CN103741096B - Oled蒸镀机的蒸发源组件 - Google Patents
Oled蒸镀机的蒸发源组件 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103741096B CN103741096B CN201310739659.4A CN201310739659A CN103741096B CN 103741096 B CN103741096 B CN 103741096B CN 201310739659 A CN201310739659 A CN 201310739659A CN 103741096 B CN103741096 B CN 103741096B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- evaporation
- vertical
- arm
- oled
- carrying platform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims abstract description 110
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 title claims abstract description 109
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 29
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 17
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229920001621 AMOLED Polymers 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/12—Organic material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明提供一种OLED蒸镀机的蒸发源组件，包括：承载平台（2）、设于承载平台（2）上的数个蒸镀坩埚（4）及设于承载平台（2）上的疏通机构（6），所述疏通机构（6）包括竖臂（62）、垂直连接于竖臂（62）一端的横臂（64）及垂直连接于横臂（64）自由端的探针（66），所述竖臂（62）可伸缩设置于承载平台（2）上，且相对承载平台（2）可旋转，通过横臂（64）与竖臂（62）控制探针（66）对蒸镀坩埚（4）的出气口进行疏通。本发明的OLED蒸镀机的蒸发源组件，通过设置疏通机构，能在不打开蒸镀机腔体的情况下对蒸镀坩埚的出气孔进行疏通，节省时间，有效提高疏通效率，提高了蒸镀机的利用率。
Description
技术领域
本发明涉及蒸镀制程领域，尤其涉及一种OLED蒸镀机的蒸发源组件。
背景技术
OLED作为新一代的固态自发光显示技术，相较于液晶显示具有超薄、响应度高、对比度高、功耗低等优势，近几年产业化速度突飞猛进。三星已经把AMOLED显示屏应用于自家的智能手机上，获得了非常好的市场。
请参阅图1，为现有的一种OLED的结构示意图，其包括：基板100、形成于基板100上的OLED器件300及与基板100贴合设置的封装盖板500，所述OLED器件300包括形成于基板100上的阳极302、形成于阳极302上的有机功能层304及形成于有机功能层304上的阴极306，阳极302与阴极306激发有机功能层304以实现显示。
OLED的有机功能层，一般由三个功能层构成，分别为空穴传输功能层（HoleTransportLayer，HTL）、发光功能层（EmissiveLayer，EML）、电子传输功能层（ElectronTransportLayer，ETL）。每个功能层可以是一层，或者一层以上，例如空穴传输功能层，有时可以细分为空穴注入层和空穴传输层；电子传输功能层，可以细分为电子传输层和电子注入层，但其功能相近，故统称为空穴传输功能层，电子传输功能层。
目前OLED的主流的制备技术和方法是蒸镀法，即在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属光罩的开孔沉积在玻璃基板上。
OLED器件各层的厚度和掺杂比例对器件性能的影响很大，为了使沉积在基板各处的有机材料膜厚和掺杂比例均匀，点蒸发源的蒸镀机的构造是让基板在转动状态下沉积有机材料。但是点蒸发源的蒸镀机材料利用率很低，约5%。后续开发的线蒸发源的蒸镀机不但使有机材料膜厚的均一性更好，而且材料利用率提高到约20%。
不管是点蒸发源的蒸镀机还是线蒸发源的蒸镀机都会出现材料堵孔的几率和现象。蒸发源由于坩埚、温度、材料等原因，有机材料蒸汽在出气口冷凝，逐渐堵住出气口，导致速率逐渐减低，直至完全堵住；由于长时间镀膜，挡板（sourceshutter）上沉积的有机材料会逐渐变厚，有时会成片剥落，若刚好落在出气口上，会直接挡住有机材料蒸汽。造成局部的有机材料膜厚或者掺杂比例异常，从而导致OLED效率和光色异常。这种情况下，只能把OLED材料降温至室温，再打开蒸镀机腔体，处理完塞孔的蒸发源后，再关上蒸镀机腔体，抽真空至1.0E-5Pa，才能开始加热有机材料，使其镀膜速率稳定，通常这一流程需要耗费几十小时，对生产计划有严重的影响。
发明内容
本发明的目的在于提供一种OLED蒸镀机的蒸发源组件，其能在不打开蒸镀机腔体的情况下对蒸发源出气口进行疏通，极大地缩短了疏通时间，提高了蒸镀机的利用率。
为实现上述目的，本发明提供一种OLED蒸镀机的蒸发源组件，包括：承载平台、设于承载平台上的数个蒸镀坩埚及设于承载平台上的疏通机构，所述疏通机构包括竖臂、垂直连接于竖臂一端的横臂及垂直连接于横臂自由端的探针，所述竖臂可伸缩设置于承载平台上，且相对承载平台可旋转，通过横臂与竖臂控制探针对蒸镀坩埚的出气口进行疏通。
所述竖臂包括第一竖部及连接第一竖部的第二竖部，所述第一竖部可旋转安装于所述承载平台上，所述第二竖部可相对第一竖部做伸缩运动，所述横臂连接于第二竖部的自由端。
所述横臂包括连接第二竖部的第一横部及连接第一横部的第二横部，所述第二横部可相对第一横部做伸缩运动，所述探针安装于所述第二横部的自由端。
所述旋转、伸缩运动通过伺服电机或气动阀实现。
所述疏通机构的个数对应所述蒸镀坩埚的个数设置；所述横臂包括连接第二竖部的第三横部，所述探针安装于所述第三横部的自由端。
所述疏通机构还包括基座，该基座安装于承载平台上，所述竖臂可滑动安装于所述基座上，且该竖臂相对于所述基座可旋转设置。
所述基座上设有滑槽，所述竖臂上相对所述滑槽设有滑块，所述滑块在滑槽中滑动，带动所述竖臂相对所述基座滑动。
所述滑动通过伺服电机实现。
所述疏通机构还包括设于横臂自由端的光源与图像传感器，用于观察蒸镀坩埚出气口的堵塞与疏通状况。
还包括电性连接图像传感器的显示装置。
本发明的有益效果：本发明的OLED蒸镀机的蒸发源组件，通过设置疏通机构，能在不打开蒸镀机腔体的情况下对蒸镀坩埚的出气孔进行疏通，节省时间，有效提高疏通效率，提高了蒸镀机的利用率；且，该疏通机构的横臂与竖臂均可以设置为长度可调的结构，使得该疏通机构不但适用于蒸镀坩埚于承载平台上均布设置的蒸镀机，同时，还适用于蒸镀坩埚于承载平台上不均布设置的蒸镀机，适用范围较广；并，在横臂的自由端设置光源与图像传感器，通过电性连接于该图像传感器的显示装置能够清晰的观察每个蒸镀坩埚的出气口的状况，并根据观察到的结果确定是否需要进行疏通，保证了蒸镀效果。
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
附图中，
图1为现有的OLED的结构示意图；
图2为本发明OLED蒸镀机的蒸发源组件第一实施例的结构示意图；
图3为图2中疏通机构的立体结构示意图；
图4为本发明OLED蒸镀机的蒸发源组件第二实施例的结构示意图；
图5为图4中疏通机构的立体结构示意图；
图6为本发明OLED蒸镀机的蒸发源组件第三实施例的结构示意图；
图7为图6中疏通机构的立体结构示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图2及图3，本发明提供一种OLED蒸镀机的蒸发源组件，包括：承载平台2、设于承载平台2上的数个蒸镀坩埚4及设于承载平台2上的疏通机构6，所述疏通机构6包括竖臂62、垂直连接于竖臂62一端的横臂64及垂直连接于横臂64自由端的探针66，所述竖臂62可伸缩设置于承载平台2上，且相对承载平台2可旋转，通过横臂64与竖臂62控制探针66对蒸镀坩埚4的出气口进行疏通，进而可以在不打开蒸镀机腔体的情况下对蒸镀坩埚4的出气孔进行疏通，有效缩短疏通时间，进而提高蒸镀机的利用率。
具体地，请参阅图3，在本实施例中，所述承载平台2为多边形，所述蒸镀坩埚4非均布设置于该承载平台2上，形成点蒸发源。所述竖臂62包括第一竖部622及连接第一竖部622的第二竖部624，所述第一竖部622可旋转安装于所述承载平台2上，所述第二竖部624可相对第一竖部622做伸缩运动，所述横臂64连接于第二竖部624的自由端。通过第二竖部624的伸缩运动控制横臂64与蒸镀坩埚4之间的竖直距离，进而控制探针66与蒸镀坩埚4的竖直距离。如：当需要对蒸镀坩埚4的出气孔进行疏通时，第二竖部624先做伸出动作，使得探针66悬置于蒸镀坩埚4的出气孔的正上方，然后第二竖部624再做收缩动作，使得探针66由上方插入蒸镀坩埚4的出气孔，进而实现蒸镀坩埚4的出气孔的疏通，操作简单，疏通效率高。
进一步地，在本实施例中，所述横臂64包括连接第二竖部624的第一横部642及连接第一横部642的第二横部644，所述第二横部644可相对第一横部642做伸缩运动，所述探针66安装于所述第二横部644的自由端。通过第二横部644的伸缩运动控制探针66与蒸镀坩埚4之间的水平距离，以实现对多个蒸镀坩埚4的出气孔的疏通。如：当需要对蒸镀坩埚4的出气孔进行疏通时，首先第二竖部624先做伸出动作，使得探针66悬置于蒸镀坩埚4的上方；然后，旋转第一竖部622，使得探针66悬置于带疏通的蒸镀坩埚4的上方；接着，第二横部644做伸出或收缩动作，使得探针66悬置于带疏通的蒸镀坩埚4的气孔的正上方；最后，第二竖部624再做收缩动作，使得探针66由上方插入蒸镀坩埚4的出气孔，进而实现蒸镀坩埚4的出气孔的疏通。由于该横臂64的长度可伸缩，使得该疏通机构6，不但适用于蒸镀坩埚4于承载平台2上均布设置的蒸镀机，同时，还适用于蒸镀坩埚4于承载平台2上不均布设置的蒸镀机，适用范围较广。
值得一提的是，在本发明中，所述旋转、伸缩运动通过伺服电机或气动阀实现。其具体实现方式均可通过现有技术实现，如：当所述旋转、伸缩运动通过气动阀实现时，可把第一横部642与第一竖部622均设置成密闭的缸体，而第二横部644与第二竖部624均通过活塞分别与第一横部642与第一竖部622连接，形成气缸形式，通过气动阀控制第一横部642与第一竖部622内的气体体积，进而实现第二横部644与第二竖部624相对于第一横部642与第一竖部622的伸缩运动。而当所述旋转、伸缩运动通过伺服电机实现时，可通过带传动、齿轮传动等多种驱动方式实现，均可实现上述技术效果。
优选地，所述疏通机构6还包括设于横臂64自由端的光源（未图示）与图像传感器（未图示），用于观察蒸镀坩埚4出气口的堵塞与疏通状况。OLED蒸镀机的蒸发源组件还包括电性连接图像传感器的显示装置（未图示），所述蒸镀坩埚4出气口的堵塞与疏通状况通过该显示装置显示。
请参阅图4及图5，为本发明OLED蒸镀机的蒸发源组件第二实施例的结构示意图，在本实施例中，所述疏通机构6’的个数对应所述蒸镀坩埚4的个数设置，以防止蒸镀材料间的污染，同时使制动装置简便。因为疏通机构6’对应蒸镀坩埚4设置，所以所述横臂64’长度不需要可调，所述横臂64’仅包括一连接第二竖部624的第三横部646，所述探针66安装于所述第三横部646的自由端。当需要对蒸镀坩埚4的出气孔进行疏通时，仅需控制第二竖部624相对第一竖部622做伸缩运动，即可实现对蒸镀坩埚4的出气孔的疏通。
请参阅图6及图7，为本发明OLED蒸镀机的蒸发源组件第三实施例的结构示意图，在本实施例中，所述承载平台2’为长方体，所述蒸镀坩埚4线性设置于该承载平台2’上，形成线蒸发源。所述疏通机构6’’还包括基座68，该基座68安装于承载平台2’上，所述竖臂62可滑动安装于所述基座68上，且该竖臂62相对于所述基座68可旋转设置。在本实施例中，所述滑动通过伺服电机实现。
具体地，请参阅图7，可在基座68上设置滑槽682，在竖臂62上设置滑块626，所述滑块626在伺服电机的驱动下在滑槽682中滑动，进而带动所述竖臂62相对所述基座68滑动。进一步地，所述滑块626设置为圆柱形，其可在伺服电机驱动下相对于基座68进行旋转，以实现对不同位置的蒸镀坩埚4的出气孔的疏通。
综上所述，本发明的OLED蒸镀机的蒸发源组件，通过设置疏通机构，能在不打开蒸镀机腔体的情况下对蒸镀坩埚的出气孔进行疏通，有效提高疏通时间，提高了蒸镀机的利用率；且，该疏通机构的横臂与竖臂均可以设置为长度可调的结构，使得该疏通机构不但适用于蒸镀坩埚于承载平台上均布设置的蒸镀机，同时，还适用于蒸镀坩埚于承载平台上不均布设置的蒸镀机，适用范围较广；并，在横臂的自由端设置光源与图像传感器，通过电性连接于该图像传感器的显示装置能够清晰的观察每个蒸镀坩埚的出气口的状况，并根据观察到的结果确定是否需要进行疏通，保证了蒸镀效果。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (9)
1.一种OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，包括：承载平台(2)、设于承载平台(2)上的数个蒸镀坩埚(4)及设于承载平台(2)上的疏通机构(6)，所述疏通机构(6)包括竖臂(62)、垂直连接于竖臂(62)一端的横臂(64)及垂直连接于横臂(64)自由端的探针(66)，所述竖臂(62)可伸缩设置于承载平台(2)上，且相对承载平台(2)可旋转，通过横臂(64)与竖臂(62)控制探针(66)对蒸镀坩埚(4)的出气口进行疏通；所述疏通机构(6)还包括设于横臂(64)自由端的光源与图像传感器，用于观察蒸镀坩埚(4)出气口的堵塞与疏通状况。
2.如权利要求1所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述竖臂(62)包括第一竖部(622)及连接第一竖部(622)的第二竖部(624)，所述第一竖部(622)可旋转安装于所述承载平台(2)上，所述第二竖部(624)可相对第一竖部(622)做伸缩运动，所述横臂(64)连接于第二竖部(624)的自由端。
3.如权利要求2所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述横臂(64)包括连接第二竖部(624)的第一横部(642)及连接第一横部(642)的第二横部(644)，所述第二横部(644)可相对第一横部(642)做伸缩运动，所述探针(66)安装于所述第二横部(644)的自由端。
4.如权利要求3所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述旋转、伸缩运动通过伺服电机或气动阀实现。
5.如权利要求2所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述疏通机构(6’)的个数对应所述蒸镀坩埚(4)的个数设置；所述横臂(64’)包括连接第二竖部(624)的第三横部(646)，所述探针(66)安装于所述第三横部(646)的自由端。
6.如权利要求3所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述疏通机构(6”)还包括基座(68)，该基座(68)安装于承载平台(2’)上，所述竖臂(62)可滑动安装于所述基座(68)上，且该竖臂(62)相对于所述基座(68)可旋转设置。
7.如权利要求6所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述基座(68)上设有滑槽(682)，所述竖臂(62)上相对所述滑槽(682)设有滑块(626)，所述滑块(626)在滑槽(682)中滑动，带动所述竖臂(62)相对所述基座(68)滑动。
8.如权利要求7所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述滑动通过伺服电机实现。
9.如权利要求1所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，还包括电性连接图像传感器的显示装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310739659.4A CN103741096B (zh) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | Oled蒸镀机的蒸发源组件 |
