CN102866628A - 一种闭环控制电源输入的方法 - Google Patents

Abstract

本发明阐述了一种闭环控制电源输入的方法，其特征在于将某个物理返回量通过某个算法与电源的输入量相关联，从而将此返回量与电源输入量做闭环，由返回量控制输入量。本方法涉及离子注入机，属于半导体制造领域。本方法通过返回量控制输入量，可以使得软件对电源的控制更加精确，从一定程度上减少了输入误差，并且误差随着时间的推移而逐渐变小。

Description

一种闭环控制电源输入的方法

技术领域

本发明涉及离子注入机电源输入的控制方法。此方法通过返回量控制输入量，可以使得软件对电源的控制更加精确，从一定程度上减少了输入误差，并且误差随着时间的推移而逐渐变小。

背景技术

半导体集成电路制造工艺已发展到12英寸晶片、纳米技术节点时期。随着晶圆片尺寸越来越大，单元器件尺寸越来越小，对半导体工艺设备的性能要求也就越来越高。离子注入机是半导体集成电路器件制造工艺中必不可少的关键设备。为了提高离子注入机的性能，使其满足现代大晶圆片、纳米器件生产工艺的要求和适应将来半导体工艺技术的发展，必须要开发高效的全自动控制系统。

离子注入机中，有许多的电源，包括高压源，电流源等等。这些电源的控制好坏直接影响了引出束流的稳定性。

一般的电源控制时，只是将输入量设置后就不再更改，只是监测电源是否报错，对于电源自身的不稳定性可能造成的返回量偏差不能予以很好的调节。

发明内容

本发明主要是为了更加准确的控制电源，获取精确的稳定的目标返回量。

具体步骤如下：

<1>根据需要，设置初始电源输入量(1)，电源此时会获取电源输入量(2)。

<2>待输入量送达到电源后，将输入量实际设置到电源(3)。此时电源会根据输入量做出改变(4)，与此同时，目标返回量受电源影响做出改变(5)。

<3>采集目标返回量(6)，然后检测返回量是否超出范围(7)。如果超出范围(11)，则报错，退出(12)。如果未超出范围(8)，则将目标返回值实际采集量与期望值做比较(9)，根据比较结果结合某种算法(例如，PID)计算出合适输入量(10)。

<4>将新计算出的合适输入量发送给电源，电源获取电源输入量(2)，从而进行下一轮的闭环循环流程。

本发明具有如下显著优点：

1.减少了目标返回量实际返回量与期望量的误差，并且随时间推移误差呈减少趋势。

2.增加了电源输出的稳定性。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步详细描述，但不作为对本发明专利的限定。

如图1所示，我们想要控制偏压电源的输入量为2A(2)，同时利用PID算法获得合适输入量(10)。首先，将2A作为初始电源输入量设置到偏压电源(1)，电源控制器将这2A作为输入量实际设置到电源(3)，偏压电源根据2A这个输入量作出改变(4)，同时目标返回量受电源影响作出改变(5)。电源控制器采集此目标返回量(6)，如果偏压足够精确，并且忽略其他一切影响因素的话，此采集值应该为2A，但实际上此返回值受到各方面的影响，并不等于2A。对此返回值进行检测(7)，检测它是否超出正常范围，比如，是否小于了1A或者大于了4A。如果超出了范围(11)，那么直接出错退出(12)，因为此时电源返回值误差太大，电源本身出现了问题。如果没有超出范围(8)，那么我们可以调节电源输入量，来获得2A这个目标设定量。通过目标返回量实际采集量，可能是1.8A或者2.4A，与期望的2A做比较(9)，利用PID算法计算出，如果想要获得2A的输入量时合适的输入量(10)，而电源控制器又获得了这个电源输入量(2)，然后将它设定给电源(3)，完成一个闭环的循环。经过多个闭环循环后，偏压的时间返回值将越来越接近于2A。

附图说明

图1为闭环控制电源输入流程说明图。

本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。

Claims (4)

1.一种闭环控制电源输入的方法其特征在于：会设置初始电源输入量(1)作为闭环控制，校准的基础。

2.一种闭环控制电源输入的方法其特征在于：会不断检测检测返回量是否超出范围(7)，当超出范围(11)时，会报错，退出(12)。

3.一种闭环控制电源输入的方法其特征在于：返回值未超出范围(8)，会进行目标返回量实际采集量与期望量做比较(9)，并根据比较结果结合某种算法(例如，PID)计算出合适输入量(10)。

4.一种闭环控制电源输入的方法其特征在于：闭环开始后，通过不断的获取电源输入量(2)，并将输入量实际设置到电源(3)来调节电源，使得目标返回量的实际物理返回量无限接近与期望量。

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