CN102243386A - 液晶显示元件、正型放射线敏感性组合物、液晶显示元件用层间绝缘膜及其形成方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种液晶显示元件、正型放射线敏感性组合物、液晶显示元件用层间绝缘膜及其形成方法。本发明的目的是提供具备有优异的耐热性及耐光性的层间绝缘膜、具有高电压保持率的液晶显示元件，以及贮存稳定性优异、适宜于形成上述层间绝缘膜的正型放射线敏感性组合物。本发明的液晶显示元件具备相对配置的两片基板、层积于至少一片该基板的内表面侧的层间绝缘膜、以及设置于上述基板之间并由聚合性液晶组合物形成的液晶层，构成上述层间绝缘膜的树脂具有下述式(1)表示的聚合物的交联部分。

Description

液晶显示元件、正型放射线敏感性组合物、液晶显示元件用层间绝缘膜及其形成方法

技术领域

本发明涉及液晶显示元件、正型放射线敏感性组合物、液晶显示元件用层间绝缘膜及其形成方法。 

背景技术

近年来，液晶显示装置作为电视图像接收机及个人电脑的监视器装置等得到了广泛地应用。对于用于这些用途的液晶显示装置，要求具有能够从所有方向观看显示画面的广视角。作为可获得广视角的液晶显示装置，已知的例如有使用MVA(多畴垂直取向)方式的液晶显示元件的装置。但是，这种液晶显示装置还存在着液晶响应时间并不够短，另外容易因手指按压等导致取向混乱的问题。 

因此，已研究了针对液晶显示元件引入将可通过光或热进行聚合的单体混入液晶中，施加电压，在液晶化合物倾斜的状态下使单体聚合，从而记忆液晶化合物的倾斜方向的聚合物稳定取向(PSA：聚合物持续对准)技术(参见日本特开2003-149647号公报)。作为使用PSA技术的液晶显示元件，由于记忆液晶化合物倾斜方向的聚合膜形成于液晶和取向膜的界面上，因而具备较强的取向约束力。因此，通过使用该PSA技术，可以实现液晶的响应时间短、不容易因手指按压等而导致取向混乱的液晶显示装置。 

在使用这种PSA技术的液晶显示元件中，是在一对基板之间 注入含有可通过光或热进行反应的单体的液晶，然后对液晶盒整体进行光照或加热，使单体聚合。因此，按照该液晶显示元件，基板上层积的层间绝缘膜可能会因用于使液晶反应的光或热而发生变形。如果层间绝缘膜发生变形，例如液晶显示元件的电压保持率就会降低。 

另一方面，本申请的申请人通过使用包含一分子中具有羧基和环氧基的聚合物的正型放射线敏感性组合物，利用该羧基和环氧基的热固化反应形成了高度交联结构，开发了具有高硬度的层间绝缘膜(参见日本特开平05-165214号公报)。 

对于该正型放射线敏感性组合物，如果提高聚合物中的羧基及环氧基的含量，就可以得到耐热性及耐光性优异、能经受使用PSA技术制造液晶显示元件的层间绝缘膜。但是，如果聚合物中反应性高的羧基及环氧基的含量提高，则会出现放射线敏感性组合物的贮存稳定性变差、液晶显示元件的生产性下降的问题。 

现有技术文献 

专利文献 

专利文献1：日本特开2003-149647号公报 

专利文献2：日本特开平05-165214号公报 

发明内容

本发明是基于以上这种情况做出的，其目的是提供具备有优异的耐热性及耐光性的层间绝缘膜、具有高电压保持率的液晶显示元件，以及贮存稳定性优异、适宜于形成上述层间绝缘膜的正型放射线敏感性组合物。 

为了解决上述问题，本发明为： 

一种液晶显示元件，其具备相对配置的两片基板、层积于至 少一片该基板的内表面侧的层间绝缘膜、以及设置于上述基板之间并由聚合性液晶组合物形成的液晶层，构成上述层间绝缘膜的树脂具有下述式(1)表示的聚合物的交联部分。 

构成本发明的液晶显示元件的树脂具备含有上述式(1)表示的聚合物的交联部分的层间绝缘膜，从而具有优异的耐热性及耐光性，结果就可以使该液晶显示元件具有高电压保持率。 

一种液晶显示元件，上述层间绝缘膜是使用正型放射线敏感性组合物形成的，该正型放射线敏感性组合物含有： 

[A]在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(2)表示的基团的结构单元(以下也称为“结构单元(1)”)和含环氧基的结构单元的聚合物(以下也称为“[A]聚合物”)、 

[B]光酸产生体、及 

[C]有机溶剂。 

(式(2)中，R¹及R²各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或芳基。其中，上述烷基、环烷基或芳基的一部分或全部氢原子可以被取代。另外，R¹及R²不同时为氢原子。R³为烷基、环烷基、芳烷基、芳基或-M(R^3m)₃表示的基团。上述M为Si、Ge或Sn。R^3m为烷基。其中，这些基团的一部分或全部氢原子可以被取代。另外，R¹和R³也可以结合而形成环状醚。) 

作为[A]聚合物，由于与环氧基反应的官能团被上述式(2)表示的结构保护起来，在通常的状态下不发生反应，通过酸进行脱保护后官能团和环氧基才进行反应。因此，含有[A]聚合物的该正型放射线敏感性组合物的贮存稳定性优异，该液晶显示元件具有高生产性。另外，该液晶显示元件的层间绝缘膜由于脱保护的官能团和环氧基的交联反应导致的牢固固化而具备优异的耐热性及耐光性，结果就使该液晶显示元件具有了高电压保持率。 

上述聚合性液晶组合物优选具有光聚合性或热聚合性。由于上述聚合性液晶组合物具有光聚合性或热聚合性，可以通过光照或加热由聚合性液晶组合物形成液晶层，从而进行高效地制造。另外，按照该液晶显示元件，即使通过光照或加热进行制造，也可以抑制层间绝缘膜的变形等，因此可以发挥高电压保持率及优异的生产性。 

本发明的正型放射线敏感性组合物被用于形成液晶显示元件的层间绝缘膜，所述液晶显示元件具备相对配置的两片基板、层积于至少一片该基板的内表面侧的层间绝缘膜、以及设置于上述基板之间并由聚合性液晶组合物形成的液晶层，该正型放射线敏感性组合物含有： 

[A]在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(2)表示的基团的结构单元和含环氧基的结构单元的聚合物、 

[B]光酸产生体、及 

[C]有机溶剂。 

(式(2)中，R¹及R²各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或芳基。其中，上述烷基、环烷基或芳基的一部分或全部氢原子可以被取代。另外，R¹及R²不同时为氢原子。R³为烷基、环烷基、芳烷基、芳基或-M(R^3m)₃表示的基团。上述M为Si、Ge或Sn。R^3m为烷基。其中，这些基团的一部分或全部氢原子可以被取代。另外，R¹和R³也可以结合而形成环状醚。) 

作为[A]聚合物，由于如上所述的与环氧基反应的官能团被上述式(2)表示的结构保护起来，在通常的状态下不发生反应，通过酸进行脱保护后，官能团和环氧基进行反应。利用放射线照射使脱保护的官能团和环氧基进行交联反应，得到了牢固地固化，因此可以得到耐热性及耐光性优异的层间绝缘膜，并且具有优异的贮存稳定性。因此，该组合物适合于形成利用加热或光照形成液晶层的液晶显示元件用层间绝缘膜。 

该组合物还含有[D]表面活性剂，该[D]表面活性剂优选为硅树脂类表面活性剂。由于该组合物还含有硅树脂类表面活性剂，得到的层间绝缘膜的膜厚均匀性得到了提高，结果就可以进一步提高得到的液晶显示元件的电压保持率。 

本发明的液晶显示元件用层间绝缘膜的形成方法具有： 

(1)在基板上形成该组合物的涂膜的工序、 

(2)对工序(1)中形成的涂膜的至少一部分照射放射线的工序、 

(3)使工序(2)中被照射了放射线的涂膜显影的工序、及 

(4)对工序(3)中被显影的涂膜进行加热的工序。 

该层间绝缘膜适合作为利用加热或光照形成液晶层的液晶显示元件用层间绝缘膜的形成方法。 

本发明的液晶显示元件的层间绝缘膜是使用上述正型放射线敏感性组合物形成的。该层间绝缘膜适合用作如上所述的通过加热或光照形成液晶层的液晶显示元件用层间绝缘膜。 

还有，本说明书中所述的[A]成分“聚合物”是包括一种聚合物分子中具有结构单元(1)，并且与该一种聚合物分子不同的聚合物分子中具有含环氧基的结构单元的情况的概念。另外，“放射线”是包括可见光、紫外线、远紫外线、X射线、带电粒子射线等的概念。 

如以上说明，作为本发明的液晶显示元件，层间绝缘膜具有优异的耐热性及耐光性，因此可以抑制制造工序的变形等问题，结果就可以发挥出优异的电压保持性能。另外，由于该正型放射线敏感性组合物的贮存稳定性优异，该液晶显示元件具有较高的生产性。 

附图说明

图1是显示本发明的液晶显示元件的一个实施方式所涉及的液晶显示元件处于制造过程中的状态的模式断面图。 

具体实施方式

本发明的液晶显示元件具备相对配置的两片基板、层积于至少一片该基板的内表面侧的层间绝缘膜、以及设置于上述基板之间的液晶层。以下对各构成要素进行详细说明。 

<基板> 

作为基板，可以列举一般的液晶显示元件中通常使用的基板。作为基板的材质，可以列举例如玻璃、石英、硅、树脂等。作为树脂，可以列举例如聚对苯二甲酸乙二酯、聚对苯二甲酸丁二酯、聚醚砜、聚碳酸酯、聚酰亚胺、环状烯烃的开环聚合物及其氢化物等。还有，该基板并不局限于坚硬的材质，也可以是塑料膜等具有柔软性的材质。 

相对配置的至少一片基板具有透明性。可以从外侧透过该具有透明性的基板看到液晶层等。还有，液晶显示元件被用于对从元件一侧透过到另一侧的光产生作用时，两片基板同时具有透明性。对应于目的，该基板上可以全部或局部地配置透明或不透明的电极。还有，与通常公知的液晶显示元件一样，该两片基板之间也可以夹入用于保持间隔的分隔物。 

<层间绝缘膜> 

层间绝缘膜是使用含有[A]聚合物、[B]光酸产生体及[C]有机溶剂的正型放射线敏感性组合物形成的，构成上述层间绝缘膜的树脂具有上述式(1)表示的聚合物的交联部分。由于该液晶显示元件具备含有上述式(1)表示基团的聚合物的交联部分的层间绝缘膜，因而具有优异的耐热性及耐光性，结果就可以使该液晶显示元件具有高电压保持率。 

上述式(1)中，R⁰为上述式(1-1)～(1-6)中任一式表示的基团。 

上述式(1)表示的聚合物的交联部分是通过例如像下述反应式所表示的那样使含有羧基等官能团的聚合物和含环氧基的聚合物进行热交联、或者使一分子中含有羧基和环氧基的聚合物之间进行热交联而形成的。还有，上述羧基等官能团是指例如利用酸对上述式(2)表示的保护基进行脱保护而形成的基团。 

另外，该正型放射线敏感性组合物也可以含有其它任选成分。以下对正型放射线敏感性组合物的各种成分进行详细说明。 

[[A]聚合物] 

作为[A]聚合物，同一或不同的聚合物分子中具有上述结构单元(1)和含环氧基的结构单元，必要时也可以具有其它结构单元。作为[A]聚合物，由于与环氧基反应的官能团被上述式(2)表示的结构保护起来，因而在通常状态下不发生反应，通过酸进行脱保护后官能团和环氧基才进行反应。因此，含有[A]聚合物的该正型放射线敏感性组合物的贮存稳定性优异，该液晶显示元件具有高生产性。另外，该液晶显示元件的层间绝缘膜因脱保护的官能团和环氧基的交联反应而达到了牢固地固化，因此具备优异的耐热性及耐光性，结果就可以使该液晶显示元件具有高电压保持率。 

具有结构单元(1)及含环氧基的结构单元的[A]聚合物的形式没有特别的限制，可以列举以下情况： 

(i)同一聚合物分子中同时具有结构单元(1)及含环氧基的结构 单元，聚合物中的[A]中只存在一种聚合物分子的情况； 

(ii)一种聚合物分子中具有结构单元(1)，与其不同的聚合物分子中具有含环氧基的结构单元，聚合物中的[A]中存在两种聚合物分子的情况；

(iii)一种聚合物分子中同时具有结构单元(1)及含环氧基的结构单元，与其不同的聚合物分子中具有结构单元(1)，与它们仍不同的聚合物分子中具有含环氧基的结构单元，聚合物中的[A]中存在三种聚合物分子的情况； 

(iv)除了(i)～(iii)中规定的聚合物分子，聚合物中的[A]中还含有其它一种或两种以上聚合物分子的情况等。 

(结构单元(1)) 

对于结构单元(1)，上述式(2)表示的基团是作为在酸存在下离解而生成极性基团的基团(以下也称为“酸离解性基团”)而存在的，因此通过由放射线照射导致的光酸产生体产生的酸，酸离解性基团发生离解，于是形成碱不溶性的[A]聚合物变成碱可溶性。上述酸离解性基团具有对碱比较稳定的缩醛结构或缩酮结构，这些基团由于酸的作用而发生离解。 

上述式(2)中，作为R¹及R²表示的烷基，优选为碳原子数为1～30的直链状及支链状烷基。该烷基链中可以含有氧原子、硫原子、氮原子。作为上述烷基，可以列举例如甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、正辛基、正十二烷基、正十四烷基、正十八烷基等直链状烷基、异丙基、异丁基、叔丁基、新戊基、2-己基、3-己基等支链状烷基等。 

