CN102950474A - 液体静压运动平台 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种液体静压运动平台，包括：主体，其包括滑台、导轨和底座；所述导轨安装在所述底座上，其槽中嵌入所述滑台；驱动装置，其包括动子、定子和三路分油块；所述定子安装在所述底座上；所述动子其一端嵌入所述定子的槽中，其另一端固定在所述滑台的下表面；所述三路分油块安装在所述滑台的上表面；位置检测装置，其包括光栅尺和读数头；所述光栅尺安装在所述滑台的侧表面，其刻度面与所述读数头贴合；所述读数头固定在所述导轨上。该液体静压运动平台由于采用直线电机驱动，避免了滚珠丝杆传动的回程误差问题；配备用于运动误差补偿的位置检测装置，所以提高了平台的运动精度。

Description

液体静压运动平台

技术领域

本发明涉及精密运动平台领域，具体而言，涉及一种液体静压运动平台。 

背景技术

液体静压运动平台以压力将液体导入油腔，在滑台与导轨间形成油膜，凭借油膜使滑台和导轨接触面间处于液体摩擦状态。与机械导轨平台相比，其在驱动功率、使用寿命、承载力、抗振性、灵活性等方面都具备优势。 

相关的液体静压运动平台采用开环、半闭环循环控制方式，通过旋转电机带动滚珠丝杆驱动滑台在导轨上动作。然而这种构造存在缺陷，电机振动和丝杠传动误差都会对平台的运动精度造成影响。 

发明内容

本发明旨在提供一种液体静压运动平台，以解决上述的问题。 

在本发明的实施例中，提供了一种液体静压运动平台，包括：主体，其包括滑台、导轨和底座；所述导轨安装在所述底座上，其槽中嵌入所述滑台；驱动装置，其包括动子、定子和三路分油块；所述定子安装在所述底座上；所述动子其一端嵌入所述定子的槽中，其另一端固定在所述滑台的下表面；所述三路分油块安装在所述滑 台的上表面；位置检测装置，其包括光栅尺和读数头；所述光栅尺安装在所述滑台的侧表面，其刻度面与所述读数头贴合；所述读数头固定在所述导轨上。 

本发明因为采用直线电机以磁力场方式驱动，消除了滚珠丝杆带来的回程误差问题；同时采用高精度光栅尺进行误差补偿，所以提高了平台的运动精度。 

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中： 

图1示出了根据本发明实施例的液体静压运动平台的内部结构示意图。 

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。 

图1示出了根据本发明实施例的液体静压运动平台，包括：主体，其包括滑台1、导轨2和底座3；所述导轨2安装在所述底座3上，其槽中嵌入所述滑台1；驱动装置，其包括动子4、定子5和三路分油块6；所述定子5安装在所述底座3上；所述动子4其一端嵌入所述定子5的槽中，其另一端固定在所述滑台1的下表面；所述三路分油块6安装在所述滑台1的上表面；位置检测装置，其包括光栅尺7和读数头8；所述光栅尺7安装在所述滑台1的侧表面，其刻度面与所述读数头8贴合；所述读数头8固定在所述导轨2上。 

本发明因为采用直线电机以磁力场方式驱动，所以避免了滚珠丝杆传动的回程误差问题；同时采用高精度光栅尺进行误差补偿，所以提高了平台的运动精度。 

优选地，主体还包括导轨支撑件9；两条导轨2通过两条导轨支撑件9对称地安装在底座3上；滑台1通过两个滑动端分别嵌入两条导轨2中。 

优选地，驱动装置还包括动子安装座10，动子4通过动子安装座10安装在滑台1的下表面。 

优选地，驱动装置还包括定子安装座11，定子5通过定子安装座11安装在底座3上。 

优选地，驱动装置还包括拖链12，其侧面与定子5贴合，底面固定在底座3上。 

优选地，位置检测装置还包括读数头安装座13，读数头8通过读数头安装座13安装在导轨2上。 

优选地，光栅尺7为分辨率1nm的陶瓷光栅尺。 

该液体静压运动平台以直线电机替代伺服电机进行驱动，通过磁力场使动子和定子相互作用，从而驱动工作台运动；配置分辨率1nm的陶瓷光栅尺作为位置检测装置。 

该液体静压运动平台的驱动无需滚珠丝杆传动，所以消除了滚珠丝杆引起的回程误差问题；通过配置高精度的位置检测装置进行误差补偿，所以提高了平台的运动精度。 

从以上描述可以看出，本液体静压运动平台具有以下有益效果： 

1、配置高精度的位置检测装置，实现平台运动过程的误差补偿，提高重复定位的精度； 

2、采用直线电机的驱动方式，进行全闭环的循环控制，降低系统能耗，延长设备使用寿命； 

3、组成平台的零件都是独立、可拆卸的，能根据实际情况需要进行灵活的变更设计，降低制造成本。 

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。 

Claims (7)

1.一种液体静压运动平台，其特征在于，包括：

主体，其包括滑台（1）、导轨（2）和底座（3）；所述导轨（2）安装在所述底座（3）上，其槽中嵌入所述滑台（1）；

驱动装置，其包括动子（4）、定子（5）和三路分油块（6）；所述定子（5）安装在所述底座（3）上；所述动子（4）其一端嵌入所述定子（5）的槽中，其另一端固定在所述滑台（1）的下表面；所述三路分油块（6）安装在所述滑台（1）的上表面；

位置检测装置，其包括光栅尺（7）和读数头（8）；所述光栅尺（7）安装在所述滑台（1）的侧表面，其刻度面与所述读数头（8）贴合；所述读数头（8）固定在所述导轨（2）上。

2.根据权利要求1所述的液体静压运动平台，其特征在于，所述主体还包括导轨支撑件（9）；两条所述导轨（2）通过两条所述导轨支撑件（9）对称地安装在所述底座（3）上；所述滑台（1）通过两个滑动端分别嵌入两条所述导轨（2）中。

3.根据权利要求2所述的液体静压平台，其特征在于，所述驱动装置还包括动子安装座（10），所述动子（4）通过所述动子安装座（10）安装在所述滑台（1）的下表面。

4.根据权利要求3所述的液体静压平台，其特征在于，所述驱动装置还包括定子安装座（11），所述定子（5）通过所述定子安装座（11）安装在所述底座（3）上。

5.根据权利要求4所述的液体静压平台，其特征在于，所述驱动装置还包括拖链（12），其侧面与所述定子（5）贴合，底面固定在所述底座（3）上。

6.根据权利要求5所述的液体静压平台，其特征在于，所述位置检测装置还包括读数头安装座（13），所述读数头（8）通过所述读数头安装座（13）安装在所述导轨（2）上。

7.根据权利要求6所述的液体静压平台，其特征在于，所述光栅尺（7）为分辨率1nm的陶瓷光栅尺。