CN101549333B - 喷雾装置的喷嘴片及其制造方法 - Google Patents

Abstract

一种喷雾装置的喷嘴片及其制造方法，主要是于喷嘴片上形成多个具有入口端及出口端的喷孔，该喷孔的入口端及出口端是呈重心点位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，从而通过该几何结构控制液体喷雾的飞行方向，以相同的喷孔分布面积下达到扩大喷雾范围的效果，使产品微小化，更不需额外消耗能量，而有利于节约能源。

Description

喷雾装置的喷嘴片及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种液体雾化技术，特别是涉及一种喷雾装置的喷嘴片及其制造方法。

背景技术

目前利用雾化系统进行液体雾化的技术的应用领域越来越广泛，从生物医学的药物给药系统应用于喷雾装置的喷嘴片、提供引擎燃烧所需要的燃油喷射雾化系统、乃至于通过液体相变化所达到的散热冷却系统等需要充分雾化的领域，皆使用雾化原理，其相关的专利例如包括美国专利公告第4,465,234号、美国专利公告第4,605,167号、美国专利公告第6,089,698号、美国专利公告第6,235,177号、美国专利公告第6,629,646号、中国台湾专利公告第407529号、中国台湾专利公告第449486号、中国台湾专利公告第503129号、中国台湾专利公告第506855号、中国台湾专利公告第562704号、以及中国台湾专利证书号第I222899号等技术。

请参阅图8A及图8B所示，现有应用于喷雾装置的喷嘴片多利用压电致动器作为振动器并搭配具多个喷孔201的喷嘴片20，令该喷嘴片20直接与待雾化的液体21接触，通过已施加电压的压电致动器振荡该待雾化的液体21并经由该些喷孔201而喷射脱离该本体20，由此产生雾化效果。然而，由于现有的喷嘴片多设计为对称的几何形状，装置中的液体201是以垂直于该本体表面的方向脱离(如图8B所示)，使其喷雾面积受限于喷嘴片的喷孔开孔位置及开孔范围，进而令雾化范围过于狭窄，以致于影响雾化效果。再者，由于雾化范围太狭窄，使得雾化液滴(Droplet)彼此互相撞击累积，不仅增加雾化液滴的尺寸，更令雾化效果不佳，倘若要变化雾化范围，则必须相对地改变喷孔分布范围或调整驱动频率，如此势必增加系统体积，且在进行大面积驱动时需更高共振模态，亦较消耗能源。

美国专利公告第4,465,234号则公开一种通过改变喷嘴片的几何形状来增加雾化面积的应用于喷雾装置的半圆形喷嘴片，该应用于喷雾装置的喷嘴片包括具有凹部供容纳液体的喷嘴片、设于该喷嘴片并与该凹部连通的喷嘴、设于该喷嘴片并可周期性地加压该液体的压电驱动振动器、注入及保持该液体于该凹部中的注入工具、施加交流电至该压电驱动振动器的工具、以及结合该注入工具以进行液体传送的工具。当该凹部中的液体经加压而呈雾状微滴喷出时，通过具有圆弧形喷孔的喷嘴片可增加雾化范围。

美国专利公告第4,605,167号中提出一种超声波应用于喷雾装置的喷嘴片，该应用于喷雾装置的喷嘴片是通过扩大喷孔的喷射范围来加大雾化范围。然而，利用此种现有技术虽然可加大雾化范围，但喷孔的喷射范围越大，势必需要较高阶的压电操作频率，如此亦相对增加驱动喷雾装置时所需能量，并造成喷雾装置体积过大的缺点，且仍无法改善雾化液滴堆积的问题。

美国专利公告第6,089,698号中提出一种形成喷孔的方法及装置，该方法是利用激光的高能量光束朝喷嘴片表面进行喷孔制作，由此控制液滴的喷出方向；日本专利公告第2002-115627号中提出一种两段式制程于喷嘴片表面形成喷孔，以控制液滴的喷出方向。然而，应用激光加工此技术不易控制液滴飞行方向，仍存在雾化范围狭窄、雾化效果不佳的问题。

美国专利公告第6,235,177号中则公开一种应用于喷雾装置的喷嘴片的制造方法，通过形成上表面与下表面均为渐缩形状的喷孔，使得液滴可沿着所述喷孔的中心轴向快速地喷射出来；美国专利公告第7,040,016号中则通过蚀刻制程形成中心轴向对称结构的喷孔，但是，上述现有技术是将该应用于喷雾装置的喷嘴片中的喷孔设计成对称结构，应用此技术会限制液滴垂直飞行，仍将令喷雾面积受限于喷孔开孔位置及开孔范围。如此，同样存在前述专利中的缺陷，以致于造成雾化效果不佳。

由上可知，由于现有雾化液体的技术有着造成液体垂直喷嘴片脱离喷射雾化、令雾化面积受限于喷孔区域、喷孔片集中喷射造成颗粒堆积、喷雾装置体积较大、且喷孔片制程复杂等种种缺陷，以致令雾化效果不佳、能源浪费、难以将产品微小化、且不利于产业利用。

因此，如何提出一种可克服背景技术的种种缺陷的喷雾装置的喷嘴片，实已成为目前亟待克服的难题。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种可扩大雾化面积的喷雾装置的喷嘴片及其制造方法。

本发明的又一目的是提供一种可获得较均匀的雾化液体的喷雾装置的喷嘴片及其制造方法。

本发明的另一目的是提供一种可使产品微小化的喷雾装置的喷嘴片及其制造方法。

本发明的再一目的是提供一种不需额外消耗能量的喷雾装置的喷嘴片及其制造方法。

为达到上述目的，本发明提供一种喷雾装置的喷嘴片的制造方法，包括：提供导电层；于该导电层上形成多个绝缘层，且该些绝缘层的图案是呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构；于该导电层上形成电镀层，并外露部分绝缘层；以及移除该导电层及该绝缘层以形成本体，该本体于该电镀层形成多个具有供液体进入的入口端及供该液体脱离的出口端的喷孔，且该入口端及该出口端是呈重心位置偏移中心点且左右对称的几何结构，从而供该液体的飞行方向随该几何结构的短边方向偏移，其中，该中心点为该几何结构的外接圆圆心，而该重心则为该几何结构的质心，亦即，该几何结构可为等腰三角形、锥形或心形等具尖端的几何结构。

本发明亦提供一种喷雾装置的喷嘴片，至少包括：本体，设有多个喷孔，各该喷孔具有供液体进入的入口端以及供该液体脱离的出口端，该入口端及该出口端是呈重心偏移中心且左右对称的几何结构，从而供该液体的飞行方向随该几何结构的短边方向偏移，该几何结构可为如等腰三角形、锥形或心形等具尖端的几何结构，用以控制该液体自该出口端脱离的角度及飞行方向。

该喷嘴片本体可结合致动器，并将设有该致动器的本体设置于液体容器的一侧，以供雾化容置于该液体容器中的待雾化液体，同时通过该本体的喷嘴的入口端及出口端为重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构以控制该液体以预定角度及飞行方向而脱离，亦即可依照使用者的需求通过改变喷孔几何结构的设计及搭配整体喷孔配置分布，使液体以同向倾斜、集中、分散等角度雾化，达到扩大雾化面积的效果，并可获得较均匀的雾化液体，同时通过改变喷孔配置分布，可降低雾化液体互相撞击，且不需额外增加喷雾装置体积，亦不需额外消耗能量，另外，可于该本体上形成阵列分布的沟渠，以提供喷嘴片的排水性，避免雾化液体堆积、体积增大等问题。

本发明的喷雾装置的喷嘴片及其制造方法主要是于喷嘴片上形成多个具有入口端及出口端的喷孔，该喷孔的入口端及出口端是呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，如等腰三角形、锥形或心形等具尖端的几何结构，从而通过该喷嘴片的出口端的几何结构控制液体喷雾的飞行方向，同时以相同的喷孔分布面积下达到扩大喷雾范围的效果，使产品微小化，更不需额外消耗能量，而有利于节约能源。

附图说明

图1A至图1B及图1D至图1F为本发明的喷嘴片的本体及其制造方法的第一实施例示意图；

图1C为图1B的导线层的正视示意图；

图1G为图1F的本发明喷雾装置的喷嘴片的实施例示意图；

图2A至图2C为本发明的喷雾装置的喷嘴片于液体脱离该喷嘴片后的飞行方向示意图；

图3A至图3B及图3D至图3E为本发明的喷雾装置的喷嘴片及其制造方法的第二实施例示意图；

图3C为图3B的导线层的正视示意图；

图4A至图4B为本发明的喷雾装置的喷嘴片的第三实施例示意图；

图5A至图5B为本发明的喷雾装置的喷嘴片的第四实施例示意图；

图6A至图6E为本发明的喷雾装置的喷嘴片的第五实施例示意图；

图7A至图7B为本发明的喷雾装置的喷嘴片的其他实施例示意图；以及

图8A至图8B为现有喷雾装置及其液体脱离喷孔的飞行方向示意图。

主要元件符号说明：

10，10’，10”，10”’喷嘴片本体

100  喷孔

101  导电层

102  绝缘层

102a 第一绝缘层

102b 第二绝缘层

103  第三绝缘层

104  电镀层

105  入口端

106  出口端

110  沟渠

120  致动器

130  液体容器

140  液体

20   喷嘴片

210  喷孔

D    飞行方向

α   脱离角度

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域的技术人员可由本说明书所公开的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明亦可通过其他不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本发明的精神下进行各种修饰与变更。

第一实施例

请参阅图1A至图1G，用以显示本发明的喷嘴片的本体及其制造方法、以及应用于喷雾装置的第一实施例示意图。本申请的喷嘴片主要是与致动器120及液体容器130构成一喷雾装置，该喷嘴片设置于该液体容器130的一侧，该液体容器130用以容置待雾化的液体140，而该致动器120则结合该喷嘴片，以震动该喷嘴片进而雾化该液体140。

如图1A至图1C所示，提供导电层101，并于该导电层101上形成多个绝缘层102，可以黄光制程或印刷制程于该绝缘层102上定义图案，使该绝缘层102形成重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，其中，该中心点为该几何结构的外接圆圆心，而该重心则为该几何结构的质心，亦即，令该绝缘层102形成等腰三角形、锥形或心形等具尖端的几何结构。

如图1C至图1D所示，利用电镀制程于该导电层101及该绝缘层102外形成电镀层104，同时外露出部分该绝缘层102，接着移除该导电层101及该绝缘层102，以于该电镀层104形成多个具有入口端105及出口端106的喷孔100，且该入口端105及该出口端106是呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，其中，该电镀制程是可利用如胺基磺酸镍(Nickel sulfamate)电镀液以横向成长与直向成长比例为1∶1于该导电层101及该绝缘层102外形成电镀层104，应注意的是，该横向成长与直向成长比例可随电镀液的添加剂的不同改变。

如图1F至图1G所示，通过上述的步骤以形成具有多个喷孔100的喷嘴片本体10，该喷孔100可呈阵列分布或环状分布，且该喷孔100的入口端105及出口端106是呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，亦即可形成如等腰三角形、锥形或心形等具尖端的几何结构。该喷嘴片本体10可结合致动器120，再提供一用以容置待雾化的液体140的液体容器130，并将设有该致动器120的本体10设置于液体容器130的一侧，以供雾化该液体140。

于本实施例中，该致动器120可为例如具压电特性(Piezoelectricproperties)的诸如锆钛酸铅(Lead Zirconate Titanate，PZT)固溶液(Solid-solution)材料所制成的压电致动器，例如压电环、压电片、压电块材等元件。由于具有机电转换力的压电材料可提供质轻、体积小、反应快等特性，并能在低输入电压的驱动下有较高的位移输出，因而适于作为致动器，再者，该致动器120可通过压电效应产生振荡动能，使其可令所结合的喷嘴片产生震动，进而驱动雾化液体。另外，该些喷孔100可位于该喷嘴片本体10与该致动器120的接着区域，即该些喷孔100可分布于压电片接着区域，通过凹凸结构以强化该喷嘴片本体10与该致动器120的接着效果。

因此，本发明亦提供一种喷雾装置的喷嘴片，至少包括：本体10，设有多个喷孔100，各该喷孔100具有供液体140进入的入口端105以及供该液体140脱离的出口端106，该入口端105及该出口端106呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，该几何结构可为如等腰三角形、锥形或心形等具尖端的几何结构，用以控制该液体的预定角度及飞行方向而脱离。

图2A至图2C为本发明的喷雾装置的喷嘴片于液体脱离喷嘴片的飞行方向示意图，如图所示，于本实施例中，该几何结构为等腰三角形，当欲雾化容置于液体容器的待雾化液体140时，通过该致动器120的压电特性可使该喷嘴片本体10产生震动而驱动雾化该液体140，同时可迫使该液体140以倾斜角度α脱离该出口端106，其倾斜角度α是沿着轴心及液体圆心作为计算依据，可为例如45、60度角等角度，再者，由于该入口端105及该出口端106为呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，从而供该液体140的飞行方向D随该等腰三角形的短边方向偏移，其偏移角度则是通过该等腰三角形比例调整，若该等腰三角形的高越大，其偏移的角度越大。如此，通过该喷嘴片本体10可扩大液体140的喷雾范围，同时可依据该入口端105及该出口端106的几何结构控制液体喷雾的飞行方向。

第二实施例

请参阅图3A至图3E所示，本发明的喷雾装置的喷嘴片及其制造方法的第二实施例示意图。本发明第二实施例与前述第一实施例大致相同，主要差异在于该绝缘层102还包括第一绝缘层102a及第二绝缘层102b，即，于该导电层101上形成多个第一绝缘层102a，以及于该些绝缘层102上分别形成面积小于该第一绝缘层102a的第二绝缘层102b，同时以黄光制程或印刷制程于该第一绝缘层102a及该第二绝缘层102b上定义图案，使该第一绝缘层102a及该第二绝缘层102b形成重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构。接着，利用电镀制程于该导电层101及该第一绝缘层102a外形成电镀层104，同时外露出该第二绝缘层102b，接着移除该导电层101、该第一绝缘层102a及该第二绝缘层102b，以于该电镀层104形成多个具有入口端105及出口端106的喷孔100，且该入口端105及该出口端106是呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构。

第三实施例

请参阅图4A至图4B所示，为本发明的应用于喷雾装置的喷嘴片的第三实施例示意图，如图所示，本发明第三实施例与前述第一实施例大致相同，主要差异在于该入口端105及该出口端106的几何结构的尖端是朝向本体10’的内侧，以该液体140的飞行方向D随该几何结构的短边方向偏移，即可控制该液体140雾化的飞行方向D为分散，达到分散喷射液体的效果，以扩大液体雾化的范围。

第四实施例

请参阅图5A至图5B所示，为本发明的应用于喷雾装置的喷嘴片的第四实施例示意图，如图所示，本发明第四实施例与前述第一实施例大致相同，主要差异在于该入口端105及该出口端106的几何结构的尖端是朝向本体10”的外侧，以该液体140的飞行方向D随该几何结构的短边方向偏移，即可控制该液体140雾化的飞行方向D为集中，以控制液体雾化范围于一定角度之内。

第五实施例

请参阅图6A至图6E所示，为本发明的应用于喷雾装置的喷嘴片的第五实施例示意图，如图所示，本发明第五实施例与前述第一实施例大致相同，主要差异在于在该喷嘴片的本体10”’上形成沟渠110，以提供喷嘴片的排水性。

如图6A至图6B所示，提供导电层101，并于该导电层101上形成多个绝缘层102，并于该导电层101上且该绝缘层102周围形成第三绝缘层103，同时以黄光制程或印刷制程于该绝缘层102上定义图案，使该绝缘层102形成重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，其中，该中心点为该几何结构的外接圆圆心，而该重心则为该几何结构的质心，亦即，令该绝缘层102形成等腰三角形、锥形或心形等具尖端的几何结构。

如图6C至图6D所示，利用电镀制程于该导电层101、该绝缘层102外形成电镀层104，同时外露出部分绝缘层102，接着移除该导电层101、该绝缘层102及该第三绝缘层103，以于该电镀层104形成多个具有入口端105及出口端106的喷孔100，以及于该电镀层104上形成沟渠110，且该入口端105及该出口端106是呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，而该沟渠可呈阵列分布。

如图6E所示，通过上述的步骤以形成具有多个喷孔100的喷嘴片本体10”’，该喷孔100可呈阵列分布，而该沟渠110则为阵列分布，且该喷孔100的入口端105及出口端106是呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构。

该喷嘴片本体10”’可结合致动器，并将设有该致动器的本体10设置于液体容器的一侧，以供雾化容置于该液体容器中的待雾化液体，同时通过该本体10”’的喷嘴100的入口端105及出口端106为重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构以控制该液体的预定角度及飞行方向而脱离，亦即可依照使用者的需求使液体以同向倾斜、集中、分散等角度雾化，由此有效控制雾化范围，同时，可通过阵列分布于该本体10”’上的沟渠110，以提供喷嘴片的排水性，避免雾化液体堆积、体积增大等问题。

应注意的是，上述各实施例中的几何结构的尖端可为同时朝向本体的内侧、外侧或同一方向，但并非以此限制本发明，所属技术领域中具有通常知识者可依实际需要或设计加以改变雾化区域，如图7A至图7B所示，该喷嘴片的喷孔100为部分尖端朝向本体的内侧、部分尖端则朝向本体的外侧，以由此改变液体向外喷出的角度，达到扩大雾化面积的效果，并可获得较均匀的雾化液体，同时通过改变喷孔配置分布，可降低雾化液体互相撞击，且不需额外增加体积，亦不需额外消耗能量。

此外，上述各实施例中该喷嘴片的喷孔的出口端表面可涂布抗润湿材料，避免雾化的液滴堆积于该喷嘴片的喷孔上。

本发明的喷雾装置的喷嘴片及其制造方法主要是于喷嘴片上形成多个具有入口端及出口端的喷孔，该喷孔的入口端及出口端是呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，如等腰三角形、锥形或心形等具尖端的几何结构。将该喷嘴片结合致动器，同时将设有该致动器的喷嘴片设置于液体容器的一侧，从而欲雾化容置于液体容器的待雾化液体时，通过该致动器的压电特性可使该喷嘴片本体产生震动而驱动雾化该液体，同时可迫使该液体以倾斜角度α脱离该喷嘴片的出口端，再者，由于该入口端及该出口端为呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，从而通过该喷嘴片的出口端的几何结构控制液体喷雾的飞行方向。

相比于现有技术，本发明通过改变喷孔几何结构的设计及搭配整体喷孔配置分布，以相同的喷孔分布面积下达到扩大喷雾范围的效果，使产品微小化，更不需额外消耗能量，而有利于节约能源。同时，通过该喷孔的几何结构以控制液体雾化飞行方向，并依据使用者需求改变该喷孔的分布方向，使液体以同向倾斜、集中、分散等角度雾化，由此有效控制雾化范围、降低雾化液体互相撞击，且不需额外增加喷雾装置体积，也不需额外消耗能量，实已解决背景技术所存在的问题。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰与改变。因此，本发明的权利保护范围，应以权利要求书的范围为依据。

Claims (31)

1.一种喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，至少包括：

本体，设有多个喷孔，各该喷孔具有一供液体进入的入口端以及一供该液体脱离的出口端，该入口端及该出口端是呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，从而供该液体的飞行方向随该几何结构的短边方向偏移，而该喷孔的几何结构为具尖端的几何结构。

2.根据权利要求1所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该中心点为该几何结构的外接圆圆心。

3.根据权利要求1所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该重心为该几何结构的质心。

4.根据权利要求1所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该本体还包括沟渠。

5.根据权利要求4所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该沟渠呈阵列分布。

6.根据权利要求1所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，还包括致动器，该致动器结合于该本体，用以驱动该液体雾化。

7.根据权利要求6所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该致动器为压电致动器。

8.根据权利要求7所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该压电致动器是选自压电环、压电片或压电块材。

9.根据权利要求6所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该致动器与该本体的接着区域包括多个喷孔。

10.根据权利要求1所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该本体是选自电铸本体、金属本体或非金属本体。

11.根据权利要求1所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该喷孔是呈阵列分布或环状分布。

12.根据权利要求1所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该喷孔的几何结构是为等腰三角形、锥形或心形。

13.根据权利要求1所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该喷孔的几何结构的尖端是朝向本体的内侧。

14.根据权利要求11所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该喷孔的几何结构的尖端是朝向本体的外侧。

15.根据权利要求1所述的喷雾装置的喷嘴片，其特征在于，该出口端的表面涂布有抗润湿材料。

16.一种喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，包括：

提供导电层；

于该导电层上形成多个绝缘层，且该些绝缘层是呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构；

于该导电层外形成电镀层，并外露部分绝缘层；以及

移除该导电层及该绝缘层以形成本体，该本体于该电镀层形成多个具有供液体进入的入口端及供该液体脱离的出口端的喷孔，且该入口端及该出口端是呈重心位置偏移图案中心点且左右对称的几何结构，从而供该液体的飞行方向随该几何结构的短边方向偏移，而该喷孔的几何结构为具尖端的几何结构。

17.根据权利要求16所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该中心点为该几何结构的外接圆圆心。

18.根据权利要求16所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该重心为该几何结构的质心。

19.根据权利要求16所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该本体于该电镀层形成多个沟渠，该导电层上形成的多个绝缘层包括多个用以形成该喷孔的第一绝缘层以及多个用以形成该沟渠的第二绝缘层，利用电镀制程在该导电层上形成电镀层后而使部分绝缘层外露的绝缘层是指该第一绝缘层，且该第二绝缘层则被该电镀层所覆盖。

20.根据权利要求16所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该本体于该电镀层形成多个沟渠，该导电层上形成的多个绝缘层包括多个用以形成该入口端的第一绝缘层、多个用以形成该出口端的第二绝缘层以及多个用以形成该沟渠的第三绝缘层，该第二绝缘层是形成于第一绝缘层上，且该第二绝缘层的面积小于该第一绝缘层，利用电镀制程在该导电层上形成电镀层后而使部分绝缘层外露的绝缘层是指该第二绝缘层，而该第一绝缘层则被该电镀层及该第二绝缘层所覆盖，且该第三绝缘层则被该电镀层所覆盖。

21.根据权利要求19所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该沟渠呈阵列分布。

22.根据权利要求16所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该喷孔是呈阵列分布或环状分布。

23.根据权利要求16所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该喷孔的几何结构是为等腰三角形、锥形或心形。

24.根据权利要求23所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该喷孔的几何结构的尖端是朝向本体的内侧。

25.根据权利要求23所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该几何结构的尖端是朝向本体的外侧。

26.根据权利要求16所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，还包括于该本体上结合用以驱动进入该入口端的液体雾化的致动器。

27.根据权利要求26所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该致动器为压电致动器。

28.根据权利要求27所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该压电致动器是为压电环、压电片或压电块材。

29.根据权利要求26所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该致动器与该本体的接着区域包括多个喷孔。

30.根据权利要求16所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，还包括于该出口端的表面涂布抗润湿材料。

31.根据权利要求16所述的喷雾装置的喷嘴片的制造方法，其特征在于，该些绝缘层是利用黄光制程或印刷制程形成于该导电层上。

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