| US14/345,935 US20150292079A1 (en) | 2013-12-27 | 2014-01-21 | Vaporization source assembly of oled vapor deposition machine |
| PCT/CN2014/070933 WO2015096242A1 (zh) | 2013-12-27 | 2014-01-21 | Oled蒸镀机的蒸发源组件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310739659.4A CN103741096B (zh) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | Oled蒸镀机的蒸发源组件 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103741096A CN103741096A (zh) | 2014-04-23 |
| CN103741096B true CN103741096B (zh) | 2015-11-11 |
Family
ID=50498160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310739659.4A Expired - Fee Related CN103741096B (zh) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | Oled蒸镀机的蒸发源组件 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20150292079A1 (zh) |
| CN (1) | CN103741096B (zh) |
| WO (1) | WO2015096242A1 (zh) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103741096B (zh) * | 2013-12-27 | 2015-11-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled蒸镀机的蒸发源组件 |
| CN104947041B (zh) * | 2015-07-07 | 2017-08-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种蒸镀坩埚以及oled材料的蒸镀装置 |
| CN105177504A (zh) | 2015-07-29 | 2015-12-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种堵孔处理装置及处理方法 |
| CN106756807B (zh) * | 2017-01-23 | 2019-07-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸镀源、蒸镀装置及其蒸镀方法 |
| CN112144019A (zh) * | 2020-09-23 | 2020-12-29 | 福建华佳彩有限公司 | 一种蒸镀机 |
| CN113373413B (zh) * | 2021-06-10 | 2022-09-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101942641A (zh) * | 2010-09-08 | 2011-01-12 | 四川虹视显示技术有限公司 | Oled蒸镀机的蒸发源装置 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI97730C (fi) * | 1994-11-28 | 1997-02-10 | Mikrokemia Oy | Laitteisto ohutkalvojen valmistamiseksi |
| JPH08261234A (ja) * | 1995-03-24 | 1996-10-08 | Nippon Thompson Co Ltd | 複合型転がり案内ユニット |
| KR100398877B1 (ko) * | 2001-05-09 | 2003-09-19 | 삼성전자주식회사 | 현상기 소음 및 진동방지구조를 갖는 화상형성장치 |
| JP2003203963A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Tokyo Electron Ltd | 搬送機構、処理システム及び搬送方法 |
| US20030230238A1 (en) * | 2002-06-03 | 2003-12-18 | Fotios Papadimitrakopoulos | Single-pass growth of multilayer patterned electronic and photonic devices using a scanning localized evaporation methodology (SLEM) |
| KR20080013686A (ko) * | 2006-08-08 | 2008-02-13 | 순천향대학교 산학협력단 | 대면적 기판에 박막을 적층하기 위한 장치 |
| US20100180711A1 (en) * | 2009-01-19 | 2010-07-22 | Comau, Inc. | Robotic end effector system and method |
| CN201778103U (zh) * | 2010-09-08 | 2011-03-30 | 四川虹视显示技术有限公司 | Oled蒸镀机的蒸发源装置 |
| CN202087472U (zh) * | 2011-05-10 | 2011-12-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 狭缝涂布机喷嘴的清洗装置 |
| KR20130010730A (ko) * | 2011-07-19 | 2013-01-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 소스 및 이를 구비한 증착 장치 |
| CN103741096B (zh) * | 2013-12-27 | 2015-11-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled蒸镀机的蒸发源组件 |
-
2013
- 2013-12-27 CN CN201310739659.4A patent/CN103741096B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-01-21 WO PCT/CN2014/070933 patent/WO2015096242A1/zh active Application Filing
- 2014-01-21 US US14/345,935 patent/US20150292079A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101942641A (zh) * | 2010-09-08 | 2011-01-12 | 四川虹视显示技术有限公司 | Oled蒸镀机的蒸发源装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103741096A (zh) | 2014-04-23 |
| WO2015096242A1 (zh) | 2015-07-02 |
| US20150292079A1 (en) | 2015-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103741096B (zh) | Oled蒸镀机的蒸发源组件 | |
| TWI382105B (zh) | 有機沈積裝置與使用該有機沈積裝置沈積有機物之方法 | |
| US20180290168A1 (en) | Apparatus and method of manufacturing display apparatus | |
| JP2017500447A (ja) | 処理デバイス用、特に内部に有機材料を含むデバイス用の処理装置、及び処理真空チャンバから保守真空チャンバへ又は保守真空チャンバから処理真空チャンバへ蒸発源を移送するための方法 | |
| CN104328377B (zh) | 蒸发源、成膜设备及其成膜方法 | |
| CN106133183A (zh) | 用于有机材料的蒸发源 | |
| CN104377317A (zh) | 薄膜封装层制造设备及使用其制造显示设备的方法 | |
| US20210265605A1 (en) | Film formation device, vapor-deposited film formation method, and organic el display device production method | |
| CN102051580A (zh) | 蒸镀装置以及蒸镀方法 | |
| CN105679935A (zh) | 一种有机材料的溶液成膜方法及设备 | |
| CN101838792B (zh) | 一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备 | |
| US9647244B2 (en) | Integration equipment for replacing an evaporation material and use method for the same | |
| CN107689427B (zh) | Oled器件及其制作方法 | |
| KR101240945B1 (ko) | 박막증착용 도가니장치 및 이것을 포함하는 박막증착장비 | |
| CN103726020B (zh) | 真空蒸镀装置及蒸镀方法 | |
| KR101237507B1 (ko) | 유기물 증착 장치 및 유기물 증착 방법 | |
| US9340851B2 (en) | Device and method for preprocessing metallic magnesium | |
| CN211522306U (zh) | 一种蒸镀坩埚及装置 | |
| JP2020506283A (ja) | 垂直型面蒸発源を用いた高解像度ａｍｏｌｅｄ素子のクラスタ型量産装備 | |
| CN106498347A (zh) | 一种高均匀度图形化多点源阵列蒸发镀膜装置 | |
| CN106381466B (zh) | 有机物沉积装置及有机物沉积方法 | |
| CN212713726U (zh) | 一种oled蒸镀设备 | |
| KR20150017866A (ko) | 박막증착장치 | |
| KR20140142008A (ko) | 국자형 셔터를 구비한 증착 장치 | |
| CN112030111B (zh) | 一种真空腔体结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20151111 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |