CN102398316B - 应用于切片机的防跳线方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种应用于切片机的防跳线方法，所述切片机至少具有机架、多条切割线以及多个切割辊，所述多条切割线对应缠绕在多个切割辊上以形成一切割网，该方法主要是，在切割网上方悬设一对垂向设置的保护板，并令该对保护板分别跨设在临近切割辊的上方；运行所述切割线时一并下降保护板，使保护板压迫切割线时被切割；当保护板被切割到预设深度时停止下降，此时保护板上形成有多条被切割线切割而成的限位槽，藉由所述限位槽对继续运行在槽内的切割线提供防跳线保护，如此达到防止跳线的目的，进而提高了硅片的加工质量和生产效率。

Description

应用于切片机的防跳线方法

技术领域

本发明涉及多线切割技术领域，特别是涉及一种应用于切片机的防跳线方法。

背景技术

多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给，可将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片，多线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高，产能高，精度高等优点，多线切割技术是目前采用最广泛的半导体等硬脆材料切割技术。

在现有技术中，是将切割线均匀地绕在圆柱形的贮线筒上，通过导线轮、切割辊等走线机构形成可以往返的走线系统。所述切割线经由导线轮引导缠绕至切割辊的即用走线槽中，以使得所述切割线在走线过程中不发生偏移。但是，在实际切割工件的过程中，由于导线轮的精度、线架的刚性及切割线在贮线筒上的张力不能均匀一致，再加上高速走线过程中切割线会不断地抖动，且走线过程为拉锯式往复运动，这样就很容易使切割线跳出，导致走线发生偏移(业内称跳线或跳丝)，具体地是说，所述切割线由原来的即用走线槽跳入旁边的备用走线槽中，则使所述切割线偏离原来位置，就导致了跳丝现象的发生。

由于多线切割机的切割区间通常是封闭的，操作人员不能肉眼观察到跳线现象的发生，而由跳线引起的工件切割不精确，切割面产生纹路等问题直接影响到硅片加工的质量，严重者，更会造成硅片的浪费，不但浪费时间和成本，同时也降低了生产的效率，实为不容忽视的一大问题；再者，为了解决跳线的问题，相关领域之业者尝试额外增设走线的限位装置，但由于不同切割作业要求的走线间隔或走线精度不同，很难提出一种通用的防跳线方法的设计方案，为此，也浪费了不少的设计及制造成本。

所以，如何提供一种应用于切片机的防跳线方法，以避免以上所述的缺点，实为相关领域之业者目前亟待解决的问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种应用于切片机的防跳线方法，以解决现有技术的切片机在切割过程中，容易产生跳线现象进而影响到硅片的加工质量，浪费时间和成本以及降低生产效率等问题，同时也为了提出一种通用的防跳线设计方法。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种应用于切片机的防跳线方法，所述切片机至少具有机架、多条切割线以及多个切割辊，所述多条切割线对应缠绕在所述多个切割辊上以形成一切割网，其特征在于：首先，在所述切割网上方悬设一对垂向设置的保护板，并令该对保护板分别跨设于临近所述切割辊的上方；然后，运行所述切割线；并垂直下降该对保护板，使所述保护板压迫所述切割线时被切割；当所述保护板被切割到预设深度时，停止下降该对保护板，此时各该保护板上形成有多条被切割线切割而成的限位槽，藉由所述限位槽对继续运行在槽内的切割线提供防跳线保护。

在本发明的应用于切片机的防跳线方法中，所述机架上设置一对可垂向升降的连接板，该对连接板分别跨设于所述切割辊的上方。该对保护板分别固定在该对连接板上，由所述连接板带动下降。所述保护板横向宽度大于该切割网的宽度。所述保护板下降至低于所述切割网3～5mm后停止下降，以使所述限位槽的深度为3～5mm。

如上所述，本发明的应用于切片机的防跳线方法通过预先切割一对保护板，在该对保护板上形成多条对应切割线的限位槽，藉由所述限位槽对继续运行在槽内的切割线提供防跳线保护，如此以避免切片机在切割工件的作业中，容易发生跳线的现象，进而提高产品合格率也提高了设备的运行效率，更重要的是，该方法也直接解决了现有技术中很难提出一种通用的防跳线设计难题，降低了设备的设计及制造成本。

附图说明

图1A及图2A以显示为本发明的应用于切片机的防跳线方法之具体实施状态中侧向示意图。

图1B及图2B显示为本发明的应用于切片机的防跳线方法之具体实施状态中正向示意图。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在不背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1A、图1B、图2A以及图2B显示为本发明的应用于切片机的防跳线方法之具体实施状态中正向及侧向示意图，需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

如图所示，本发明提供一种应用于切片机的防跳线方法，所述切片机用于对晶体硅锭(未图示)进行切片作业，所述切片机至少具有机架11、多条切割线12以及多个切割辊13及13’，所述多条切割线12对应缠绕在所述多个切割辊13及13’上以形成一张切割网(未标示)，需要特别说明的是，由于图1A及图2A局限于呈现的方位，上述切割网仅能显示出一条切割线，但在具体的多线切片机的走丝系统中，应该具有多条切割线及对应多条切割线切割辊13或13’，因而在本实施例方式中，将以一条切割线的走线机构为例进行说明。

首先，在所述切割网(即图1A所示的切割线12)上方悬设一对垂向设置的保护板14及14’，并令该对保护板14及14’分别跨设于临近所述切割辊13的上方。

在本实施例方式中，所述保护板14及14’藉由一对连接板15及15’设置于机架上，如图所示，所述机架11上设置一对可垂向升降的连接板15及15’，该对连接板15及15’分别跨设于所述切割辊13的上方，该对保护板14及14’分别固定在该对连接板15及15’上，由所述连接板15及15’带动下降。

在本实施例方式中，所述保护板14及14’横向宽度大于该切割网的宽度，以保证所有切割线12均可在保护板14或14’上切割出限位槽141，呈如图1B所示，述保护板14及14’横向宽度N大于该切割网的宽度M，即N＞M。

需要说明的是，所述连接板15及15’可例如由丝杆连接，由电动机带动丝杆旋转进而达到在垂直方向升降该连接板15或15’。

然后，如图中箭头所示的方向运行所述切割线12；在本实施例方式中，所述切割线12的运行速度为1000m/min。

接着，呈如图1A或图1B箭头所示，垂直方向下降该对保护板14及14’，使所述保护板14及14’压迫所述切割线12，此时所述保护板14及14’被切割线12切割；当所述保护板14及14’被切割到预设深度时，停止下降该对保护板14及14’，此时各该保护板14及14’上形成有多条被切割线12切割而成的限位槽141，藉由所述限位槽141对继续运行在槽内的切割线12提供防跳线保护。呈如图2A或图2B箭头所示。

在本实施例方式中，所述保护板14及14’下降至低于所述切割网3～5mm后停止下降，以使所述限位槽141的深度L为3～5mm。

综上所述，本发明主要是通过预先切割一对保护板，在该对保护板上形成多条对应切割线的限位槽，藉由所述限位槽对继续运行在槽内的切割线提供防跳线保护，如此以避免切片机在切割工件的作业中，容易发生跳线的现象，进而提高产品合格率也提高了设备的运行效率，更重要的是，该方法也直接解决了现有技术中很难提出一种通用的防跳线设计难题，降低了设备的设计及制造成本。因而，本发明的应用于切片机的防跳线方法与现有技术相比，有效地克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟习此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (2)

1.一种应用于切片机的防跳线方法，所述切片机至少具有机架、多条切割线以及多个切割辊，所述多条切割线对应缠绕在所述多个切割辊上以形成一切割网，其特征在于：

在所述切割网上方悬设一对垂向设置的保护板，并令该对保护板分别跨设于临近所述切割辊的上方；

在所述机架上设置一对可垂向升降、且分别跨设于所述切割辊的上方的连接板，该对保护板分别固定在该对连接板上；

运行所述切割线；

利用所述连接板而垂直下降该对保护板，使所述保护板压迫所述切割线时被切割；以及

当所述保护板被切割并下降至低于所述切割网3mm～5mm的预设深度时，停止下降该对保护板，此时各该保护板上形成有多条被切割线切割而成的限位槽，藉由所述限位槽对继续运行在槽内的切割线提供防跳线保护；所述限位槽的深度为3mm～5mm。

2.根据权利要求1所述的应用于切片机的防跳线方法，其特征在于：所述保护板横向宽度大于该切割网的宽度。