CN101666937B - 液晶显示装置的阵列基板及该阵列基板的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供液晶显示装置的阵列基板及该阵列基板的制造方法。阵列基板包括:基板;基板上的沿第一方向的选通线;沿第二方向形成并与选通线交叉以限定第一、第二和第三像素区的数据线;在选通线与数据线的交叉点处的薄膜晶体管;分别顺序布置在第一、第二和第三像素区中的红色、绿色和蓝色滤色器图案;分别与第一、第二和第三像素区对应并分别接收第一、第二和第三公共电压的第一、第二和第三公共线,第二公共电压不同于第一和第三公共电压;在红色、绿色和蓝色滤色器图案中的每一个的上方并连接至一个薄膜晶体管的像素电极;和在红色、绿色和蓝色滤色器图案中的每一个的上方,连接至第一、第二和第三公共线中的一个且与像素电极间隔开的公共电极。
Description
本申请是申请号为200710307381.8、申请日为2007年12月29日、发明名称为“液晶显示装置的阵列基板及该阵列基板的制造方法”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及液晶显示(LCD)装置,更具体地说,涉及一种用于液晶显示装置的阵列基板及其制造方法。
背景技术
液晶显示(LCD)装置基于液晶材料的光学各向异性和极化特性而被驱动。液晶分子的形状长且薄,并且液晶分子沿配向方向有规则地排列。光沿液晶分子的长且薄的形状通过LCD装置。液晶分子的配向取决于向液晶分子施加的电场的强度或方向。通过控制该电场的强度或方向,对液晶分子的配向进行控制以显示图像。
一般来说,LCD装置包括两个基板,这两个基板间隔开并彼此面对,并且在这两个基板之间插入有液晶层。各基板都包括电极。来自相应基板的电极彼此面对。通过向各电极施加电压来在电极之间感生出电场。液晶分子的配向方向随电场的强度或方向的变化而改变。
图1是示意性地例示根据现有技术的LCD装置的图。在图1中,现有技术的LCD装置11包括彼此间隔开并彼此面对的透明下基板10和透明上基板30。该LCD装置还包括插在下基板10与上基板30之间的液晶层(未示出)。
在下基板10的内表面上形成有选通线12和数据线20,并且选通线12与数据线20彼此交叉以限定像素区P。在选通线12与数据线20的交叉点处形成有薄膜晶体管T。薄膜晶体管T按矩阵型式布置。各薄膜晶体管T都包括栅极14、有源层16、源极17以及漏极18。在各像素区P处形成有像素电极22,并且像素电极22连接至相对应的薄膜晶体管T。像素电极22由透光良好的透明导电材料(例如,铟锡氧化物)形成。
在上基板30的内表面上形成有面对下基板10的黑底32。黑底32覆盖诸如选通线12、数据线20以及薄膜晶体管T的非显示区,并且具有围绕像素区P的网格形状。在黑底32的网格的各开口中形成有滤色器层。滤色器层包括与像素区P相对应的红色滤色器图案34a、绿色滤色器图案34b和蓝色滤色器图案34c。在黑底32以及滤色器层34a、34b和34c上形成有透明公共电极36。
包括选通线12、数据线20、薄膜晶体管T以及像素电极22的下基板10可以称为阵列基板。包括黑底32、滤色器层34a、34b和34c以及公共电极36的上基板30可以称为滤色器基板。
单独地制造阵列基板和滤色器基板,将它们对准,接着将它们彼此接合,由此制造液晶板。这时,因对准裕量而造成发生漏光的可能性很高。为了防止漏光,黑底32的宽度可以更宽,而这导致孔径面积的减小。
因此,为了解决该问题,已经提出了将滤色器层形成在阵列基板上的阵列结构上滤色器(COA)型LCD装置。
图2是示意性地例示根据现有技术的用于COA型LCD装置的阵列基板的剖面图。
在图2中,在透明绝缘基板50上形成有薄膜晶体管T,并且薄膜晶体管T包括栅极54、有源层58、欧姆接触层60、源极62以及漏极64。另外,在基板50上形成有选通线52和数据线66。栅极54连接至选通线52,源极62连接至数据线66。尽管该图中未示出,但是选通线52与数据线66彼此交叉以限定像素区P。在包括薄膜晶体管T、选通线52以及数据线66的基板50上形成有黑底BM和滤色器层。黑底BM与薄膜晶体管T相对应,并且覆盖有源层58。滤色器层包括与相应的像素区P相对应的红色滤色器72a和绿色滤色器72b。滤色器层还包括蓝色滤色器(未示出)。
