CN102621613B

CN102621613B - 光组件以及光分析装置

Info

Publication number: CN102621613B
Application number: CN201210018178.XA
Authority: CN
Inventors: 野泽武史
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2011-01-27
Filing date: 2012-01-19
Publication date: 2016-01-20
Anticipated expiration: 2032-01-19
Also published as: JP2012155220A; US20120194821A1; US8792101B2; CN102621613A; JP5682332B2

Abstract

本发明提供一种光组件以及光分析装置。其中，测色传感器具备：标准具、接收透过了标准具的检查对象光的光接收元件、以及保持标准具的保持部件。该标准具包括：第一基板、与第一基板相对的第二基板、设置在第一基板的与第二基板相对的面上的固定反射镜、以及设置在第二基板上且隔着规定的间隙与固定反射镜相对的可动反射镜。标准具在观察基板厚度方向的俯视图中具备第一基板及第二基板相对的光干涉区域、以及从光干涉区域突出的突出区域。保持部件在突出区域的与光干涉区域相反侧的一端侧保持标准具。

Description

光组件以及光分析装置

技术领域

本发明涉及具有干涉滤波器的光组件以及具有光组件的光分析装置，该干涉滤波器用于从入射光中取出规定波长的光。

背景技术

在现有技术中，公知有如下所述的干涉滤波器(标准具etalon)，该干涉滤波器分别在一对基板的彼此相对的面上隔着规定的间隙相对配置有多层膜(反射膜)(例如，参照专利文献1)。

在专利文献1记载的干涉滤波器中，为了调整间隙，在一对反射膜的彼此相对的面上相对配置有驱动电极，通过向各驱动电极施加驱动电压，从而能够通过静电引力来调整间隙。由此，干涉滤波器能够仅使与该间隙对应的指定波长的光透过。也就是说，干涉滤波器使入射光在一对反射膜之间使光进行多重干涉，并仅使通过多重干涉而彼此增强的指定波长的光透过。

但是，上述这样的干涉滤波器一般都安装于光组件或光分析装置来加以使用。图13是表示安装有标准具50的现有的测色装置10(光分析装置)的概略结构的模式图。

测色装置10具备：光源装置20，用于向检查对象A射出光；以及测色传感器40(光组件)，该测色传感器40具有：标准具50，用于对检查对象A所反射的检查对象光进行分光；光接收元件420，用于接收透过了标准具50的光；铠装壳40A，收容有与光源装置20及光接收元件420连接的印刷基板410。

测色传感器40具备筒状的保持壳310，该保持壳310与光源装置20邻接设置，用于保持标准具50的外周缘。

此外，该测色装置10使检查对象A反射从光源装置20射出的光，通过测色传感器40对反射后的检查对象光进行分光，基于从测色传感器40输出的检测信号，根据分光后的各波长的光的光量，分析并测定检查对象光的色度、即检查对象A的颜色。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-142752号公报

但是，在如图13所示的现有结构中，保持壳310保持标准具50的与设置有反射膜的部分接近的外周部。在这样的结构中，光源装置20产生的热也会从保持壳310直接传导给标准具50，从而存在基板由于热膨胀而弯曲的担忧。

而且，由于是标准具50的与反射膜接近的外周缘被保持壳310保持的结构，所以存在基板由于保持壳310的保持力而弯曲的担忧。

如上所述，如果在反射膜上发生弯曲，则存在透过标准具50的光的透过波长会发生偏差，从而导致分辨率下降的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能抑制干涉滤波器的分辨率下降的光组件以及光分析装置。

本发明的光组件具备：干涉滤波器以及保持所述干涉滤波器的保持部件，该干涉滤波器具有：第一基板、与上述第一基板相对的第二基板、设置在上述第一基板的与上述第二基板相对的面上的第一反射膜、以及设置在上述第二基板上的隔着规定间隙与上述第一反射膜相对的第二反射膜，上述干涉滤波器在沿基板厚度方向观察的俯视图中，具备设置有上述第一反射膜及上述第二反射膜的光干涉区域、以及向离开上述光干涉区域的方向突出的突出区域，上述保持部件在上述突出区域的与上述光干涉区域相反侧的一端侧保持上述干涉滤波器。

根据本发明，干涉滤波器具备第一基板及第二基板相对的光干涉区域、以及从光干涉区域突出的突出区域。并且，保持部件保持突出区域的前端侧(与光干涉区域相反的一侧)，以保持干涉滤波器。因此，由于在离开反射膜的位置上由保持部件保持干涉滤波器，所以不会由于保持部件的保持力导致形成在光干涉区域上的反射膜弯曲。并且，例如即使在由光源装置等加热了保持部件的情况下，也可以通过突出区域抑制热量传导，且可抑制光干涉部的发热，从而也可降低由于基板、反射膜的发热而引起的弯曲。因此，由于可以防止反射膜的弯曲，从而可以维持干涉滤波器的反射膜间的平行性，且可抑制分辨率的降低。

