之间，对机械手400进行支撑；而在第一基台101上的吸附杆103吸取了待贴合基板500之后，所述连接杆202上移，而收回至第一基台101内部。并且，所述连接杆202可以与所述吸附杆103由同一驱动机构来进行驱动，结构更加简单，无需单独为连接杆202增设驱动机构。

应当理解的是，在本发明的其他实施例中，所述连接杆202也可以是与所述吸附杆103采用不同的驱动机构进行驱动。并且，在本发明所提供的其他实施例中，所述连接杆202也可以设置于所述第二基台102上。在第一基台101从机械手400受取待贴合基板500时，所述连接杆202上移，伸出第二基台102的表面，而将所述支撑部201移动至两基台100之间，对机械手400进行支撑；而在第一基台101上的吸附杆103吸取了待贴合基板500之后，所述连接杆202下移，收回至第二基台102内。

以下说明本发明优选实施例中的真空贴合设备的贴合作业过程：

如图3和图4所示，在进行贴合作业时，首先，第一基台101上的多个吸附杆103下移，同时连接杆202下移，以将支撑部201移动至两基台100之间；

然后，机械手400的牙叉伸入到吸附杆103之间，并且其前端被支撑部201所支撑；

然后，吸附杆103从机械手400的牙叉上吸取待贴合基板500；

然后，机械手400移出该真空贴合设备，吸附杆103以及连接杆202上移，从而待贴合基板500移动至第一基台101的表面，并被第一基台101的表面吸附固定；

然后，第二基台102的支撑杆104上移，机械手400的牙叉伸入到多个支撑杆104之间，机械手400上的待贴合基板500由支撑杆104进行支撑；

然后，机械手400移出该真空贴合设备，支撑杆104下移，将待贴合基板500移动至第二基台102的表面，并通过第二基台102的表面将待贴合基板500吸附固定；

最后，两基台100相对靠近，将两基台100的两表面上分别吸附固定的待贴合基板500贴合一起。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (3)

1.一种真空贴合设备，用于从机械手受取待贴合基板后，将待贴合基板进行贴合；其特征在于，所述真空贴合设备包括：

相对设置的两基台；

以及用于从机械手受取待贴合基板时，对机械手的伸入至两基台之间的部分进行支撑，以使机械手上吸附的待贴合基板保持水平的支撑部件，所述支撑部件设置于至少一基台上；

其中所述两基台包括第一基台和位于所述第一基台下方的第二基台，

所述支撑部件可移动地设置于至少一基台上，具有第一状态和第二状态，在所述第一状态，所述支撑部件移动至两基台的相对的两表面之间，以对机械手的伸入至两基台之间的部分进行支撑，使机械手上吸附的待贴合基板保持水平；在所述第二状态，所述支撑部件移动至两基台的相对的两表面之间的区域之外，以使两基台能够相对靠近而将待贴合基板贴合；

所述支撑部件包括：

用于支撑机械手的伸入至两基台之间的部分的支撑部，所述支撑部为一框架结构，具有用于供机械手的伸入至两基台之间的部分插入的中空区；以及活动连接于基台上，用于移动所述支撑部的移动部；

所述移动部包括：一端与所述支撑部固定，另一端可移动地设置于基台上的至少一个连接杆，所述连接杆能够在垂直于基台的表面的方向上进行往复运动，并在所述第一状态时，带动所述支撑部移动至两基台的相对的两表面之间，在所述第二状态时，带动所述支撑部移动至两基台的相对的两表面之间的区域之外；

所述第一基台的表面上可移动地设置有用于吸附从机械手受取的待贴合基板，并在垂直于基台的表面的方向上进行往复运动的多个吸附杆；

所述连接杆设置于所述第一基台上，并与所述吸附杆通过同一驱动机构驱动进行往复运动。

2.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，

所述第一基台包括第一端和与所述第一端相对的第二端，其中机械手自所述第一基台第一端伸入两基台之间，所述支撑部件设置在所述第一基台的第二端。

3.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，

所述第二基台的表面上设置有用于支撑从机械手受取的待贴合基板，并在垂直于基台的表面的方向上进行往复运动的多个支撑杆。