在滤色器层上形成有透明像素电极76。像素电极76连接至漏极64。
由于阵列基板包括滤色器层,因此不必通过考虑配向裕量来进行设计。因此,可以更多地获得孔径面积。
顺便指出,在包括阵列基板的LCD装置中,在像素电极76与形成在与阵列基板相对的基板上的公共电极(未示出)之间感生出电场,并且该电场与基板50相垂直。该LCD装置的视角非常窄。为了增大LCD装置的视角,已经提出了将公共电极和像素电极形成在同一基板上的面内切换(IPS)模式LCD装置。
图3是例示根据现有技术的用于COA-IPS模式LCD装置的阵列基板的剖面图。图4是说明图3的滤色器图案的介电常数的示意图。
在图3和图4中,在绝缘基板80上限定有像素区P。在像素区P中形成有薄膜晶体管T和滤色器层96a、96b和96c、像素电极98a以及公共电极98b。
薄膜晶体管T包括栅极84、有源层88a、欧姆接触层88b、源极90以及漏极92。栅极84连接至选通线82,源极90连接至数据线94。尽管该图中未示出,但是选通线82与数据线94彼此交叉,并且布置在像素区P的两侧处。
在包括薄膜晶体管T、选通线82以及数据线94的基板80的上方形成滤色器层96a、96b和96c。滤色器层包括红色滤色器图案96a、绿色滤色器层图案96b和蓝色滤色器图案96c。在薄膜晶体管T与滤色器图案96a、96b和96c之间形成有黑底BM。
在滤色器图案96a、96b和96c的上方形成像素电极98a和公共电极98b。像素电极98a与公共电极98b彼此间隔开并彼此交替。像素电极98a连接至漏极92,并且根据薄膜晶体管T的操作而在各像素区P中独立地接收信号。所有的像素区P的公共电极98b接收公共信号。该公共信号可以是约5V的直流(DC)电压。
同时,滤色器图案96a、96b和96c可以是其中垂直或水平相邻的像素区中的滤色器图案96a、96b和96c颜色相同的带型。滤色器图案96a、96b和96c可以通过色素分散方法来形成,在色素分散方法中,涂覆色素分散光敏材料,接着通过光刻处理来对色素分散光敏材料进行构图。这里,用于滤色器图案96a、96b和96c的着色物使用色素。这些色素的耐光性和耐热性高。色素分散方法简化了形成滤色器图案96a、96b和96c的处理。
绿色滤色器图案96b比红色滤色器图案96a和蓝色滤色器图案96c厚,使得绿色滤色器图案96b的色纯度可以与红色滤色器图案96a和蓝色滤色器图案96c的色纯度相一致。基板;
在所述基板上的沿第一方向的多条选通线;
多条数据线,该多条数据线沿第二方向而形成,并且与所述多条选通线相交叉以限定第一像素区、第二像素区和第三像素区;
多个薄膜晶体管,该多个薄膜晶体管在所述多条选通线与所述多条数据线的交叉点处;
红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案,该红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案分别顺序布置在所述第一像素区、所述第二像素区和所述第三像素区中;
第一公共线、第二公共线和第三公共线,该第一公共线、第二公共线和第三公共线分别与所述第一像素区、所述第二像素区和所述第三像素区相对应,并且分别接收第一公共电压、第二公共电压和第三公共电压,其中,所述第二公共电压与所述第一公共电压和所述第三公共电压不同;
像素电极,该像素电极在所述红色滤色器图案、所述绿色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案中的每一个的上方,并且连接至所述多个薄膜晶体管中的一个;以及
公共电极,该公共电极在所述红色滤色器图案、所述绿色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案中的每一个的上方,并且连接至所述第一公共线、所述第二公共线和所述第三公共线中的一个,所述公共电极与所述像素电极间隔开。