作为上述式(2)中R¹及R²表示的环烷基，优选为碳原子数为3～20的环烷基。环烷基可以是多环的，环内还可以含有氧原子。 作为上述环烷基，可以列举例如环丙基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基、冰片基、降冰片基、金刚烷基等。 

作为上述式(2)中R¹及R²表示的芳基，优选为碳原子数为6～14的芳基。芳基可以是单环的，也可以是单环连接而成的结构，还可以是稠合环。作为上述芳基，可以列举例如苯基、萘基等。 

上述R¹及R²的氢原子中的一部分或全部可以被取代。作为取代基，例如为卤素原子、羟基、硝基、氰基、羧基、羰基、环烷基(作为该环烷基，可优选适用对上述环烷基的说明)、芳基(作为该芳基，可优选适用对上述芳基的说明)、烷氧基(优选为碳原子数为1～20的烷氧基。可以列举例如甲氧基、乙氧基、丙氧基、正丁氧基、戊氧基、己氧基、庚氧基、辛氧基等)、酰基(优选为碳原子数为2～20的酰基。可以列举例如乙酰基、丙酰基、丁酰基、异丁酰基等)、酰氧基(优选为碳原子数为2～10的酰氧基。例如可以列举乙酰氧基、丙酰氧基、丁酰氧基、叔丁酰氧基、叔戊酰氧基等)、烷氧羰基(优选为碳原子数为2～20的烷氧羰基。例如可以列举甲氧羰基、乙氧羰基、丙氧羰基等)、卤烷基(是上述烷基或环烷基的氢原子中的一部分或全部被卤素原子取代后形成的基团。例如可以列举全氟甲基、全氟乙基、全氟丙基、氟环丙基、氟环丁基等)等。关于芳基、环烷基等中的环状结构，进一步地作为取代基可以列举上述烷基。 

上述式(2)中R³表示的烷基、环烷基及芳基可适用对R¹及R²的说明。作为上述式(2)中R³表示的芳烷基，优选为碳原子数为7～20的芳烷基。例如可以列举苄基、乙氧苯基、萘甲基、萘乙基等。作为上述式(1)中R³的-M(R^3m)₃表示的基团，可以列举例如三甲基硅烷基、三甲基锗烷基等。该R³表示的芳烷基或-M(R^3m)₃表 示的基团的氢原子中的一部分或全部可以用上述取代基取代。 

R¹和R³可以连接而形成环状醚。作为这样的环状醚，可以列举例如2-氧杂环丁烷基、2-四氢呋喃基、2-四氢吡喃基、2-二氧六环基等。该环状醚的氢原子中的一部分或全部可以用上述取代基取代。 

作为结构单元(1)，由于具有通过与其它碳原子结合而提供缩醛结构或缩酮结构的官能团，因而可以具有该缩醛结构或缩酮结构。 

作为上述通过与其它碳原子结合而提供缩醛结构的官能团，可以列举例如1-甲氧基乙氧基、1-乙氧基乙氧基、1-正丙氧基乙氧基、1-异丙氧基乙氧基、1-正丁氧基乙氧基、1-异丁氧基乙氧基、1-仲丁氧基乙氧基、1-叔丁氧基乙氧基、1-环戊氧基乙氧基、1-环己氧基乙氧基、1-降莰烷氧基乙氧基、1-冰片氧基乙氧基、1-苯氧基乙氧基、1-(1-萘氧基)乙氧基、1-苄氧基乙氧基、1-乙氧苯基氧基乙氧基、(环己基)(甲氧基)甲氧基、(环己基)(乙氧基)甲氧基、(环己基)(正丙氧基)甲氧基、(环己基)(异丙氧基)甲氧基、(环己基)(环己氧基)甲氧基、(环己基)(苯氧基)甲氧基、(环己基)(苄氧基)甲氧基、(苯基)(甲氧基)甲氧基、(苯基)(乙氧基)甲氧基、(苯基)(正丙氧基)甲氧基、(苯基)(异丙氧基)甲氧基、(苯基)(环己氧基)甲氧基、(苯基)(苯氧基)甲氧基、(苯基)(苄氧基)甲氧基、(苄基)(甲氧基)甲氧基、(苄基)(乙氧基)甲氧基、(苄基)(正丙氧基)甲氧基、(苄基)(异丙氧基)甲氧基、(苄基)(环己氧基)甲氧基、(苄基)(苯氧基)甲氧基、(苄基)(苄氧基)甲氧基、2-四氢呋喃氧基、2-四氢吡喃氧基、1-三甲基硅烷氧基乙氧基、1-三甲基锗烷氧基乙氧基等。 

在这些基团中，优选1-乙氧基乙氧基、1-环己氧基乙氧基、 2-四氢吡喃氧基、1-正丙氧基乙氧基、1-正丁氧基乙氧基、2-四氢吡喃氧基。 

作为上述通过与其它碳原子结合而提供缩酮结构的官能团，可以列举例如1-甲基-1-甲氧基乙氧基、1-甲基-1-乙氧基乙氧基、1-甲基-1-正丙氧基乙氧基、1-甲基-1-异丙氧基乙氧基、1-甲基-1-正丁氧基乙氧基、1-甲基-1-异丁氧基乙氧基、1-甲基-1-仲丁氧基乙氧基、1-甲基-1-叔丁氧基乙氧基、1-甲基-1-环戊氧基乙氧基、1-甲基-1-环己氧基乙氧基、1-甲基-1-降莰烷氧基乙氧基、1-甲基-1-冰片氧基乙氧基、1-甲基-1-苯氧基乙氧基、1-甲基-1-(1-萘氧基)乙氧基、1-甲基-1-苄氧基乙氧基、1-甲基-1-乙氧苯基氧基乙氧基、1-环己基-1-甲氧基乙氧基、1-环己基-1-乙氧基乙氧基、1-环己基-1-正丙氧基乙氧基、1-环己基-1-异丙氧基乙氧基、1-环己基-1-环己氧基乙氧基、1-环己基-1-苯氧基乙氧基、1-环己基-1-苄氧基乙氧基、1-苯基-1-甲氧基乙氧基、1-苯基-1-乙氧基乙氧基、1-苯基-1-正丙氧基乙氧基、1-苯基-1-异丙氧基乙氧基、1-苯基-1-环己氧基乙氧基、1-苯基-1-苯氧基乙氧基、1-苯基-1-苄氧基乙氧基、1-苄基-1-甲氧基乙氧基、1-苄基-1-乙氧基乙氧基、1-苄基-1-正丙氧基乙氧基、1-苄基-1-异丙氧基乙氧基、1-苄基-1-环己氧基乙氧基、1-苄基-1-苯氧基乙氧基、1-苄基-1-苄氧基乙氧基、2-(2-甲基-四氢呋喃基)氧基、2-(2-甲基-四氢吡喃基)氧基、1-甲氧基-环戊氧基、1-甲氧基-环己氧基等。 

在这些基团中，优选1-甲基-1-甲氧基乙氧基、1-甲基-1-环己氧基乙氧基。 

作为上述具有缩醛结构或缩酮结构的结构单元(1)，可以列举例如下述式(2-1)～(2-3)表示的结构单元。 

上述式(2-1)及(2-3)中，R⁴为氢原子或甲基。R¹、R²及R³与上述式(2)含义相同。 

作为提供上述式(2-1)～(2-3)表示的结构单元(1)的具有自由基聚合性的单体(以下也称为“含缩醛结构的单体”)，例如可以列举(甲基)丙烯酸1-烷氧基烷基酯、(甲基)丙烯酸1-(环烷氧基)烷基酯、(甲基)丙烯酸1-(卤烷氧基)烷基酯、(甲基)丙烯酸1-(芳烷氧基)烷基酯、(甲基)丙烯酸四氢吡喃基酯等(甲基)丙烯酸酯类含缩醛结构的单体； 

2，3-二(1-(三烷基硅烷氧基)烷氧基)羰基)-5-降冰片烯、2，3-二(1-(三烷基锗烷氧基)烷氧基)羰基)-5-降冰片烯、2，3-二(1-烷氧基烷氧羰基)-5-降冰片烯、2，3-二(1-(环烷氧基)烷氧羰基)-5-降冰片烯、2，3-二(1-(芳烷氧基)烷氧羰基)-5-降冰片烯等降冰片烯类含缩醛结构的单体； 

1-烷氧基烷氧基苯乙烯、1-(卤烷氧基)烷氧基苯乙烯、1-(芳烷氧基)烷氧基苯乙烯、四氢吡喃氧基苯乙烯等苯乙烯类含缩醛结构的单体等。 

作为更具体的含缩醛结构的单体，可以列举例如甲基丙烯酸1-乙氧基乙酯、甲基丙烯酸1-甲氧基乙酯、甲基丙烯酸1-正丁氧基乙酯、甲基丙烯酸1-异丁氧基乙酯、甲基丙烯酸1-叔丁氧基乙 酯、甲基丙烯酸1-(2-氯乙氧基)乙酯、甲基丙烯酸1-(2-乙基己氧基)乙酯、甲基丙烯酸1-正丙氧基乙酯、甲基丙烯酸1-环己氧基乙酯、甲基丙烯酸1-(2-环己基乙氧基)乙酯、甲基丙烯酸1-苄氧基乙酯、甲基丙烯酸2-四氢吡喃酯、丙烯酸1-乙氧基乙酯、丙烯酸1-甲氧基乙酯、丙烯酸1-正丁氧基乙酯、丙烯酸1-异丁氧基乙酯、丙烯酸1-叔丁氧基乙酯、丙烯酸1-(2-氯乙氧基)乙酯、丙烯酸1-(2-乙基己氧基)乙酯、丙烯酸1-正丙氧基乙酯、丙烯酸1-环己氧基乙酯、丙烯酸1-(2-环己基乙氧基)乙酯、丙烯酸1-苄氧基乙酯、丙烯酸2-四氢吡喃酯、2，3-二(1-(三甲基硅烷氧基)乙氧基)羰基)-5-降冰片烯、2，3-二(1-(三甲基锗烷氧基)乙氧基)羰基)-5-降冰片烯、2，3-二(1-甲氧基乙氧羰基)-5-降冰片烯、2，3-二(1-(环己氧基)乙氧羰基)-5-降冰片烯、2，3-二(1-(苄氧基)乙氧羰基)-5-降冰片烯、对或间1-乙氧基乙氧基苯乙烯、对或间1-甲氧基乙氧基苯乙烯、对或间1-正丁氧基乙氧基苯乙烯、对或间1-异丁氧基乙氧基苯乙烯、对或间1-(1，1-二甲基乙氧基)乙氧基苯乙烯、对或间1-(2-氯乙氧基)乙氧基苯乙烯、对或间1-(2-乙基己氧基)乙氧基苯乙烯、对或间1-正丙氧基乙氧基苯乙烯、对或间1-环己氧基乙氧基苯乙烯、对或间1-(2-环己基乙氧基)乙氧基苯乙烯、对或间1-苄氧基乙氧基苯乙烯等。上述结构单元(1)可以单独使用或两种以上组合使用。 

在这些含缩醛结构的单体中，优选(甲基)丙烯酸1-烷氧基烷基酯、(甲基)丙烯酸四氢吡喃基酯、1-烷氧基烷氧基苯乙烯、四氢吡喃氧基苯乙烯，更优选(甲基)丙烯酸1-烷氧基烷基酯，特别优选甲基丙烯酸1-乙氧基乙酯、甲基丙烯酸1-正丁氧基乙酯、甲基丙烯酸2-四氢吡喃酯、甲基丙烯酸1-苄氧基乙酯。 

提供结构单元(1)的含缩醛结构的单体可以使用市售商品，也可以是使用通过公知方法合成的产品。例如，上述式(2-1)表示的 含缩醛结构的单体可以通过在酸催化剂的存在下使下述反应式中表示的(甲基)丙烯酸与乙烯基醚反应而合成。 

上述反应式中，R⁴、R¹及R³分别与上述式(2)及(2-1)含义相同。对于R⁵及R⁶，-CH(R⁵)(R⁶)与上述式(2)中的R²含义相同。 

作为[A]聚合物中结构单元(1)的含量，只要[A]聚合物可通过酸而表现出碱可溶性、使固化膜发挥出预期的耐热性，就没有特别的限制。一种聚合物分子中同时具有结构单元(1)和含环氧基的结构单元时，相对于[A]聚合物中含有的全部结构单元，按单体加入比计优选为5质量％～70质量％，更优选为10质量％～60质量％以下，特别优选为20质量％～50质量％。 

另一方面，一种聚合物分子中具有结构单元(1)，而且另一种聚合物分子中具有含环氧基的结构单元时，作为具有结构单元(1)的一种聚合物分子的结构单元(1)的含量，相对于该聚合物分子中含有的全部结构单元，按单体加入比计优选为40质量％～99质量％，更优选为50质量％～98质量％，特别优选为55质量％～95质量％。 

(含环氧基的结构单元) 

[A]聚合物在具有上述结构单元(1)的同时，还具有含环氧基的结构单元。含环氧基的结构单元是来自于具有自由基聚合性的含环氧基的单体的结构单元。作为该环氧基，可以列举环氧乙烷基(1，2-环氧结构)、氧杂环丁烷基(1，3-环氧结构)。由于[A]聚合物的 分子中具有含环氧乙烷基或氧杂环丁烷基等的结构单元，因而可以提高由该组合物得到的固化膜的硬度，并可以进一步提高耐热性。 

作为上述提供含环氧基的结构单元的含环氧基的单体，可以列举例如： 

丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸-3，4-环氧丁酯、甲基丙烯酸-3，4-环氧丁酯、丙烯酸-3-甲基-3，4-环氧丁酯、甲基丙烯酸-3-乙基-3，4-环氧丁酯、丙烯酸-5，6-环氧己酯、甲基丙烯酸-5，6-环氧己酯、甲基丙烯酸-5-甲基-5，6-环氧己酯、甲基丙烯酸-5-乙基-5，6-环氧己酯、丙烯酸-6，7-环氧庚酯、甲基丙烯酸-6，7-环氧庚酯、甲基丙烯酸3，4-环氧环己酯、甲基丙烯酸3，4-环氧环己基甲酯、甲基丙烯酸3，4-环氧环己基乙酯、甲基丙烯酸3，4-环氧环己基丙酯、甲基丙烯酸3，4-环氧环己基丁酯、甲基丙烯酸3，4-环氧环己基己酯、丙烯酸3，4-环氧环己酯、丙烯酸3，4-环氧环己基甲酯、丙烯酸3，4-环氧环己基乙酯、丙烯酸3，4-环氧环己基丙酯、丙烯酸3，4-环氧环己基丁酯、丙烯酸3，4-环氧环己基己酯等含环氧乙烷基的(甲基)丙烯酸类化合物； 

邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-邻乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-间乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-对乙烯基苄基缩水甘油醚等乙烯基苄基缩水甘油醚类； 

邻乙烯基苯基缩水甘油醚、间乙烯基苯基缩水甘油醚、对乙烯基苯基缩水甘油醚等乙烯基苯基缩水甘油醚类； 

3-(丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、3-(丙烯酰氧基甲基)-3-甲基氧杂环丁烷、3-(丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧杂环丁烷、3-(丙烯酰氧基甲基)-3-苯基氧杂环丁烷、3-(2-丙烯酰氧基乙基)氧杂环丁烷、 3-(2-丙烯酰氧基乙基)-3-乙基氧杂环丁烷、3-(2-丙烯酰氧基乙基)-3-乙基氧杂环丁烷、3-(2-丙烯酰氧基乙基)-3-苯基氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-甲基氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-苯基氧杂环丁烷、3-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)氧杂环丁烷、3-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)-3-乙基氧杂环丁烷、3-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)-3-乙基氧杂环丁烷、3-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)-3-苯基氧杂环丁烷、2-(丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、2-(丙烯酰氧基甲基)-2-甲基氧杂环丁烷、2-(丙烯酰氧基甲基)-2-乙基氧杂环丁烷、2-(丙烯酰氧基甲基)-2-苯基氧杂环丁烷、2-(2-丙烯酰氧基乙基)氧杂环丁烷、2-(2-丙烯酰氧基乙基)-2-乙基氧杂环丁烷、2-(2-丙烯酰氧基乙基)-2-乙基氧杂环丁烷、2-(2-丙烯酰氧基乙基)-2-苯基氧杂环丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-甲基氧杂环丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-乙基氧杂环丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-苯基氧杂环丁烷、2-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)氧杂环丁烷、2-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)-2-乙基氧杂环丁烷、2-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)-2-乙基氧杂环丁烷、2-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)-2-苯基氧杂环丁烷等氧杂环丁烷基含有(甲基)丙烯酸类化合物等。上述含环氧基的结构单元可以单独使用或两种以上组合使用。 

在上述含环氧基的单体中，从与其它自由基聚合性单体的共聚反应性及该组合物的显影性方面考虑，优选甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸2-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸3，4-环氧环己酯、甲基丙烯酸3，4-环氧环己基甲酯、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-甲基氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧杂环丁烷。 

作为[A]聚合物中含环氧基的结构单元的含量，只要层间绝缘 膜能发挥出预期的耐热性就没有特别的限制，一种聚合物分子中具有结构单元(1)和含环氧基的结构单元时，相对于[A]聚合物中含有的全部结构单元，按单体加入比计优选为10质量％～60质量％，更优选为15质量％～55质量％，特别优选为20质量％～50质量％。 

另一方面，一种聚合物分子中具有结构单元(1)，另一种聚合物分子中具有含环氧基的结构单元时，作为相对于具有含环氧基的结构单元的一种聚合物分子中含有的全部结构单元的含环氧基的结构单元的含量，按单体加入比计优选为20质量％～80质量％，更优选为30质量％～70质量％，特别优选为35质量％～65质量％。 

(其它结构单元) 

作为提供其它结构单元的自由基聚合性单体，可以列举具有羧基或其衍生物、羟基的自由基聚合性单体等。 

作为上述具有羧基或其衍生物的自由基聚合物单体，可以列举例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、2-丙烯酰氧基乙基琥珀酸、2-甲基丙烯酰氧基乙基琥珀酸、2-丙烯酰氧基乙基六氢邻苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧基乙基六氢邻苯二甲酸等单羧酸；马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸等二羧酸；上述二羧酸的酸酐等。 

作为上述具有羟基的自由基聚合性单体，可以列举例如丙烯酸2-羟基乙酯、丙烯酸3-羟基丙酯、丙烯酸4-羟基丁酯、丙烯酸4-羟基甲基环己基甲酯等丙烯酸羟基烷基酯； 

甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸3-羟基丙酯、甲基丙烯酸4-羟基丁酯、甲基丙烯酸5-羟基戊酯、甲基丙烯酸6-羟基己酯、甲基丙烯酸4-羟基甲基-环己基甲酯等甲基丙烯酸羟基烷基酯等。 

在这些具有羟基的自由基聚合性单体中，从与其它自由基聚合性单体的共聚反应性及得到的层间绝缘膜的耐热性方面考虑， 优选丙烯酸2-羟基乙酯、丙烯酸3-羟基丙酯、丙烯酸4-羟基丁酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸4-羟基丁酯、丙烯酸4-羟基甲基-环己基甲酯、甲基丙烯酸4-羟基甲基-环己基甲酯。 

作为其它自由基聚合性单体，可以列举例如： 

丙烯酸甲酯、丙烯酸异丙酯等丙烯酸烷基酯； 

甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁基等甲基丙烯酸烷基酯； 

丙烯酸环己酯、丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基酯、丙烯酸2-(三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基氧基)乙酯、丙烯酸异冰片酯等丙烯酸脂环式烷基酯； 

甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸2-甲基环己酯、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基酯、甲基丙烯酸2-(三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基氧基)乙酯、甲基丙烯酸异冰片酯等甲基丙烯酸脂环式烷基酯； 

丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯等丙烯酸的芳基酯及丙烯酸的芳烷基酯； 

甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苄酯等甲基丙烯酸的芳基酯及甲基丙烯酸的芳烷基酯； 

马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、衣康酸二乙基等二羧酸二烷基酯； 

甲基丙烯酸四氢糠酯、甲基丙烯酸四氢呋喃酯、甲基丙烯酸四氢吡喃-2-甲基等含有1个氧原子的不饱和五元杂环的甲基丙烯酸酯及不饱和六元杂环的甲基丙烯酸酯； 

4-甲基丙烯酰氧基甲基-2-甲基-2-乙基-1，3-二氧戊环、4-甲基丙烯酰氧基甲基-2-甲基-2-异丁基-1，3-二氧戊环、4-甲基丙烯酰氧基甲基-2-环己基-1，3-二氧戊环、4-甲基丙烯酰氧基甲基-2-甲基-2-乙基-1，3-二氧戊环、4-甲基丙烯酰氧基甲基-2-甲基-2-异丁基-1，3- 二氧戊环等含有2个氧原子的不饱和五元杂环的甲基丙烯酸酯； 

4-丙烯酰氧基甲基-2，2-二甲基-1，3-二氧戊环、4-丙烯酰氧基甲基-2-甲基-2-乙基-1，3-二氧戊环、4-丙烯酰氧基甲基-2、2-二乙基-1，3-二氧戊环、4-丙烯酰氧基甲基-2-甲基-2-异丁基-1，3-二氧戊环、4-丙烯酰氧基甲基-2-环戊基-1，3-二氧戊环、4-丙烯酰氧基甲基-2-环己基-1，3-二氧戊环、4-丙烯酰氧基乙基-2-甲基-2-乙基-1，3-二氧戊环、4-丙烯酰氧基丙基-2-甲基-2-乙基-1，3-二氧戊环、4-丙烯酰氧基丁基-2-甲基-2-乙基-1，3-二氧戊环等含有2个氧原子的不饱和五元杂环的丙烯酸酯； 

苯乙烯、α-甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、4-异丙烯基苯酚等乙烯基芳香族化合物； 

N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-琥珀酰亚氨基-3-马来酰亚胺苯甲酸盐、N-琥珀酰亚氨基-4-马来酰亚胺丁酸盐、N-琥珀酰亚氨基-6-马来酰亚胺己酸盐、N-琥珀酰亚氨基-3-马来酰亚胺丙酸盐、N-(9-吖啶基)马来酰亚胺等N位取代的马来酰亚胺； 

1，3-丁二烯、异戊二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯等共轭二烯类化合物； 

丙烯腈、甲基丙烯腈、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、氯乙烯、偏氯乙烯、醋酸乙烯酯等其它不饱和化合物等。 

在这些其它的自由基聚合性单体中，从与上述具有反应官能团的自由基聚合性单体的共聚反应性及该组合物的显影性方面考虑，优选苯乙烯、4-异丙烯基苯酚、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基酯、甲基丙烯酸四氢糠酯、1，3-丁二烯、4-丙烯酰氧基甲基-2-甲基-2-乙基-1，3-二氧戊环、N-环己基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸苄酯。 

作为[A]聚合物的GPC(凝胶渗透色谱)法聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)，优选为2.0×10³～1.0×10⁵，更优选为5.0×10³～5.0×10⁴。通过使[A]聚合物的Mw处于上述特定范围内，可以提高该组合物的放射线敏感性及碱显影性。 

作为[A]聚合物的GPC法聚苯乙烯换算数均分子量(Mn)，优选为2.0×10³～1.0×10⁵，更优选为5.0×10³～5.0×10⁴。通过使共聚物的Mn处于上述特定范围内，可以提高该组合物的涂膜固化时的固化反应性。 

作为[A]聚合物的分子量分布(Mw/Mn)，优选为3.0以下，更优选为2.6以下。通过使[A]聚合物的Mw/Mn为3.0以下，可以提高得到的层间绝缘膜的显影性。含有[A]聚合物的该组合物在显影时不会产生显影残留，能够容易地形成预期的图案形状。 

([A]聚合物的制造方法) 

[A]聚合物可以通过例如含缩醛结构的单体、含环氧基的单体、提供其它结构单元的单体的自由基共聚进行制造。制造同一种聚合物分子中同时含有结构单元(1)及含环氧基的结构单元[A]聚合物时，使至少含有含缩醛结构的单体和含环氧基的单体的混合物进行共聚即可。另一方面，制造一种聚合物分子中具有结构单元(1)，而且与其不同的聚合物分子中具有含环氧基的结构单元的[A]聚合物时，预先使至少含有含缩醛结构的单体的聚合性溶液进行自由基聚合而得到具有结构单元(1)的聚合物分子，另外使至少含有含环氧基的单体的聚合性溶液进行自由基聚合而得到含环氧基的结构单元的聚合物分子，最后将两者混合形成[A]聚合物即可。 

作为在用于制造[A]聚合物的聚合反应中使用的溶剂，可以列举例如醇类、醚类、乙二醇醚、乙二醇烷基醚醋酸酯、二乙二醇 烷基醚、丙二醇单烷基醚、丙二醇单烷基醚醋酸酯、丙二醇单烷基醚丙酸酯、芳香族烃类、酮类、其它酯类等。 

作为醇类，可以列举例如甲醇、乙醇、苄基醇、2-苯基乙醇、3-苯基-1-丙醇等。 

作为醚类，例如可以列举四氢呋喃等。 

作为乙二醇醚，可以列举例如乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚等。 

作为乙二醇烷基醚醋酸酯，可以列举例如甲基溶纤剂醋酸酯、乙基溶纤剂醋酸酯、乙二醇单丁基醚醋酸酯、乙二醇单乙基醚醋酸酯等。 

作为二乙二醇烷基醚，可以列举例如二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇乙基甲基醚等。 

作为丙二醇单烷基醚，可能列举例如丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单丙基醚、丙二醇单丁基醚等。 

作为丙二醇单烷基醚醋酸酯，可以列举例如丙二醇单甲基醚醋酸酯、丙二醇单乙基醚醋酸酯、丙二醇单丙基醚醋酸酯、丙二醇单丁基醚醋酸酯等。 

作为丙二醇单烷基醚丙酸酯，可以列举例如丙二醇单甲基醚丙酸酯、丙二醇单乙基醚丙酸酯、丙二醇单丙基醚丙酸酯、丙二醇单丁基醚丙酸酯等。 

作为芳香族烃类，可以列举例如甲苯、二甲苯等。 

作为酮类，可以列举例如甲乙酮、环己酮、4-羟基-4-甲基-2-戊酮等。 

作为其它酯类，可以列举例如醋酸甲酯、醋酸乙酯、醋酸丙酯、醋酸丁酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基 -2-甲基丙酸乙酯、羟基醋酸甲酯、羟基醋酸乙酯、羟基醋酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、3-羟基丙酸丙酯、3-羟基丙酸丁酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基醋酸甲酯、甲氧基醋酸乙酯、甲氧基醋酸丙酯、甲氧基醋酸丁酯、乙氧基醋酸甲酯、乙氧基醋酸乙酯、乙氧基醋酸丙酯、乙氧基醋酸丁酯、丙氧基醋酸甲酯、丙氧基醋酸乙酯、丙氧基醋酸丙酯、丙氧基醋酸丁酯、丁氧基醋酸甲酯、丁氧基醋酸乙酯、丁氧基醋酸丙酯、丁氧基醋酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等。 

在这些溶剂中，优选乙二醇烷基醚醋酸酯、二乙二醇烷基醚、丙二醇单烷基醚、丙二醇单烷基醚醋酸酯、甲氧基醋酸丁基，更优选二乙二醇二甲基醚、二乙二醇乙基甲基醚、丙二醇单甲基醚醋酸酯、丙二醇单甲基醚、甲氧基醋酸丁基。 

作为聚合反应中使用的聚合引发剂，可以使用一般作为自由基聚合引发剂而公知的物质。作为自由基聚合引发剂，例如可以列举2，2’-偶氮二异丁腈、2，2’-偶氮二-(2，4-二甲基戊腈)、2，2’-偶氮二-(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)、2，2’-偶氮二(2-甲基丙酸甲酯)等偶氮化合物；过氧化苯甲酰、过氧化月桂酰、特戊酸过氧化叔丁 酯、1，1’-双-(过氧化叔丁基)环己烷等有机过氧化物及过氧化氢等。 

使用过氧化物作为自由基聚合引发剂时，也可以将过氧化物与还原剂同时使用而形成氧化还原型引发剂。 

在用于制造[A]聚合物的聚合反应中，为了调节分子量，可以使用分子量调节剂。作为分子量调节剂，可以列举例如氯芳、四溴化碳等卤化烃类；正己基硫醇、正辛基硫醇、正十二烷基硫醇、叔十二烷基硫醇、巯基乙酸等硫醇类；硫化二甲基黄原酸酯、二硫化二异丙基黄原酸酯等黄原素类；萜品烯、α-甲基苯乙烯二聚体等。 

<[B]光酸产生体> 

[B]光酸产生体是通过放射线的照射而产生酸的物质。此处，作为放射线，可以使用例如可见光、紫外线、远紫外线、电子束、X射线等。由于该组合物含有[B]光酸产生体和具有酸离解性基团的[A]聚合物，可以表现出正型放射线敏感特性。作为[B]光酸产生体，只要是通过放射线的照射而产生酸(例如羧酸、磺酸等)的物质，就没有特别的限制。作为[B]光酸产生体在该组合物中的含有形态，可以是作为后述那样的化合物的光酸产生剂(以下也称为“[B]光酸产生剂”)形态，也可以是作为[A]聚合物或其它聚合物一部分而引入光产酸基团形态，还可以是这两种形态。 

作为[B]光酸产生剂，可以列举肟磺酸酯化合物、鎓盐、磺酰亚胺化合物、含卤素的化合物、重氮甲烷化合物、砜化合物、磺酸酯化合物、羧酸酯化合物等。这些物质可以单独使用或两种以上组合使用。 

(肟磺酸酯化合物) 

作为上述肟磺酸酯化合物，优选含有下述式(3)表示的肟磺酸 酯基的化合物。 

上述式(3)中，R⁵为可以被取代的直链状、支链状、环状烷基、或可以被取代的芳基。作为R⁵的烷基，优选碳原子数为1～10的直链状或支链状烷基。R⁵烷基也可以被碳原子数为1～10的烷氧基或脂环式基团(包括7，7-二甲基-2-氧代降冰片基等桥式脂环基，优选为双环烷基等)取代。作为R⁵的芳基，优选碳原子数为6～11的芳基，更优选苯基或萘基。R⁵芳基也可以被碳原子数为1～5的烷基、烷氧基或卤素原子取代。 

特别优选含有上述式(3)表示的肟磺酸酯基的化合物为下述式(3-1)表示的肟磺酸酯化合物。 

上述式(3-1)中，R⁵与上述式(3)中含义相同。R⁶为烷基、烷氧基或卤素原子。m为0～3的整数。但是，R⁶为多个时，多个R⁶可以相同也可以不同。作为R⁶表示的烷基，优选碳原子数为1～4的直链状或支链状烷基。 

作为R⁶表示的烷氧基，优选碳原子数为1～4的直链状或支链状烷氧基。作为X表示的卤素原子，优选氯原子或氟原子。m优选为0或1。上述式(3-1)中，m为1，R⁶为甲基，优选R⁶的取代位置为邻位的化合物。 

作为肟磺酸酯化合物，可以列举例如下述式表示的化合物等。 

对于上述化合物，可以分别作为[(5-丙磺酰氧亚氨基-5H-噻吩-2-亚基)-(2-甲基苯基)乙腈]、[(5-辛磺酰氧亚氨基-5H-噻吩-2-亚基)-(2-甲基苯基)乙腈]、[(樟脑磺酰氧亚氨基-5H-噻吩-2-亚基)-(2-甲基苯基)乙腈]、[(5-对甲苯磺酰氧亚氨基-5H-噻吩-2-亚基)-(2-甲基苯基)乙腈]及[(5-辛磺酰氧亚氨基)-(4-甲氧基苯基)乙腈]，得到市售商品。 

(鎓盐) 

作为鎓盐，可以列举二苯基碘鎓盐、三苯基锍盐、锍盐、苯并噻唑鎓盐、四氢噻吩盐等。 

作为二苯基碘鎓盐，例如可以列举二苯基碘鎓四氟硼酸盐、二苯基碘鎓六氟磷酸盐、二苯基碘鎓六氟砷酸盐、二苯基碘鎓三氟甲磺酸盐、二苯基碘鎓三氟醋酸酯、二苯基碘鎓-对甲苯磺酸盐、二苯基碘鎓丁基三(2，6-二氟苯基)硼酸盐、4-甲氧基苯基苯基碘鎓四氟硼酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓四氟硼酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓六氟砷酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐、双(4-叔丁 基苯基)碘鎓三氟醋酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓-对甲苯磺酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓樟脑磺酸盐等。 

作为三苯基锍盐，例如可以列举三苯基锍三氟甲磺酸盐、三苯基锍樟脑磺酸盐、三苯基锍四氟硼酸盐、三苯基锍三氟醋酸盐、三苯基锍-对甲苯磺酸盐、三苯基锍丁基三(2，6-二氟苯基)硼酸盐等。 

作为锍盐，可以列举例如烷基锍盐、苄基锍盐、二苄基锍盐、取代苄基锍盐等。 

作为烷基锍盐，可以列举例如4-乙酰氧基苯基二甲基锍六氟锑酸盐、4-乙酰氧基苯基二甲基锍六氟砷酸盐、二甲基-4-(苄氧羰氧基)苯基锍六氟锑酸盐、二甲基-4-(苯甲酰氧基)苯基锍六氟锑酸盐、二甲基-4-(苯甲酰氧基)苯基锍六氟砷酸盐、二甲基-3-氯-4-乙酰氧基苯基锍六氟锑酸盐等。 

作为苄基锍盐，可以列举例如苄基-4-羟基苯基甲基锍六氟锑酸盐、苄基-4-羟基苯基甲基锍六氟磷酸盐、4-乙酰氧基苯基苄基甲基锍六氟锑酸盐、苄基-4-甲氧基苯基甲基锍六氟锑酸盐、苄基-2-甲基-4-羟基苯基甲基锍六氟锑酸盐、苄基-3-氯-4-羟基苯基甲基锍六氟砷酸盐、4-甲氧基苄基-4-羟基苯基甲基锍六氟磷酸盐等。 

作为二苄基锍盐，可以列举例如二苄基-4-羟基苯基锍六氟锑酸盐、二苄基-4-羟基苯基锍六氟磷酸盐、4-乙酰氧基苯基二苄基锍六氟锑酸盐、二苄基-4-甲氧基苯基锍六氟锑酸盐、二苄基-3-氯-4-羟基苯基锍六氟砷酸盐、二苄基-3-甲基-4-羟基-5-叔丁基苯基锍六氟锑酸盐、苄基-4-甲氧基苄基-4-羟基苯基锍六氟磷酸盐等。 

作为取代苄基锍盐，可以列举例如对氯苄基-4-羟基苯基甲基锍六氟锑酸盐、对硝基苄基-4-羟基苯基甲基锍六氟锑酸盐、对氯苄基-4-羟基苯基甲基锍六氟磷酸盐、对硝基苄基-3-甲基-4-羟基苯 基甲基锍六氟锑酸盐、3，5-二氯苄基-4-羟基苯基甲基锍六氟锑酸盐、邻氯苄基-3-氯-4-羟基苯基甲基锍六氟锑酸盐等。 

作为苯并噻唑鎓盐，例如可以列举3-苄基苯并噻唑鎓六氟锑酸盐、3-苄基苯并噻唑鎓六氟磷酸盐、3-苄基苯并噻唑鎓四氟硼酸盐、3-(对甲氧基苄基)苯并噻唑鎓六氟锑酸盐、3-苄基-2-甲硫基苯并噻唑鎓六氟锑酸盐、3-苄基-5-氯苯并噻唑鎓六氟锑酸盐等。 

作为四氢噻吩盐，可以列举例如4，7-二正丁氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲磺酸盐、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩三氟甲磺酸盐、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩九氟-正丁磺酸盐、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩-1，1，2，2-四氟-2-(降冰片-2-基)乙磺酸盐、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩-2-(5-叔丁氧羰氧基双环[2.2.1]庚烷-2-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸盐、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩-2-(6-叔丁氧羰氧基双环[2.2.1]庚烷-2-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸盐等。 

(磺酰亚胺化合物) 

作为磺酰亚胺化合物，可以列举例如N-(三氟甲磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(樟脑磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(4-甲基苯磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(4-氟苯磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(三氟甲磺酰氧基)邻苯二甲酰亚胺、N-(樟脑磺酰氧基)邻苯二甲酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)邻苯二甲酰亚胺、N-(2-氟苯磺酰氧基)邻苯二甲酰亚胺、N-(三氟甲磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(樟脑磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、4-甲基苯磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(4-氟苯磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(4-氟苯磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(苯磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(4-甲基苯磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5- 烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(三氟甲烷磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(九氟丁磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(樟脑磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(樟脑磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(三氟甲磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(4-甲基苯磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(4-甲基苯磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(4-氟苯磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(4-氟苯磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺、N-(三氟甲磺酰氧基)双环[2.2.1]庚烷-5，6-氧代-2，3-二甲酰亚胺、N-(樟脑磺酰氧基)双环[2.2.1]庚烷-5，6-氧代-2，3-二甲酰亚胺、N-(4-甲基苯磺酰氧基)双环[2.2.1]庚烷-5，6-氧代-2，3-二甲酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)双环[2.2.1]庚烷-5，6-氧代-2，3-二甲酰亚胺、N-(4-氟苯磺酰氧基)双环[2.2.1]庚烷-5，6-氧代-2，3-二甲酰亚胺、N-(三氟甲磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(樟脑磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(4-甲基苯磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(苯磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(4-氟苯磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(五氟乙磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(七氟丙磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(九氟丁磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(乙磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(丙磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(丁磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(戊磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(己磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(庚磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(辛磺酰氧基)萘二甲酰亚胺、N-(壬磺酰氧基)萘二甲酰亚胺等。 

(含卤素的化合物) 

作为含卤素的化合物，可以列举例如含卤烷基烃化合物、含卤烷基杂环状化合物等。 

(重氮甲烷化合物) 

作为重氮甲烷化合物，可以列举例如双(三氟甲磺酰基)重氮甲烷、双(环己磺酰基)重氮甲烷、双(苯磺酰基)重氮甲烷、双(对甲苯磺酰基)重氮甲烷、双(2，4-二甲苯磺酰基)重氮甲烷、双(对氯苯磺酰基)重氮甲烷、甲磺酰基-对甲苯磺酰基重氮甲烷、环己磺酰基(1，1-二甲基乙磺酰基)重氮甲烷、双(1，1-二甲基乙磺酰基)重氮甲烷、苯磺酰基(苯甲酰)重氮甲烷等。 

(砜化合物) 

作为砜化合物，可以列举例如β-酮砜化合物、β-磺酰基砜化合物、二芳基二砜化合物等。 

(磺酸酯化合物) 

作为磺酸酯化合物，可以列举例如烷基磺酸酯、卤烷基磺酸酯、芳基磺酸酯、酰亚氨磺酸盐等。 

(羧酸酯化合物) 

作为羧酸酯化合物，可以列举例如羧酸邻硝基苄基酯等。 

在这些[B]光酸产生剂中，从放射线敏感性、对[C]有机溶剂的溶解性方面考虑，优选肟磺酸酯化合物，更优选含有上述式(3)表示的肟磺酸酯基的化合物，特别优选上述式(3-1)表示的肟磺酸酯化合物，最优选可以作为市售商品获得的[(5-丙磺酰氧亚氨基-5H-噻吩-2-亚基)-(2-甲基苯基)乙腈]、[(5-辛磺酰氧亚氨基-5H-噻吩-2-亚基)-(2-甲基苯基)乙腈]、[(5-对甲苯磺酰氧亚氨基-5H-噻吩-2-亚基)-(2-甲基苯基)乙腈]、[(樟脑磺酰氧亚氨基-5H-噻吩-2-亚基)-(2-甲基苯基)乙腈]、[(5-辛磺酰氧亚氨基)-(4-甲氧基苯基)乙腈]。 

另外，作为[B]光酸产生剂，也优选鎓盐，更优选四氢噻吩盐 及苄基锍盐，特别优选4，7-二正丁氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲磺酸盐、苄基-4-羟基苯基甲基锍六氟磷酸盐。 

作为该组合物中[B]光酸产生剂的含量，相对于[A]聚合物100质量份，优选为0.1质量份～10质量份，更优选为1质量份～5质量份。通过使[B]光酸产生剂的含量处于上述特定范围内，可以使该组合物的放射线敏感性达到最佳化，形成在保持透明性的同时具有高表面硬度的层间绝缘膜。 

[[C]有机溶剂] 

对于该组合物，可以通过将[A]聚合物、[B]光酸产生体及必要时使用的[D]表面活性剂、其它任选成分在[C]有机溶剂中进行混合来配制成溶解或分散的状态而调制。作为[C]有机溶剂，适宜使用能均匀地溶解或分散上述各种构成要素，并且不与各种构成要素反应的品种。 

作为[C]有机溶剂，可以列举例如醇类、乙二醇单烷基醚类、乙二醇二烷基醚类、丙二醇单烷基醚类、二乙二醇单烷基醚类、二乙二醇二烷基醚类、二乙二醇单烷基醚醋酸酯类、二丙二醇单烷基醚类、二丙二醇二烷基醚类、二丙二醇单烷基醚醋酸酯类、乳酸酯类、脂肪族羧酸酯类、酰胺类、酮类等。这些溶剂可以单独使用或两种以上组合使用。 

作为[C]有机溶剂，优选含有(C1)20℃下的蒸气压为0.1mmHg以上且不足1mmHg的有机溶剂(以下也称为“(C1)有机溶剂”)，以及(C2)20℃下的蒸气压为1mmHg以上20mmHg以下的有机溶剂(以下也称为“(C2)有机溶剂”)。通过使用具有特定蒸气压的[C]有机溶剂，即使采用例如喷射喷嘴式涂布法，也可以防止涂布不匀和进行高速涂布。还有，蒸气压的测定可以使用公知方法，但是在本说明书中是指通过蒸腾法(气体流通法)测定的值。 

作为(C1)有机溶剂，可以列举例如： 

苄醇等醇类； 

乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单丙基醚、乙二醇单丁基醚等乙二醇单烷基醚类； 

乙二醇二甲基醚、乙二醇二乙基醚、乙二醇二丙基醚等乙二醇二烷基醚类； 

丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单丙基醚、丙二醇单丁基醚等丙二醇单烷基醚类； 

二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚等二乙二醇单烷基醚类； 

二乙二醇二乙基醚、二乙二醇乙基甲基醚等二乙二醇二烷基醚类； 

二乙二醇单甲基醚醋酸酯、二乙二醇单乙基醚醋酸酯、二乙二醇单丙基醚醋酸酯、二乙二醇单丁基醚醋酸酯等二乙二醇单烷基醚醋酸酯类； 

二丙二醇单甲基醚、二丙二醇单乙基醚、二丙二醇单丙基醚、二丙二醇单丁基醚等二丙二醇单烷基醚类； 

二丙二醇二甲基醚、二丙二醇二乙基醚等二丙二醇二烷基醚类； 

二丙二醇单甲基醚醋酸酯、二丙二醇单乙基醚醋酸酯、二丙二醇单丙基醚醋酸酯、二丙二醇单丁基醚醋酸酯等二丙二醇单烷基醚醋酸酯类； 

乳酸正丙酯、乳酸异丙酯、乳酸正丁酯、乳酸异丁酯、乳酸正戊酯、乳酸异戊基等乳酸酯类； 

羟基醋酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、2-羟基-3-甲基酪酸乙酯、乙氧基醋酸乙酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、 3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丁基醋酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基醋酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丁酸酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙基等脂肪族羧酸酯类； 

N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-甲基乙酰胺、N，N-二甲基乙酰胺等酰胺类； 

N-甲基吡咯烷酮、γ-丁内酯等酮类等。这些溶剂可以单独使用或两种以上组合使用。 

作为(C2)有机溶剂，可以列举例如二乙二醇二甲基醚、乙二醇单甲基醚醋酸酯、乙二醇单乙基醚醋酸酯、乙二醇单丙基醚醋酸酯、乙二醇单丁基醚醋酸酯、丙二醇单甲基醚醋酸酯、环己酮、醋酸乙酯、醋酸丙酯、醋酸正丁酯、甲基丙基酮、甲基异丁酮、3-甲氧基丙酸甲酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯等。这些溶剂可以单独使用或两种以上组合使用。 

将(C1)有机溶剂和(C2)有机溶剂混合进行使用时，优选二乙二醇乙基甲基醚/二乙二醇二甲基醚、二乙二醇乙基甲基醚/丙二醇单甲基醚醋酸酯、二乙二醇乙基甲基醚/环己酮、二乙二醇二乙基醚/二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚/丙二醇单甲基醚醋酸酯、二乙二醇二乙基醚/环己酮、二乙二醇二乙基醚/3-甲氧基丙酸甲酯、二乙二醇二乙基醚/甲基异丁酮、二乙二醇二乙基醚/醋酸正丁基的组合。还有，(C1)有机溶剂或(C2)有机溶剂也可以混合两种以上使用，作为组合，可以列举例如二乙二醇二乙基醚/丙二醇单甲基醚醋酸酯/环己酮/3-甲氧基丙酸甲酯等。 

作为(C2)有机溶剂的含量，优选相对于(C1)有机溶剂和(C2)有机溶剂的合计量为10质量％以上50质量％以下。通过使蒸气压低的(C1)有机溶剂和蒸气压高的(C2)有机溶剂的质量比处于上述 特定范围内，尤其可以使预烘焙后的涂膜中残留的溶剂量达到最佳化，使涂膜的流动性得到平衡，结果就可以抑制涂布不匀(条纹不匀、针孔不匀、明暗不匀等)的发生，进一步提高膜厚均匀性。另外，由于残留溶剂量达到了最佳化，产酸量和酸离解性基团达到了高度平衡，容易得到良好的放射线敏感性。 

该组合物的固体成分浓度为10质量％以上30质量％以下。更优选为20质量％以上25质量％以下。通过使该组合物的固体成分浓度处于上述特定范围内，可以有效地抑制涂布不匀。 

该组合物在25℃下的粘度优选为2.0mPa·s以上10mPa·s以下。通过使该组合物的粘度处于上述特定范围内，可以在保持膜厚均匀性的同时，很均衡地实现即使产生涂布不匀时也能够自发地达到均匀的那种程度的粘度，而且可以实现高速涂布性。 

[[D]表面活性剂] 

该组合物中还可以含有用于进一步提高该组合物的覆膜形成性的[D]表面活性剂。作为这种表面活性剂，可以列举例如氟类表面活性剂、硅树脂类表面活性剂及其它表面活性剂。该组合物由于含有[D]表面活性剂，可以提高涂膜的表面平滑性，结果就可以提高形成的层间绝缘膜的膜厚均匀性。在这些表面活性剂中，优选膜压力均匀性特别优异的硅树脂类表面活性剂。 

作为氟类表面活性剂，优选末端、主链及侧链中的至少任何一个部位具有氟烷基和/或氟亚烷基的化合物。作为氟类表面活性剂，可以列举例如1，1，2，2-四氟正辛基(1，1，2，2-四氟正丙基)醚、1，1，2，2-四氟正辛基(正己基)醚、六乙二醇二(1，1，2，2，3，3-六氟正戊基)醚、八乙二醇二(1，1，2，2-四氟正丁基)醚、六丙二醇二(1，1，2，2，3，3-六氟正戊基)醚、八丙二醇二(1，1，2，2-四氟正丁基)醚、全氟正十二烷磺酸钠、1，1，2，2，3，3-六氟正癸烷、 1，1，2，2，3，3，9，9，10，10-十氟正十二烷、氟烷基苯磺酸钠、氟烷基磷酸钠、氟烷基羧酸钠、二甘油四(氟烷基聚氧乙烯醚)、氟烷基碘化铵、氟烷基甜菜碱、氟烷基聚氧乙烯醚、全氟烷基多羟基乙醇、全氟烷基烷氧化物、羧酸氟烷基酯等。 

作为氟类表面活性剂的市售商品，可以列举例如BM-1000、BM-1100(以上为BM CHEMIE制)、メガフアツクF142D、メガフアツクF172、メガフアツクF173、メガフアツクF183、メガフアツクF178、メガフアツクF191、メガフアツクF471、メガフアツクF476(以上为大日本インキ化学工业制)、フロラ一ドFC-170C、フロラ一ドFC-171、フロラ一ドFC-430、フロラ一ドFC-431(以上为住友スリ一エム制)、サ一フロンS-112、サ一フロンS-113、サ一フロンS-131、サ一フロンS-141、サ一フロンS-145、サ一フロンS-382、サ一フロンSC-101、サ一フロンSC-102、サ一フロンSC-103、サ一フロンSC-104、サ一フロンSC-105、サ一フロンSC-106(以上为旭硝子制)、エフトツプEF301、エフトツプEF303、エフトツプEF352(以上为新秋田化成制)、フタ一ジエントFT-100、フタ一ジエントFT-110、フタ一ジエントFT-140A、フタ一ジエントFT-150、フタ一ジエントFT-250、フタ一ジエントFT-251、フタ一ジエントFT-300、フタ一ジエントFT-310、フタ一ジエントFT-400S、フタ一ジエントFTX-218、フタ一ジエントFT-251(以上为ネオス制)等。 

作为硅树脂类表面活性剂，可以列举例如ト一レシリコ一ンDC3PA、ト一レシリコ一ンDC7PA、ト一レシリコ一ンSH11PA、ト一レシリコ一ンSH21PA、ト一レシリコ一ンSH28PA、ト一レシリコ一ンSH29PA、ト一レシリコ一ンSH30PA、ト一レシリコ一ンSH-190、ト一レシリコ一ンSH-193、ト一レシリコ一ンSZ -6032、ト一レシリコ一ンSF-8428、ト一レシリコ一ンDC-57、ト一レシリコ一ンDC-190、SH 8400FLUID(以上为東レ·ダウコ一ニング·シリコ一ン制)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(以上为GE东芝シリコ一ン制)、有机硅氧烷聚合物KP341(信越化学工业制)等。 

[D]表面活性剂可以单独使用或两种以上组合使用。作为该组合物中[D]表面活性剂的含量，相对于[A]聚合物100质量份，优选为0.01质量份以上2质量份以下，更优选为0.05质量份以上1质量份以下。通过使[D]表面活性剂的含量处于上述特定范围内，可以进一步提高涂膜的表面平滑性。 

[其它任选成分] 

必要时该组合物可以按不损害预期效果的范围含有粘合助剂、碱性化合物、二叠氮醌化合物等其它任选成分。其它任选成分可以单独使用或两种以上组合使用。 

(粘合助剂) 

该组合物中可以含有例如硅、氧化硅、氮化硅等硅化合物或金、铜、铝等用于提高金属和绝缘膜的粘接性的粘合助剂。 

作为粘合助剂，优选使用官能性硅烷偶联剂。作为官能性硅烷偶联剂，可以列举例如具有羧基、甲基丙烯酰基、异氰酸酯基、环氧基(优选环氧乙烷基)、硫醇基等反应性取代基的硅烷偶联剂等。 

作为官能性硅烷偶联剂，可以列举例如三甲氧基甲硅烷基安息香酸、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、γ-异氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基烷基二烷氧基硅烷、γ-氯丙基三烷氧基硅烷、γ-巯基丙基三烷氧基硅烷、β-(3，4-环 氧环己基)乙基三甲氧基硅烷等。 

在这些官能性硅烷偶联剂中，优选γ-环氧丙氧基丙基烷基二烷氧基硅烷、β-(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷。 

作为粘合助剂的含量，相对于[A]聚合物100质量份，优选为0.5质量份以上20质量份以下，更优选为1质量份以上10质量份以下。通过使粘合助剂的使用量处于上述特定范围内，可以改善所形成的层间绝缘膜和基板粘合性。 

(碱性化合物) 

通过使该组合物中含有碱性化合物，可以适当地控制因为曝光而由[B]光酸产生体产生的酸的扩散长度，可以改善图案显影性。作为碱性化合物，可以列举例如脂肪族胺、芳香族胺、杂环式胺、季铵氢氧化物、羧酸季铵盐等。 

作为脂肪族胺，可以列举例如三甲基胺、二乙基胺、三乙基胺、二正丙基胺、三正丙基胺、二正戊基胺、三正戊基胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二环己基胺、二环己基甲基胺等。 

作为芳香族胺，可以列举例如苯胺、苄基胺、N，N-二甲基苯胺、二苯胺等。 

作为杂环式胺，可以列举例如吡啶、2-甲基吡啶、4-甲基吡啶、2-乙基吡啶、4-乙基吡啶、2-苯基吡啶、4-苯基吡啶、N-甲基-4-苯基吡啶、4-二甲基氨基吡啶、咪唑、苯并咪唑、4-甲基咪唑、2-苯基苯并咪唑、2，4，5-三苯基咪唑、烟碱、烟酸、烟酰胺、喹啉、8-氧代喹啉、吡嗪、吡唑、哒嗪、嘌呤、吡咯烷、哌啶、哌嗪、吗啉、4-甲基吗啉、1，5-二氮杂双环[4，3，0]-5-壬烯、1，8-二氮杂双环[5，3，0]-7-十一烯等。 

作为季铵氢氧化物，可以列举例如四甲基氢氧化铵、四乙基 氢氧化铵、四正丁基氢氧化铵、四正己基氢氧化铵等。 

作为羧酸季铵盐，可以列举例如醋酸四甲基铵、苯甲酸四甲基铵、醋酸四正丁基铵、苯甲酸四正丁基铵等。 

作为该组合物中碱性化合物的含量，优选相对于[A]聚合物100质量份为0.001质量份～1质量份，更优选为0.005质量份～0.2质量份。通过使碱性化合物的含量处于上述特定范围内，就得到了良好的图案显影性。 

(二叠氮醌化合物) 

二叠氮醌化合物是通过放射线的照射而产生羧酸的化合物。作为二叠氮醌化合物，可以使用酚性化合物或醇性化合物(以下也称为“母核”)和1，2-二叠氮萘醌磺酰卤的缩合物。 

作为上述母核，可以列举例如三羟基二苯甲酮、四羟基二苯甲酮、五羟基二苯甲酮、六羟基二苯甲酮、(多羟基苯基)烷烃、其它母核。 

作为三羟基二苯甲酮，可以列举例如2，3，4-三羟基二苯甲酮、2，4，6-三羟基二苯甲酮等。 

作为四羟基二苯甲酮，可以列举例如2，2’，4，4’-四羟基二苯甲酮、2，3，4，3’-四羟基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羟基二苯甲酮、2，3，4，2’-四羟基-4’-甲基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羟基-3’-甲氧基二苯甲酮等。 

作为五羟基二苯甲酮，可以列举例如2，3，4，2’，6’-五羟基二苯甲酮等。 

作为六羟基二苯甲酮，可以列举例如2，4，6，3’，4’，5’-六羟基二苯甲酮、3，4，5，3’，4’，5’-六羟基二苯甲酮等。 

作为(多羟基苯基)烷烃，可以列举例如双(2，4-二羟基苯基)甲烷、双(对羟基苯基)甲烷、三(对羟基苯基)甲烷、1，1，1-三(对羟基苯基)乙烷、双(2，3，4-三羟基苯基)甲烷、2，2-双(2，3，4-三羟基苯基) 丙烷、1，1，3-三(2，5-二甲基-4-羟基苯基)-3-苯基丙烷、4，4’-〔1-〔4-〔1-〔4-羟基苯基〕-1-甲基乙基〕苯基〕乙叉〕双酚、双(2，5-二甲基-4-羟基苯基)-2-羟基苯基甲烷、3，3，3’，3’-四甲基-1，1’-螺双茚-5，6，7，5’，6’，7’-己醇、2，2，4-三甲基-7，2’，4’-三羟基黄烷等。 

作为其它母核，可以列举例如2-甲基-2-(2，4-二羟基苯基)-4-(4-羟基苯基)-7-羟基色满、1-[1-(3-{1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基}-4，6-二羟基苯基)-1-甲基乙基]-3-(1-(3-{1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基}-4，6-二羟基苯基)-1-甲基乙基)苯、4，6-双{1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基}-1，3-二羟基苯等。 

在这些母核中，优选2，3，4，4’-四羟基二苯甲酮、1，1，1-三(对羟基苯基)乙烷、4，4’-〔1-〔4-〔1-〔4-羟基苯基〕-1-甲基乙基〕苯基〕乙叉〕双酚。 

作为上述1，2-二叠氮萘醌磺酰卤，优选1，2-二叠氮萘醌磺酰氯。作为1，2-二叠氮萘醌磺酰氯，可以列举例如1，2-二叠氮萘醌-4-磺酰氯、1，2-二叠氮萘醌-5-磺酰氯等。其中优选1，2-二叠氮萘醌-5-磺酰氯。 

作为酚性化合物或醇性化合物和1，2-二叠氮萘醌磺酰卤的缩合物，优选1，1，1-三(对羟基苯基)乙烷和1，2-二叠氮萘醌-5-磺酰氯的缩合物、4，4’-〔1-〔4-〔1-〔4-羟基苯基〕-1-甲基乙基〕苯基〕乙叉〕双酚和1，2-二叠氮萘醌-5-磺酰氯的缩合物。 

对于酚性化合物或醇性化合物和1，2-二叠氮萘醌磺酰卤的缩合反应，相对于酚性化合物或醇性化合物中的OH基的数，可以使用优选相当于30摩尔％～85摩尔％，更优选50摩尔％～70摩尔％的1，2-二叠氮萘醌磺酰卤。缩合反应可以按公知方法实施。 

另外，作为二叠氮醌化合物，也适宜使用将上述例示的母核的酯键变换为酰胺键后的1，2-二叠氮萘醌磺酰胺类，例如2，3，4- 三氨基二苯甲酮-1，2-二叠氮萘醌-4-磺酰胺等。 

(该组合物的制造方法) 

作为该组合物，可以通过将[A]聚合物、[B]光酸产生体、及作为优选成分的的[D]表面活性剂、以及对应必要混合其它任选成分在[C]有机溶剂进行混合而配制成溶解或分散状态。例如可以通过在[C]有机溶剂中，将[A]、[B]及[D]成分、以及其它任选成分按规定的比例进行混合来配制该组合物。 

<液晶层> 

该液晶显示元件中具备的液晶层是由聚合性液晶组合物形成的。作为聚合性液晶组合物，优选具有光聚合性或热聚合性。上述聚合性液晶组合物由于具有光聚合性或热聚合性，可以通过光照或加热由聚合性液晶组合物形成液晶层，从而可以进行高效地制造。另外，根据该液晶显示元件，即使经过这种光照或加热进行制造层间绝缘膜的变形等也可以得到抑制，因此可以发挥出高电压保持率及优异的生产性。作为聚合性液晶组合物，可以列举热固化型聚合性液晶组合物、光固化型聚合性液晶组合物。 

[热固化型聚合性液晶组合物] 

作为热固化型聚合性液晶组合物，可以列举例如包含液晶化合物及热聚合性化合物的组合物。 

(液晶化合物) 

作为液晶化合物，可以列举例如向列型液晶、碟型液晶、胆甾型液晶等。作为液晶化合物，优选向列型液晶。另外，在这些液晶中，为了改善性能，也可以含有胆甾型液晶、手性向列型液晶、手性近晶型液晶等手性化合物。 

作为具体的液晶化合物，可以列举例如4-取代安息香酸4’- 取代苯基酯、4-取代环己烷甲酸4’-取代苯基酯、4-取代环己烷甲酸4’-取代联苯基酯、4-(4-取代环己烷羰氧基)安息香酸4’-取代苯基酯、4-(4-取代环己基)安息香酸4’-取代苯基酯、4-(4-取代环己基)安息香酸4’-取代环己基酯、4-取代4’-取代联苯基、4-取代苯基4’-取代环己烷、4-取代4”-取代三联苯基、4-取代联苯基4’-取代环己烷、2-(4-取代苯基)-5-取代嘧啶、下述式(a)～(d)表示的化合物等。 

在这些液晶化合物中，优选上述式(a)～(d)表示的化合物等、至少分子的一个末端带有氰基的化合物。这些化合物可以单独使用或两种以上组合使用。对于这些液晶化合物，可以考虑液晶的特性，即，各向同性液体和液晶的相转移温度、熔点、粘度、折射率各向异性(Δn)、介电常数各向异性(Δε)及与其它成分等的溶解性等进行适当地选择，配入使用。 

另外，作为液晶化合物，优选具有聚合性基团的化合物。由于液晶化合物具有聚合性基团，可以使该液晶化合物本身具备热聚合性或光聚合性。作为聚合性基团，可以列举例如乙烯基、(甲基)丙烯酰基、(甲基)丙烯酰基、(甲基)丙烯酰胺基、苯乙烯基、环 氧基、异氰酸酯基等。 

作为具有聚合性基团的液晶化合物，可以列举例如下述式(4)表示的化合物等。 

上述式(4)中，R⁷为氢原子或甲基。R⁸、R¹⁰及R¹²各自独立地为下述式表示的基团中的任一种。n为0或1。R⁹及R¹¹各自独立地为单键、-CH₂CH₂-、-CH₂O-、-OCH₂-、-C OO-、-OCO-、-C≡C-、-CH＝CH-、-CF＝CF-、-(CH₂)₄-、-CH₂CH₂CH₂O-、-OCH₂CH₂CH₂-、-CH₂＝CHCH₂CH₂-、或-CH₂CH₂CH＝CH-。R¹²为氢原子、卤素原子、氰基、碳原子数为1～20的烷基、烷氧基、烯基或烯氧基。 

上述式中，m为1～4的整数。 

在上述式(4)表示的化合物中，优选R⁸、R¹⁰及R¹²各自独立地为下述式表示的基团，m为1或2，R⁹及R¹¹各自独立地为单键或-C≡C-，R¹³为卤素原子、氰基、碳原子数为1～20的烷基或烷氧基的化合物。 

作为其它具有聚合性基团的液晶化合物，可以列举例如下述式(5)表示的化合物等。 

上述式(5)中，R¹⁴为氢原子或甲基。p为2～12的整数。R¹⁵为单键或-COO-。R¹⁶为氰基、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的烷氧基或苯基。 

作为上述式(5)表示的具有聚合性基团的液晶化合物，可以列举例如下述式(5-1)～(5-3)表示的化合物等。 

上述式(5-1)～(5-3)中，R¹⁷、R¹⁸及R¹⁹各自独立地为氢原子或甲基。j、k及q各自独立地为2～12的整数。R²⁰为碳原子数为1～6的烷基或苯基。 

作为热固化型聚合性液晶组合物中液晶化合物的含量，优选为90质量％以上，更优选为96质量％以上99.9质量％以下，特别优选为98质量％以上99.5质量％以下。通过使液晶化合物的含量处于上述特定范围内，可以发挥出适宜的液晶响应性。 

作为上述热聚合性化合物，优选环氧化合物。作为上述环氧化合物，只要是分子中具有一个以上的环氧基、通过加热而反应 固化的化合物，就没有特别的限制，但是从涂布性上考虑，优选液态的环氧化合物。 

作为环氧化合物，可以列举例如含环氧基的脂肪族化合物、含环氧基的脂环式化合物、含环氧基的芳香族化合物等。 

作为含环氧基的脂肪族化合物，可以列举例如1，4-丁二醇二缩水甘油醚、1，6-己二醇二缩水甘油醚、新戊二醇二缩水甘油醚、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚、聚乙二醇二缩水甘油醚、甘油三缩水甘油醚、聚丙二醇二缩水甘油醚类；通过在乙二醇、丙二醇、甘油等脂肪族多元醇上加成一种或两种以上的环氧烷烃而得到的聚醚多元醇的多缩水甘油醚类；脂肪族长链二元酸的二缩水甘油酯类；脂肪族高级醇的单缩水甘油醚类； 

高级脂肪酸的缩水甘油酯类；环氧化大豆油；环氧基硬脂酸丁酯；环氧基硬脂酸酸辛酯；环氧化亚麻仁油；环氧化聚丁二烯等。 

作为含环氧基的脂肪族化合物的市售商品，可以列举例如SR-NPG、SR-16H、SR-PG、SR-TPG(以上为阪本药品工业制)；PG-202、PG-207(以上为东都化成制)；EX-610U、EX-1610-P(以上为ナガセケムテツクス制)等。 

作为含环氧基的脂环式化合物，可以列举例如3，4-环氧环己基甲基-3’，4’-环氧环己烷甲酸酯、2-(3，4-环氧环己基-5，5-螺-3，4-环氧)环己烷-间二氧六环、二(3，4-环氧环己基甲基)己二酸酯、二(3，4-环氧-6-甲基环己基甲基)己二酸酯、3，4-环氧-6-甲基环己基-3’，4’-环氧-6’-甲基环己烷甲酸酯、ε-己内酯改性3，4-环氧环己基甲基-3’，4’-环氧环己烷甲酸酯、三甲基己内酯改性3，4-环氧环己基甲基-3’，4’-环氧环己烷甲酸酯、β-甲基-δ-戊内酯改性3，4-环氧环己基甲基-3’，4’-环氧环己烷甲酸酯、亚甲基双(3，4-环氧环己烷)、乙 二醇的二(3，4-环氧环己基甲基)醚、亚乙基双(3，4-环氧环己烷甲酸酯)、环氧六氢邻苯二甲酸二辛酯、环氧六氢邻苯二甲酸二2-乙基己酯等。 

作为含环氧基的脂环式化合物的市售商品，可以列举例如セロキサイド2021、セロキサイド2021P、セロキサイド2081、セロキサイド2083、セロキサイド2085、エポリ一ドGT-300、エポリ一ドGT-301、エポリ一ドGT-302、エポリ一ドGT-400、エポリ一ド401、エポリ一ド403(以上为ダイセル化学工业制)等。 

作为含环氧基的芳香族化合物，可以列举例如主骨架上具有芳香环结构、具有两个以上环氧基的化合物等。作为这种化合物的芳香环结构的例子，可以列举双酚A型结构、双酚F型结构、线型酚醛型结构、萘骨架、蒽骨架结构、芴骨架等。 

作为含环氧基的芳香族化合物的市售商品，可以列举例如JER806、JER828、YL980(以上为ジヤパンエポキシレジン制)；YD-127、YD-128、YDF-170、YDF-175S、YDPN-638、YDCN-701(以上为东都化成制)；EPICLON830、EPICLON850、EPICLON835、EPICLON HP-4032D(以上为DIC制)等。 

另外，还可以使用具有(甲基)丙烯酰基、乙烯基的环氧化合物。可以列举例如(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸3，4-环氧丁基、α-乙基丙烯酸3，4-环氧丁基、(甲基)丙烯酸6，7-环氧庚基、α-乙基丙烯酸6，7-环氧庚基、对乙烯基苄基缩水甘油醚、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷等。 

作为环氧化合物，优选含环氧基的芳香族化合物。 

作为环氧化合物的含量，优选为0.1％质量％以上10质量％以 下，更优选为0.3质量％以上3质量％以下。通过使环氧化合物的含量处于上述特定范围内，可以发挥出适宜的液晶响应性。 

[光固化型聚合性液晶组合物] 

作为光固化型聚合性液晶组合物，可以列举例如包含具有聚合性的液晶化合物及光聚合引发剂的组合物(以下也称为“光固化型聚合性液晶组合物A”)、包含液晶化合物、光聚合性化合物及光聚合引发剂的组合物(以下也称为“光固化型聚合性液晶组合物B”)等。还有，光固化型聚合性液晶组合物B中的液晶化合物是否有聚合性均可。另外，除上述以外，也可以使用例如光固化型聚合性液晶组合物A和B混合得到的混合物等。还有，光固化型中的“光”不仅仅是可见光，还包括紫外线、远紫外线等。 

作为光固化型聚合性液晶组合物A中的具有聚合性的液晶化合物及光固化型聚合性液晶组合物B中的液晶化合物，可以列举对于上述的热固化型聚合性液晶组合物例示的化合物。 

作为光固化型聚合性液晶组合物中液晶化合物(包括具有聚合性的液晶化合物)的含量，从得到的液晶层的固化性上考虑，优选为60质量％以上，更优选为70质量％以上99.5质量％以下。 

作为光聚合引发剂，例如可以列举2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮(メルク制，ダロキユア1173)、1-羟基环己基苯基酮(チバ·ガイギ一制，イルガキユア184)、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮(メルク制，ダロキユア1116)、2，2-二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮(チバ·ガイギ一制，イルガキユア651)、2-甲基-1-〔4-(甲硫基)苯基〕-2-吗啉基丙酮-1(チバ·ガイギ一制，イルガキユア907)、2，4-二乙基噻吨酮(日本化药制，カヤキユアDETX)和对二甲基氨基安息香酸乙酯(日本化药制，カヤキユア-EPA)的混合物、异丙基噻吨酮(ワ一ドプレキンソツプ制，カンタキユアITX) 和对二甲基氨基安息香酸乙酯的混合物等。 

作为光聚合引发剂的含量，从液晶层的固化性上考虑，优选为0.1质量％以上10质量％以下。 

光固化型聚合性液晶组合物B中使用的光聚合性化合物具有乙烯基、(甲基)丙烯基、(甲基)丙烯酰基、(甲基)丙烯酰胺基、苯乙烯基等作为聚合性基团。 

作为光聚合性化合物，可以列举例如 

苯乙烯、氯苯乙烯、α-甲基苯乙烯、二乙烯基苯； 

具有甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、2-乙基己基、辛基、壬基、十二烷基、十六烷基、十八烷基、环己基、苄基、甲氧基乙基、丁氧基乙基、苯氧基乙基、烯丙基、甲基烯丙基、缩水甘油基、2-羟基乙基、2-羟基丙基、3-氯-2-羟基丙基、二甲基氨基乙基、二乙基氨基乙基等作为取代基的丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或富马酸酯； 

乙二醇、聚乙二醇、丙二醇、聚丙二醇、1，3-丁二醇、四亚甲基二醇、六亚甲基二醇、新戊二醇、三羟甲基丙烷、甘油及季戊四醇等单(甲基)丙烯酸酯或多(甲基)丙烯酸酯； 

醋酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、安息香酸乙烯酯、丙烯腈、十六烷基乙烯基醚、苎烯、环己烯、邻苯二甲酸二烯丙酯、间苯二甲酸二烯丙酯、乙烯基吡啶、丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、N-羟基甲基丙烯酰胺或N-羟基乙基甲基丙烯酰胺及它们烷基醚化合物； 

在1摩尔新戊二醇上加成2摩尔以上的环氧乙烷或环氧丙烷而得到的二醇的二(甲基)丙烯酸酯； 

在1摩尔三羟甲基丙烷上加成3摩尔以上的环氧乙烷或环氧丙烷而得到的三醇的二或三(甲基)丙烯酸酯； 

在1摩尔双酚A上加成2摩尔以上的环氧乙烷或环氧丙烷而得到的二醇的二(甲基)丙烯酸酯； 

1摩尔2-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯和1摩尔苯基异氰酸酯或正丁基异氰酸酯的反应生成物； 

二季戊四醇的多(甲基)丙烯酸酯； 

己内酯改性羟基新戊酸酯新戊二醇二丙烯酸酯等低聚物等。 

作为光聚合性化合物的含量，从得到的液晶层的固化性上考虑，优选为3质量％以上40质量％以下，更优选为10质量％以上30质量％以下。 

光固化型聚合性液晶组合物也可以含有例如阻聚剂等作为其它成分。作为阻聚剂，可以列举例如对苯二酚单甲基醚(methoquinone)、对苯二酚、对苯醌、吩噻嗪酮、单叔丁基对苯二酚、儿茶酚、对叔丁基儿茶酚、苯醌、2，5-二叔丁基对苯二酚、蒽醌、2，6-二叔丁基羟基甲苯等。 

<层间绝缘膜的形成方法> 

本发明的液晶显示元件用层间绝缘膜的形成方法具有 

(1)在基板上形成该组合物的涂膜的工序、 

(2)对工序(1)中形成的涂膜的至少一部分照射放射线的工序、 

(3)使工序(2)中被照射了放射线的涂膜显影的工序、及 

(4)对工序(3)中显影的涂膜进行加热的工序。 

对于该层间绝缘膜，适宜作为通过加热或光照而形成液晶层液晶显示元件用层间绝缘膜的形成方法。本发明的液晶显示元件的层间绝缘膜是使用上述正型放射线敏感性组合物形成的。该层间绝缘膜适合用作如上所述的通过加热或光照而形成液晶层的液晶显示元件用层间绝缘膜。 

[工序(1)] 

在工序(1)中，在基板上涂布该组合物或该溶液或分散液后，优选通过对涂布面加热(预烘焙)而除去溶剂，形成涂膜。 

作为组合物溶液或分散液的涂布方法，可以采用例如喷涂法、辊涂法、旋转涂布法(旋涂法)、缝模涂布法、刮棒涂布法等适当的方法。在这些涂布方法中，优选旋涂法或缝模涂布法。 

预烘焙的条件根据各成分的种类、配合比例等而有所不同，但是优选设定为60℃～120℃下1～10分钟左右。根据该组合物，例如设定为60℃～80℃这种比较低的预烘焙条件时，也可以发挥出优异的图案形成性。 

<工序(2)> 

在工序(2)中，对形成的涂膜的至少一部分曝光。在这种情况下，对涂膜的一部分曝光时，通常透过具有规定图案的光掩模曝光。作为曝光中使用的放射线，对光酸产生体使用的放射线是适宜的。在这些放射线的中，优选波长在190nm～450nm范围内的放射线，特别优选包含365nm的紫外线的放射线。 

作为曝光量，利用照度计(OAI model356，OAI Optical Associates制)测定放射线波长365nm下的强度得到的值优选为500J/m²～6,000J/m²，更优选为1,500J/m²～1,800J/m²。 

<工序(3)> 

在工序(3)中，通过使曝光后的涂膜显影，除去不需要的部分(放射线的照射部分)而形成规定的图案。作为显影工序中使用的显影液，优选碱性水溶液。作为碱，可以列举例如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、偏硅酸钠、氨水等无机碱；四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵等季铵盐等。 

也可以在碱水溶液中添加适当量的甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂及表面活性剂进行使用。作为碱水溶液中碱的浓度，从得到 适当显影性上考虑，优选为0.1质量％以上5质量％以下。作为显影方法，可以列举例如盛液法、浸泡法、摇动浸渍法、喷淋法等。作为显影时间，根据正型放射线敏感性组合物的组成而有所不同，但优选为10秒～180秒左右。还有，根据该组合物，该显影时间即使稍微变长或变短，也不会受其影响，可以形成稳定的图案。在进行这种显影处理后，接着进行例如30秒～90秒的流水洗涤，然后通过例如压缩空气或压缩氮气风干，可以形成预期的图案。 

<工序(4)> 

在工序(4)中，使用加热板、烘箱等加热装置，对图案化的薄膜进行加热，从而促进[A]聚合物的固化反应，可以得到固化物。作为加热温度，例如为120℃～250℃。作为加热时间，根据加热设备的种类而有所不同，例如在加热板上进行加热工序时为5分钟～30分钟，在烘箱中进行加热工序时为30分钟～90分钟。也可以采用进行2次以上加热工序的分步烘焙法等。按照这种方式可以在基板表面上形成对应于目标层间绝缘膜等的图案状薄膜。 

作为形成的层间绝缘膜的膜厚，优选为0.1μm～8μm，更优选为0.1μm～6μm，特别优选为0.1μm～4μm。 

<液晶显示元件> 

本发明的液晶显示元件具备如这样相对配置的两片基板、层积于该基板的至少任一个内表面侧的层间绝缘膜、及设置于上述基板之间的液晶层，其成为液晶盒。在该液晶盒两个面上，即两个基板的外侧通常具备偏光板。还有，在两片偏光板中，可以将一片替换为反射板。另外，该液晶显示元件也可以进一步配备其它构成要素，例如微滤色器等。 

该液晶显示元件可以用于电视图像接收器及个人电脑的监视器装置、便携电话、游戏机等各种液晶显示装置。 

<液晶显示元件的制造方法> 

作为液晶显示元件的制造方法，可以使用例如采用PSA技术的液晶显示元件的公知制造方法。参照图1对制造方法的一个例子进行说明。在图1的制造过程中的液晶显示元件(液晶盒)10主要具备相对配置的两片基板1a及1b、层积于基板1a的内表面侧的层间绝缘膜2、以及设置于基板1a及1b之间的液晶层3。 

首先，按上述方法在基板1a的表面上形成层间绝缘膜2。接着，在层间绝缘膜2及基板1b的表面上形成透明电极膜4，再在各透明电极膜4的表面上形成液晶取向膜5。将液晶取向膜5一侧作为内侧，使两处基板1a及1b平行配置，用密封材料6贴合而形成盒。此时，在局部不层积密封材料6，预先设置注入孔7。从该注入孔7向盒中注入上述聚合性液晶组合物，并封闭填充该组合物的注入孔7，然后通过加热或光等照射而形成液晶层3，得到液晶盒(图1制造过程中的液晶显示元件10的状态)。通过在该液晶盒的两个面上贴合偏光板，得到液晶显示元件。 

作为上述透明导电膜4，可以列举例如由氧化锡(SnO₂)组成的NESA膜(美国PPG制，注册商标)、由氧化铟-氧化锡(In₂O₃-SnO₂)组成的ITO膜等。作为得到形成图案的透明导电膜的方法，可以列举例如形成无图案的透明导电膜后，通过光刻形成图案的方法、形成透明导电膜时使用具有预期图案的掩膜的方法等。 

作为上述液晶取向膜5的形成方法，优选通过印刷法、旋转器法或喷墨法分别涂布液晶取向膜形成用组合物，接着通过对各涂布面进行加热而形成涂膜的方法。作为该液晶取向膜形成用组合物，可以使用例如聚酰亚胺取向处理剂等。通过对加热后的涂膜实施打磨处理，可以赋予涂膜以液晶化合物取向能，形成液晶取向膜5。 

按上述方式在形成了液晶取向膜5的基板之间注入聚合性液晶组合物，在施加电压液晶化合物产生倾斜的状态下，通过加热或光照使该聚合性液晶组合物固化。此处，对涂膜进行打磨处理时，两片基板1a及1b按照使各涂膜中的打磨方向相互呈规定的角度，例如直交或逆平行的方式进行相对配置。 

作为聚合性液晶组合物是热固化型时的加热时间，优选为10分钟以上60分钟以下。另外，作为加热温度，优选为150℃以上300℃以下。加热时间或温度处于上述特定范围以外时，不能进行充分地聚合，恐怕会导致得到的液晶层的响应性变差。另一方面，加热时间或温度超过上述上限时，恐怕会导致层间绝缘膜等产生变形。 

聚合性液晶组合物为光固化型时，作为光的种类，优选紫外线。另外，作为光放射量，优选为50mJ/cm²以上400mJ/cm²以下。放射量达不到上述下限时，聚合不能充分进行，恐怕会导致得到的液晶层的响应性变差。另一方面，照射量超过上述上限时，恐怕会导致层间绝缘膜等产生变形。 

通过在按这种方式形成液晶层3后的液晶盒的外侧表面上贴合偏光板，可以得到液晶显示元件。 

根据可以按这种方式制造的该液晶显示元件，由于层间绝缘膜是由含有具备特定的结构单元的[A]聚合物的正型放射线敏感性组合物形成的，即使通过加热或光照而形成液晶层，也可以具备优异的耐热性及耐光性。因此，该液晶显示元件在制造过程的变形等现象少，因而生产效率高，另外还可以发挥出高电压保持率。 

实施例 

以下基于实施例对本发明进行详细说明，但是不能基于该实 施例的记载内容对本发明进行限定性解释。 

聚合物的Mw及Mn按下述条件通过GPC测定。 

装置：GPC-101(昭和电工制) 

柱：GPC-KF-801、GPC-KF-802、GPC-KF-803及GPC-KF-804的结合 

流动相：四氢呋喃 

柱温：40℃ 

流速：1.0mL/分 

试样浓度：1.0质量％ 

试样注入量：100μL 

检测器：示差折射计 

标准物质：单分散聚苯乙烯 

<聚合性液晶组合物的调制> 

[配制例1] 

将各液晶化合物(25％上述式(a)表示的液晶化合物、30质量％式(b)表示的液晶化合物、30质量％式(c)表示的液晶化合物、及15质量％式(d)表示的液晶化合物)进行混合而得到液晶组合物(i)。将99质量份该液晶组合物(i)和1质量份作为热聚合性化合物的三羟甲基丙烷三缩水甘油醚进行混合，得到热固化型的聚合性液晶组合物(I)。 

[配制例2] 

将下述式表示的各聚合性液晶化合物(47.5质量％下述式(e)表示的液晶化合物、47.5质量％式(f)表示的液晶化合物、及5.0质量％式(g)表示的液晶化合物)进行混合而得到聚合性液晶组合物(ii)。将99质量份该聚合性液晶组合物(ii)和1质量份作为光聚合引发剂的2，2-二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮(チバ·ガイギ一制，イルガ キユア651)进行混合，得到光固化型的聚合性液晶组合物(II)。 

[配制例3] 

将80质量份上述液晶组合物(i)、19质量份作为光聚合性化合物的己内酯改性羟基新戊酸酯新戊二醇二丙烯酸酯(日本化药制，カヤラツドHX620)、和1质量份作为光聚合引发剂的苄基二甲基缩酮(チバ·ガイギ一制，イルガキユア651)进行混合，得到光固化型的聚合性液晶组合物(III)。 

<[A]聚合物的合成> 

[合成例1] 

在具备冷凝管及搅拌器的烧瓶中，加入7质量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、200质量份二乙二醇乙基甲基醚。接着，加入5质量份甲基丙烯酸、40质量份1-乙氧基乙基甲基丙烯酸酯、5质量份苯乙烯、40质量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、10质量份甲基丙烯酸2-羟基乙酯及3质量份α-甲基苯乙烯二聚体并用氮气置换后，开始慢慢搅拌。使溶液的温度上升到70℃，将该温度保持5小时，得到含有聚合物(A-1)的聚合物溶液。聚合物(A-1)的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为9,000。另外，此处得到的聚合物溶液的固体成分浓度为32.1质量％。 

[合成例2] 

在具备冷凝管及搅拌器的烧瓶中，加入7质量份2，2’-偶氮二 (2，4-二甲基戊腈)、200质量份二乙二醇乙基甲基醚。接着加入5质量份甲基丙烯酸、40质量份甲基丙烯酸四氢-2H-吡喃-2-基酯、5质量份苯乙烯、40质量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、10质量份甲基丙烯酸2-羟基乙酯及3质量份α-甲基苯乙烯二聚体并用氮气转换后，开始慢慢搅拌。使溶液的温度上升到70℃，将该温度保持5小时，得到含有聚合物(A-2)的聚合物溶液。聚合物(A-2)的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为9,000。另外，此处得到的聚合物溶液的固体成分浓度为31.3质量％。 

[合成例3] 

在具备冷凝管及搅拌器的烧瓶中，加入7质量份2，2’-偶氮二(2-甲基丙酸甲酯)、200质量份丙二醇单甲基醚醋酸酯。接着加入67质量份甲基丙烯酸1-正丁氧基乙酯、23质量份甲基丙烯酸苄酯、10质量份甲基丙烯酸并用氮气置换后，开始慢慢搅拌。使溶液的温度上升到80℃，将该温度保持6小时，得到含有聚合物(A-3)的聚合物溶液。聚合物(A-3)的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为9,000。另外，此处得到的聚合物溶液的固体成分浓度为30.3质量％。 

[合成例4] 

在具备冷凝管及搅拌器的烧瓶中，加入7质量份2，2’-偶氮二(2-甲基丙酸甲酯)、200质量份丙二醇单甲基醚醋酸酯。接着，加入90质量份甲基丙烯酸1-苄氧基乙酯、6质量份甲基丙烯酸2-羟基乙酯、4质量份甲基丙烯酸并用氮气置换后，开始慢慢搅拌。使溶液的温度上升到80℃，将该温度保持6小时，得到含有聚合物(A-4)的聚合物溶液。聚合物(A-4)的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为9,000。另外，此处得到的聚合物溶液的固体成分浓度为31.2质量％。 

[合成例5] 

在具备冷凝管及搅拌器的烧瓶中，加入7质量份2，2’-偶氮二(2-甲基丙酸甲酯)、200质量份丙二醇单甲基醚醋酸酯。接着加入85质量份甲基丙烯酸四氢-2H-吡喃-2-基酯、7质量份甲基丙烯酸2-羟基乙酯、8质量份甲基丙烯酸并用氮气置换后，开始慢慢搅拌。使溶液的温度上升到80℃，将该温度保持6小时，得到含有聚合物(A-5)的聚合物溶液。聚合物(A-5)的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为10,000。另外，此处得到的聚合物溶液的固体成分浓度为29.2质量％。 

[合成例6] 

在具备冷凝管及搅拌器的烧瓶中，加入7质量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、200质量份二乙二醇乙基甲基醚。接着加入52质量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、48质量份甲基丙烯酸苄酯并用氮气置换后，开始慢慢搅拌。使溶液的温度上升到80℃，将该温度保持6小时，得到含有聚合物(A-6)的聚合物溶液。聚合物(A-6)的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为10,000。另外，此处得到的聚合物溶液的固体成分浓度为32.3质量％。 

[合成例7] 

在具备冷凝管及搅拌器的烧瓶中，加入7质量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、200质量份二乙二醇乙基甲基醚。接着，加入45质量份甲基丙烯酸3，4-环氧环己基甲酯、45质量份甲基丙烯酸苄酯、10质量份甲基丙烯酸并用氮气置换后，开始慢慢搅拌。使溶液的温度上升到80℃，将该温度保持6小时，得到含有聚合物(A-7)的聚合物溶液。聚合物(A-7)的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为10,000。另外，此处得到的聚合物溶液的固体成分浓度为33.2质量％。 

[合成例8] 

在具备冷凝管及搅拌器的烧瓶中，加入7质量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、200质量份二乙二醇乙基甲基醚。接着，加入35质量份甲基丙烯酸1-正丁氧基乙酯、35质量份甲基丙烯酸苄基、30质量份甲基丙烯酸缩水甘油酯并用氮气置换后，开始慢慢搅拌。使溶液的温度上升到80℃，将该温度保持6小时，得到含有聚合物(A-8)的聚合物溶液。聚合物(A-8)的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为10,000。另外，此处得到的聚合物溶液的固体成分浓度为32.3质量％。 

[合成例9] 

在具备冷凝管及搅拌器的烧瓶中，加入7质量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)和200质量份二乙二醇乙基甲基醚。接着，加入16质量份甲基丙烯酸、16质量份甲基丙烯酸三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基酯、20质量份甲基丙烯酸苄酯、40质量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、10质量份苯乙烯及3质量份α-甲基苯乙烯二聚体并用氮气置换后，开始慢慢搅拌。使溶液的温度上升到70℃，将该温度保持4小时，得到含有聚合物(CA-1)的聚合物溶液。聚合物(CA-1)的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为9,000，分子量分布(Mw/Mn)为2.2。另外，此处得到的聚合物溶液的固体成分浓度为33.4质量％。 

<正型放射线敏感性组合物的配制> 

[实施例1] 

在合成例1中得到的含有聚合物(A-1)的溶液(相当于聚合物(A-1)100质量份(固体成分)的量)中，混入3质量份作为[B]光酸产生体的(5-丙磺酰氧亚氨基-5H-噻吩-2-亚基)-(2-甲基苯基)乙腈(チバ·スペシヤルテイ一·ケミカルズ制、IRGACURE PAG 103)、 作为[C]有机溶剂的二乙二醇乙基甲基醚、0.1质量份作为[D]表面活性剂的硅树脂类表面活性剂(东レ·ダウコ一ニング制、SH 8400FLUID)，用孔径0.2μm的膜过滤器进行过滤，从而配制成正型放射线敏感性组合物(S-1)。 

[实施例2～5及比较例1]

除了使用表1中所示的种类、配合量的[A]成分以外，按与实施例1相同的方式进行操作，配制实施例2～5及比较例1的正型放射线敏感性组合物。还有，栏中的“-”表示不使用该成分。 

<液晶盒的制作> 

[实施例6] 

[透明电极膜/层间绝缘膜/玻璃基板的作成] 

在表面上形成了防止钠离子析出的SiO₂膜的10×10cm的玻璃基板上，用旋涂机涂布正型放射线敏感性组合物(S-1)，再于90℃下预烘焙10分钟，从而形成膜厚2.0μm的涂膜。接着，使用曝光机(キヤノン制，MPA-600FA)，对涂布膜进行曝光。然后在230℃进行30分钟后烘焙，从而在玻璃基板上形成层间绝缘膜。 

接着，在得到的层间绝缘膜上，按以下顺序制作透明电极(ITO电极)膜。利用高速溅射装置(日本真空技术制，SH-550-C12)，使用ITO靶(ITO填充率95％以上，In₂O₃/SnO₂＝90/10质量比)，在60℃下实施ITO溅射。此时的氛围气为压力1.0×10^-5Pa，Ar气流量3.12×10^-3m³/Hr，O₂气流量1.2×10^-5m³/Hr。将溅射后的基板在清洁烘箱中于240℃下加热60分钟，实施退火。 

[透明电极膜/玻璃基板的制作] 

在表面上形成了防止钠离子析出的SiO₂膜的10×10cm的玻璃基板上，利用上述高速溅射装置，使用ITO靶(ITO填充率95％以上，In₂O₃/SnO₂＝90/10质量比)，在60℃下实施ITO溅射。此时 的氛围气为压力1.0×10^-5Pa，Ar气流量3.12×10^-3m³/Hr，O₂气流量1.2×10^-5m³/Hr。将溅射后的基板在清洁烘箱中于240℃下加热60分钟，实施退火。 

[液晶取向膜的形成] 

在按上述顺序制作的每种一张上的透明电极膜/层间绝缘膜/玻璃基板及透明电极膜/玻璃基板的透明电极表面上，旋涂聚酰亚胺取向处理剂(AL-1254，JSR制)。将该基板在180℃下保持80分钟，在基板上形成聚酰亚胺膜。对该聚酰亚胺膜进行打磨处理，制成经过取向处理的玻璃基板。 

[盒的制作] 

使上述经过取向处理的各玻璃基板相互之间达到经过取向处理的表面方向相对，用混入了0.8mm玻璃珠的密封材料贴合，制成盒。 

[液晶层的形成] 

在上述盒中注入聚合性液晶组合物(I)，在清洁烘箱中于230℃下加热30分钟，得到实施例6的液晶盒。 

[实施例7～20及比较例2～4]

除了使用表2中所示种类的正型放射线敏感性组合物及聚合性液晶组合物以外，按与实施例6相同的方式进行操作，得到实施例7～20及比较例2～4的液晶盒。还有，作为聚合性液晶组合物，使用光固化型的聚合性液晶组合物(II)或(III)时，不进行在清洁烘箱中于230℃下加热30分钟的操作，而是在室温下使用紫外线灯，照射160mJ/cm²光量的紫外线，得到液晶盒。 

<评价> 

对于实施例1～5及比较例1的正型放射线敏感性组合物、以及实施例6～20及比较例2～4的液晶盒，评价各自的特性。评价结 果集中列于表1及表2中。 

[贮存稳定性] 

将正型放射线敏感性树脂组合物在40℃的烘箱中放置1周，测定放入烘箱前后的粘度，求出粘度变化率。此时，粘度变化率不足5％时认为贮存稳定性良好，在5％以上时认为贮存稳定性不良。

[电压保持率] 

将液晶盒放入60℃的恒温层中，利用液晶电压保持率测定系统(东阳テクニカ制，HR-1A型)测定电压保持率。此时的施加电压设定为5.5V的方形波、测定频率测定为60Hz。此处的电压保持率(％)是(16.7毫秒后的液晶盒电位差/0毫秒时施加的电压)×100(％)的值。如果液晶盒的电压保持率为90％以下，则液晶盒在16.7毫秒的时间内不能将施加电压保持在规定水平，很可能会影响液晶显示板的可靠性。而且，也很可能会引起残影等显示不良。 

表1 

从表1的结果可知，实施例1～5的正型放射线敏感性组合物与比较例1的组合物相比，具有高贮存稳定性。另外，从表2的结果可知，实施例6～20的液晶盒与比较例2～4的液晶盒相比，电压保持率优异，在伴有加热或光照的制造工序中耐热性及耐光性优异。 

工业实用性 

作为本发明的液晶显示元件，由于层间绝缘膜具有优异的耐热性及耐光性，可以抑制制造工序中的变形等问题，结果就可以发挥出优异的电压保持能。另外，由于该正型放射线敏感性组合物的贮存稳定性优异，该液晶显示元件具有高生产性。 

Claims (7)

1.一种液晶显示元件，其具备相对配置的两片基板、层积于至少一片该基板的内表面侧的层间绝缘膜、以及设置于上述基板之间并由聚合性液晶组合物形成的液晶层，构成上述层间绝缘膜的树脂具有下述式(1)表示的聚合物的交联部分，

式(1)中，R⁰为下述式(1-1)～(1-6)中任一式表示的基团，

2.权利要求1中所述的液晶显示元件，上述层间绝缘膜是使用正型放射线敏感性组合物形成的，该正型放射线敏感性组合物含有：

[A]在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(2)表示的基团的结构单元和含环氧基的结构单元的聚合物、

[B]光酸产生体、及

[C]有机溶剂，

式(2)中，R¹及R²各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或芳基，其中，上述烷基、环烷基或芳基的一部分或全部氢原子可以被取代，另外，R¹及R²不同时为氢原子，R³为烷基、环烷基、芳烷基、芳基或-M(R^3m)₃表示的基团，上述M为Si、Ge或Sn，R^3m为烷基，其中，这些基团的一部分或全部氢原子可以被取代，另外，R¹和R³也可以结合而形成环状醚。

3.权利要求1或2中所述的液晶显示元件，上述聚合性液晶组合物具有光聚合性或热聚合性。

4.一种正型放射线敏感性组合物，其用于形成液晶显示元件的层间绝缘膜，该液晶显示元件具备相对配置的两片基板、层积于至少一片该基板的内表面侧的层间绝缘膜、以及设置于上述基板之间并由聚合性液晶组合物形成的液晶层，并且该正型放射线敏感性组合物含有：

[A]在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(2)表示的基团的结构单元和含环氧基的结构单元的聚合物、

[B]光酸产生体、及

[C]有机溶剂，

式(2)中，R¹及R²各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或芳基，其中，上述烷基、环烷基或芳基的一部分或全部氢原子可以被取代，另外，R¹及R²不同时为氢原子，R³为烷基、环烷基、芳烷基、芳基或-M(R^3m)₃表示的基团，上述M为Si、Ge或Sn，R^3m为烷基，其中，这些基团的一部分或全部氢原子可以被取代，另外，R¹和R³也可以结合而形成环状醚。

5.权利要求4中所述的正型放射线敏感性组合物，其中还含有[D]表面活性剂，该[D]表面活性剂为硅树脂类表面活性剂。

6.液晶显示元件用层间绝缘膜的形成方法，其具有

(1)在基板上形成权利要求4或权利要求5所述的正型放射线敏感性组合物的涂膜的工序、

(2)对工序(1)中形成的涂膜的至少一部分照射放射线的工序、

(3)使工序(2)中被照射了放射线的涂膜显影的工序、及

(4)对工序(3)中被显影的涂膜进行加热的工序。

7.使用权利要求4或权利要求5中所述的正型放射线敏感性组合物形成的液晶显示元件用层间绝缘膜。

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