在本发明的光组件中，优选上述第一基板及上述第二基板形成为相同形状，上述干涉滤波器具备与上述第一基板及上述第二基板中的任一个结合的支承基板，上述突出区域设置在上述支承基板上。

根据本发明，干涉滤波器构成为除了具有形成有反射膜的第一基板及第二基板以外，还具备具有突出区域的支承基板。并且，保持部件保持支承基板的突出区域，从而保持干涉滤波器，因此，可以通过第一基板及第二基板不弯曲的方式来进行保持。并且，例如即使在保持部件上被传导有热量的情况下，也可在突出区域抑制热量的传导，且由于设置有光干涉区域的第一基板及第二基板与支承部件是不同的基板，所以可以进一步可靠地抑制热量的传导。

在本发明的光组件中，可以是上述突出区域设置在上述第一基板及上述第二基板中的至少任一个上的结构。

在本发明中，在第一基板及第二基板中的至少任一个上设置有突出区域。在这样的结构中，由于无需设置用于设置突出区域的其他部件、即支承基板，所以可以进一步简化结构。

在本发明的光组件中，优选在上述突出区域上设置有用于吸收振动的振动吸收部。

这里，作为振动吸收部，例如只要是将突出区域的一部分的宽度尺寸、厚度尺寸形成得比其他部分小，设置结构上比其他部分薄弱的部分来形成振动吸收部即可。

根据本发明，由于在突出区域上设置有振动吸收部，所以当从外部接收到振动时，通过振动吸收部吸收振动，从而可以抑制向干涉滤波器的光干涉区域传递振动。因此，可以防止由于来自外部的振动导致干涉滤波器的反射膜间的间隙变动。

本发明的光分析装置是具备上述光组件的光分析装置，其中，上述光组件具备用于接收通过上述干涉滤波器提取的检查对象光的光接收部，该光分析装置具备分析处理部，该分析处理部根据通过上述光接收部接收到的上述检查对象光的光量，分析上述检查对象光的光特性。

根据本发明，由于光分析装置具备上述光组件，所以可以抑制分辨率的降低，能够通过光接收部实施高精度的光量的测定，通过基于该测定结果实施光分析处理，可以实施正确的分光特性。

附图说明

图1是表示与本发明相关的第一实施方式的测色装置的概略结构的模式图。

图2是表示上述第一实施方式的测色传感器的立体图。

图3是上述第一实施方式的测色传感器的分解立体图。

图4是上述第一实施方式的标准具的第一基板的俯视图。

图5是上述第一实施方式的标准具的第二基板的俯视图。

图6是上述第一实施方式的标准具的概略截面图。

图7是与本发明相关的第二实施方式的标准具的第一基板的俯视图。

图8是上述第二实施方式的标准具的中介层(interposer)的俯视图。

图9是与本发明相关的第三实施方式的标准具的第一基板的俯视图。

图10是上述第三实施方式的第一变形例的标准具的第一基板的俯视图。

图11是上述第三实施方式的第二变形例的标准具的部分截面图。

图12是表示与本发明相关的变形例的测色传感器的主要部分的俯视图及截面图。

图13是表示现有的测色装置的概略结构的模式图。

具体实施方式

第一实施方式

下面，根据附图对与本发明相关的第一实施方式进行说明。

1.测色装置的概略结构

图1是表示本实施方式的测色装置1(光分析装置)的概略结构的模式图。

如图1所示，测色装置1具备：光源装置2，用于对检查对象A射出光；凹面透镜3，将由检查对象A所反射的反射光(检查对象光)引导向后述的测色传感器4；测色传感器4(光组件)，具有标准具5(干涉滤波器)；以及控制装置6，用于控制测色装置1的整体动作。并且，该测色装置1是如下所述的装置：使检查对象A反射从光源装置2射出的光，由测色传感器4接收所反射的检查对象光，基于从测色传感器4输出的检测信号，分析并测定检查对象光的色度、即检查对象A的颜色。

2.光源装置的结构

如图1所示，光源装置2具备光源部21、收纳壳体22、以及透镜23，光源装置2是上述这些部件一体化的装置。

光源部21具备：白色光源211，对检查对象A射出白色光，并与控制装置6连接；反射体(reflector)212，反射从白色光源211射出的光。

收纳壳体22由石英玻璃或丙烯酸树脂等形成筒状，其在内部使反射体212所反射的光多重反射，并使从白色光源211射出的光向透镜23射出。

透镜23使被收纳壳体22多重反射的光成为平行光，并使平行了的光入射到检查对象A。

此外，在本实施方式中，虽然以具备光源装置2的测色装置1进行了例示，但是，例如在检查对象A是液晶面板等的发光部件的情况下，也可以是不设置光源装置2的结构。

3.凹面透镜的结构

如图1所示，凹面透镜3固定于光源装置2的外侧面。该凹面透镜3具有凹面镜3A，该凹面镜3A使检查对象A所反射的检查对象光向规定方向反射，以聚光于标准具5。

4.测色传感器的结构

图2是表示测色传感器4的立体图。

如图2所示，测色传感器4具备长方体状的铠装壳体4A，如图1所示，该铠装壳体4A固定于光源装置2的外侧面，同时被固定于凹面透镜3的上表面。并且，在铠装壳体4A的下表面(固定于凹面透镜3的上表面的面)上形成有检查对象光入射的开口部4A1。

