CN102566153B - 分配设备 - Google Patents
分配设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102566153B CN102566153B CN201110454332.3A CN201110454332A CN102566153B CN 102566153 B CN102566153 B CN 102566153B CN 201110454332 A CN201110454332 A CN 201110454332A CN 102566153 B CN102566153 B CN 102566153B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- transmitting set
- optical transmitting
- light beam
- optical receiver
- summation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
提供一种分配设备,其包含:多个光发射器,其彼此间隔开以发射光;以及传感器零件,其包含多个光接收器,光接收器面对光发射器且彼此间隔开以接收从光发射器发射的光。光发射器经安置使得从光发射器发射的光束的路径彼此交叉且在其至少一部分中彼此重叠。因此,可减少源材料的排放位置的偏离以可靠地感测源材料。因此,可准确地确定液晶是否被分配。另外,由于将从光发射器发射的光束的量的总和与入射到光接收器的光束的量的总和之间的差异用来确定源材料是否被分配,所以所发射光强度与入射光强度之间的差异大于相关技术中的差异。
Description
本申请案主张2010年12月30号申请的第10-2010-0138462号韩国专利申请案的优先权,所述专利申请案的内容以引用的方式全部并入本文中。
技术领域
本发明涉及分配设备,且更明确地说涉及能够准确地感测是否分配源材料的分配设备。
背景技术
一般来说,通过将一对平板衬底结合在一起来制造平板显示面板。举例来说,当制造液晶显示面板时,制造具备薄膜晶体管和像素电极的下部衬底和具备彩色滤光器和公共电极的上部衬底。接着,将液晶分配在下部衬底上,且将上部衬底与下部衬底结合并密封以制造液晶显示面板。
在此情况下,使用液晶分配设备来将液晶分配在衬底上。此类液晶分配设备包含:在其上置放衬底的台;安置在所述台上的门架(gantry);排放单元,其安置在门架上且包含用于分配液晶的喷嘴;以及感测单元,其安置在排放单元下方以感测液晶是否从所述排放单元分配。感测单元包含:发光零件,其包含用于发射光的光发射器;以及多个光接收器,其与发光零件间隔开以接收从光发射器发射的光。光发射器面对光接收器。喷嘴安置在多个光发射器与多个光接收器之间的空间上方。感测单元比较从光发射器发射的光量与入射到光接收器的光量,以感测是否分配了液晶。举例来说,当液晶未从喷嘴滴落时,从光发射器发射的光束分别入射到光接收器。因此,从光发射器发射的光束量等于入射到光接收器的光束量。因而,当从光发射器发射的光束量等于入射到光接收器的光束量时,得出液晶未被分配的结论。相反,当从喷嘴分配液晶时,从光发射器中的一者发射的光被液晶反射,且因此,被防止入射到光接收器,或仅少量光入射到光接收器。即,从喷嘴滴落的液晶的路径穿过从光发射器中的一者发射的光的路径。因此,从光发射器发射的对应于所滴落液晶的路径的光并未入射到光接收器,或仅所述光的一部分入射到光接收器。因此,从光发射器发射的对应于所滴落液晶的路径的光量不同于入射到面对光发射器的光接收器的光量。因而,当所发射的光量不同于入射光的量时,得出液晶被分配的结论。
当液晶被分配时,从光发射器中的一者发射的光的至少一部分可能未入射到光接收器。另外,即使光接收器未接收从面对所述光接收器的光发射器发射的光,光接收器仍可接收从邻近第一光发射器的另一光发射器发射的光的一部分。在此情况下,从第一光发射器发射的光量可实质上与入射到面对第一光发射器的光接收器的光量相同。因此,所发射光量与入射光的量之间的差异是小的。因此,即使液晶经分配,仍可得出液晶未经分配的结论。此可能使得难以准确地确定是否分配液晶,或难以感测液晶的分配失败。因此,可能在未分配液晶的情况下执行处理程序,由此降低生产率。
发明内容
本发明提供一种可准确地确定源材料是否被分配的分配设备。
本发明还提供一种分配设备,其包含多个光发射器和多个光接收器,其中从光发射器发射的光束的路径交叉且在至少一个区域中彼此重叠。
本发明还提供一种分配设备,其基于供应到光发射器的光束的量的总和与入射到光接收器的光束的量的总和之间的差异来确定液晶是否被分配。
根据例示性实施例,分配设备包含:多个光发射器,所述多个光发射器彼此间隔开以发射光;以及传感器零件,其包含多个光接收器,所述多个光接收器面对光发射器且彼此间隔开以接收从所述光发射器发射的光,其中所述光发射器经安置使得从光发射器发射的光束的路径彼此交叉且在其至少一部分中彼此重叠。
分配设备可包含检测单元,所述检测单元连接到所述传感器零件,以基于供应到光发射器的光束的量的总和与入射到光接收器的光束的量的总和之间的差异来确定源材料是否被分配。
从所述光发射器发射的光束可指向相同空间的中央区域,且所发射光束的路径可彼此交叉。
传感器零件可包含具有开放中央区域的传感器零件主体,且所述光发射器和所述光接收器可插入在所述传感器零件主体中。
从光发射器发射的光可指向所述传感器零件主体的开放中央区域。
从所述光发射器发射的光束的路径可在所述传感器零件主体的开放中央区域中彼此交叉。
所述多个光发射器与所述多个光接收器可彼此间隔开,且经交替地安置。
所述检测单元可包含:感测零件,其连接到所述光接收器以接收入射到光接收器的光束的强度数据;以及计算零件,其连接到所述光发射器和所述感测零件以计算从光发射器发射的光束的量的所总和与入射到光接收器的光束的量的总和之间的差异。
所述分配设备可包含确定零件,所述确定零件基于由计算零件计算的所述差异来确定源材料是否被分配。
附图说明
可从以下描述结合附图更详细地理解例示性实施例,其中:
图1是说明根据例示性实施例的衬底处理设备的透视图。
图2是说明图1的排放单元和检测系统的示意图。
图3是说明根据例示性实施例的检测零件的透视图。
图4是说明根据例示性实施例的传感器零件和检测单元的示意图。
图5A和图5B是说明借助于根据例示性实施例的感测单元和检测单元来确定是否分配液晶的方法的示意图。
图6A和图6B是说明借助于相关技术中的感测单元来确定是否分配液晶的方法的示意图。
具体实施方式
下文中,将参看附图详细描述具体实施例。然而,本发明可以不同形式体现,且不应解释为限于本文所陈述的实施例。而且,提供这些实施例以使得本发明将为透彻且完整的,且将本发明的范围充分传达给所属领域的技术人员。
图1是说明根据例示性实施例的衬底处理设备的透视图。图2是说明图1的排放单元和检测系统的示意图。图3是说明根据当前实施例的检测零件的透视图。图4是说明根据当前实施例的传感器零件和检测单元的示意图。
参看图1和图2,根据当前实施例的衬底处理设备包含:台100,在所述台100上置放衬底S;门架200,其安置在所述台100上;多个排放单元400,其固定到所述门架200上且彼此间隔开且在布置方向上排列;多个检测系统500,其连接到排放单元400以感测源材料是否从排放单元400分配;以及多个排放单元移动部件700,其安置在门架200上且在排放单元400的布置方向上延伸且水平地移动排放单元400。衬底处理设备进一步包含安置在台100上且水平移动门架200的门架移动部件300。在当前实施例中,将液晶用作源材料以分配在衬底S上,且衬底处理设备可为液晶分配设备。然而,本发明并不限于其,且因此,可将各种液体用作源材料。举例来说,源材料可为涂覆在一对衬底S之间以使其结合的密封剂或软膏。
台100具有对应于衬底S的形状,使得可将衬底S置放在台100上。由于将四角形玻璃衬底用作衬底S,所以台100为四角形。然而,台100的形状并不限于其,且因此,可随着衬底S的形状变化。台100可包含单独的固定部件(未图示)来支撑和固定衬底S。可将使用静电力的静电卡盘或使用真空吸力的真空固定装置用作固定部件。当使用真空固定装置时,台100可具备与真空泵连通的孔。
门架移动部件300可在横穿排放单元400和检测零件510的水平移动方向的方向上移动门架200。门架移动部件300包含:一对导轨310,其在台100上彼此平行且间隔开;以及一对门架驱动部件320,其分别安置在导轨310上且沿着导轨310滑动。导轨310在垂直于排放单元400和检测零件510的水平移动方向的方向上延伸。门架驱动部件320的上部部分耦合到门架200的下部部分。因此,当门架驱动部件320沿着导轨310滑动时,耦合到门架驱动部件320的门架200水平移动。举例来说,门架驱动部件320可为经配置以线性移动的线性马达与使滚珠螺杆(ballscrew)旋转的马达的组合。然而,本发明并不限于其,且因此,门架驱动部件320可为在导轨310上滑动的任何部件。
排放单元400中的每一者包含:耦合部件410,其耦合到安置在门架200上的排放单元移动部件700,且由排放单元移动部件700水平移动;源材料存储器420,其安置在耦合部件410的上部部分上且存储液晶;注射器430,其接收来自源材料存储器420的液晶且排放所述液晶;以及排放零件450,其接收来自注射器430的液晶且将液晶排放在衬底S上。此外,排放单元400中的每一者包含:第一供应管480,其具有连接到源材料存储器420的一端和连接到注射器430的另一端;第二供应管490,其具有连接到注射器430的一端和连接到排放零件450的喷嘴452的另一端;第一阀460,其安装在第一供应管480上以控制注射器430与源材料存储器420之间的连通;第二阀470,其安装在第二供应管490上以控制注射器430与排放零件450之间的连通;源材料存储器支撑部件420-1,其安装在耦合部件410上以支撑源材料存储器420;以及注射器支撑部件430-1,其支撑注射器430。第一供应管480和第二供应管490具有带有内部空间的管形状。源材料存储器支撑部件420-1具有板形状,所述板形状具有大于源材料存储器420的面积的面积,且源材料存储器支撑部件420-1安装在源材料存储器420下方的耦合部件410上以支撑源材料存储器420。注射器支撑部件430-1具有带有开放孔的板形状,且安装在耦合部件410上。注射器430的下部部分的至少一部分插入并固定在注射器支撑部件430-1的开放孔中。然而,源材料存储器支撑部件420-1和注射器支撑部件430-1的形状和安装位置并不限于其,且因此可变化,只要源材料存储器420和注射器430被支撑和固定便可。排放单元400的耦合部件410的后部表面耦合到安装在门架200上的排放单元移动部件700。耦合部件410具有板形状,其前表面具备源材料存储器420、注射器430和排放零件450,且其后表面连接到排放单元移动部件700。因此,排放单元400可借助于排放单元移动部件700水平移动以将液晶分配在衬底S上。
源材料存储器420存储液晶以供应到注射器430,且具有带有内部空间的圆柱形状。然而,源材料存储器420的形状并不限于其,且因此,可从具有用以接收液晶的内部空间的各种形状中选择。可将消泡器(未图示)安装在源材料存储器420上以从液晶去除泡沫。举例来说,消泡器可包含真空部件以从源材料排放空气。
注射器430接收来自源材料存储器420的液晶,并将液晶的特定部分供应到排放零件450。注射器430包含:注射器主体431,其具有存储液晶的内部空间;注射入口432,其连接到注射器主体431的侧部部分以注射液晶;排放出口433,其连接到注射器主体431的下部部分以从注射器主体431排放液晶;以及调整器434,其连接到注射器主体431的上部部分以调整注射器主体431的内部压力,由此控制液晶的引入和排放。注射器主体431具有带有存储液晶的内部空间的桶形状,且可由例如金属、塑料或玻璃的材料形成。注射入口432的一端连接到注射器主体431,且其另一端连接到第一供应管480。排放出口433的一端连接到注射器主体431,且其另一端连接到第二供应管490。调整器434控制液晶经由注射入口432到注射器主体431的注射,以及液晶经由排放出口433从注射器主体431的排放。举例来说,调整器434可调整注射器主体431的内部压力以控制液晶的注射和排放。即,调整器434可为至少一部分在注射器主体431内垂直移动的活塞。然而,调整器434并不限于其,且因此可从用于调整注射器主体431的内部压力或控制液晶的注射(或引入)和排放的多种部件中选择。排放零件450安装在注射器430下方的耦合部件410上,以将液晶分配在置放在台100上的衬底S上。排放零件450包含将液晶分配在衬底S上的喷嘴452以及在其上安装并固定喷嘴452的喷嘴支撑部件451。喷嘴支撑部件451可具有带有开放孔的板形状,在所述开放孔中插入且固定喷嘴452的至少一部分。将喷嘴支撑部件451安装且固定到耦合部件410。喷嘴452连接到第二供应管490的一端,且经由第二供应管490接收来自注射器430的液晶以将液晶分配到衬底S。
检测系统500基于光强度的变化来确定液晶是否被分配。检测系统500的位置对应于从排放零件450的喷嘴452滴落的液晶的位置。检测系统500包含:感测单元510,其包含多个光发射器512b-1、512b-2和512b-3以及多个光接收器512c-1、512c-2和512c-3;以及检测单元520,其关于信号传输而连接到感测单元510,其基于由感测单元510感测的数据来确定液晶是否被分配。
感测单元510包含:传感器零件512,其具有带有开放中央部分的环形形状且安置在液晶从喷嘴452滴落所在的侧部上;光供应零件513,其经配置以将光供应到传感器零件512;以及传感器零件支撑部件511,其具有连接到传感器零件512的一端和连接到喷嘴支撑部件451的另一端,从而支撑并固定传感器零件512。
参看图3和图4,传感器零件512包含:传感器零件主体512a,其具有带有开放中央部分的环形形状;多个光发射器512b-1、512b-2和512b-3,所述光发射器彼此间隔恒定距离且具有插入在传感器零件主体512a中的至少一部分;以及多个光接收器512c-1、512c-2和512c-3,所述光接收器彼此间隔恒定距离且具有插入在传感器零件主体512a中的至少一部分。传感器零件主体512a具有在其中分别插入光发射器512b-1、512b-2和512b-3以及光接收器512c-1、512c-2和512c-3的凹座(未图示)。举例来说,传感器零件主体512a的环形形状可为油炸圈饼形状。然而,传感器零件主体512a的形状并不限于其,且因此可从例如四角形环形形状和三角形环形形状的各种环形形状中选择。在下文中,将传感器零件主体512a的开放中央部分称为开口。
光发射器512b-1、512b-2和512b-3连接到光供应零件513以接收来自光供应零件513的光并发射光。为此目的,光发射器512b-1、512b-2和512b-3包含光纤。然而,光发射器512b-1、512b-2和512b-3并不限于其,且因此,可包含用于发射光的任何部件。尽管提供光发射器512b-1、512b-2和512b-3,但可提供两个或两个以上光发射器。如上所述,光发射器512b-1、512b-2和512b-3插入在传感器零件主体512a中,且彼此间隔开。光发射器512b-1、512b-2和512b-3的各自发光区域经由传感器零件主体512a的内部表面而暴露。即,发光区域指向传感器零件主体512a的开口。光发射器512b-1、512b-2和512b-3与传感器零件主体512a的开口中心间隔恒定距离。从光发射器512b-1、512b-2和512b-3中的每一者发射的光具有特定面积。即,构成光发射器512b-1、512b-2和512b-3中的每一者的光纤发射相应光束,所述光束联合成具有特定面积的一个光束。从光发射器512b-1、512b-2和512b-3中的每一者发射的光可具有三角形形状,其随着光传播和扩展而在面积上增加。由于从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束全部指向传感器零件主体512a的开口,所以所述光束的路径在至少一个区域中彼此重叠。将传感器零件主体512a开口的中央区域中的路径的重叠部分称作重叠区域。从排放路径450的喷嘴452滴落的大多数液晶穿过重叠区域,且经分配在衬底S上。
