CN101869892A - 半导体专用设备上吸片台清洗装置 - Google Patents
半导体专用设备上吸片台清洗装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101869892A CN101869892A CN 201010183591 CN201010183591A CN101869892A CN 101869892 A CN101869892 A CN 101869892A CN 201010183591 CN201010183591 CN 201010183591 CN 201010183591 A CN201010183591 A CN 201010183591A CN 101869892 A CN101869892 A CN 101869892A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- hairbrush
- bearing
- hairbrush rod
- rod
- cleaning device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 claims abstract description 10
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 claims abstract description 9
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 8
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本发明涉及一种清洗装置，特别是一种用来清洗半导体专用设备上吸片台的清洗装置。该装置包括喷淋系统、迷宫密封系统和毛刷棍系统，毛刷棍穿过毛刷罩安装在毛刷轴上，毛刷轴上依次套有密封环、轴承、内隔圈、外隔圈、轴承、端盖、轴承锁母，轴承锁母通过螺纹固定在毛刷轴上，压盖和端盖固定在轴承座上，两个喷水管安装在毛刷罩上。毛刷棍上均匀分布着浓密的尼龙毛刷，密封环和压盖形成的迷宫密封，毛刷罩上安装有两个喷水管，每个喷水管相对毛刷棍的位置开有稠密的小直径喷水口，毛刷罩底部开有放水槽。本发明具有结构微妙紧凑，安装简单，应用方便，成本低廉的特点。
Description
技术领域
本发明涉及一种用来清洗半导体专用设备吸片台的清洗主体为毛刷棍的清洗装置。
背景技术
在国内外的半导体设备中，对吸片台的清洗工作主要采用的是直线滑块式清洗装置和圆周旋转式清洗装置。直线滑块式清洗装置的缺点是对吸片台的清洗效率低，结构占用空间较大；圆周旋转式清洗装置的缺点是吸片台清洗不均匀，尤其对于吸片台的中心部位不能够进行很好的清洗，工作起来各有不同的缺点和问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种半导体专用设备上吸片台毛刷清洗装置，该装置具有结构紧凑、运转平稳、清洗均匀、占用空间小等优点，能够很好的解决传统清洗装置的各种缺点和存在的问题。
为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
本发明包括外罩、毛刷棍部分、传动部分、迷宫密封部分和喷淋部分；其中毛刷棍部分由毛刷棍和均匀分布设在毛刷棍上的浓密的尼龙刷毛构成，毛刷棍设置在外罩内；传动部分包括毛刷轴、轴承座、轴承，毛刷轴穿过外罩上的通孔与毛刷棍连接，轴承设置为两个固定在轴承座上轴承间设有内、外隔圈，在轴承端部设置有轴承锁母，轴承锁母通过螺纹连接在毛刷轴上压紧轴承；迷宫密封部分由设置在轴承座与外罩之间套在毛刷轴上配套的压盖和密封环构成，压盖固定在轴承座上；所述喷淋部分由设置在外罩内的喷水管构成，喷水管对应毛刷棍的部位上均匀分布设有稠密的小口径喷水口，在外罩底部设置有放水槽。
本发明在毛刷轴外端设置有端盖，端盖可拆卸连接在轴承座上。在外罩上可设置两个喷水管，两个喷水管分别位于毛刷棍两侧。所述毛刷棍上设置的尼龙毛刷单个刷毛的直径为0.32-0.38mm，在毛刷棍径向上设置有8-12个刷毛，在毛刷棍轴向上设置有10-14排刷毛，每排刷毛间距为4mm——6mm。所述设置在喷水管上的喷水口设置规格为，喷水口直径1-1.2mm，每排设置26个喷水口，每排间距为4-6mm。
本发明的有益效果为：
本发明与现有技术相比是一种结构简单实用、使用方便和结构可靠、运行平稳的吸片台清洗装置。与传统技术相比，本发明的明显特点是：以毛刷棍作为清洗主体，毛刷棍上均匀分布着浓密的尼龙刷毛，能够较好得对吸片台进行清洗，清洗范围广，清洗匀称；毛刷罩上安装有两个喷水管，每个喷水管相对毛刷棍的位置开设有稠密的小直径喷水口，既可以保证喷水的压力，又可以对尼龙毛刷进行高效喷淋，喷淋效果好，流速适中；密封环和压盖构成的迷宫密封，可以防水，同时保证轴承的正常运行；毛刷罩底部开有放水槽，方便排水。本发明由于采用了毛刷罩和迷宫密封的双重结构设计，使该装置整体结构紧凑，安装简易，操作也十分方便。
附图说明
图1是本发明的结构剖视图，
图2是本发明的结构示意图。
附图标记：1-喷水管 2-毛刷罩(也即外罩) 3-毛刷棍 4-毛刷轴 5-密封环 6-压盖 7-外隔圈 8-内隔圈 9-轴承座 10-轴承11-轴承锁母 12-端盖 13刷毛。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步详细的说明。
如附图1、2所示，本发明一实施例半导体专用设备用吸片台毛刷式清洗装置，主要由喷淋系统、迷宫密封系统和毛刷棍系统等几部分组成，毛刷棍3穿过毛刷罩2安装在毛刷轴4上，毛刷棍3上均匀分布着浓密的尼龙刷毛13，能够较好得对吸片台进行清洗；在毛刷轴4上套有密封环5、轴承10、内隔圈8、外隔圈7、轴承10、端盖12、轴承锁母11等，轴承锁母11通过螺纹固定在毛刷轴4上，压盖6和端盖12固定在轴承座9上，两个喷水管1安装在毛刷罩2上。密封环5紧套在毛刷轴4上，压盖6固定在轴承座9上，密封环5和压盖6形成的迷宫密封，可以防水，保证轴承(10)的正常运行。毛刷罩2上安装有两个喷水管1，每个喷水管1相对毛刷棍3的位置开有稠密的小直径喷水口，既可以保证喷水的压力，又可以对尼龙毛刷进行高效喷淋；毛刷罩2底部开有方便排水的放水槽。
Claims (4)
1.半导体专用设备上吸片台清洗装置，其特征在于：其包括外罩(2)、毛刷棍部分、传动部分、迷宫密封部分和喷淋部分；其中毛刷棍部分由毛刷棍(3)和均匀布设在毛刷棍上的浓密的尼龙刷毛(13)构成，毛刷棍(3)设置在外罩(2)内；传动部分包括毛刷轴(4)、轴承座(9)、轴承(10)，毛刷轴(4)穿过外罩(2)上的通孔与毛刷棍(3)连接，轴承(10)设置为两个，固定在轴承座(9)上轴承间设有内、外隔圈(8、7)，在毛刷轴(4)端部设置有轴承锁母(11)，轴承锁母(11)通过螺纹连接在毛刷轴(4)上压紧轴承(10)；迷宫密封部分由设置在轴承座(9)与外罩(1)之间套在毛刷轴(4)上配套的压盖(6)和密封环(5)构成，压盖(6)固定在轴承座(9)上，密封环(5)紧套在毛刷轴(4)上；所述喷淋部分由设置在外罩(2)内的喷水管(1)构成，喷水管(1)对应毛刷棍(3)的部位上均匀布设有稠密的小口径喷水口，在外罩(2)底部设置有放水槽。
2.根据权利要求1所述的半导体专用设备上吸片台清洗装置，其特征在于：在毛刷轴(4)外端设置有端盖(12)，端盖(12)可拆卸连接在轴承座(9)上。
3.根据权利要求1所述的半导体专用设备上吸片台清洗装置，其特征在于：在外罩(2)上设置有两个喷水管(1)，两个喷水管分别位于毛刷棍(3)的两侧。
4.根据权利要求1所述的半导体专用设备上吸片台清洗装置，其特征在于：所述毛刷棍(3)上设置的尼龙刷毛(13)，其单个刷毛(13)的直径为0.32-0.38mm，在毛刷棍(3)径向上设置有8-12个刷毛，在毛刷棍(3)轴向上设置有10-14排刷毛，每排刷毛间距为4mm——6mm；所述设置在喷水管(1)上的喷水口设置规格为，喷水口直径在1-1.2mm，每排设置26个喷水口，每排间距为4-6mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010101835912A CN101869892B (zh) | 2010-05-27 | 2010-05-27 | 半导体专用设备上吸片台清洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010101835912A CN101869892B (zh) | 2010-05-27 | 2010-05-27 | 半导体专用设备上吸片台清洗装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101869892A true CN101869892A (zh) | 2010-10-27 |
| CN101869892B CN101869892B (zh) | 2012-08-29 |
Family
ID=42995086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010101835912A Expired - Fee Related CN101869892B (zh) | 2010-05-27 | 2010-05-27 | 半导体专用设备上吸片台清洗装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101869892B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020037720A1 (zh) * | 2018-08-21 | 2020-02-27 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种刷洗装置及清洗设备 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2429032Y (zh) * | 2000-07-21 | 2001-05-09 | 中国科学院植物研究所 | 穿轴注水式刷洗器 |
| US20020050280A1 (en) * | 2000-11-01 | 2002-05-02 | Brackett Ted J. | Paint brush cleaning device |
| CN2796405Y (zh) * | 2005-05-18 | 2006-07-19 | 杨成迁 | 条形萝卜清洗机 |
| CN2912837Y (zh) * | 2005-12-19 | 2007-06-20 | 林珍如 | 晶片清洗设备的清洗刷夹持装置 |
| CN101409224A (zh) * | 2007-10-11 | 2009-04-15 | 细美事有限公司 | 刷组件以及具有该刷组件的基片清洗装置 |
-
2010
- 2010-05-27 CN CN2010101835912A patent/CN101869892B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2429032Y (zh) * | 2000-07-21 | 2001-05-09 | 中国科学院植物研究所 | 穿轴注水式刷洗器 |
| US20020050280A1 (en) * | 2000-11-01 | 2002-05-02 | Brackett Ted J. | Paint brush cleaning device |
| CN2796405Y (zh) * | 2005-05-18 | 2006-07-19 | 杨成迁 | 条形萝卜清洗机 |
| CN2912837Y (zh) * | 2005-12-19 | 2007-06-20 | 林珍如 | 晶片清洗设备的清洗刷夹持装置 |
| CN101409224A (zh) * | 2007-10-11 | 2009-04-15 | 细美事有限公司 | 刷组件以及具有该刷组件的基片清洗装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020037720A1 (zh) * | 2018-08-21 | 2020-02-27 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种刷洗装置及清洗设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101869892B (zh) | 2012-08-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202723762U (zh) | 一种角度可调的吸尘器刷头结构 | |
| CN105534437A (zh) | 一种新型杯体清理装置 | |
| CN106424044B (zh) | 一种压力伸缩式清洗装置 | |
| CN101756500A (zh) | 角度调节式喷水刷 | |
| CN103357631A (zh) | 检验清洗器 | |
| CN102440532A (zh) | 一种多毛刷 | |
| CN101869892B (zh) | 半导体专用设备上吸片台清洗装置 | |
| CN205587173U (zh) | 万向双喷头过滤花洒 | |
| CN106040681A (zh) | 热水锅炉的清洗杆 | |
| CN203437387U (zh) | 一种罐体用压力水旋转清洗器 | |
| CN205502527U (zh) | 滚刷机构 | |
| CN205545527U (zh) | 具有清洁功能的摄像装置 | |
| CN201640922U (zh) | 角度调节式喷水刷 | |
| CN203885438U (zh) | 一种缝隙毛刷 | |
| CN203695501U (zh) | 一种组合式清洁器 | |
| CN219045612U (zh) | 防缠绕的管路接头及清洁装置 | |
| CN205732168U (zh) | 一种水龙头 | |
| CN203328186U (zh) | 一种粗细可调清洁刷 | |
| CN104738993A (zh) | 汽车专用毛刷 | |
| CN209849458U (zh) | 毛刷组件、及包括该毛刷组件的管腔器械清洗装置 | |
| CN206055739U (zh) | 一种自清洗分水器 | |
| CN107726163A (zh) | 一种新型路灯灯罩 | |
| CN205338853U (zh) | 用于蒸汽清洁设备的地刷和具有其的蒸汽清洁设备 | |
| CN208300658U (zh) | 万能接口宠物洗澡器 | |
| CN112442845A (zh) | 一种洗衣机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: CETC BEIJING ELECTRONIC EQUIPMENT CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: NO.45 INST., CHINA ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY GROUP CORP. Effective date: 20101214 |
|
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 065201 NO.20, HAIYOU AVENUE, ECONOMIC DEVELOPMENT ZONE, YANJIAO, SANHE CITY, HEBEI PROVINCE TO: 100176 ROOMA119, NO.18, XIHUAN SOUTH ROAD, ECONOMIC AND TECHNOLOGICAL DEVELOPMENT ZONE, BEIJING |
|
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20101214 Address after: 100176 room All9, No. 18 West South Road, Beijing economic and Technological Development Zone Applicant after: CETC Beijing Electronic Equipment Co., Ltd. Address before: 065201 Hebei Province, Sanhe Yanjiao Economic Development Zone, 20 main street Applicant before: No.45 Inst., China Electronic science and Technology Group Corp. |
|
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120829 Termination date: 20180527 |