测色传感器4具备：标准具5、与控制装置6连接的印刷基板41、接收透过标准具5的光的光接收元件42(光接收部)、保持标准具5的保持部件43。这些各构成部件5、41～43被收纳于铠装壳体4A中。

并且，该测色传感器4使标准具5对通过开口部4A1入射的检查对象光中的规定波长的光进行分光，并使光接收元件42接收分光后的光。

4-1.印刷基板的结构

印刷基板41的一端侧通过基于ACF(AnisotropicConductiveFilm，异方性导电胶膜)连接而连接的FPC(FlexiblePrintedCircuit，挠性印刷电路板)44与标准具5的后述的第一基板51连接，另一端侧通过未图示的配线与控制装置6连接。并且，印刷基板41例如经由四根隔离柱(spacer)45被安装在铠装壳体4A内。

如图2所示，隔离柱45插通形成在印刷基板41的角附近的四个插通孔411，并分别螺合在铠装壳体4A的底面上，从而印刷基板41被固定在铠装壳体4A内。

4-2.光接收元件的结构

光接收元件42由多个光电交换元件构成，其生成与光接收量相对应的电信号。并且，光接收元件42被配置在标准具5的与后述的第二基板52相对的位置上。通过未图示的配线与印刷基板41连接，从而与控制装置6连接。由此，光接收元件42将生成的电信号作为光接收信号输出给控制装置6。

4-3.保持部件的结构

图3是将保持部件43分解后的测色传感器4的分解立体图。此外，在图3中，为了便于图示，省略了铠装壳体4A的图示。

保持部件43保持标准具5的第一基板51的前端侧(后述的突出区域Ar2中的光干涉区域Ar1的相反侧)，以保持标准具5。如图2及图3所示，该保持部件43具备：一对把持部431，用于把持标准具5的后述的第一基板51及印刷基板41；以及固定部432，用于固定各把持部431。

把持部431具备：与第一基板51及印刷基板41相嵌合的嵌合槽4311、以及与固定部432相嵌合的矩形的嵌合孔4312。

固定部432形成为コ字状，且其具备分别与把持部431的嵌合孔4312相嵌合的一对嵌合部4321。

这样的保持部件43通过使第一基板51及印刷基板41的一端侧分别与一对保持部431的嵌合槽4311相嵌合来把持第一基板51及印刷基板41。并且，固定部432的嵌合部4321分别与把持部431的嵌合孔4312相嵌合，从而固定部432固定保持部431。由此，保持部件43保持印刷基板41和标准具5。

4-4.标准具的结构

图4是标准具5的第一基板51的俯视图，图5是标准具5的第二基板52的俯视图。图6是图4及图5的箭头VI-VI线所示的位置处的标准具5的概略截面图。

如图6所示，标准具5具备第一基板51及第二基板52，这些基板51、52通过使用了等离子体聚合膜的硅氧烷结合(bonding)等隔着结合层53相互结合形成为一体。这两个基板51、52分别由例如钠钙玻璃、结晶性玻璃、石英玻璃、铅玻璃、钾玻璃、硼硅玻璃、无碱玻璃等各种玻璃、水晶等形成。

如图4所示，第一基板51是俯视为长方形状的板状的光学部件，短边形成为例如10mm，长边形成为例如50mm。

如图5所示，第二基板52是俯视为正方形状的板状的光学部件，一边形成为例如10mm。

此外，如图6所示，在第一基板51和第二基板52之间设置有固定反射镜54(第一反射膜)、以及可动反射镜55(第二反射膜)。这里，固定反射镜54形成在第一基板51的与第二基板52相对的面上，可动反射镜55形成在第二基板52的与第一基板51相对的面上。此外，这些固定反射镜54及可动反射镜55隔着反射镜之间间隙G而相对配置。

而且，在第一基板51和第二基板52之间设置有用于调整各反射镜54、55之间的反射镜之间间隙G的尺寸的第一静电执行机构56及第二静电执行机构57。

此外，在本实施方式中，虽然示出了设置有第一静电执行机构56及第二静电执行机构57的结构，但也可以是例如仅形成有一个静电执行机构的结构，还可以是设置有三个以上的静电执行机构的结构。并且，作为使反射镜54、55之间的间隙变化的驱动单元，并不仅限于静电执行机构，还可以使用压电执行机构或气压执行机构等任何结构。

4-4-1.第一基板的结构

第一基板51是通过对厚度为例如500μm的玻璃基材进行蚀刻而加工形成的。如图4所示，该第一基板51具备与第二基板52相对的光干涉区域Ar1、以及从光干涉区域Ar1沿长度方向突出的突出区域Ar2。