光接收器512c-1、512c-2和512c-3接收从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束以将光束的相应强度值传输到检测系统500。根据本发明,光接收器的数目可对应于光发射器的数目。光接收器512c-1、512c-2和512c-3的数目对应于光发射器512b-1、512b-2和512b-3的数目为三。如上所述,光接收器512c-1、512c-2和512c-3插入在传感器零件主体512a中,且彼此间隔开。光接收器512c-1、512c-2和512c-3中的一者安置在光发射器512b-1、512b-2和512b-3中的两者之间。多个光发射器512b-1、512b-2和512b-3与多个光接收器512c-1、512c-2和512c-3交替安置。光接收器512c-1、512c-2和512c-3分别面对光发射器512b-1、512b-2和512b-3。光接收器512c-1、512c-2和512c-3的各自光入射区域经由传感器零件主体512a的内部表面暴露。即,相应光入射区域指向传感器零件主体512a的开口。光接收器512c-1、512c-2和512c-3与传感器零件主体512a开口的中心间隔恒定距离。
因而,传感器零件主体512a具有圆形环形状,且光发射器512b-1、512b-2和512b-3与光接收器512c-1、512c-2和512c-3在传感器零件主体512a中彼此间隔开。另外,多个光发射器512b-1、512b-2和512b-3与多个光接收器512c-1、512c-2和512c-3交替地安置,且光发射器512b-1、512b-2和512b-3分别面对光接收器512c-1、512c-2和512c-3。如图4中说明,从光发射器512b-1、512b-2和512b-3中的每一者发射的光穿过传感器零件主体512a的开口的中央部分。因此,在传感器零件主体512a的开口的中央部分中形成重叠区域,在所述重叠区域中从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束路径彼此重叠。另外,从喷嘴452滴落的大多数液晶穿过重叠区域。因此,从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光的至少一部分被所滴落液晶反射,且因此未入射在光接收器512c-1、512c-2和512c-3上。举例来说,从光发射器512b-1发射到所滴落液晶的光被所滴落液晶反射,且因此未入射到第一光接收器512c-1。从光发射器512b-1发射但未遇到所滴落液晶的光在无反射的情况下传播,但未入射到第一光接收器512c-1。从第二和第三光发射器512b-2和512b-3发射到所滴落液晶的光被所滴落液晶反射,且因此未入射到第二和第三光接收器512c-2和512c-3。从第二和第三光发射器512b-2和512b-3发射但未遇到所滴落液晶的光在无反射的情况下传播,但未入射到第二和第三光接收器512c-2和512c-3。因此,从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光量不同于入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光量。因此,基于从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束的量的总和与入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和之间的差异来确定液晶是否被分配。从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束的量的总和与入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和之间的差异大于典型方法的差异。因此,可比使用典型方法更准确地确定液晶是否被分配。稍后将详细描述基于从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束的量的总和与入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和之间的差异来确定液晶是否被分配的方法。