然而,即使COA-IPS模式LCD装置孔径比较大且视角宽,也可能因滤色器图案而导致出现带状斑点。
参照图4,当在滤色器图案96a、96b和96c中的每一个的上方形成像素电极98a和公共电极98b时,在像素电极98a与公共电极98b之间感生出的电场受上侧的液晶层(未示出)的介电常数以及下侧的滤色器图案96a、96b和96c的介电常数影响。因此,由像素电极98a、公共电极98b以及各像素区处的液晶层形成第一电容器CLC,由像素电极98a、公共电极98b以及相应像素区中的滤色器图案96a、96b和96c形成第二电容器CCR、CCG和CCB。每个像素区的第一电容器CLC的电容相同。因为绿色滤色器图案96b的介电常数ε2与红色滤色器图案96a的介电常数ε1和蓝色滤色器图案96c的介电常数ε3不同,所以第二电容器CCR、CCG和CCB的电容不同。例如,红色滤色器图案96a的介电常数ε1和蓝色滤色器图案96c的介电常数ε3可以是4±1,而绿色滤色器图案96b的介电常数ε2可以是5±1。
因此,不能平滑地刷新在滤色器图案96a、96b和96c中感生出的载波。这导致根据滤色器图案96a、96b和96c的余像或带状斑点,由此降低图像质量。
发明内容
因此,本发明旨在一种基本上消除因现有技术的局限和缺点而造成的一个或更多个问题的用于LCD装置的阵列基板及其制造方法。
本发明的优点在于提供一种图像质量均匀的用于LCD装置的阵列基板及其制造方法。
本发明的其他特征和优点将在下面的说明书中加以阐述,并且将根据说明书而部分地变得清楚,或者可以通过实施本发明而获知。本发明的这些目的和其他优点由在文字说明书及其权利要求书以及附图中具体指出的结构而实现并获得。
为了实现这些和其他优点,并且根据本文中所具体体现和广泛描述的本发明的宗旨,本发明提供了一种用于LCD装置的阵列基板,该阵列基板包括:基板;在所述基板上的沿第一方向的多条选通线;多条数据线,该多条数据线沿第二方向而形成,并且与所述多条选通线相交叉以限定第一像素区、第二像素区和第三像素区;在所述多条选通线与所述多条数据线的交叉点处的多个薄膜晶体管;分别顺序布置在所述第一像素区、所述第二像素区和所述第三像素区中的红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案;第一公共线、第二公共线和第三公共线,该第一公共线、第二公共线和第三公共线分别与所述第一像素区、所述第二像素区和所述第三像素区相对应,并且分别接收第一公共电压、第二公共电压和第三公共电压,其中,所述第二公共电压不同于所述第一公共电压和所述第三公共电压;像素电极,该像素电极在所述红色滤色器图案、所述绿色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案中的每一个的上方,并且连接至所述多个薄膜晶体管中的一个;以及公共电极,该公共电极在所述红色滤色器图案、所述绿色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案中的每一个的上方,并且连接至所述第一公共线、所述第二公共线和所述第三公共线中的一个,所述公共电极与所述像素电极间隔开。
在另一方面,提供了一种用于LCD装置的阵列基板的制造方法,该方法包括以下步骤:在基板上沿第一方向形成多条选通线;沿第二方向形成与所述多条选通线相交叉以限定第一像素区、第二像素区和第三像素区的多条数据线;在所述多条选通线与所述多条数据线的交叉点处形成多个薄膜晶体管;形成分别与所述第一像素区、所述第二像素区和所述第三像素区相对应并且分别接收第一公共电压、第二公共电压和第三公共电压的第一公共线、第二公共线和第三公共线,其中,所述第二公共电压不同于所述第一公共电压和所述第三公共电压;形成分别顺序布置在所述第一像素区、所述第二像素区和所述第三像素区中的红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案;在所述红色滤色器图案、所述绿色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案中的每一个的上方形成连接至所述多个薄膜晶体管中的一个的像素电极;以及在所述红色滤色器图案、所述绿色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案中的每一个的上方形成连接至所述第一公共线、所述第二公共线和所述第三公共线中的一个的公共电极,所述公共电极与所述像素电极间隔开。
在另一方面,提出了一种用于LCD装置的阵列基板,该用于LCD装置的阵列基板包括:基板;在所述基板上的沿第一方向的多条选通线;多条数据线,该多条数据线沿第二方向而形成,并且与所述多条选通线相交叉以限定多个像素区;相邻的选通线之间的公共线;在所述多条选通线与所述多条数据线的各交叉点处的薄膜晶体管;分别顺序布置在所述多个像素区中的红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案;公共电极,该公共电极在所述红色滤色器图案、所述绿色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案中的每一个的上方,并且连接至所述公共线;以及像素电极,该像素电极在所述公共电极的上方,并且连接至所述薄膜晶体管,所述像素电极与所述公共电极相交叠。
在另一方面,提供了一种用于LCD装置的阵列基板的制造方法,该方法包括以下步骤:在基板上沿第一方向形成多条选通线;沿第二方向形成与所述多条选通线相交叉以限定多个像素区的多条数据线;在相邻的选通线之间形成公共线;在所述多条选通线与所述多条数据线的各交叉点处形成薄膜晶体管;在所述薄膜晶体管的上方形成红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案,该红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案分别顺序布置在所述多个像素区中;在所述红色滤色器图案、所述绿色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案中的每一个的上方形成连接至所述公共线的公共电极;以及在所述公共电极的上方形成连接至所述薄膜晶体管的像素电极,所述像素电极与所述公共电极相交叠。
应当理解,上文的概述与下文的详述都是示例性和解释性的,旨在提供对如所要求保护的本发明的进一步解释。
附图说明
附图被包括进来以提供对本发明的进一步理解,其被并入并构成本说明书的一部分,附图例示了本发明的实施方式,并且与说明书一起用于解释本发明的原理。在附图中:
图1是示意性地例示根据现有技术的LCD装置的图;
图2是示意性地例示根据现有技术的用于COA型LCD装置的阵列基板的剖面图;
图3是例示根据现有技术的用于COA-IPS模式LCD装置的阵列基板的剖面图;
图4是说明图3的滤色器图案的介电常数的示意图;
图5是根据本发明第一实施方式的LCD装置的等效电路;
图6是例示根据本发明第一实施方式的用于LCD装置的阵列基板的平面图;
图7是根据本发明第二实施方式的LCD装置的等效电路;
图8是例示根据本发明第三实施方式的用于LCD装置的阵列基板的示意图;
图9是例示根据本发明第三实施方式的用于LCD装置的阵列基板的平面图;以及
图10A到图10C是例示根据第三实施方式的制造处理中的用于LCD装置的阵列基板的剖面图。
具体实施方式
下面将对本发明的实施方式进行详细说明,附图中例示了这些实施方式的示例。
图5是根据本发明第一实施方式的LCD装置的等效电路。
在图5中,选通线G1、G2、G3到Gn(n为自然数)沿第一方向而形成并且彼此间隔开。数据线D1、D2、D3到Dm(m为自然数)沿第二方向而形成并且与选通线G1、G2、G3到Gn相交叉以限定像素区P。
在各像素区P处形成有薄膜晶体管T、液晶电容器CLC以及存储电容器CST。薄膜晶体管T连接至相对应的选通线G1、G2、G3或Gn以及相对应的数据线D1、D2、D3或Dm。存储电容器CST实质上并联连接至液晶电容器CLC。
按一个颜色对应于一个像素区P的方式在各像素区P中形成滤色器层130a、130b和130c。这里,滤色器层130a、130b和130c是其中沿第二方向的滤色器图案为同一颜色并且彼此连接的带型。滤色器层包括红色滤色器图案130a、绿色滤色器图案130b和蓝色滤色器图案130c。
液晶电容器CLC连接至薄膜晶体管T和相应的公共线108a、108b或108c。存储电容器CST连接至薄膜晶体管T和存储线106。液晶电容器CLC接收分别来自相应的数据线D1、D2、D3或Dm和相应的公共线108a、108b或108c的数据电压和公共电压。存储电容器CST接收分别来自相应的数据线D1、D2、D3或Dm和存储线106的数据电压和存储电压。
公共电压是直流(DC)电压。数据电压是交流(AC)电压。数据电压关于公共电压在正极性与负极性之间交变。
遍及LCD装置的所有区域,存储电容器CST的存储电容都相同。通过存储线106向所有的像素区P施加相同的存储电压。
另一方面,第一公共线108a、第二公共线108b和第三公共线108c连接至分别与红色滤色器图案130a、绿色滤色器图案130b和蓝色滤色器图案130c相对应的像素区P处的相应液晶电容器CLC。分别通过第一公共线108a、第二公共线108b和第三公共线108c向液晶电容器CLC施加不同的公共电压,以补偿因滤色器图案130a、130b和130c的介电常数不同而造成的像素电压的差异。
即,如果在像素电压之间存在差异时基于相同的公共电压来交替地驱动像素电压,则像素电压的正极性和负极性不一致。因此,相邻像素区的像素电压之间可能存在差异,从而可能出现带状斑点。
然而,可以通过向液晶电容器CLC施加不同的公共电压来解决该问题。
图6是例示根据本发明第一实施方式的用于LCD装置的阵列基板的平面图。
在图6中,在基板100上沿第一方向形成有选通线102。沿第二方向形成有数据线120。选通线102和数据线120彼此交叉以限定像素区P。在选通线102与数据线120的交叉点处形成有薄膜晶体管T。薄膜晶体管T包括栅极104、有源层112、源极116以及漏极118。栅极104连接至选通线102,源极116连接至数据线120。
沿第一方向形成有存储线106和公共线108,并且存储线106和公共线108彼此间隔开。存储线106可以与选通线102相邻。
在像素区P中形成有滤色器图案130a(例如,红色滤色器图案)。尽管该图中未示出,但是在沿第一方向的下两个像素区中分别形成有绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案。绿色滤色器图案可以比红色滤色器图案和蓝色滤色器图案厚。
尽管该图中未示出,但是还可以在薄膜晶体管T与滤色器图案130a之间形成黑底。
在像素区P中形成有像素电极132a和132b以及公共电极134a和134b,并且像素电极132a和132b以及公共电极134a和134b彼此间隔开。尽管该图中未示出,但是像素电极132a和132b以及公共电极134a和134b布置在滤色器图案130a的上方。
像素电极包括第一水平部分132a和第一垂直部分132b。第一水平部分132a连接至漏极118。第一水平部分132a与存储线106相交叠以形成存储电容器。第一垂直部分132b从第一水平部分132a起沿第二方向延伸。公共电极包括第二水平部分134a和第二垂直部分134b。第二水平部分134a连接至公共线108。第二垂直部分134b从第二水平部分134a起延伸,并且与第一垂直部分132b相交替。
如上所述,公共电极134a和134b接收与沿第一方向和像素区P相邻的像素区中的公共电压不同的公共电压。
因此,可以补偿因滤色器图案的介电常数不同而造成的像素电压的差异,从而可以显示均匀的图像质量。
图7是根据本发明第二实施方式的LCD装置的等效电路。
在图7中,沿第一方向形成有选通线G1、G2、G3到Gn(n为自然数),并且选通线G1、G2、G3到Gn彼此间隔开。沿第二方向形成有数据线D1、D2、D3到Dm(m为自然数),并且数据线D1、D2、D3到Dm与选通线G1、G2、G3到Gn相交叉以限定像素区P。
