CN102787363A - 一种晶体生长炉及其安全排气阀 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种安全排气阀，用于晶体生长炉的排气，包括盲板和密封图，所述盲板的一端与所述晶体生长炉的真空管道上的法兰铰接，所述密封图设置在所述盲板和所述法兰之间。本发明出现过充现象时，炉腔内的氧化物超细粉尘游走至密封图处，由于安全排气阀仅依靠盲板的自重进行密封，因此可轻易使得安全排气阀打开，而将氧化物超细粉尘放出，起到自然排压的目的。在真空腔体遇到打火损坏造成漏水，水在高温下蒸发后，安全排气阀会迅速排气。而且本发明清理真空管路十分方便，掀起盲板就可进行管路清洗，放下后自然封闭管路，开启真空后完全吸紧。本发明还公开了一种具有上述安全排气阀的晶体生长炉。

Description

一种晶体生长炉及其安全排气阀

技术领域

本发明涉及多晶硅生产技术领域，特别涉及一种晶体生长炉及其安全排气阀。

背景技术

晶体的制造过程处在高温状态下，热场结构比较复杂，由于晶体安装原因可能导致与晶体生长炉的炉腔内壁接触，产生电击打火损坏腔体而漏水。还有一种情况是由于石英坩埚漏硅，损坏腔体材料而漏水。由于腔体损坏而漏出的水在高温中急剧蒸发膨胀，极其危险，因此需要把高温高压的水蒸气通过排气阀进行释放，以缓解晶体生长炉内的压力。

如图1所示，目前的排气阀一般包括盲板3，盲板3通过螺栓6可滑动的设置在真空管道1的法兰2上，并且在螺栓6上套设有将盲板3压紧在法兰2上的压缩弹簧6，在法兰2和盲板3之间还设有密封图4。晶体生长炉的炉腔需经常抽真空和充气，以保持炉内分别处于真空和常压状态。在真空状态充入气体以恢复常压时，炉内压力等于或大于常压情况下，炉腔内的氧化物超细粉尘在压力下向排气阀的出气端游走，受压缩弹簧6的形变和弹簧压力及盲板3的自重，使得排气阀不能有效开启。在氧化物超细粉尘游走至密封图4处时，由于排气阀未开启，而使得氧化物超细粉尘游不能排出，将覆盖在密封图4的外表面上，导致密封性能下降。在抽真空时，由于密封图4的外表面上覆盖有氧化物超细粉尘，使得密封不严，产生漏气，无法保证炉腔内的真空度。

因此，如何方便实现排气阀的开启，降低真空泄漏的故障率，是本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种晶体生长炉及其安全排气阀，以方便实现排气阀的开启，降低真空泄漏的故障率。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种安全排气阀，用于晶体生长炉的排气，包括盲板和密封图，所述盲板的一端与所述晶体生长炉的真空管道上的法兰铰接，所述密封图设置在所述盲板和所述法兰之间。

优选的，在上述安全排气阀中，还包括铰接销轴；

所述盲板上设置有第一固定部件，该第一固定部件上设有第一铰接孔；

所述法兰上设置有第二固定部件，该第二固定部件上设有第二铰接孔，所述铰接销轴依次插设于所述第一铰接孔和所述第二铰接孔上。

优选的，在上述安全排气阀中，第一固定部件和所述第二固定部件分别通过紧固螺栓固定在所述盲板和所述法兰上。

优选的，在上述安全排气阀中，，所述法兰的端面上开设有容纳所述密封图的槽，所述密封图置于该槽内。

优选的，在上述安全排气阀中，所述密封图为O型密封图。

优选的，在上述安全排气阀中，所述盲板水平置于所述法兰上。

优选的，在上述安全排气阀中，所述盲板倾斜设置于所述法兰上。

优选的，在上述安全排气阀中，所述盲板与水平面的夹角为30～50度。

一种晶体生长炉，包括排气阀，所述排气阀为如上任一项所述的安全排气阀。

从上述的技术方案可以看出，本发明提供的安全排气阀，用于晶体生长炉的排气，包括盲板和密封图，其中，盲板的一端与所述晶体生长炉的真空管道上的法兰铰接，密封图设置在所述盲板和所述法兰之间。本发明省去了压缩弹簧和螺栓，仅依靠盲板的重力保持炉腔的密封。在炉室由真空状态充气至常压时，如果出现过充现象，炉腔内的氧化物超细粉尘在压力下向安全排气阀的出气端游走，在氧化物超细粉尘游走至密封图处时，由于安全排气阀仅依靠盲板的自重进行密封，因此可轻易使得安全排气阀打开，而将氧化物超细粉尘放出，起到自然排压的目的。在真空腔体遇到打火损坏造成漏水，水在高温下蒸发后，安全排气阀会迅速排气。而且本发明清理真空管路十分方便，掀起盲板就可进行管路清洗，放下后自然封闭管路，开启真空后完全吸紧。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有排气阀的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的安全排气阀的结构示意图；

