CN103116251A - 抗变形排孔显影喷嘴及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及抗变形排孔显影喷嘴及其制备方法，该喷嘴包括条状的主体、设置在主体内的主流道、与主流道连通用于导入显影液的进液孔、以及与主流道连通用于喷出显影液的若干分流道，所述主体由条状的功能部件和条状的辅助部件组成，所述功能部件沿长边方向设置贯通两个端面的通孔，并在通孔的口部安装堵头围成所述主流道，主流道一侧设置所述若干分流道，主流道另一侧的中部设置进液孔的第一孔部，所述辅助部件通过若干螺钉紧固且贴合在功能部件上与所述分流道相对的一侧，辅助部件设置进液孔的第二孔部，第一孔部和第二孔部共轴。该方法是在加工流道前将辅助部件和功能部件的坏料组合为一体。本喷嘴抗变形能力强，结构简单，易于加工。

Description

抗变形排孔显影喷嘴及其制备方法

技术领域

本发明涉及显影喷嘴，更具体地说，涉及排孔显影喷嘴，并涉及其制备方法。

背景技术

由于显影喷嘴需要长时间与显影液接触，而且显影液腐蚀性较强，现有的显影喷嘴往往由抗腐蚀能力强的工程塑料类材料加工而成，这种塑料具有较强的吸水变形的特性，且在承受机械加工的时候容易发生永久性形变，这导致了显影液涂覆不均匀，造成显影工艺缺陷。而在IC行业对装备性能的稳定性要求极高，因此要求显影喷嘴具有很强的抗变形能力。

发明内容

本发明的目的是针对现有排孔显影喷嘴抗变形能力差的缺陷，提供一种排孔显影喷嘴。

为达上述目的，本发明从结构的角度出发，提供了一种抗变形排孔显影喷嘴，它包括条状的主体、设置在主体内的主流道、与主流道连通用于导入显影液的进液孔、以及与主流道连通用于喷出显影液的若干分流道，其中，所述主体由条状的功能部件和条状的辅助部件组成，所述功能部件沿长边方向设置贯通两个端面的通孔，并在通孔的口部安装堵头围成所述主流道，主流道一侧设置所述若干分流道，主流道另一侧的中部设置进液孔的第一孔部，所述辅助部件通过若干螺钉紧固且贴合在功能部件上与所述分流道相对的一侧，辅助部件设置进液孔的第二孔部，第一孔部和第二孔部共轴。

优选地，为了保证功能部件和辅助部件之间的相互定位，和进一步提高喷嘴整体刚性，所述功能部件和辅助部件的结合面设置了止口结构。

优选地，所述若干分流道沿所述功能部件的长边方向按一列排列，从分流道队列的中部起到两端，分流道的分布逐渐变得密集，且分流道的直径逐渐增大。

优选地，所述功能部件由耐腐蚀工程塑料制成，所述辅助部件由钢材制成。

优选地，所述第二孔部内过盈配合安装耐腐蚀金属套筒。

优选地，所述若干螺钉分为两排，分别间隔地设置在主体顶面的两条长边处，其中，与进液孔靠近的两个螺钉分别设置在喷嘴长边方向的中心线的左右两侧。

本发明还提供了一种抗变形排孔显影喷嘴的制备方法，该方法是：首先加工功能部件的毛坏和辅助部件，通过螺钉将它们固定为一体，再在功能部件的毛坏上加工主流道以及分流道，然后在功能部件的毛坏上加工分流道出口端所在的平面。

本发明采用功能部件和辅助部件构成复合梁结构的喷嘴主体，利用了复合梁结构刚性优于单一梁的原理，能够有效提高排孔显影喷嘴的抗变形性能，而且其结构简单，易于加工。

本发明制备方法利用辅助部件将功能部件毛坏的刚度提升，使得在机加工时不会使得材料产生较大的变形，并且在最后加工喷嘴液体出口端的平面，可以保证其平面度。

附图说明

图1为本发明一实施例排孔显影喷嘴的结构示意图；

       图2为其主视图；

       图3为其剖视图； 

       图4为其俯视图；

图5为其侧视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明。

图1-5示出了本发明一实施例排孔显影喷嘴的结构。如图1-5所示，本排孔显影喷嘴包括条状的主体10、设置在主体10内的主流道10a、与主流道10a连通用于导入显影液的进液孔10b、以及与主流道10a连通用于喷出显影液的若干分流道10c。主体10由条状的功能部件2和条状的辅助部件1组成。功能部件2沿长边方向设置通孔2a，通孔2a贯通功能部件2的两个端面2b和2c，并在通孔2a左右两端的口部安装堵头(图中未示出)，从而围成主流道10a。主流道10a下侧设置所述若干分流道10c，主流道10a上侧的中部设置进液孔10b的第一孔部10b1。辅助部件1通过若干螺钉3紧固且贴合在功能部件2的上侧（即，与分流道10c相对的一侧），辅助部件1上设置进液孔10b的第二孔部10b2，第一孔部10b1和第二孔部10b2共轴,一起构成了进液孔10b。堵头采用耐腐蚀材料（如含氟橡胶或者耐腐蚀塑料）制备。

参照图1和图5，在功能部件2和辅助部件1的结合面设置了止口结构，该止口结构包括设置在功能部件2顶面中部的凸条2d和设置在辅助部件1底面中部的槽1a，二者相嵌合并紧密贴合，一方面可以保证功能部件2和辅助部件1之间的相互定位，同时可进一步提高喷嘴整体刚性。进一步可在槽1a口部边沿和凸条2d的角部设置小锥面，以便于装配。

如图3所示，若干分流道10c沿功能部件2的长边方向按一列排列，从分流道队列的中部起到两端，分流道10c的分布逐渐变得密集(即，相邻两个分流道10c之间的间隔逐渐减小)，且分流道的直径逐渐增大，即，图3中，中部的分流道10c直径最小，两边的分流道10c直径最大。

如图3所示，本实施例中，在进液孔10b的第二孔部10b2内嵌套耐腐蚀金属套筒4，耐腐蚀金属套筒4可以是不锈钢套筒，通过过盈配合固定在第二孔部10b2内壁。功能部件2由耐腐蚀工程塑料，如PEEK材料制成，可以保证长时间接触显影液而不发生明显的表面腐蚀。辅助部件1由45号钢制成，具有良好的刚性。但本发明并不限于此，例如，辅助部件1如果采用刚性较好、且抗腐蚀的金属材料（如不锈钢）制成，则可不必设置耐腐蚀金属套筒4。在选择辅助部件1的材料时，有两个条件：刚性较好和抗腐蚀，两个条件中以保证刚性为首要条件。

如图4所示，用于组合功能部件2和辅助部件1的若干螺钉3分为两排，分别间隔地设置在主体10顶面的两条长边处，其中，与进液孔10b靠近的两个螺钉分别设置在喷嘴长边方向的中心线L1的左右两侧。这样不但保证功能部件2和辅助部件1结合部为整个面紧密贴合，使二者成为一个整体，而且能够避免喷嘴的辅助部件1因为中部打孔较多而降低刚度。

使用一般的机械加工手段和设备即可完成对上述喷嘴的加工和装配，成本低且可以保证喷嘴长时间工作下性能不发生恶化。

上述显影喷嘴的主体采用复合梁结构，一方面使得在后期使用过程中具有较好的抗变形能力，另一方面，这种结构能够在制备喷嘴过程中提升喷嘴主体的刚性，从而更加精准地在耐腐蚀塑料上加工出主流道、分流道和喷嘴出口端平面，制得性能更好的显影喷嘴。具体可采用以下制备方法加工显影喷嘴，来制得性能更好的显影喷嘴：先独立加工功能部件2的毛坏和辅助部件1，包括加工辅助部件1的槽1a(即止口)和装配孔（与螺钉3配合的孔），加工功能部件2的凸条2d和螺纹孔，将二者的结合面紧密贴合，并用螺钉3穿过装配孔旋入螺纹孔，将二者装配固定为一体。再在功能部件2的毛坏上加工主流道10a以及分流道10c，这样由于辅助部件1将功能部件坏料（塑料）的刚度提升，所以加工时不会使得塑料部分产生较大的变形。最后，在功能部件2的毛坏上加工分流道10c出口端所在的平面，这样可以保证液体出口端平面的平面度。

如果具有耐腐蚀金属套筒4，在上述制备方法中则需要首先将耐腐蚀金属套筒4嵌入辅助部件1，然后再加工主流道等。

为了避免装配导致功能部件2变形，在装配辅助部件1和功能部件2时，先带上靠近喷嘴中部的螺钉3，再逐个带上其它螺钉3，然后均匀用力将所有螺钉锁紧，而不是先锁紧一个，再锁紧下一个。

上述排孔显影喷嘴主要应用于集成电路芯片显影工序中的显影液喷涂。其解决了现有排孔显影喷嘴由于主要材料为塑料，其刚性差，接触液体易变形且机械加工易致变形等问题，并因此使得排孔式显影喷嘴工作时的性能稳定性得以提升，进而可以提高集成电路芯片制作过程中的显影质量。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种抗变形排孔显影喷嘴，包括条状的主体(10)、设置在主体内的主流道(10a)、与主流道连通用于导入显影液的进液孔(10b)、以及与主流道连通用于喷出显影液的若干分流道(10c)，其特征在于：所述主体(10)由条状的功能部件(2)和条状的辅助部件(1)组成，所述功能部件(2)沿长边方向设置贯通两个端面(2b和2c)的通孔(2a)，并在通孔(2a)的口部安装堵头围成所述主流道，主流道一侧设置所述若干分流道(10c)，主流道另一侧的中部设置进液孔(10b)的第一孔部(10b1)，所述辅助部件(1)通过若干螺钉(3)紧固且贴合在功能部件(2)上与所述分流道相对的一侧，辅助部件设置进液孔(10b)的第二孔部(10b2)，第一孔部和第二孔部共轴。

2.根据权利要求1所述的抗变形排孔显影喷嘴，其特征在于：所述功能部件和辅助部件的结合面设置止口结构(2d和1a)。

3.根据权利要求1所述的抗变形排孔显影喷嘴，其特征在于：所述若干分流道沿所述功能部件的长边方向按一列排列，从分流道队列的中部起到两端，分流道的分布逐渐变得密集，且分流道的直径逐渐增大。

4.根据权利要求1所述的抗变形排孔显影喷嘴，其特征在于：所述功能部件由耐腐蚀工程塑料制成，所述辅助部件由钢材制成。

5.根据权利要求1所述的抗变形排孔显影喷嘴，其特征在于：所述第二孔部(10b2)内过盈配合安装耐腐蚀金属套筒(4)。

6.根据权利要求1所述的抗变形排孔显影喷嘴，其特征在于：所述若干螺钉(3)分为两排，分别间隔地设置在主体(10)顶面的两条长边处，其中，与进液孔(10b)靠近的两个螺钉分别设置在喷嘴长边方向的中心线(L1)的左右两侧。

7.一种抗变形排孔显影喷嘴的制备方法，其特征在于：首先加工功能部件的毛坏和辅助部件，通过螺钉将它们固定为一体，再在功能部件的毛坏上加工主流道以及分流道，然后在功能部件的毛坏上加工分流道出口端所在的平面。

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