在各像素区P处形成有薄膜晶体管T、液晶电容器CLC以及存储电容器CST。薄膜晶体管T连接至相应的选通线G1、G2、G3或Gn以及相应的数据线D1、D2、D3或Dm。存储电容器CST实质上并联连接至液晶电容器CLC。
按一个颜色对应于一个像素区P的方式在各像素区P中形成滤色器层230a、230b和230c。这里,滤色器层230a、230b和230c是其中沿第二方向的滤色器图案为同一颜色并且彼此连接的带型。滤色器层包括红色滤色器图案230a、绿色滤色器图案230b和蓝色滤色器图案230c。
液晶电容器CLC连接至薄膜晶体管T和相应的公共线208a或208b。存储电容器CST连接至薄膜晶体管T和存储线206。
遍及LCD装置的所有区域,存储电容器CST的存储电容都相同。通过存储线206向所有的像素区P施加相同的存储电压。所有的像素区P中的存储线206可以连接起来。
另一方面,第一公共线208a连接至与红色滤色器图案230a和蓝色滤色器图案230c相对应的像素区P处的液晶电容器CLC,第二公共线208b连接至与绿色滤色器图案230b相对应的像素区P处的液晶电容器CLC。第一公共线208a连接至第一公共电压源(未示出),第二公共线208b连接至第二公共电压源(未示出)。
因为红色滤色器图案230a和蓝色滤色器图案230c的介电常数相似,所以向与红色滤色器图案230a和蓝色滤色器图案230c相对应的液晶电容器CLC施加相同的电压。施加于红色滤色器图案230a和蓝色滤色器图案230c所对应的液晶电容器CLC的电压与施加于绿色滤色器图案230b所对应的液晶电容器CLC的电压不同。
根据第二实施方式的用于LCD装置的阵列基板的结构可以与图6中所示的第一实施方式的结构相同。
图8是例示根据本发明第三实施方式的用于LCD装置的阵列基板的示意图。该LCD装置是将滤色器层形成在阵列基板上的COA型。
在图8中,在基板300上形成有红色滤色器图案324a、绿色滤色器图案324b和蓝色滤色器图案324c。在红色滤色器图案324a、绿色滤色器图案324b和蓝色滤色器图案324c中的每一个上都形成有公共电极328。在公共电极328的上方形成有像素电极334b。像素电极334b与公共电极328相交叠。
当向公共电极328和像素电极334b施加电压时,在公共电极328与像素电极334b之间感生出电场。这时,即使在滤色器图案324a、324b和324c中感生出电荷,该电荷也可以被公共电极328屏蔽从而可以不影响与相应的颜色相对应的像素。因此,可以均匀地驱动像素,而不存在因滤色器图案324a、324b和324c的介电常数不同而造成的影响,从而可以显示质量均匀的图像。
图9是例示根据本发明第三实施方式的用于LCD装置的阵列基板的平面图。
在图9中,在基板300上沿第一方向形成有选通线302。沿第二方向形成有数据线314。选通线302与数据线314彼此交叉以限定像素区P。在选通线302与数据线314的交叉点处形成有薄膜晶体管T。薄膜晶体管T包括栅极304、有源层310、源极316以及漏极318。栅极304连接至选通线302,源极316连接至数据线314。
沿第一方向形成有公共线306,并且公共线306与选通线302间隔开。
在像素区P中形成有滤色器图案324b(例如,绿色滤色器图案)。尽管该图中未示出,但是在沿第一方向与像素区P相邻的像素区中分别形成有红色滤色器图案和蓝色滤色器图案。在沿第二方向的相邻像素区P中形成有相同的滤色器图案。
尽管该图中未示出,但是可以在薄膜晶体管T与滤色器图案324b之间形成黑底,以防止光入射到有源层310。
在像素区P中形成有像素电极334a和334b以及公共电极328。尽管该图中未示出,但是可以在滤色器图案130a的上方布置像素电极132a和132b以及公共电极134a和134b。公共电极328的形状扁平并且大致上与像素区P的尺寸相对应。像素电极包括水平部分334a和垂直部分334b。水平部分334a连接至漏极318。垂直部分334b从水平部分334a起沿第二方向延伸。在公共电极328与像素电极334a和334b之间布置有绝缘层(未示出)。垂直部分334b与公共电极328相交叠。
在阵列基板中,垂直部分334b的宽度较窄,使得公共电极328与垂直部分334b之间的电场恰好影响各垂直部分334b的中心。因此,可以使LCD装置的电极上的漏光(例如,带状斑点向错)最小化。
图10A到图10C是例示根据第三实施方式的制造处理中的用于LCD装置的阵列基板的剖面图。图10A到图10C与图9的线X-X相对应。
在图10A中,通过淀积导电材料并接着对该导电材料进行构图来在基板300上形成图9的选通线302和栅极304。金属材料可以从包括铬(Cr)、钼(Mo)、钨(W)、铝(Al)、铜(Cu)以及钛(Ti)的金属组中选择。同时,与图9的选通线302平行地形成图9的公共线306。
通过淀积绝缘材料来在包括图9的选通线302、栅极304以及图9的公共线306的基板300的大致整个表面上形成栅绝缘层308。绝缘材料可以从包括氮化硅(SiNx)和二氧化硅(SiO2)的无机绝缘材料组中选择。
接下来,通过淀积本征非晶硅和掺杂非晶硅并接着对该本征非晶硅和掺杂非晶硅进行构图来在栅绝缘层308上形成与栅极304相对应的有源层310和欧姆接触层312。
通过淀积导电材料并接着对该导电材料进行构图来在包括有源层310和欧姆接触层312的基板300上形成数据线314、源极316和漏极318。导电材料可以从上述金属组中选择。尽管该图中未示出,但是数据线314与选通线304相交叉以限定像素区P。源极316从数据线314起延伸。源极316和漏极318在栅极304和有源层310的上方彼此间隔开。在形成源极316和漏极318之后,将源极316与漏极318之间的欧姆接触层312的一部分去除,由此暴露有源层310。
栅极304、有源层310、欧姆接触层312、源极316以及漏极318构成薄膜晶体管T。
通过淀积从上述无机绝缘材料组中选择的一种来在包括数据线314、源极316以及漏极318的基板300的大致整个表面上形成第一钝化层320。第一钝化层320保护有源层310的暴露的表面。第一钝化层320与有源层310的粘附性相对良好,并且可以使钝化层320与有源层310之间的界面中的缺陷最小化。
在图10B中,通过向包括第一钝化层320的基板300的大致整个表面涂覆黑色树脂并接着对该黑色树脂进行构图来在薄膜晶体管T的上方形成黑底322。如果在与基板300相对的基板上存在与薄膜晶体管T相对应的黑底,则可以省去黑底322。
接下来,通过向基板300涂覆红色树脂并接着对该红色树脂进行构图来在包括黑底322的基板300上的像素区P中形成滤色器图案324a(例如,红色滤色器图案)。然后,通过与滤色器图案324a相同的方法,例如在接下来的像素区中形成蓝色滤色器图案324c和绿色滤色器图案(未示出)。
这里,尽管该图中未示出,但是绿色滤色器图案可以比红色滤色器图案和蓝色滤色器图案厚,以使红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案的色纯度相一致。
接下来,选择性地去除滤色器图案324a、黑底322和第一钝化层320,以形成暴露漏极318的第一漏极接触孔326。
在图10C中,通过淀积透明导电材料并接着对该透明导电材料进行构图来在滤色器图案324a上形成公共电极328。在像素区P中,公共电极328为片状。透明导电材料可以从包括铟锡氧化物和铟锌氧化物的透明导电材料组中选择。
接下来,通过淀积从上述无机绝缘材料组中选择的一种来在包括公共电极328的基板300的大致整个表面上形成第二钝化层330。
选择性地去除第二钝化层330的与图10B的第一漏极接触孔相对应的部分,由此形成暴露漏极318的第二漏极接触孔332。
通过淀积透明导电材料并接着对该透明导电材料进行构图来在第二钝化层330上形成像素电极334a和334b。透明导电材料可以从上述透明导电材料组中选择。
像素电极包括水平部分334a和垂直部分334b。水平部分334a接触暴露的漏极318。尽管该图中未示出,但是垂直部分334b从水平部分334a起延伸。
在本发明中,即使红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案的介电常数不同,也不存在因介电常数而造成的影响。因此,可以显示质量均匀的图像。
本领域技术人员应当清楚,在不脱离本发明的精神或范围的情况下,可以对本发明的用于LCD装置的滤色器基板及其制造方法进行各种修改和变型。因而,本发明旨在涵盖落入所附权利要求及其等同物的范围内的本发明的修改和变型。
本申请要求于2007年4月2日在韩国提交的韩国专利申请10-2007-0032220号和于2007年4月17日在韩国提交的韩国专利申请10-2007-0037256号的优先权,针对所有的目的,这里通过引用将其合并,如同在此进行了充分的阐述。
Claims (8)
1.一种用于LCD装置的阵列基板,该阵列基板包括:
基板;
在所述基板上的沿第一方向的多条选通线;
多条数据线,该多条数据线沿第二方向而形成,并且与所述多条选通线相交叉以限定多个像素区;
相邻的选通线之间的公共线;
薄膜晶体管,该薄膜晶体管在所述多条选通线与所述多条数据线的各交叉点处;
分别顺序布置在所述多个像素区中的红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案;
公共电极,该公共电极在所述红色滤色器图案、所述绿色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案中的每一个的上方,并且连接至所述公共线;以及
像素电极,该像素电极在所述公共电极的上方,并且连接至所述薄膜晶体管,所述像素电极与所述公共电极相交叠。
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其中,所述绿色滤色器图案比所述红色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案厚。
3.根据权利要求1所述的阵列基板,该阵列基板还包括所述薄膜晶体管与各像素区中的所述红色滤色器图案、所述绿色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案中的一个之间的黑底。
4.根据权利要求1所述的阵列基板,其中,所述像素电极包括水平部分和垂直部分,所述水平部分连接至所述薄膜晶体管,所述垂直部分从所述水平部分延伸并且与所述公共电极相交叠。
5.一种用于LCD装置的阵列基板的制造方法,该方法包括以下步骤:
在基板上沿第一方向形成多条选通线;
沿第二方向形成与所述多条选通线相交叉以限定多个像素区的多条数据线;
在相邻的选通线之间形成公共线;
在所述多条选通线与所述多条数据线的各交叉点处形成薄膜晶体管;
在所述薄膜晶体管的上方形成红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案,该红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案分别顺序布置在所述多个像素区中;
在所述红色滤色器图案、所述绿色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案中的每一个的上方形成连接至所述公共线的公共电极;以及
在所述公共电极的上方形成连接至所述薄膜晶体管的像素电极,所述像素电极与所述公共电极相交叠。
6.根据权利要求5所述的方法,其中,所述绿色滤色器图案比所述红色滤色器图案和所述蓝色滤色器图案厚。
7.根据权利要求5所述的方法,该方法还包括以下步骤:在形成薄膜晶体管与形成红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案的步骤之间,在各像素区中形成黑底。
8.根据权利要求5所述的方法,该方法还包括以下步骤:在形成薄膜晶体管与形成红色滤色器图案、绿色滤色器图案和蓝色滤色器图案的步骤之间,形成第一钝化成层;以及在形成公共电极与形成像素电极的步骤之间,形成第二钝化层。
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