CN103336935A - 一种探针卡识别装置和方法 - Google Patents
一种探针卡识别装置和方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103336935A CN103336935A CN2013102169325A CN201310216932A CN103336935A CN 103336935 A CN103336935 A CN 103336935A CN 2013102169325 A CN2013102169325 A CN 2013102169325A CN 201310216932 A CN201310216932 A CN 201310216932A CN 103336935 A CN103336935 A CN 103336935A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- identification
- probe
- resistance
- rfid
- recognition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 124
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 238000012857 repacking Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
本发明提供一种探针卡识别装置和方法，所述探针卡识别装置包括RFID识别系统和识别电阻识别系统，分别用于对探针卡进行RFID识别和进行识别电阻的识别；该探针卡识别方法包括：先对探针卡进行RFID识别；若RFID识别成功，则识别结束；若RFID识别失败，则进行识别电阻识别；若识别电阻识别成功，则识别结束；若识别电阻识别失败，则识别过程失败，识别结束。使得探针卡在不同部门间流动使用时不需要额外的改装步骤，提高了效率。
Description
技术领域
本发明涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种探针卡识别装置和方法。
背景技术
随着半导体制造的发展，器件的尺寸和密度越来越小，可靠性的测试难度和要求也越来越高，晶圆可靠性测试（WAT，Wafer Acceptance Test）是芯片制造过程中的重要测试站点，在封装前进行芯片测试，发现存在于晶圆当中的不良品，进行标记，到后段封装前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本，另一方面，通过对WAT测试数据的分析，可以发现产品的制造工艺中的问题，帮助调整制造工艺。
在代工厂的实际生产过程中，产品种类繁多，针对不同产品使用不同类型的探针卡。目前识别探针卡的方法主要有RFID（Radio Frequency IDentification）识别和识别电阻识别两种方法。但实际生产过程中，由于不同部门使用的识别方式不同，探针卡在各个部门流动使用时需要额外的操作，例如之前在工程部使用识别电阻识别的探针卡要在生产部门中使用RFID识别方法前提下使用，就需要工程师在卡上装上RFID芯片，探针卡归还时又需要拆除RFID芯片，大大降低了效率。
发明内容
本发明提供一种探针卡识别装置和方法，以解决现有的探针卡识别方法导致探针卡在生产流动使用中，操作繁琐效率低的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种探针卡识别装置，包括RFID识别系统和识别电阻识别系统，所述RFID识别系统用于对探针卡进行RFID识别，所述识别电阻识别系统用于对探针卡进行识别电阻的识别；所述探针卡识别装置对探针卡识别过程为：先进行RFID识别，若RFID识别失败，再进行识别电阻识别。
可选的，所述识别电阻识别系统包括识别电阻测量系统和与所述识别电阻测量系连接的数据库；所述识别电阻测量系统用于对识别电阻的量测，所述数据库用于记录不同电阻值对应的探针卡信息。
根据本发明的另一面，本发明提供一种采用上述探针卡识别装置的探针卡识别方法，包括：
先利用RFID识别系统对探针卡进行RFID识别；若RFID识别成功，则识别结束；若RFID识别失败，则利用识别电阻识别系统对探针卡进行识别电阻识别；若识别电阻识别成功，则识别结束；若识别电阻识别失败，则识别过程失败，识别结束。
可选的，所述探针卡包括仅装有RFID芯片或识别电阻的探针卡，以及装有RFID芯片和识别电阻的探针卡。
可选的，所述RFID识别过程为：扫描探针卡，若能获取RFID芯片记录的探针卡信息，则识别成功；若获取探针卡信息失败，则识别失败。
可选的，所述识别电阻识别系统包括识别电阻测量系统和与所述识别电阻测量系连接的数据库；所述识别电阻测量系统用于对识别电阻的量测，所述数据库用于记录不同电阻值对应的探针卡信息。
可选的，所述识别电阻识别过程为：对探针卡上的识别电阻施加识别电压，量测识别电阻的电阻值，然后根据识别电阻的电阻值在数据库中获取对应的探针卡信息；若获取探针卡信息成功，则识别成功，若量测识别电阻的电阻值失败或无法根据电阻值在数据库中获取对应的探针卡信息，则识别失败。
