CN102411372B - 组合驱动微位移调节装置 - Google Patents
组合驱动微位移调节装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102411372B CN102411372B CN 201110340632 CN201110340632A CN102411372B CN 102411372 B CN102411372 B CN 102411372B CN 201110340632 CN201110340632 CN 201110340632 CN 201110340632 A CN201110340632 A CN 201110340632A CN 102411372 B CN102411372 B CN 102411372B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- worm gear
- oil cylinder
- worm
- transmission module
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 65
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 83
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 20
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 20
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 13
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 12
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 abstract description 9
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 42
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000010720 hydraulic oil Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Gear Transmission (AREA)
Abstract
本发明涉及一种组合驱动微位移调节装置，由蜗轮蜗杆传动模块、蜗轮轴、旋转轴、键、滚动轴承、光栅尺、轴承挡圈、滑块、壳体、第三油缸、液压传动模块、工作台以及驱动控制系统组成，蜗轮轴通过螺钉与蜗轮蜗杆传动模块固定连接；旋转轴一端连接蜗轮轴，另一端与螺母螺纹副连接，旋转轴位于滚动轴承中，螺母底端与滑块刚性联结，滑块沿所述导轨做直线往复运动，螺母右端为等效活塞，连接第三油缸；第三油缸位于壳体内，通过液压回路与液压传动模块的油缸连通；液压传动模块的活塞连接工作台；工作台上装有光栅尺；所述蜗轮蜗杆传动模块由电动机、电机支架、联轴器、蜗轮箱、第一向心轴承、第一挡圈、第二向心轴承、第二挡圈、蜗轮和蜗杆组成。本发明可实现工作台的精密位移调节，实现位移的平稳调节，实现静液压传动的减速比调节。
Description
技术领域
本发明涉及一种位移调节装置，具体涉及一种组合驱动微位移调节装置。
背景技术
精密位移调节在精密机械制造、微机电系统、光学元件调整、机器人技术等领域有着广泛的应用。机械式位移调整装置应用广泛，具有结构简单、操作控制方便等优点，常见的机械式位移调整方法包括: (1)双螺纹传动；(2)差动丝杆传动； (3)多级精密齿轮传动；(4)蜗轮蜗杆机构等。
在先技术（何豫生等专利，申请号：03203863.1，申请日2003年2月《一种微位移调节装置》）中，调节装置由固定环、调节环与位移环组成，采用双螺纹方式，通过两个螺纹的螺距差实现位移的细微和精确调节。
在先技术（李安虎等专利，申请号：200910196308.7，申请日2009年9月《组合式传动可变角度位移调节装置》）中，调节装置采用蜗轮蜗杆机构和螺杆传动机构的组合传动方式实现不同的角度或位移调整。
上述机构满足了不同场合的使用要求，但是单一的机械式位移调节装置由于存在较多的结构耦合，导致其动态性能较差、传动不平稳、噪音较大等缺点；此外，单一的机械式位移调节设备往往不能实现精确、平稳调节，而具有精确平稳调节的设备结构复杂、造价昂贵。因此，单一的机械式位移调节装置难以满足复杂机构微位移的精确、平稳调节要求。
单一的液压式位移调节装置尽管传动平稳、操作简单，但是由于其能量损失较大、传动效率较低，也难以满足复杂机构微位移的精确调节要求。
为了克服上述缺陷，本发明提出一种组合驱动微位移调节装置，通过蜗轮蜗杆机构和丝杆螺母机构的二级减速传动以及静液压减速传动实现复杂机构微位移的精确、平稳调节要求。
发明内容
本发明的目的在于提出一种组合驱动微位移调节装置，通过机、电、液组合驱动实现工作台的精密、平稳位移调节。
本发明提出的组合驱动微位移调节装置，由蜗轮蜗杆传动模块、蜗轮轴6、旋转轴4、键5、滚动轴承21、光栅尺22、轴承挡圈20、滑块19、壳体16、第三油缸17、液压传动模块、工作台11以及驱动控制系统组成，其中：
蜗轮轴6通过螺钉3与蜗轮蜗杆传动模块固定连接；旋转轴4的一端为光杆，通过键5连接蜗轮轴6，旋转轴4的另一端为螺纹杆，与螺母18螺纹副连接，旋转轴4位于滚动轴承21中，滚动轴承21位于壳体16的端孔内，并用轴承挡圈20固定；螺母18底端与滑块19刚性联结，壳体16内底面设有导轨，滑块19沿所述导轨做直线往复运动，螺母18右端为等效活塞，连接第三油缸17，并通过密封垫圈31密封；第三油缸17位于壳体16内，通过液压回路32与液压传动模块的油缸连通；液压传动模块的活塞连接工作台11，实现工作台11的微位移调节；工作台11上装有光栅尺22，用于测量工作台11的实际位移量；
所述蜗轮蜗杆传动模块由电动机23、电机支架24、联轴器25、蜗轮箱26、第一向心轴承28、第一挡圈27、第二向心轴承30、第二挡圈29、蜗轮1和蜗杆2组成，其中：电动机23固定于电机支架24上，电动机23一端连接联轴器25，另一端连接驱动控制系统，联轴器25连接蜗杆2；蜗杆2两侧分别设有第一向心轴承28和第二向心轴承30，第一向心轴承28和第二向心轴承30分别位于蜗轮箱26的一对同轴孔内，并分别用第一挡圈27和第二挡圈29固定；蜗杆2和蜗轮1啮合传动，蜗轮1通过螺钉3固定在蜗轮轴6的中间环形面上。
本发明中，所述电动机23可以采用步进电机。
本发明中，所述液压传动模块也可以为单个或多个液压传动模块，视具体情况而定。所述液压传动模块由油缸、箱体、活塞、压缩弹簧和隔板组成；油缸布置在箱体内，并通过液压回路与第三油缸17相通；隔板固定在箱体内；活塞上套有压缩弹簧，压缩弹簧一端顶在活塞的左侧端面上，另一端固定于隔板上；活塞一端接触油缸，另一端连接工作台11。
本发明中，所述驱动控制系统由计算机35、I/O控制电路36、电动机驱动器37、信号处理与控制电路38组成，驱动控制系统可以实现开环或闭环控制，计算机35、I/O控制电路36、电动机驱动器37、电动机23和信号处理与控制电路38依次连接构成开环控制，计算机35通过I/O控制电路36控制电动机驱动器37，驱动电动机23做旋转运动，通过蜗轮1与蜗杆2的啮合传动、旋转轴4与螺母18的螺纹传动以及静液压传动的协同作用，实现工作台11的微位移调节。光栅尺22安装在工作台11上，用来测量工作台11的实际位移调节量。
为了进一步提高控制精度，计算机35、I/O控制电路36、电动机驱动器37、电动机23、光栅尺22和信号处理与控制电路38依次连接，使驱动控制系统构成闭环系统，光栅尺22所测出的位移量经过信号处理与控制电路38反馈给计算机35，与理论量进行比较得出误差值，闭环实现对电动机23的旋转角度的实时修正，从而实现工作台11的精密微位移调节。
本发明的技术效果：
1. 蜗轮蜗杆机构和丝杆螺母机构的二级减速传动，实现工作台的位移精密调节。
本发明中通过蜗轮1与蜗杆2的啮合传动、旋转轴4与螺母18的螺纹传动的协同作用，实现工作台11的位移精密调节。其中：蜗轮1与蜗杆2的啮合传动既可以实现较大传动比的减速传动，也能实现装置的自锁效果；通过滑块19的牵引作用，旋转轴4与螺母18的螺纹传动可以实现螺母19的直线往复运动。
2. 静液压减速传动，实现工作台的位移平稳、精密调节。
本发明中螺母18接触第三油缸17，第三油缸17通过液压回路32分别与两个液压传动模块的油缸连通，两个液压传动模块的活塞分别连接工作台11。通过静液压传动，螺母18的直线运动传递给两个液压模块的活塞，推动工作台11进行微位移调整。静液压传动依靠油液的连续流动而进行传动，油液具有吸振能力，传动十分平稳，可以实现工作台11的平稳位移调节。同时通过改变第三油缸17与第一油缸33（或第二油缸34）的直径比，可以实现静液压传动的减速比调节。
3. 活塞轴向运动的消隙处理