检测单元520连接到光供应零件513和光接收器512c-1、512c-2和512c-3,且检测从光供应零件513供应到光发射器512b-1、512b-2和512b-3的光量与入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光量之间的差异,以确定液晶是否被分配。检测单元520包含:感测零件521,其连接到光接收器512c-1、512c-2和512c-3以接收入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光的强度数据;计算零件522,其连接到光供应零件513和感测零件521以计算供应到光发射器512b-1、512b-2和512b-3的光束的量的总和与入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和之间的差异;以及确定零件523,其基于由计算零件522计算的值来确定液晶是否被分配。由计算零件522计算的值是供应到光发射器512b-1、512b-2和512b-3的光束的量的总和与入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和之间的差异。
感测零件521连接到光接收器512c-1、512c-2和512c-3以接收入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光的信号,且基于所述信号计算光强度。举例来说,当三个光发射器512b-1、512b-2和512b-3对应于三个光接收器512c-1、512c-2和512c-3时,感测零件521接收入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的信号并基于所述信号计算光束的光强度。
如上所述,计算零件522连接到光供应零件513和感测零件521以计算供应到光发射器512b-1、512b-2和512b-3的光束的量的总和与入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和之间的差异。为此目的,计算零件522接收从光供应零件513供应到光发射器512b-1、512b-2和512b-3的光束的强度数据并求和。另外,计算零件522连接到感测零件521以接收入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的强度数据并求和。在下文,将从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束的量的总和称作所发射光强度总和,且将入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和称作入射光强度总和。计算零件522计算所发射光强度总和与入射光强度总和之间的差异。在下文中,将由计算零件522计算的所发射光强度总和与入射光强度总和之间的差异称作计算值。
确定零件523连接到计算零件522以通过比较所发射光强度总和与入射光强度总和或通过使用由计算零件522计算的计算值来确定液晶是否被分配。即,当入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和为零时,或当所发射光强度总和与入射光强度总和之间的差异(即,计算值)较大时,确定零件523得出液晶被分配的结论。相反,当所发射光强度总和与入射光强度总和之间的差异(即,计算值)为零或在特定范围内时,确定零件523得出液晶未被分配的结论。
如上所述,将光发射器512b-1、512b-2和512b-3插入到在中心具有开口的传感器零件主体512a中。然而,本发明并不限于其。尽管未展示,光发射器可发射光束到相同空间的中央区域。因此,所发射光束的路径在相同空间的中央区域中彼此交叉和重叠。
图5A和图5B是说明借助于根据例示性实施例的感测单元和检测单元来确定液晶是否被分配的方法的示意图。参看图5A,没有液晶经安置。参看图5B,液晶经安置。图6A和图6B是说明借助于相关技术中的感测单元来确定液晶是否被分配的方法的示意图。参看图6A,没有液晶经安置。参看图6B,液晶经安置。将简要描述当前实施例的与先前实施例的零件相同的零件,或将省略其描述。
再次参看图5A,当液晶未从喷嘴452排放时,从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光的至少一部分入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3。举例来说,从第一光发射器512b-1发射的光束的部分入射到第一光接收器512c-1。所发射光束的剩余部分未入射到第一光接收器512c-1。或者,从第一光发射器512b-1发射的光束的全部可入射到第一光接收器512c-1。从第二和第三光发射器512b-2和512b-3发射的光束的一部分入射到第二和第三光接收器512c-2和512c-3,且其剩余光束未入射到第二和第三光接收器512c-2和512c-3。或者,从第二和第三光发射器512b-2和512b-3发射的光束的全部可入射到第二和第三光接收器512c-2和512c-3。
检测系统500的感测零件521接收入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的信号,且基于所述信号计算光强度值。接着,计算零件522接收供应到光发射器512b-1、512b-2和512b-3的光束的强度数据并求和。其后,计算零件522计算从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束的量的总和(即,所发射光强度总和)与入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和(即,入射光强度总和)之间的差异。确定零件523通过比较所发射光强度总和与入射光强度总和或通过使用由计算零件522计算的计算值来确定液晶是否被分配。此时,由于来自光发射器512b-1、512b-2和512b-3的光束的至少一部分入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3,所以所发射光强度总和等于入射光强度总和或在特定范围内与其不同。即,由计算零件522计算的计算值为零或较小。因此,确定零件523得出液晶未被分配的结论。
参看图5B,当液晶从喷嘴452滴落时,液晶穿过重叠路径,在所述重叠路径中从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束的路径彼此重叠。从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束的至少一部分被反射且被液晶阻挡。即,与从光发射器中的一者发射的光被反射且阻挡的相关技术不同,从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束被反射且被防止入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3。举例来说,从第一光发射器512b-1发射到所滴落液晶的光束被所滴落液晶反射,且因此未入射到第一光接收器512c-1。从第二和第三光发射器512b-2和512b-3发射到所滴落液晶的光束被所滴落液晶反射,且因此未入射到第二和第三光接收器512c-2和512c-3。
此时,检测系统500的感测零件521接收入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的信号,且基于所述信号计算光强度值。计算零件522接收从光供应零件513供应到光发射器512b-1、512b-2和512b-3的光束的强度数据并求和。此时,在液晶滴落的情况下入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和小于如图5A所说明的在无液晶滴落的情况下入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和。另外,所发射光强度总和与入射光强度总和之间的差异大于图5A中的差异。其后,计算零件522计算从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束的量的总和(即,所发射光强度总和)与入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和(即,入射光强度总和)之间的差异。确定零件523通过比较所发射光强度总和与入射光强度总和或通过使用由计算零件522计算的计算值来确定液晶是否被分配。此时,由于来自光发射器512b-1、512b-2和512b-3的光束的至少一部分未入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3,所以所发射光强度总和与入射光强度总和之间的差异较大。另外,所发射光强度总和与入射光强度总和之间的差异在液晶滴落的情况下大于如图5A中所说明的在无液晶滴落的情况下的所发射光强度总和与入射光强度总和之间的差异。因此,确定零件523得出液晶被分配的结论。
在相关技术中,光发射器在直线上彼此间隔开,且光接收器在直线上彼此间隔开以面对光发射器,如图6A和图6B所说明。参看图6B,当液晶从喷嘴滴落时,仅有从光发射器中的一者发射的光被液晶反射。即,仅有从光发射器发射的对应于所滴落液晶的路径的光被所滴落液晶反射,且被防止入射到光接收器。另外,将来自光发射器中的一者的光量与仅入射到对应于光发射器的光接收器的光量相比,且因此其间的差异较小。因此,即使液晶被分配,仍可得出液晶未被分配的结论。
然而,根据上述实施例,光发射器512b-1、512b-2和512b-3经安置使得从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束的路径彼此重叠。另外,通过比较从光发射器512b-1、512b-2和512b-3发射的光束的量的总和与入射到光接收器512c-1、512c-2和512c-3的光束的量的总和来确定液晶是否被分配。因此,所发射光强度与入射光强度之间的差异大于相关技术的差异。因此,可比使用典型方法更准确地确定液晶是否被分配。
尽管在本文中举例说明用于分配液晶的设备,但本发明不限于其,且因此可举例说明用于分配源材料的各种设备,例如软膏分配器和墨水分配器。
根据所述实施例,光发射器分别面对光接收器。从光发射器发射的光束的路径彼此交叉并重叠。由于用于排放源材料的喷嘴安置在所发射光束的路径彼此重叠的重叠区域上,所以从喷嘴滴落的液晶穿过重叠区域。因此,可减少源材料的排放位置的偏离以可靠地感测源材料。因此,可准确地确定液晶是否被分配。
另外,由于将从光发射器发射的光束的量的总和与入射到光接收器的光束的量的总和之间的差异用以确定源材料是否被分配,所以所发射光强度与入射光强度之间的差异大于相关技术的差异。因此,可比使用典型方法更准确地确定源材料是否被分配。因此,可防止在未分配源材料的情况下执行处理程序,由此节省时间。另外,可防止由于源材料的分配失败而引起的装置缺陷。
尽管已参考具体例示性实施例描述了分配设备,但其并不限于此。因此,所属领域的技术人员将容易理解在不偏离权利要求书所界定的本发明精神和范围的情况下可对本发明进行各种修改和改变。
Claims (5)
1.一种用于分配源材料的分配设备,包括:
多个光发射器,所述多个光发射器彼此间隔开以发射光;
传感器零件,其包括多个光接收器,所述多个光接收器面对所述光发射器且彼此间隔开以接收从所述光发射器发射的所述光,其中所述光发射器经安置使得从所述光发射器发射的光束的路径彼此交叉且在所述光束的所述路径的至少一部分中彼此重叠;
喷嘴安置在传感器零件主体的开放中央区域的上部部分,所述用于分配源材料的分配设备的特征在于:
所述用于分配源材料的分配设备更包括检测单元,所述检测单元连接到所述传感器零件以藉由计算发射光强度总和与入射光强度总和之间的差异来确定所述源材料是否被分配,其中所述发射光强度总和为供应到各所述光发射器的光束的量的总和,而所述入射光强度总和为入射到各所述光接收器的光束的量的总和,
其中所述传感器零件包括具有开放中央区域的传感器零件主体,且所述多个光发射器和所述多个光接收器各自插入在所述传感器零件主体中,
所述多个光发射器经插入使得从各所述光发射器发射的光束的路径在所述传感器零件主体的所述开放中央区域彼此交叉,
其中所述检测单元包括:
感测零件,其连接到所述光接收器以接收入射到所述光接收器的所述光束的强度数据;以及
计算零件,其连接到所述光发射器和所述感测零件以计算从所述光发射器发射的所述光束的所述量的所述总和与入射到所述光接收器的所述光束的所述量的所述总和之间的所述差异。
2.根据权利要求1所述的分配设备,其中从所述光发射器发射的光指向所述传感器零件主体的所述开放中央区域。
3.根据权利要求2所述的分配设备,其中从所述光发射器发射的所述光束的所述路径在所述传感器零件主体的所述开放中央区域中彼此交叉。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的分配设备,其中所述多个光发射器与所述多个光接收器彼此间隔开,且经交替地安置。
5.根据权利要求1所述的分配设备,其包括确定零件,所述确定零件基于由所述计算零件计算的所述差异来确定所述源材料是否被分配。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2010-0138462 | 2010-12-30 | ||
KR1020100138462A KR101288988B1 (ko) | 2010-12-30 | 2010-12-30 | 적하 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102566153A CN102566153A (zh) | 2012-07-11 |
CN102566153B true CN102566153B (zh) | 2016-06-29 |
Family
ID=46411935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201110454332.3A Expired - Fee Related CN102566153B (zh) | 2010-12-30 | 2011-12-30 | 分配设备 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101288988B1 (zh) |
CN (1) | CN102566153B (zh) |
TW (1) | TW201226062A (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2020217525A1 (zh) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1804542A (zh) * | 2005-01-13 | 2006-07-19 | 三星电子株式会社 | 用于检测液晶滴落量的系统和方法 |
CN101542371A (zh) * | 2007-02-05 | 2009-09-23 | 芝浦机械电子株式会社 | 液晶的供给装置 |
KR20100048402A (ko) * | 2008-10-31 | 2010-05-11 | 세메스 주식회사 | 처리액 공급 유닛과, 이를 이용한 기판 처리 장치 및 방법 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0820354B2 (ja) * | 1986-04-01 | 1996-03-04 | 隆三郎 是枝 | 滴測計 |
JP3703418B2 (ja) | 2001-10-03 | 2005-10-05 | キヤノン株式会社 | 飛翔物体位置測定方法及び装置 |
JP2008105304A (ja) * | 2006-10-26 | 2008-05-08 | Ricoh Elemex Corp | 液吐出不良検出装置、およびインクジェット記録装置 |
-
2010
- 2010-12-30 KR KR1020100138462A patent/KR101288988B1/ko active IP Right Grant
-
2011
- 2011-12-30 TW TW100149700A patent/TW201226062A/zh unknown
- 2011-12-30 CN CN201110454332.3A patent/CN102566153B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1804542A (zh) * | 2005-01-13 | 2006-07-19 | 三星电子株式会社 | 用于检测液晶滴落量的系统和方法 |
CN101542371A (zh) * | 2007-02-05 | 2009-09-23 | 芝浦机械电子株式会社 | 液晶的供给装置 |
KR20100048402A (ko) * | 2008-10-31 | 2010-05-11 | 세메스 주식회사 | 처리액 공급 유닛과, 이를 이용한 기판 처리 장치 및 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102566153A (zh) | 2012-07-11 |
KR101288988B1 (ko) | 2013-07-23 |
TW201226062A (en) | 2012-07-01 |
KR20120076763A (ko) | 2012-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6863097B2 (en) | Apparatus and method for dispensing liquid crystal | |
CN101444773B (zh) | 检测涂胶机的喷孔和激光位移传感器的光点的位置的位置检测设备和方法 | |
KR100919407B1 (ko) | 액정 적하 장치 | |
CN101551256B (zh) | 密封剂配送器及其控制方法 | |
CN101135817B (zh) | 液晶分配器 | |
CN103632637B (zh) | 光源设备、光源设备的控制方法、以及显示设备 | |
CN102019244A (zh) | 密封胶涂布机及控制密封胶涂布机的方法 | |
CN102566153B (zh) | 分配设备 | |
CN101592821A (zh) | 一种背光源 | |
CN102078848A (zh) | 用于控制涂胶机的方法 | |
CN103170434A (zh) | 密封胶涂布机 | |
EP2657594B1 (en) | Method and apparatus for preventing light leakage from light guide plate and display device having light guide plate painted with reflective material | |
US8113144B2 (en) | Photoresist-coating and photoresist-coating method using the same | |
CN102566154B (zh) | 感测模块 | |
CN101770119A (zh) | 用于滴落液晶的设备和方法 | |
CN100454115C (zh) | 用于调节密封剂分配器中支撑框架的对准的方法 | |
CN108393212A (zh) | 分配装置 | |
KR101796593B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
CN102101094B (zh) | 用于控制分配器设备的方法 | |
CN111025785B (zh) | 液晶涂布方法及装置 | |
CN110058498A (zh) | 彩膜曝光机 | |
CN207352318U (zh) | 背光模组及显示器 | |
KR20040091908A (ko) | 엘시디 패널 안착용 서포터의 실리콘 도포방법 | |
KR20080061141A (ko) | 기판 클립 체결 장치 및 방법 | |
KR20120017529A (ko) | 프리즘 시트, 그 제조장치, 및 그 프리즘 시트를 포함한 액정표시장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160629 Termination date: 20201230 |