可选的，所述识别电压为2～10V。
与现有技术相比，本发明提供的探针卡识别装置和方法具有以下优点：
所述探针卡识别装置和方法对装有RFID芯片和识别电阻的探针卡均能识别，优先进行RFID芯片识别，在RFID芯片识别失败后进行识别电阻识别，使得探针卡在不同部门间流动使用时不需要额外的改装步骤，从而提高了效率。此外，RFID识别方法更先进、稳定性更高，优先采用RFID识别方式，当RFID识别失败时才继续采用电阻识别，可大大提高RFID芯片和识别电阻都装载了的探针卡识别的准确性。
附图说明
图1为本发明实施例的探针卡识别方法的流程示意图。
具体实施方式
根据背景技术所述，由于实际生产中各部门使用的探针卡识别方法在探针卡流动使用时，需要额外的改装步骤，导致生产操作繁琐效率不高的问题。
为解决上述问题，本发明提供一种探针卡识别方法和识别装置，所述探针卡识别装置包括RFID识别系统和识别电阻识别系统，所述RFID识别系统用于对探针卡进行RFID识别，所述识别电阻识别系统用于对探针卡进行识别电阻的识别；其中，识别电阻识别系统包括识别电阻测量系统和数据库；所述识别电阻测量系统用于对识别电阻的量测。所述数据库用于记录不同电阻值对应的探针卡信息，电阻值对应的探针卡信息随实际情况的变化即时更新。所述RFID识别系统的优先级高于识别电阻识别系统的优先级，具体地说，所述探针卡识别装置识别探针卡的逻辑顺序为：先进行RFID识别，若RFID识别成功，则识别结束；若RFID识别失败，则进行识别电阻识别；若识别电阻识别成功，则识别结束；若识别电阻识别失败，则识别过程失败，识别结束。
这样，只装有识别电阻的探针卡或只装有RFID芯片的探针卡在不同的部门间流动使用时不再需要对探针卡进行额外的改装步骤，大大提高了效率。
本发明还提供采用上述探针卡识别装置的探针卡识别方法，先利用RFID识别系统对探针卡进行RFID识别；若RFID识别成功，则识别结束；若RFID识别失败，再利用识别电阻识别系统对探针卡进行识别电阻识别。使得探针卡在不同部门间流动使用时不需要额外的改装步骤，提高了效率。
下面将结合示意图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
请参考图1，其为本发明探针卡识别方法的流程示意图，将探针卡置于机台卡槽中，所述机台例如为TEL公司的P12型号的自动探针台，探针卡置于自动探针台的换卡托盘中，自动探针台将探针卡自动传至探针台内，测试开始阶段自动进行探针卡识别，识别开始后，探针卡识别装置先对探针卡进行RFID识别的步骤。具体的，RFID识别系统对探针卡进行RFID芯片的扫描，RFID芯片内存储有该探针卡的具体信息（探针卡的型号、编号等），若能读取到芯片信息，则对该探针卡的识别成功，识别过程结束；若探针卡上没有RFID芯片或RFID芯片损坏，RFID识别过程无法获取到该探针卡的信息，则对该探针卡的识别失败，转入识别电阻识别系统对识别电阻识别的步骤。具体的，识别电阻测量系统对探针卡的引脚施加识别电压，所述识别电压可以为2～10V，本实施例中识别电压优选为5V，若探针卡上装有识别电阻，则能量测到识别电阻的电阻值，然后识别电阻识别系统根据量测到的电阻值在数据库中搜寻对应该电阻值的探针卡信息；若能在数据库中搜寻到探针卡信息，则该探针卡识别成功，识别过程结束，若量测识别电阻的电阻值失败或无法根据量测到的电阻值在数据库中搜寻到对应的探针卡信息，则识别失败，识别过程结束。识别成功后，机台利用获取的探针卡信息进行后续的对对应产品的检测程序。
采用这样的识别过程，只装有识别电阻的探针卡或只装有RFID芯片的探针卡在不同的部门间流动使用时不再需要对探针卡进行额外的改装步骤，大大提高了效率。此外，RFID识别方法更先进、稳定性更高，优先采用RFID识别方式，当RFID识别失败时才继续采用电阻识别，可大大提高RFID芯片和识别电阻都装载了的探针卡识别的准确性。
综上所述，本发明提供一种探针卡识别装置和方法，所述探针卡识别装置包括RFID识别系统和识别电阻识别系统，所述探针卡识别方法先对探针卡进行RFID识别；若RFID识别成功，则识别结束；若RFID识别失败，则进行识别电阻识别；若识别电阻识别成功，则识别结束；若识别电阻识别失败，则识别过程失败，识别结束。采用这样的识别过程和装置，只装有识别电阻的探针卡或只有RFID芯片的探针卡在不同的部门间流动使用时不再需要对探针卡进行额外的改装步骤，大大提高了效率。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (8)
1.一种探针卡识别装置，其特征在于，包括RFID识别系统和识别电阻识别系统，所述RFID识别系统用于对探针卡进行RFID识别，所述识别电阻识别系统用于对探针卡进行识别电阻的识别；所述探针卡识别装置对探针卡识别过程为：先进行RFID识别，若RFID识别失败，再进行识别电阻识别。
2.如权利要求1所述的探针卡识别装置，其特征在于，所述识别电阻识别系统包括识别电阻测量系统和与所述识别电阻测量系连接的数据库；所述识别电阻测量系统用于对识别电阻的量测，所述数据库用于记录不同电阻值对应的探针卡信息。
3.一种采用如权利要求1所述的探针卡识别装置的探针卡识别方法，包括：
先利用RFID识别系统对探针卡进行RFID识别；
若RFID识别成功，则识别结束；
若RFID识别失败，则利用识别电阻识别系统对探针卡进行识别电阻识别；若识别电阻识别成功，则识别结束；若识别电阻识别失败，则识别过程失败，识别结束。
4.如权利要求3所述的探针卡识别方法，其特征在于，所述探针卡上至少装有RFID芯片或识别电阻中的一种。
5.如权利要求3所述的探针卡识别方法，其特征在于，所述RFID识别过程为：扫描探针卡，若能获取RFID芯片记录的探针卡信息，则识别成功；若获取探针卡信息失败，则识别失败。
6.如权利要求3所述的探针卡识别方法，其特征在于，所述识别电阻识别系统包括识别电阻测量系统和与所述识别电阻测量系连接的数据库；所述识别电阻测量系统用于对识别电阻的量测，所述数据库用于记录不同电阻值对应的探针卡信息。
7.如权利要求6所述的探针卡识别方法，其特征在于，所述识别电阻识别过程为：对探针卡上的识别电阻施加识别电压，量测识别电阻的电阻值，然后根据识别电阻的电阻值在数据库中获取对应的探针卡信息；若获取探针卡信息成功，则识别成功，若量测识别电阻的电阻值失败或无法根据电阻值在数据库中获取对应的探针卡信息，则识别失败。
8.如权利要求7所述的探针卡识别方法，其特征在于，所述识别电压为2～10V。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310216932.5A CN103336935B (zh) | 2013-06-03 | 2013-06-03 | 一种探针卡识别装置和方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310216932.5A CN103336935B (zh) | 2013-06-03 | 2013-06-03 | 一种探针卡识别装置和方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103336935A true CN103336935A (zh) | 2013-10-02 |
| CN103336935B CN103336935B (zh) | 2016-08-10 |
Family
ID=49245094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310216932.5A Active CN103336935B (zh) | 2013-06-03 | 2013-06-03 | 一种探针卡识别装置和方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103336935B (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103558425A (zh) * | 2013-11-13 | 2014-02-05 | 上海华力微电子有限公司 | 具有射频识别装置的探针卡 |
| CN103823089A (zh) * | 2013-11-26 | 2014-05-28 | 上海华力微电子有限公司 | 一种探针卡 |
| US11287445B2 (en) | 2018-10-29 | 2022-03-29 | Keysight Technologies, Inc. | Oscilloscope probe identification |
| CN115656587A (zh) * | 2022-11-15 | 2023-01-31 | 广州粤芯半导体技术有限公司 | 探针卡监控系统及方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201242758Y (zh) * | 2008-03-03 | 2009-05-20 | 捷创科技股份有限公司 | 非接触式探针卡管理装置 |
| CN102542320A (zh) * | 2010-12-10 | 2012-07-04 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 降低测试串扰的rfid芯片结构及测试方法 |
| US20120249302A1 (en) * | 2007-03-02 | 2012-10-04 | Harold Szu | Smart Hybrid Card System Providing Authenticity, Privacy, and Security (APS) |
-
2013
- 2013-06-03 CN CN201310216932.5A patent/CN103336935B/zh active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120249302A1 (en) * | 2007-03-02 | 2012-10-04 | Harold Szu | Smart Hybrid Card System Providing Authenticity, Privacy, and Security (APS) |
| CN201242758Y (zh) * | 2008-03-03 | 2009-05-20 | 捷创科技股份有限公司 | 非接触式探针卡管理装置 |
| CN102542320A (zh) * | 2010-12-10 | 2012-07-04 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 降低测试串扰的rfid芯片结构及测试方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103558425A (zh) * | 2013-11-13 | 2014-02-05 | 上海华力微电子有限公司 | 具有射频识别装置的探针卡 |
| CN103558425B (zh) * | 2013-11-13 | 2016-07-13 | 上海华力微电子有限公司 | 具有射频识别装置的探针卡 |
| CN103823089A (zh) * | 2013-11-26 | 2014-05-28 | 上海华力微电子有限公司 | 一种探针卡 |
| US11287445B2 (en) | 2018-10-29 | 2022-03-29 | Keysight Technologies, Inc. | Oscilloscope probe identification |
| CN115656587A (zh) * | 2022-11-15 | 2023-01-31 | 广州粤芯半导体技术有限公司 | 探针卡监控系统及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103336935B (zh) | 2016-08-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104678287B (zh) | 芯片uid映射写入方法 | |
| CN103592898B (zh) | 一种电子产品生产自动化控制系统及方法 | |
| US7877714B2 (en) | System and method to optimize semiconductor power by integration of physical design timing and product performance measurements | |
| CN103336935A (zh) | 一种探针卡识别装置和方法 | |
| CN103295035A (zh) | 一种rfid电子标签在线检测方法及装置 | |
| CN203502040U (zh) | 车载多媒体终端的测试系统 | |
| CN114632710A (zh) | 芯片的不良品筛选方法、装置、终端及服务器 | |
| CN103245667A (zh) | 自动检测机械性划痕的方法及系统 | |
| CN100470495C (zh) | 一种快速定位问题的自动化测试的方法及其设备 | |
| CN104123212A (zh) | Usb芯片的系统测试方法 | |
| CN103593273B (zh) | 一种电路板卡的测试方法、装置和系统 | |
| CN105676106A (zh) | 一种非接触智能卡芯片型号自动化检测系统及方法 | |
| US9377505B2 (en) | Board test system and method | |
| CN109116263A (zh) | 一种多路电源产品负载测试设备及测试方法 | |
| CN114548328A (zh) | 应用于检测流程的检测治具的管理方法 | |
| CN103116617A (zh) | 一种集成电路测试数据的处理方法 | |
| CN103605092B (zh) | Wat测试系统及测试方法 | |
| CN110293075B (zh) | 一种仪表半自动测试工装的工作方法 | |
| CN204620463U (zh) | 标本自动转运管理系统 | |
| CN103500112A (zh) | 软件版本控制方法 | |
| CN104239170A (zh) | Pci设备测试方法及系统 | |
| US8301405B2 (en) | System and method for measuring pin voltages of electronic components | |
| CN102866348A (zh) | 集成电路测试数据查询系统及查询方法 | |
| CN109978844A (zh) | 一种基于深度学习模块化的智能分析方法以及系统 | |
| CN103605065A (zh) | 晶圆允收测试曲线自动输出系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |