CN103981569B - 一种解决铸造晶体硅长晶阴影缺陷的方法 - Google Patents
一种解决铸造晶体硅长晶阴影缺陷的方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
步骤 | 长晶步骤剩余时间(h:min) | 长晶高度(mm) | 长晶速率(mm/h) |
G1 | 00:30 | 0 | 0 |
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G2 | 00:29 | 20.6 | 10.4 |
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002145696A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコン単結晶の製造方法、シリコン単結晶ウェーハ及びシリコン単結晶製造装置の設計方法 |
CN1473213A (zh) * | 2000-11-03 | 2004-02-04 | Memc | 用高生长速率制备低缺陷密度硅的方法 |
WO2004044278A1 (ja) * | 2002-11-14 | 2004-05-27 | Komatsu Denshi Kinzoku Kabushiki Kaisha | シリコンウェーハとその製造方法および製造装置 |
CN1653213A (zh) * | 2002-05-09 | 2005-08-10 | 信越半导体株式会社 | 单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法 |
CN202175745U (zh) * | 2011-07-22 | 2012-03-28 | 宁波晶元太阳能有限公司 | 基于顶侧分开控制多晶硅铸锭炉的加热控制系统 |
CN102978687A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-03-20 | 英利集团有限公司 | 一种多晶硅锭的晶体生长方法 |
CN202989351U (zh) * | 2012-09-19 | 2013-06-12 | 杭州慧翔电液技术开发有限公司 | 基于多加热器的铸锭炉热场结构 |
CN103194803A (zh) * | 2013-03-22 | 2013-07-10 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 适用于高温氧化物晶体生长的辅助监测系统 |
WO2013136666A1 (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-19 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶ウェーハの製造方法 |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002145696A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコン単結晶の製造方法、シリコン単結晶ウェーハ及びシリコン単結晶製造装置の設計方法 |
CN1473213A (zh) * | 2000-11-03 | 2004-02-04 | Memc | 用高生长速率制备低缺陷密度硅的方法 |
CN1653213A (zh) * | 2002-05-09 | 2005-08-10 | 信越半导体株式会社 | 单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法 |
WO2004044278A1 (ja) * | 2002-11-14 | 2004-05-27 | Komatsu Denshi Kinzoku Kabushiki Kaisha | シリコンウェーハとその製造方法および製造装置 |
CN202175745U (zh) * | 2011-07-22 | 2012-03-28 | 宁波晶元太阳能有限公司 | 基于顶侧分开控制多晶硅铸锭炉的加热控制系统 |
WO2013136666A1 (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-19 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶ウェーハの製造方法 |
CN202989351U (zh) * | 2012-09-19 | 2013-06-12 | 杭州慧翔电液技术开发有限公司 | 基于多加热器的铸锭炉热场结构 |
CN102978687A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-03-20 | 英利集团有限公司 | 一种多晶硅锭的晶体生长方法 |
CN103194803A (zh) * | 2013-03-22 | 2013-07-10 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 适用于高温氧化物晶体生长的辅助监测系统 |
CN103741214A (zh) * | 2014-01-28 | 2014-04-23 | 西安华晶电子技术股份有限公司 | 一种多晶硅铸锭工艺 |
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铸造多晶硅锭常见异常问题浅析;王建立等;《硅谷》;20140323;14-15 * |
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