如图4及图6所示，在第一基板51的光干涉区域Ar1上，通过蚀刻形成有电极形成槽511及反射镜固定部512。

在电极形成槽511中，从反射镜固定部512的外周缘至电极形成槽511的内周壁之间形成有环状的电极固定面511A。在该电极固定面511A上，形成有环状的内侧第一电极561及在内侧第一电极561的外侧呈C字状的外侧第一电极571。

此外，各第一电极561、571只要是具有导电性且通过在第二基板52的后述的各第二电极562、572之间施加电压从而能在各第一电极561、571及各第二电极562、572之间产生静电引力的部件即可，并没有特别的限定。例如，在本实施方式中，虽然使用ITO(IndiumTinOxide，氧化铟锡)，但也可以使用Au/Cr等金属层压体。并且，虽然省略了图示，但为了防止由于各第一电极561、571及各第二电极562、572之间的放电等引起漏电(leak)而在各第一电极561、571的上面形成有绝缘膜。作为该绝缘膜，可以使用SiO₂、TEOS(TetraEthoxySilane，四乙氧基硅烷)等，尤其优选与形成第一基板51的玻璃基材具有相同光学特性的SiO₂。在使用SiO₂作为绝缘膜的情况下，由于在第一基板51及绝缘膜之间不会产生光的反射等，所以在第一基板51上形成了各第一电极561、571之后，可以在第一基板51的与第二基板52相对一侧的整个面上形成绝缘膜。

如图4所示，反射镜固定部512与电极形成槽511在同轴上，形成为具有比电极形成槽511小的直径尺寸的大致圆柱状，且在与第二基板52相对一侧的面上具备反射镜固定面512A。

并且，在反射镜固定面512A上固定有直径为约3mm且由圆形的TiO₂-SiO₂类的电介质多层膜形成的固定反射镜54。此外，在本实施方式中，虽然示出了使用TiO₂-SiO₂类的电介质多层膜的反射镜作为固定反射镜54的例子，但也可以是使用能够覆盖可见光全波段作为可分光波段的Ag合金单层的反射镜的结构。

在如图4所示的俯视图中，从内侧第一电极561的外周缘的一部分向突出区域Ar2形成有延伸至第一基板51的一端侧的一条内侧第一电极线561L。在该内侧第一电极线561L的前端形成有内侧第一电极焊盘561P。

此外，在如图4所示的俯视图中，从外侧第一电极571的外周缘的一部分向突出区域Ar2形成有延伸至第一基板51的一端侧的一条外侧第一电极线571L。在该外侧第一电极线571L的前端形成有外侧第一电极焊盘571P。

此外，在如图4所示的俯视图中，在光干涉区域Ar1的四个角中的左下角处形成有与后述的第二电极焊盘572P导通的第一导通电极焊盘581P，在左上、右上以及右下的角处形成有不与各第一电极561、571及各第二电极562、572导通的三个第一对置电极焊盘591P。

第一对置电极焊盘591P与第一电极焊盘571P以相同的结构形成。因此，通过在第一基板51的光干涉区域Ar1的四角处形成三个第一对置电极焊盘591P及一个第一导通电极焊盘581P，从而与在四角处不形成各电极焊盘581P、591P的情况相比，可以防止成膜形成各第一电极561、571时所产生的膜应力而导致第一基板51的光干涉区域Ar1弯曲，因此，可以防止反射镜固定面512A(参照图6)倾斜。

在图4所示的标准具的俯视图中，从第一导通电极焊盘581P向突出区域Ar2形成有延伸至第一基板51的一端侧的一条导通电极线581L，在该导通电极线581L的前端形成有第二导通电极焊盘582P。

各第一电极焊盘561P、571P以及第二导通电极焊盘582P隔着FPC44(参照图1)与印刷基板41连接。由此，在各第一电极焊盘561P、571P以及第二导通电极焊盘582P，根据从控制装置6输入的控制信号，对各第一电极561、571以及第二导通电极焊盘582P施加电压。

这里，在第一基板51的光干涉区域Ar1，未形成有电极形成槽511及反射镜固定部512的部分成为第一基板51的结合面513。如图6所示，该结合面513上形成有结合用的结合层53。在该结合层53上可以使用含有聚硅氧烷作为主材料的等离子聚合膜等。

4-4-2.第二基板的结构

第二基板52是通过对厚度为例如200μm的玻璃基材进行蚀刻而加工形成的。如图4至图6所示，该第二基板52与第一基板51的光干涉区域Ar1相对。

在第二基板52上形成有例如俯视时以基板中心点为中心的圆形的变位部521。如图5及图6所示，该变位部521具备连接保持部523，该连接保持部523与可朝向第一基板51进退移动的圆柱状的可动部522同轴，且在俯视标准具时形成为圆环状，用于沿第二基板52的厚度方向可移动地保持可动部522。

通过对第二基板52的形成原料、即平板状的玻璃基材进行蚀刻而形成槽，从而形成变位部521。也就是说，在第二基板52的不与第一基板51相对的射入侧面上，通过蚀刻形成用于形成连接保持部523的圆环状的圆环槽部523A从而形成变位部521。

可动部522形成为与连接保持部523相比厚度尺寸更大，例如，在本实施方式中，形成为与第二基板52的厚度尺寸相同尺寸的200μm。该可动部522的直径尺寸形成为大于第一基板51的反射镜固定部512的直径尺寸。

在可动部522的与第一基板51相对的面上，具有与第一基板51的反射镜固定面512A平行的可动面522A，在该可动面522A上形成有与固定反射镜54相同结构的可动反射镜55。

连接保持部523是包围可动部522的周围的隔膜(diaphragm)，其厚度尺寸形成为例如50μm。在连接保持部523的与第一基板51相对的面上，形成有形成为环状的内侧第二电极562及外侧第二电极572。

内侧第二电极562与内侧第一电极561相对，且与内侧第一电极561形成为相同结构。由该内侧第二电极562和内侧第一电极561来构成第一静电执行机构56。

外侧第二电极572与外侧第一电极571相对，且与外侧第一电极571形成为相同结构。由该外侧第二电极572和外侧第一电极571来构成第二静电执行机构57。

此外，在图5所示的标准具俯视图中，这些内侧第二电极562及外侧第二电极572通过从内侧第二电极562的外周缘的一部分沿第二基板52的对角线呈放射状延伸的四条导通线58而被导通。

在图5所示的标准具俯视图中，从外侧第二电极572的外周缘的一部分以沿着第二基板52的对角线的方式，向左下方向及右上方向延伸形成有与导通线58导通的两条第二电极线572L。在该两条第二电极线572L的前端分别形成有第二电极焊盘572P。

在两个第二电极焊盘572P中，设置在第二基板52的左下的第二电极焊盘572P与第一基板51的第一导通电极焊盘581P导通。

并且，在第二基板52上，如图5的俯视图所示，在第二基板52的四角中左上及右下的角处，形成有不与各第一电极561、571及各第二电极562、572导通的两个第二对置电极焊盘592P。在第二基板52的左下及右上的角处，形成有上述两个第二电极焊盘572P。

第二对置电极焊盘592P形成为与第二电极焊盘572P相同的结构。因此，通过在第二基板52的四角处形成三个第二对置电极焊盘592P及一个第二电极焊盘572P，从而与在四角处不形成各电极焊盘572P、592P的情况相比，不会由于成膜形成各第二电极562、572时产生的膜应力而使第二基板52弯曲，所以可以防止可动面522A(参照图6)倾斜。因此，可以使可动面522A及反射镜固定面512A相互平行，且可使各反射镜54、55相互平行。

由于第二电极焊盘572P与第一导通电极焊盘581P导通，所以根据从控制装置6输入的控制信号，施加给第二导通电极焊盘582P的电压通过第一导通电极焊盘581P而施加给第二电极焊盘572P。

这里，在第二基板52的与第一基板51相对的面上，与第一基板51的结合面513相对的区域成为第二基板52中的结合面524。在该结合面524上，与第一基板51的结合面513同样地设置有使用聚硅氧烷作为主材料的结合层53。

5.控制装置的结构

控制装置6控制测色装置1的整体动作。作为该控制装置6，可以使用例如通用个人计算机、便携式信息终端、其他、测色专用计算机等。

并且，如图1所示，控制装置6构成为具备光源控制部61、测色传感器控制部62及测色处理部63(分析处理部)等。

光源控制部61与光源装置2的光源部211连接。并且，光源控制部61例如根据利用者的设定输入而向光源装置2输出规定的控制信号，使从光源装置2射出规定亮度的白色光。

测色传感器控制部62与测色传感器4连接。并且，测色传感器控制部62例如根据利用者的设定输入，设定使测色传感器接收的光的波长，并将内容是检测该波长的光的光接收量的控制信号输出给测色传感器4。由此，测色传感器4根据控制信号设定向各静电执行机构56、57施加的电压，以使利用者期望的光的波长透过。

测色处理部63控制测色传感器控制部62，使标准具5的反射镜之间间隙变动，使透过标准具5的光的波长发生变化。并且，测色处理部63根据从光接收元件42输入的光接收信号，获取透过标准具5的光的光量。并且，测色处理部63根据基于上述而获得的各波长的光的光接收量，计算检查对象A所反射的光的色度。

6.第一实施方式的作用效果

根据上述第一实施方式，实现如下效果。

根据本实施方式，标准具5具备第一基板51及第二基板52相对的光干涉区域Ar1、以及从光干涉区域Ar1突出的突出区域Ar2。并且，保持部件43保持突出区域Ar2的前端侧(与光干涉区域Ar1相反的一侧)，以保持标准具5。因此，在离开设置有各反射镜54、55的光干涉区域Ar1的位置上由保持部件43保持标准具5，所以保持部件43的保持力不会对光干涉区域Ar1施加应力，从而可防止基板51、52的弯曲、以及反射镜54、55弯曲。

此外，即使是在来自光源装置2的热量传导给了保持部件43的情况下，由于设置有突出区域Ar2，所以也很难将热量传导给光干涉区域Ar1，可以抑制反射镜54、55、基板51、52的由于热量引起的弯曲。

因此，可以抑制由于反射镜54、55的弯曲引起的标准具5的分辨率的降低，从而可实施准确的光量测定。

此外，本发明的突出区域Ar2被设置在第一基板51上。因此，与设置另外设置有突出区域Ar2的其他基板的结构相比，可以减少部件件数，可实现结构的简化。

第二实施方式

下面，参照附图，对与本发明相关的第二实施方式的测色装置的标准具5A进行说明。

图7是第二实施方式的标准具5A的第一基板51A的俯视图，图8是标准具5A的中介层(interposer)7的俯视图。此外，本实施方式中的标准具5A的第二基板52是与上述第一实施方式相同的结构，因此，省略了对其的图示，适当地参照图5来进行说明。

上述第一实施方式中的标准具5由长方形的第一基板51、正方形的第二基板52这两层构成，在第一基板51上设置有突出区域Ar2。与此相对，第二实施方式中的标准具5A在是由正方形的第一基板51A及第二基板52、长方形的中介层7(支承基板)这三层构成这点上，与第一实施方式不同。

此外，在以下的说明中，对与上述第一实施方式相同的构成要素标注了相同的标号并省略其说明。

标准具5A构成为从下侧依次层叠有中介层7、第一基板51A、以及第二基板52。

如图7所示，第一基板51A是俯视为正方形的板状的光学部件，其一边形成为例如10mm，且形成为与第二基板52相同的形状。

在图7所示的俯视图中，从内侧第一电极561的外周缘的一部分以沿着第一基板51A的对角线的方式，向右下方向延伸形成有一条内侧第一电极线561L。在该内侧第一电极线561L的前端形成有内侧第一电极焊盘561P。

并且，在图7所示的俯视图中，从外侧第一电极571的外周缘的一部分以沿着第一基板51A的对角线的方式，向左上方向延伸形成有一条外侧第一电极线571L。在该外侧第一电极线571L的前端形成有外侧第一电极焊盘571P。

在图7所示的俯视图中，在第一基板51A的四角中右上角处形成有不与各第一电极561、571及各第二电极562、572(参照图5)导通的第一对置电极焊盘591P，在左下角处形成有与第二基板52的第二电极焊盘572P(参照图5)及后述的中介层7的第一导通电极焊盘721P导通的导通电极焊盘583P。而且，在第一基板51A的左上及右下的角处形成有上述两个第一电极焊盘571P、561P。

如图8所示，中介层7形成为与上述第一实施方式的第一基板51相同形状的俯视观察时的长方形，并与第一基板51A及第二基板52以相同材质形成。该中介层7具备与第二基板52相对的光干涉区域Ar1、以及从光干涉区域Ar1沿长边方向突出的突出区域Ar2。并且，中介层7的光干涉区域Ar1与第一基板51的结合面513的相反侧的面相结合。

此外，在图8所示的俯视图中，在光干涉区域Ar1的四角中右下角处形成有与内侧第一电极焊盘561P导通的第一内侧导通电极焊盘701P，在左上角处形成有与外侧第一电极焊盘571P导通的第一外侧导通电极焊盘711P，在左下角处形成有与导通电极焊盘583P及第二电极焊盘572P(参照图5)导通的第一导通电极焊盘721P。

这里，作为第一基板51A的电极焊盘583P、561P、571P、与中介层7的电极焊盘721P、701P、711P的导通方法，并没有特别的限定，可以通过各种连接方法来连接。

例如，可以构成为在第一基板51A的与中介层7相对的面上，在俯视观察时与电极焊盘583P、561P、571P相重叠的位置上，设置有凹状的导电浆料注入部，且只要是俯视观察时相互重叠的电极焊盘583P、721P(电极焊盘561P、701P、电极焊盘571P、711P)彼此通过Ag基等导电浆料连接的结构即可。

也可以是如下所述的结构等：从电极焊盘583P、561P、571P伸出的配线在第一基板51A的与中介层7相对的面上延伸，这些延伸出的配线和中介层7的电极焊盘导通。

在图8所示的俯视图中，从第一内侧导通电极焊盘701P向突出区域Ar2形成有延伸至中介层7的一端侧的一条内侧导通电极线701L，在该内侧导通电极线701L的前端形成有第二内侧导通电极焊盘702P。

在图8所示的俯视图中，从第一内侧导通电极焊盘711P向突出区域Ar2形成有延伸至中介层7的一端侧的一条外侧导通电极线711L，在该外侧导通电极线711L的前端形成有第二外侧导通电极焊盘712P。

在图8所示的俯视图中，从第一内侧导通电极焊盘721P向突出区域Ar2形成有延伸至中介层7的一端侧的一条导通电极线721L，在该导通电极线721L的前端形成有第二导通电极焊盘722P。

第二内侧导通电极焊盘702P、第二外侧导通电极焊盘712P、以及第二导通电极焊盘722P通过FPC44(参照图1)与印刷基板41连接。由此，在各电极焊盘702P、712P、722P上，根据从控制装置6(参照图1)输入的控制信号，在各电极焊盘702P、712P、722P上施加电压。

根据上述第二实施方式，除可以实现与上述第一实施方式相同的效果以外，还实现如下效果。

也就是说，在第二实施方式的标准具5A中，构成为除了第一基板51A及第二基板52以外，还具备中介层7，且在中介层7上设置有突出区域Ar2。因此，由于设置有中介层7，所以可以比第一实施方式进一步抑制热量的传导，可以更可靠地抑制由于热量引起的反射镜弯曲。

此外，作为中介层7，也可使用热传导系数小的原料，在这样的结构中可以进一步防止热量的传导。

第三实施方式

图9是表示第三实施方式的标准具5B的第一基板51B的俯视图。

第三实施方式的标准具5B虽然是与上述第一实施方式的标准具5的第一基板51大致相同的结构，但在第一基板51B的突出区域Ar2上形成有一对切口部8(振动吸收部)这一点，与第一实施方式不同。

此外，在下面的说明中，对与上述第一实施方式相同的构成要素标注了相同的标号并省略其说明。

切口部8用于抑制来自外部的振动被传递到光干涉区域Ar1。该切口部8在第一基板51B的突出区域Ar2上，在如图9所示的俯视图中在沿第一基板51B的突出区域Ar2的突出方向的侧缘上，形成为呈コ字状切口。也就是说，在突出区域Ar2的形成有切口部8的地方，第一基板51B的宽度尺寸变小。

根据上述第三实施方式，除可以实现与上述第一实施方式相同的效果以外，还实现如下效果。

根据本实施方式，在第一基板51B的突出区域Ar2上形成有一对切口部8。在这样的结构中，设置有切口部8的宽度尺寸小的部分在结构上来说是薄弱的部分。因此，当从外部接收到振动时，欲当即限制该振动的力作用于光干涉部Ar1，设置有切口部8的结构上薄弱的部分弯曲以吸收振动。由此，可以抑制光干涉部Ar1的振动。

第三实施方式的第一变形例

图10是表示第三实施方式的第一变形例的标准具5C的第一基板51C的俯视图。

第一变形例的标准具5C是与上述第一实施方式的标准具5的第一基板51大致相同的结构，但是，在第一基板51C的突出区域Ar2上形成有矩形的贯通孔9(振动吸收部)。

根据本变形例，在第一基板51C的突出区域Ar2上贯通孔9在结构上是薄弱部分，当从外部接收到振动时，通过设置有贯通孔9的部分吸收振动。因此，可以抑制振动传递到标准具5C的光干涉区域Ar1。

第三实施方式的第二变形例

图11是第三实施方式的第二变形例的标准具5D的部分截面图。

第二变形例的标准具5D是与上述第一实施方式的标准具5大致相同的结构，但是，在第一基板51D的突出区域Ar2上形成有槽部11(振动吸收部)。该槽部11在突出区域Ar2的一端(光干涉区域Ar1侧)沿第一基板51D的宽度方向形成。

根据本变形例，在第一基板51D的突出区域Ar2上形成有槽部11，该部分是结构上的薄弱部分。因此，当从外部接收到振动时，可以通过槽部11进行吸收，可以抑制向标准具5D的光干涉区域Ar1传递振动。

实施方式的变形

此外，本发明并不仅限于上述实施方式，在能实现本发明目的的范围内的变形、改良等都包括在本发明中。

图12是表示与本发明的变形例相关的测色传感器4的主要部分的放大俯视图以及放大截面图。

在本变形例的测色传感器4中，通过一对保持部件43A连接第一基板51和印刷基板41。

在第一基板51的突出区域Ar2的前端侧形成有一对插通孔514，在印刷基板41的一端侧形成有一对插通孔411。

保持部件43A通过具有弹性的树脂、塑料等材质形成，且具备板状的保持部件主体46、以及从保持部件主体46突出的一对突出部47，这些形成为一体。

突出部47在基端侧(保持部件主体46侧)具有圆锥台状的圆锥台部471、以及在前端侧具有半球体状的半球部472。该半球部472的外径尺寸形成得大于各插通孔411、514的直径尺寸。

并且，保持部件43A的突出部47插通第一基板51的插通孔514及印刷基板41的插通孔411，一对保持部件43A保持第一基板51及印刷基板41。具体而言，当突出部47的半球部472被按压入各插通孔411、514时，在收缩的同时插通各插通孔411、514。半球部472在插通各插通孔411、514之后，膨胀恢复到原来的尺寸，所以各突出部47被固定在各插通孔411、514中。由此，保持部件43A保持第一基板51及印刷基板41。

此外，也可以在突出部47上形成切口，在突出部47插通插通孔411、514时易于收缩。

在上述各实施方式中，作为本发明涉及的干涉滤波器的一例，虽然例示了波长可变干涉滤波器的标准具，但也可以是使反射镜之间的间隙G的大小不发生变化的干涉滤波器。

在上述各实施方式中，虽然第二基板52是正方形，但也可以形成为具有光干涉区域Ar1及突出区域Ar2的长方形，并将第一基板51形成为正方形。

上述第二实施方式中的标准具5A虽然是依次层叠中介层7、第一基板51A、以及第二基板52的结构，但是也可是依次层叠第一基板51A、第二基板52以及中介层7的结构。

在上述各实施方式中，作为改变反射镜之间间隙G的结构，虽然例示了静电执行机构56、57，但也可以使用具备通流电流的电磁线圈、以及由于电磁力而向电磁线圈移动的永久磁铁的电磁执行机构。根据这样的结构，由于在电磁线圈中通流电流，且由于来自永久磁铁的磁通、该磁通和电流之间的相互作用引起的电磁力，永久磁铁向电磁线圈移动，所以变位部发生变动。并且，也可以是在基板间设置由于施加电压而能伸缩的压电元件的结构。

在第一实施方式中，虽然例示了在第一基板51上设置有突出区域Ar2的结构，但也可以例如是在第二基板52上设置有突出区域Ar2的结构，还可以是在第一基板51及第二基板52两者上设置突出区域Ar2的结构。

在上述实施方式中，虽然结合面513、524通过结合层53结合，但并不仅限于此。例如，也可以是不形成结合层53，使结合面513、524活性化，通过重叠加压活性化后的结合面513、524而结合的、所谓的通过常温活性化结合的结构等，可以是任何的结合方法。

在上述实施方式中，作为本发明的光组件，例示了测色传感器4，作为光分析装置，例示了具备测色装置4的测色装置1，但是并不仅限于此。例如，也可以使用例如使气体流入传感器内部、并检测入射光中的被气体吸收的光的气体传感器作为本发明的光组件，还可以将通过这样的气体传感器分析、判断流入传感器内的气体的气体检测装置作为本发明的光分析装置。此外，光分析装置也可以是具备这样的光组件的分光照相机、分光分析器等。

并且，通过随着时间使各波长的光的强度发生变化，从而能通过各波长的光来传送数据，在这种情况下，通过设置在光组件中的标准具5分光指定波长的光，并通过光接收部来接收光，从而可以提取通过指定波长的光传送的数据，并可以通过具备这样的数据提取用光组件的光分析装置处理各波长的光的数据，从而实施光通信。

附图标记说明

1测色装置(光分析装置)

4测色传感器(光组件)

5、5A～5D标准具(干涉滤波器)

7中介层(支承基板)

8切口部(振动吸收部)

9贯通孔(振动吸收部)

11槽部(振动吸收部)

42光接收元件(光接收部)

43、43A保持部件

51第一基板

52第二基板

54固定反射镜(第一反射膜)

55可动反射镜(第二反射膜)

Ar1光干涉区域

Ar2突出区域

63测色处理部(分析处理部)

Claims

1.一种光组件，其特征在于，具备：

干涉滤波器以及保持所述干涉滤波器的保持部件，

所述干涉滤波器具有：第一基板、与所述第一基板相对的第二基板、设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上的第一反射膜、以及设置在所述第二基板上的隔着规定间隙与所述第一反射膜相对的第二反射膜，

在所述第一基板和所述第二基板之间设置有用于调整所述规定间隔的尺寸的至少一个静电执行机构，

所述干涉滤波器在沿基板厚度方向观察的俯视图中，具备设置有所述第一反射膜及所述第二反射膜的光干涉区域、以及向离开所述光干涉区域的方向突出的突出区域，

所述保持部件在所述突出区域的与所述光干涉区域相反侧的一端侧保持所述干涉滤波器。

2.根据权利要求1所述的光组件，其特征在于，

所述第一基板及所述第二基板形成为相同形状，

所述干涉滤波器具备与所述第一基板及所述第二基板中的任一个结合的支承基板，

所述突出区域设置在所述支承基板上。

3.根据权利要求1所述的光组件，其特征在于，

所述突出区域设置在所述第一基板及所述第二基板中的至少任一个上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光组件，其特征在于，

在所述突出区域上设置有用于吸收振动的振动吸收部。

5.一种光分析装置，其特征在于，具备权利要求1至4中任一项所述的光组件，

所述光组件具备用于接收通过所述干涉滤波器提取的检查对象光的光接收部，

所述光分析装置具备分析处理部，所述分析处理部根据通过所述光接收部接收到的所述检查对象光的光量，分析所述检查对象光的光特性。