图3本发明另一实施例提供的安全排气阀的结构示意图。

具体实施方式

本发明公开了一种晶体生长炉及其安全排气阀，以方便实现排气阀的开启，降低真空泄漏的故障率。

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图2和图3，图2为本发明实施例提供的安全排气阀的结构示意图，图3本发明另一实施例提供的安全排气阀的结构示意图。

本发明提供的安全排气阀，用于晶体生长炉的排气，包括盲板13和密封图14，其中，盲板13的一端与晶体生长炉的真空管道11上的法兰12铰接，密封图14设置在盲板13和法兰12之间。盲板13在重力的作用下，紧贴密封图14，从而保证真空管道11内的密封。在真空管道11内的气压大于外部大气压时，盲板13在内部气压的作用下，沿其与法兰2之间的铰接轴转动，从而与密封图14之间产生排气间隙，将内部气体排出。

本发明省去了压缩弹簧和螺栓，仅依靠盲板13的重力保持炉腔的密封。在炉室由真空状态充气至常压时，如果出现过充现象，炉腔内的氧化物超细粉尘在压力下向安全排气阀的出气端游走，在氧化物超细粉尘游走至密封图14处时，由于安全排气阀仅依靠盲板13的自重进行密封，因此可轻易使得安全排气阀打开，而将氧化物超细粉尘放出，起到自然排压的目的。在真空腔体遇到打火损坏造成漏水，水在高温下蒸发后，安全排气阀会迅速排气。而且本发明清理真空管道11十分方便，掀起盲板13就可进行真空管道11清洗，放下后自然封闭真空管道11，开启真空后完全吸紧。

本发明通过铰接销轴17实现盲板13和法兰12之间的铰接，盲板13上设置有第一固定部件15，该第一固定部件15上设有第一铰接孔；法兰12上设置有第二固定部件16，该第二固定部件16上设有第二铰接孔，铰接销轴17依次插设于第一铰接孔和第二铰接孔上。使用时将第一固定部件15和第二固定部件16分别固定在盲板13和法兰12上，可通过焊接，螺栓连接等连接方式，将第一固定部件15和第二固定部件16分别固定在盲板13和法兰12上。

本发明优选的将第一固定部件15和第二固定部件16分别通过紧固螺栓固定在盲板13和法兰12上，这样在盲板13损坏后，可仅对盲板13进行更换，将第一固定部件15和第二固定部件16拆卸后，还可继续使用。

法兰12的端面上开设有容纳密封图14的槽，密封图14置于该槽内，该密封图14优选为O型密封图。本发明提供的盲板13可水平置于法兰12上，也可倾斜设置于法兰12上，在盲板13倾斜设置时，应保证盲板13在重力的作用下，紧贴在密封图14上，以保持真空管道11内的密封。优选的，盲板13的与水平面的倾斜角度为45度。原理上将盲板13的与水平面的夹角可为0～90(不包括90)度，在30～50度效果较好，45度时效果最好。

本发明提供的晶体生长炉，包括排气阀，其中，排气阀为如上实施例公开的安全排气阀。在晶体生长炉的真空腔体遇到打火损坏造成漏水，水在高温下蒸发后，安全排气阀会迅速排气。而且本发明清理真空管道11十分方便，掀起盲板13就可进行真空管道11清洗，放下后自然封闭真空管道11，开启真空后完全吸紧。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽范围。

Claims (9)

1.一种安全排气阀，用于晶体生长炉的排气，包括盲板(13)和密封图(14)，其特征在于，所述盲板(13)的一端与所述晶体生长炉的真空管道(11)上的法兰(12)铰接，所述密封图(14)设置在所述盲板(13)和所述法兰(12)之间。

2.如权利要求1所述的安全排气阀，其特征在于，还包括铰接销轴(17)；

所述盲板(13)上设置有第一固定部件(15)，该第一固定部件(15)上设有第一铰接孔；

所述法兰(12)上设置有第二固定部件(16)，该第二固定部件(16)上设有第二铰接孔，所述铰接销轴(17)依次插设于所述第一铰接孔和所述第二铰接孔上。

3.如权利要求2所述的安全排气阀，其特征在于，第一固定部件(15)和所述第二固定部件(16)分别通过紧固螺栓固定在所述盲板(13)和所述法兰(12)上。

4.如权利要求1所述的安全排气阀，其特征在于，所述法兰(12)的端面上开设有容纳所述密封图(14)的槽，所述密封图(14)置于该槽内。

5.如权利要求4所述的安全排气阀，其特征在于，所述密封图(14)为O型密封图。

6.如权利要求1-5任一项所述的安全排气阀，其特征在于，所述盲板(13)水平置于所述法兰(12)上。

7.如权利要求1-5任一项所述的安全排气阀，其特征在于，所述盲板(13)倾斜设置于所述法兰(12)上。

8.如权利要求7所述的安全排气阀，其特征在于，所述盲板(13)与水平面的夹角为30～50度。

9.一种晶体生长炉，包括排气阀，其特征在于，所述排气阀为如权利要求1-8任一项所述的安全排气阀。

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