分别在第一活塞8和第二活塞12上套有第一压缩弹簧9和第二压缩弹簧14，通过实施一定的预紧力可以实现第一活塞8、第二活塞9始终与第一油缸33、第二油缸34的液压油始终接触，保证工作台11的调节精度。
4. 本发明驱动控制系统可以实行开环或闭环控制。
光栅尺22安装在工作台11上，用来测量工作台11的实际位移量。光栅尺11所测出的实际位移量既可以直接输出，实行开环控制，也可以经过信号处理与控制电路38反馈给计算机35，与理论量进行比较得出误差值，闭环实现对电动机23的旋转角度的实时修正，从而实现工作台11的精密微位移调整。
5. 本装置可以实现对单个或多个工作台的精密位移调整
本发明中，液压传动模块可以为单个、两个或多个，一个工作台的位移调整可以使用单个或多个液压传动模块，因此本装置可以实现对单个或多个工作台的精密位移调整。
本发明的技术优点:
相对于在先技术，本发明中通过使用蜗轮蜗杆机构和丝杆螺母机构的二级减速传动，减速比大，可实现工作台的精密位移调节；本发明中静液压传动依靠油液的连续流动而进行传动，油液具有吸振能力，传动十分平稳，可实现位移的平稳调节；同时通过改变第三油缸与第一油缸的直径比，可以实现静液压传动的减速比调节；本发明通过压缩弹簧来保证活塞与油缸始终接触，提高了装置的调节精度；本发明中蜗轮蜗杆机构可以实现装置的自锁。本发明可以实现对单个或多个工作台的精密位移调整，以满足复杂机构的不同调节控制要求；此外，通过改变不同液压模块的油缸内腔直径，本发明也可以实现对工作台的多维角度调节。
附图说明
图1为本发明实施例1组合驱动微位移调节装置的总体结构剖视图。
图2为本发明中蜗轮蜗杆传动模块的局部视图。
图3为驱动控制系统开环控制流程图。
图4为驱动控制系统闭环控制流程图。
图中标号：1为蜗轮，2为蜗杆，3为螺钉，4为旋转轴，5为键，6为蜗轮轴，7为第一箱体，8为第一活塞，9为第一压缩弹簧，10为第一隔板，11为工作台，12为第二活塞，13为第二隔板，14为第二压缩弹簧，15为第二箱体，16为壳体，17为第三油缸，18为螺母，19为滑块，20为轴承挡圈，21为滚动轴承，22为光栅尺，23为电动机，24为电机支架，25为联轴器，26为涡轮箱，27为第一挡圈，28为第一向心轴承，29为第二挡圈，30为第二向心轴承，31为密封垫圈，32为液压回路，33为第一油缸，34为第二油缸，35为计算机，36为I/O控制电路，37为电动机驱动器，38为信号处理与控制电路。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明组合驱动微位移调节装置做进一步说明，但不应该以此限制本发明的保护范围。
先参阅图1-图2所示。图1为本发明组合驱动微位移调节装置的总体结构剖视图。图2为本发明中蜗轮蜗杆传动模块的局部视图。由图1-图2可见，本发明组合驱动微位移调节装置包括蜗轮蜗杆传动模块、蜗轮轴6、旋转轴4、螺钉3、键5、滚动轴承21、光栅尺22、轴承挡圈20、螺母18、滑块19、壳体16、第三油缸17、两个液压传动模块和工作台11。其中：
蜗轮轴6通过螺钉3与蜗轮蜗杆传动模块固定连接；旋转轴4的一端为光杆，通过键5连接蜗轮轴6，旋转轴4的另一端为螺纹杆，与螺母18螺纹副连接，旋转轴4位于滚动轴承21中，滚动轴承21位于壳体16端孔内，并用轴承挡圈20轴向固定；螺母18底端与滑块19刚性联结在一起，沿着壳体16底面的导轨做直线往复运动，螺母18右端为等效活塞，连接第三油缸17，并使用密封垫圈31密封；第三油缸17位于壳体16内，通过液压回路32分别与两个液压传动模块的油缸连通；两个液压传动模块的活塞分别连接工作台11，实现工作台11的精密位移调节；工作台11上装有光栅尺22，用于测量工作台11的实际调节位移量；
所述的蜗轮蜗杆传动模块由电动机23、电机支架24、联轴器25、蜗轮箱26、第一向心轴承28、第一挡圈27、第二向心轴承30、第二挡圈29、蜗轮1和蜗杆2组成，其中：电动机23由电机支架24固定，电动机23连接联轴器25，联轴器25连接蜗杆2；蜗杆2两侧分别位于第一向心轴承28和第二向心轴承30中，第一向心轴承28和第二向心轴承30中分别位于蜗轮箱26的一对同轴孔内，并分别用第一挡圈27和第二挡圈29固定；蜗杆2和蜗轮1啮合传动，蜗轮1通过螺钉3固定在蜗轮轴6的中间环形面上；
本实施例中，所述的两个液压传动模块分别为第一液压传动模块和第二液压传动模块，其中：
所述的第一液压传动模块由第一油缸33、第一箱体7、第一活塞8、第一压缩弹簧9和第一隔板10组成；其中：第一油缸33布置在第一箱体7内，并通过液压回路32与第三油缸17相通；第一隔板10固定在第一箱体7内；第一活塞8上套有第一压缩弹簧9，第一压缩弹簧9一端顶在第一活塞8的左侧端面上，另一端固定于第一隔板10上；第一活塞8一端接触第一油缸33，另一端连接工作台11。
所述的第二液压传动模块由第二油缸34、第二箱体15、第二活塞12、第二压缩弹簧14和第二隔板13组成；其中：第二油缸34布置在第二箱体15内，并通过液压回路32与第三油缸17相通；第二隔板13固定在第二箱体15内；第二活塞12上套有第二压缩弹簧14，第二压缩弹簧14一端顶在第二活塞12的左侧端面上，另一端固定于第二隔板13上；第二活塞12一端接触第二油缸34，另一端连接工作台11。
所述电动机23采用步进电机。
根据图1-图2所示，本实施实例工作台位移调节过程为：
当电动机23正转时，受蜗轮1与蜗杆2的啮合传动、旋转轴4与螺母18的螺纹传动以及滑块19的牵引作用，实现螺母18向右做直线运动，油缸的体积减小、压力增大，第一压缩弹簧9和第二弹簧14分别推动第一活塞8、第二活塞12向右做直线运动，实现工作台11的向右微位移调节；当电动机23反转时，通过蜗轮1与蜗杆2的啮合传动、滑块19的牵引作用以及旋转轴4与螺母18的螺纹传动，实现螺母19向左做直线运动，油缸的体积增大、压力减小，第一压缩弹簧9和第二压缩弹簧14分别推动第一活塞8、第二活塞12向左做直线运动，实现工作台11的向左微位移调节。
图3为运动的开环控制系统。图4为运动的闭环控制系统。
如图3所示，计算机35通过I/O控制电路36控制电动机驱动器37，驱动电动机23做旋转运动，通过蜗轮蜗杆啮合传动、旋转轴与螺母的螺纹传动以及液压传动的协同作用，实现工作台11的位移调整。光栅尺22安装在工作台11上，用来测量工作台11的实际位移量；
为了进一步提高控制精度，控制系统也可构成闭环系统：光栅尺22所测出的位移量经过信号处理与控制电路38反馈给计算机35，与理论量进行比较得出误差值，闭环实现对电动机23的旋转角度的实时修正，从而精密控制工作台11的位移调节。
本发明中实现的调整量可以计算如下：
式中 s 为螺杆的轴向位移分辨率（μm）；
P 为螺杆的导程（mm）；
i 为蜗轮蜗杆传动比；
δ 为电动机距角（度）；
n 为电机驱动细分数；
D1为螺母右端等效活塞直径；
D2为第一油缸（第二油缸）内腔直径；
取蜗轮蜗杆传动比为50，旋转轴的螺杆导程为2mm，电机步距角为1.8°，电机驱动细分数为4，螺母右端等效活塞直径为50mm，油缸内腔直径为60mm，则可以得到计算结果如下：
考虑实际制造、装配等误差因素，本装置可以满足亚微米量级的调节分辨率要求。
Claims (4)
1.一种组合驱动微位移调节装置，由蜗轮蜗杆传动模块、蜗轮轴(6)、旋转轴(4)、键(5)、滚动轴承(21)、光栅尺(22)、轴承挡圈(20)、滑块(19)、壳体(16)、第三油缸(17)、液压传动模块、工作台(11)以及驱动控制系统组成，其特征在于：
蜗轮轴(6)通过螺钉(3)与蜗轮蜗杆传动模块固定连接；旋转轴(4)的一端为光杆，通过键(5)连接蜗轮轴(6)，旋转轴(4)的另一端为螺纹杆，与螺母(18)螺纹副连接，旋转轴(4)位于滚动轴承(21)中，滚动轴承(21)位于壳体(16)的端孔内，并用轴承挡圈(20)固定；螺母(18)底端与滑块(19)刚性联结，壳体(16)内底面设有导轨，滑块(19)沿所述导轨做直线往复运动，螺母(18)右端为等效活塞，连接第三油缸(17)，并通过密封垫圈(31)密封；第三油缸(17)位于壳体(16)内，通过液压回路(32)与液压传动模块的油缸连通；液压传动模块的活塞连接工作台(11)，实现工作台(11)的微位移调节；工作台(11)上装有光栅尺(22)，用于测量工作台(11)的实际位移量；
所述蜗轮蜗杆传动模块由电动机(23)、电机支架(24)、联轴器(25)、蜗轮箱(26)、第一向心轴承(28)、第一挡圈(27)、第二向心轴承(30)、第二挡圈(29)、蜗轮(1)和蜗杆(2)组成，其中：电动机(23)固定于电机支架(24)上，电动机(23)一端连接联轴器(25)，另一端连接驱动控制系统，联轴器(25)连接蜗杆(2)；蜗杆(2)两侧分别位于第一向心轴承(28)和第二向心轴承(30)中，第一向心轴承(28)和第二向心轴承(30)分别位于蜗轮箱(26)的一对同轴孔内，并分别用第一挡圈(27)和第二挡圈(29)固定；蜗杆(2)和蜗轮(1)啮合传动，蜗轮(1)通过螺钉(3)固定在蜗轮轴(6)的中间环形面上。
2.根据权利要求1所述的组合驱动微位移调节装置，其特征在于所述电动机(23)采用步进电机。
3.根据权利要求1所述的组合驱动微位移调节装置，其特征在于所述液压传动模块为单个或多个液压传动模块，所述液压传动模块由油缸、箱体、活塞、压缩弹簧和隔板组成；油缸布置在箱体内，并通过液压回路与第三油缸(17)相通；隔板固定在箱体内；活塞上套有压缩弹簧，压缩弹簧一端顶在活塞的左侧端面上，另一端固定于隔板上；活塞一端接触油缸，另一端连接工作台(11)。
4.根据权利要求1所述的组合驱动微位移调节装置，其特征在于所述驱动控制系统由计算机(35)、I/O控制电路(36)、电动机驱动器(37)、信号处理与控制电路(38)组成，计算机(35)、I/O控制电路(36)、电动机驱动器(37)、电动机(23)和信号处理与控制电路(38)依次连接构成开环控制；或者：计算机(35)、I/O控制电路(36)、电动机驱动器(37)、电动机(23)、光栅尺(22)和信号处理与控制电路(38)依次连接，使驱动控制系统构成闭环系统。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201110340632 CN102411372B (zh) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 组合驱动微位移调节装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201110340632 CN102411372B (zh) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 组合驱动微位移调节装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102411372A CN102411372A (zh) | 2012-04-11 |
| CN102411372B true CN102411372B (zh) | 2013-02-13 |
Family
ID=45913487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201110340632 Expired - Fee Related CN102411372B (zh) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 组合驱动微位移调节装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102411372B (zh) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102955251B (zh) * | 2012-11-07 | 2014-10-22 | 同济大学 | 实现粗精两级扫描的转动棱镜装置 |
| CN108413924A (zh) * | 2018-05-25 | 2018-08-17 | 郑州机械研究所有限公司 | 一种二维指向机构用高精密周向分度装置 |
| CN109516394B (zh) * | 2018-09-30 | 2020-09-01 | 武汉船用机械有限责任公司 | 绞车及绞车的安装方法 |
| CN110328728A (zh) * | 2019-07-24 | 2019-10-15 | 镇江中福马机械有限公司 | 一种用于热磨机磨盘进给的控制机构 |
| CN110762178B (zh) * | 2019-12-09 | 2025-07-04 | 山东建筑大学 | 一种角位移微驱动机构 |
| CN111397636A (zh) * | 2020-04-23 | 2020-07-10 | 九江精密测试技术研究所 | 一种可在易燃易爆环境使用的测试转台高精度轴系驱动系统 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0045463A1 (de) * | 1980-07-24 | 1982-02-10 | Messerschmitt-Bölkow-Blohm Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Antriebseinheit für einen Heliostaten |
| CN2596326Y (zh) * | 2003-02-14 | 2003-12-31 | 中国科学院物理研究所 | 一种微位移调节装置 |
| CN101673118A (zh) * | 2009-09-24 | 2010-03-17 | 同济大学 | 组合式传动可变角度微位移调节装置 |
-
2011
- 2011-11-02 CN CN 201110340632 patent/CN102411372B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0045463A1 (de) * | 1980-07-24 | 1982-02-10 | Messerschmitt-Bölkow-Blohm Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Antriebseinheit für einen Heliostaten |
| CN2596326Y (zh) * | 2003-02-14 | 2003-12-31 | 中国科学院物理研究所 | 一种微位移调节装置 |
| CN101673118A (zh) * | 2009-09-24 | 2010-03-17 | 同济大学 | 组合式传动可变角度微位移调节装置 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 《查动微位移机构在激光板厚测量中的应用》;周俊峰等;《机床与液压》;20060830(第8期);168-170 * |
| 周俊峰等.《查动微位移机构在激光板厚测量中的应用》.《机床与液压》.2006,(第8期), |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102411372A (zh) | 2012-04-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102411372B (zh) | 组合驱动微位移调节装置 | |
| WO2021022866A1 (zh) | 一种大行程高精度微纳运动伺服进给系统及控制方法 | |
| CN104565333A (zh) | 自动消除限转角齿轮齿侧间隙的方法 | |
| CN108233764B (zh) | 采用异形铰链传动机构的压电驱动型精密旋转驱动装置 | |
| CN103501129B (zh) | 一种仿生尺蠖型压电旋转驱动器 | |
| CN101285520A (zh) | 变齿厚圆柱变位齿轮及使用该齿轮的传动装置 | |
| CN205915041U (zh) | 双向同步对称位移滑台 | |
| WO2017152430A1 (zh) | 一种二级串联摆线钢球减速器 | |
| CN110554662A (zh) | 一种大行程高精度微量控制伺服进给系统及控制方法 | |
| CN103364185B (zh) | 百兆牛级超大型动静态多功能试验机 | |
| CN109940566A (zh) | 一种平面直线位移驱动装置及其控制方法 | |
| CN104964011A (zh) | 用于多关节机器人的十字滑块驱动减速机 | |
| CN102878279B (zh) | 电控消隙的变齿厚齿轮副 | |
| CN104759929A (zh) | 一种精密重载智能调节大型回转工作台 | |
| CN105910817A (zh) | 变齿厚齿轮试验台 | |
| CN104879340A (zh) | 一种交流流量比例调节控制装置 | |
| CN204936251U (zh) | 伺服压机 | |
| CN203491928U (zh) | 一种仿生尺蠖型压电旋转驱动器 | |
| CN112882221A (zh) | 一种潜望式周视瞄准镜光学消像旋机构 | |
| CN220435344U (zh) | 一种消除反向间隙的推紧装置 | |
| CN203502208U (zh) | 百兆牛级超大型动静态多功能试验机 | |
| CN204213290U (zh) | 一种扭力杆消隙传动装置 | |
| CN108687560A (zh) | 一种蜗轮蜗杆无间隙配合装置 | |
| CN108413924A (zh) | 一种二维指向机构用高精密周向分度装置 | |
| CN102922354A (zh) | 一种摩擦轮牵引传动摆线加工装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130213 Termination date: 20151102 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |