CN101542304B

CN101542304B - 测量电路及测试设备

Info

Publication number: CN101542304B
Application number: CN2007800426619A
Authority: CN
Inventors: 小原贤二; 莲见卓也
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2006-11-16
Filing date: 2007-11-09
Publication date: 2011-11-16
Anticipated expiration: 2027-11-09
Also published as: JPWO2008059766A1; TW200834100A; CN101542304A; TWI347446B; WO2008059766A1; KR20090084936A; KR101026128B1; JP5022377B2

Abstract

本发明提供一种测量电路，用于对被测试装置施加直流电压，测量所述被测试装置的直流电流。其包括：主放大部，其根据输入电压生成上述直流电压，施加给上述被测试装置；串联电阻，串联设置在上述主放大部的输出端和上述被测试装置的输入端之间；钳位电路，限制上述主放大部输出的上述直流电流的电流值；上述钳位电路，具有：第1极限电压输出部，接收上述主放大部输出的上述直流电压，相对上述直流电压，输出具有与上述直流电流的极限值对应的电压差的第1极限电压；第1钳位单元，根据上述第1极限电压和上述串联电阻两端中的压降，限制上述主放大部输出的上述直流电流。

Description

测量电路及测试设备

技术领域

本发明涉及测量电路及测试设备，尤其涉及对被测试装置加直流电压，测量上述被测试装置通过的直流电流。本申请与下列日本申请有关。对于承认通过文献参考编入内容的指定国，通过参考下列申请记载的内容编入本申请，作为本申请的一部分。

1.专利申请2006-310358，申请日2006年11月16日。

背景技术

作为半导体电路等的被测试装置的测试项目，公知的有对被测试装置的直流测试。所谓直流测试，是通过测量供给到被测试装置中的电源电流或电源电压，判定被测试装置的好坏的测试。例如可以考虑：在对被测试装置施加了规定的直流电压时，测量在被测试装置供给的直流电流的电压输入电流测量，或在对被测试装置供给了规定的直流电流时，测量供给被测试装置的直流电压的电流外加电压测量。

同时，还可以考虑在进行该直流测试时，应该防止对被测试装置输入过电流等，限制对被测试装置供给的直流电流。例如，在被测试装置通过的直流电流达到极限值以上时，考虑采用钳位电路，以限制对被测试装置施加的直流电压(例如参考专利文献1)。

被测试装置中的直流电流，例如能够从设置在供给电源功率的放大器和被测试装置的输入端之间的电阻两端的压降测得。因此，通过检测出电阻的放大器侧的一端相对接地电位的第1电压和在电阻的其它端相对接地电位的电压加上根据极限值得到的电压后的第2电压之间的大小关系，能查出直流电流是否比极限值大。

例如，通过把用规定的分压电阻对第1电压进行分压之后的，和用同一分压比的分压电阻对第2电压分压后的电压输入到差动放大器，能够检测出直流电流是否比极限值大。并且，通过根据差动放大器的输出限制直流电流，而能够防止对被测试装置输入过大的直流电流。

专利文献1，特开2002-277505号公报。

可是，如果对被测试装置施加了高电压，如上所述，以接地电位为基准让钳位电路工作，则被加到分压电阻的电压变为高电压。因此，在第1电压对应的分压电阻的分压比和第2电压对应的分压电阻的分压比之间如果产生误差，则CMR误差变得更大，可以认为会导致钳位的精密度劣化。

发明内容

因此，本发明的一个目的在于提供解决上述课题的测量电路及测试设备。该目的由独立权利要求记载的特征组合达成。从属权利要求规定了本发明的更有利的具体例子。

为了解决上述课题，根据与本发明说明书包含的与新发明相关的第1方面的测量电路之一例，提供一种测量电路，该测量电路是对被测试装置施加直流电压，测量在上述被测试装置通过的直流电流，其包括：根据输入电压发生上述直流电压，并施加给上述被测试装置的主放大部、串联设置在上述主放大部的输出端和上述被测试装置的输入端之间的串联电阻、限制上述主放大部输出的上述直流电流的电流值的钳位电路。上述钳位电路包括：接收上述主放大部输出的上述直流电压，输出相对上述直流电压具有与上述直流电流的极限值对应的电压差的第1极限电压的第1极限电压输出部；基于上述第1极限电压与在上述串联电阻两端的压降，限制上述主放大部输出的上述直流电流的第1钳位单元。

另外，根据本说明书包含的发明涉及的第2方面的测量电路的一个例子，提供一种对被测试装置施加直流电压，测量上述被测试装置中通过的直流电流的测量电路，包括：主放大部，其根据输入电压生成上述直流电压，施加给上述被测试装置；串联电阻，串联设置在上述主放大部的输出端和上述被测试装置的输入端之间；钳位电路，限制上述主放大部输出的上述直流电流的电流值；缓冲器，分路并接受上述输入电压，输入给上述钳位电路。上述钳位电路具有：第1极限电压输出部，接受上述主放大部输出的上述直流电压，输出相对上述缓冲器输入的上述输入电压，具有与上述直流电流的极限值对应的电压差的第1极限电压；第1钳位单元，根据上述第1极限电压和上述串联电阻两端中的压降，限制上述主放大部输出的上述直流电流。

另外，根据与本说明书包含的发明有关的第3方面的测试设备的一例，提供一种测试被测试装置的测试设备，包括，对上述被测试装置供给直流电压，测量在上述被测试装置通过的直流电流的测量电路；根据上述测量电路测量的上述直流电流，判断上述被测试装置的好坏的判断部；上述测量电路具有：按照输入电压发生上述直流电压，施加给上述被测试装置的主放大部；串联设置在上述主放大部的输出端和上述被测试装置的输入端之间的串联电阻；限制上述主放大部输出的上述直流电流的电流值的钳位电路。上述钳位电路包括接收上述主放大部输出的上述直流电压，输出相对上述直流电压，具有与上述直流电流的极限值对应的电压差的第1极限电压的第1极限电压输出部；根据上述第1极限电压和上述串联电阻两端中的压降，限制上述主放大部输出的上述直流电流的第1钳位单元。

同时，根据与本说明书包含的发明有关的第4方面的测试设备的一例，提供一种测试被测试装置的测试设备，包括：测量电路，供给上述被测试装置直流电压，测量上述被测试装置中通过的直流电流；判断部，按照上述测量电路测量的上述直流电流，判定上述被测试装置的好坏；上述测量电路具有：主放大部，根据输入电压生成上述直流电压，施加给上述被测试装置；串联电阻，串联设置在上述主放大部的输出端和上述被测试装置的输入端之间；钳位电路，限制上述主放大部输出的上述直流电流的电流值；缓冲器，分路接受上述输入电压，输入上述钳位电路。上述钳位电路包括：第1极限电压输出部，接收上述主放大部输出的上述直流电压，输出相对上述缓冲器输入的上述输入电压，具有上述直流电流的极限值对应的电压差的第1极限电压；第1钳位单元，根据上述第1极限电压和在上述串联电阻两端中的压降，限制上述主放大部输出的上述直流电流。

上述发明的概要，并未列举出本发明必要技术特征的全部，这些的特征的结合也能构成发明。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式涉及的测量电路100的一例示意图。

图2是测量电路100的其他构造例示意图。

图3是测量电路100的其他构造例示意图。

图4是本发明的另一实施方式涉及的测试设备200的构造的一例示意图。

附图标记说明：

10.电压值控制部，12.电阻，14.串联电阻，16.电流读数装置，18.电流测量部，20.主放大部，22.差动放大器，24.主放大器，26.分流电容器，30.钳位装置，40.第1钳位电路，42.第1极限电压输出部，46、66.第1电阻，48、68.第2电阻，50、70.第3电阻，52、72.第4电阻，54.第1比较部，56.第1二极管，58.第1钳位单元，60.第2钳位电路，62.第2极限电压输出部，74.第2比较部，76.第2二极管，78.第2钳位单元，80.缓冲器，100.测量电路，110.判断部，120.图案输入部，200.测试设备，300.被测试装置

具体实施方式

下面通过具体实施方式说明本发明的一个方面，但以下实施方式不是限定权利要求范围所涉及的发明，另外并非实施方式所表示的特征组合的全部都是发明的必须解决手段。

图1是对本发明之一实施方式涉及的测量电路100构造的一例示意图。测量电路100，是对被测试装置300施加规定的直流电压，测量通过被测试装置300的直流电流的电压外加电流测量电路，具有电压值控制部10、电阻12、主放大部20、串联电阻14、电流读数装置16、电流测量部18、钳位装置30以及分流电容器26。

电压值控制部10控制对被测试装置300施加的电压。例如电压值控制部10，是数字模拟转换器，输出与所给予的数字值对应的输入电压。

主放大部20通过电阻12接收输入电压。同时，主放大部20产生与该输入电压对应的直流电压，施加给被测试装置300。主放大部20具有差动放大器22及主放大器24。差动放大器22回馈被测试装置300输入端的直流电压，输出对应于该直流电压和输入电压的差的电压。主放大器24以规定的放大率放大差动放大器22输出的电压并输出。根据这样的构造，能够将被测试装置300施加的直流电压维持成与来自电压值控制部10的输入电压对应的所规定的电压值。

电流读数装置16，检测由主放大部20供给被测试装置300的直流电流的电流值，输出与该电流值对应的检测电压。例如，电流读数装置16，可以是在主放大部20输出端和被测试装置300输入端之间串联设置的电阻。电流测量部18，按照电流读数装置16给与的检测电压，测量对被测试装置300供给的直流电流的电流值。例如电流测量部18，可以是接收电流读数装置16的电阻两端的各自的电压的差动放大器。

分流电容器26，设置在被测试装置300输入端和接地电位之间。分流电容器26，补偿被测试装置300输入端中的供电电压或电流的急剧波动。

串联电阻14，串联设置在主放大部20输出端和被测试装置300输入端之间。比如串联电阻14可以串联设置在主放大部20输出端和电流读数装置16输入端之间。

钳位装置30，限制主放大部20输出的直流电流的电流值。例如钳位装置30，至少将该直流电流的电流值限制在允许对被测试装置300输入的容许电流范围内。通过这种方法，防御在被测试装置300通过过大电流，减少被测试装置300产生不合格的问题。

在本例中，钳位装置30具有第1钳位电路40及第2钳位电路60。第1钳位电路40，规定流向被测试装置300的直流电流的上限；而第2钳位电路60，规定流向被测试装置300的直流电流的下限。

第1钳位电路40，具有第1极限电压输出部42、第1电阻46、第2电阻48、第3电阻50、第4电阻52和第1钳位单元58。第1极限电压输出部42，例如可以是数模拟转换器，输出与被给予的数字值对应的电压。

第1极限电压输出部42，规定流向被测试装置300的直流电流的上限。在本例中，第1极限电压输出部42，输出直流电流的上限对应的第1极限电压。另外，第1极限电压输出部42，以主放大部20输出的直流电压为基准，输出第1极限电压。总之，第1极限电压输出部42，接收主放大部20输出的直流电压，对该直流电压，输出具有与直流电流的上限对应的电压差的第1极限电压。比如，若设主放大部20输出的直流电压为V1，设对应直流电流的上限电压为Vc的话，则第1极限电压输出部42输出的第1极限电压是V1+Vc。

第1钳位单元58，根据第1极限电压和在串联电阻14两端的压降，限制主放大部20输出的直流电流。在本例中包括第1钳位单元58、第1比较部54及第1二极管56。

第1比较部54，放大输出基于压降和对应第1极限电压的电压的比较结果的，输出第1比较结果电压的第1比较部的差。在本例中第1比较部54，是具有第1及第2的输入端，输出对应第1输入端及第2输入端输入的电压之差的第1比较结果电压的差动放大器。所谓对应第1极限电压的电压，是用第2电阻48及以第3电阻50分压在串联电阻14的被测试装置300侧的一端的电压V2和第1极限电压后的电压。

第2电阻48，连接串联电阻14的被测试装置300侧的一端和第1比较部54的第2输入端。第3电阻50与第1极限电压输出部42输出端和第2电阻48及第2输入端的分路点连接。优选第3电阻50电阻值，充分地大于第2电阻48的电阻值。例如第2电阻48的电阻值是5kΩ程度，第3电阻50电阻值是200kΩ程度为好。在这种情况下，设串联电阻14的压降为Vf，则被加到第1比较部54的第2输入端的电压变为(200kΩ×(V1-Vf)+5kΩ×(V1+Vc))/(200kΩ+5kΩ)＝V1+(5kΩ×Vc-200kΩ×Vf)/205kΩ。

同时，第1电阻46连接串联电阻14的主放大部20侧的一端和第1比较部54的第1输入端。第4电阻52设置在第1电阻46的第1比较部54侧的一端和串联电阻14的主放大部20侧的一端之间。在这里，最好第1电阻46电阻值与第2电阻48电阻值相等，第4电阻52的电阻值与第3电阻50的电阻值大体上相等。即，被施加到第1比较部54的第1输入端的电压，输入串联电阻14的主放大部20侧的一端的电压V1。因此，第1比较部54将第1输入端加的电压V1和第2输入端输入的电压V1+(5kΩ×Vc-200kΩ×Vf)/205kΩ的差分(5kΩ×Vc-200kΩ×Vf)/205kΩ放大后输出。即，第1比较部54，输出与被第2电阻48及第3电阻50电阻值加权后的Vc和Vf的大小关系对应的电压。

第1二极管56，根据第1比较结果电压，通过限制主放大部20输入的输入电压，来限制主放大部20输出的直流电流。在本例中，第1二极管56与第1比较部54输出端在阴极连接，在主放大部20输入端与阳极连接。同时，第1比较部54，在(5kΩ×Vc-200kΩ×Vf)是负时，即输入被测试装置300的直流电流比上限值大时，输出把第1二极管56设为接通状态的第1比较结果电压。据此，在电阻12中的压降增加，对主放大部20的输入电压被限制。为此，被测试装置300中的直流电流被限制成比上限值小。另外，第1比较部54在(5kΩ×Vc-200kΩ×Vf)为正时，即被测试装置300中的直流电流比上限值小时，输出把第1二极管56设为断开状态的第1比较结果电压。根据这样的构造，能够将被测试装置300中的直流电流设为规定的上限以下。

如上所述，第2钳位电路60调节主放大部20输入电压，以使被测试装置300的直流电流在所定的下限值以上。第2钳位电路60具有第2极限电压输出部62、第1电阻66、第2电阻68、第3电阻70、第4电阻72和第2钳位单元78。第2极限电压输出部62，例如可以是数字模拟转换器，能输出与给予的数字值对应的电压。

第2极限电压输出部62规定被测试装置300的直流电流的下限值。在本例中，第2极限电压输出部62输出与直流电流的下限值对应的第2极限电压。另外，第2极限电压输出部62，作为参考，输入主放大部20输出的直流电压，输出第2极限电压。也就是，第2极限电压输出部62接收主放大部20输出的直流电压，相对该直流电压，输出具有直流电流的下限值对应的电压差的第2极限电压。例如设主放大部20输出的直流电压为V1，设直流电流的上限对应的电压作为Vc，则第2极限电压输出部62输出的第2极限电压是V1-Vc。

第2钳位部78根据第2极限电压和在串联电阻14两端的压降，限制主放大部20输出的直流电流。在本例中第2钳位单元78具有第2比较部74及第2二极管76。

第2比较部74，最好是具有和第1比较部54大体上同样的特性的差动电路。第2比较部74的第1输入端连接第1电阻66及第4电阻72的连接点。同时，第2比较部74的第2输入端连接第2电阻68及第3电阻70的连接点。同时，第2二极管76被第2比较部74输出端阳极连接，被主放大部20输入端阴极连接。第2二极管76根据第2比较部74输出的第2比较结果电压，通过限制对主放大部20的输入电压的下限，限制流向被测试装置300的直流电流的下限。

第1电阻66、第2电阻68、第3电阻70和第4电阻72可以是和第1钳位电路40中的第1电阻46、第2电阻48、第3电阻50和第4电阻52相同的电阻，并具有相同的连接关系。

根据这样的构造，当第2比较部74在串联电阻14中的压降比第2极限电压小时，输出把第2二极管76设置为接通状态的第2比较结果电压，在该压降比第2极限电压大时，输出把第2二极管76设置为断开状态的第2比较结果电压。根据这样的构造，能够将被测试装置300中的直流电流设为规定的下限值以上。

同时，本例的钳位装置30以主放大部20输出的直流电压V1为基准工作。因此，能够降低第1电阻(46，66)、第2电阻(48，68)、第3电阻(50，70)和第4电阻(52，72)施加的电压。为此，得以降低由于这些电阻的电阻值散差产生的CMR误差。特别是在主放大部20输出的直流电压V1是高电压时，其效果更加显著。

同时，如果钳位装置30以接地电位为参考工作时，对于钳位装置30，需要供给与主放大部20输出的直流电压对应的高压的电源电压。但是，在本例的钳位装置30，因为以主放大部20输出的直流电压为基准工作，所以即使不供给高压的电源电压也可以。例如供给在+Vc～-Vc的范围内能工作的电源电压就可以了。

图2是测量电路100的其他构造的示意图。本例的测量电路100与图1中所示的测量电路100构造相比，在没有第4电阻(52，72)这一点上不同。同时，本例中的第3电阻50，设置在第1电阻46及第1比较部54接点和第1极限电压输出部42的输出端之间。同样，第3电阻70设置在第1电阻66及第2比较部74的连接点和第2极限电压输出部62输出端之间。其他与图1相同的元件具有相同的符号。

在图1中，在串联连接的第1电阻(46，66)及第4电阻(52，72)的两端，都施加主放大部20输出的直流电压V1。因此，如图2所示，在测量电路100中即使省略第4电阻(52，72)，也能进行在图1中所述的测量电路100同样的操作。同时在本例中，因为更改了第3电阻50及70的接头处，所以第1极限电压输出部42及第2极限电压输出部62输出电压的极性也改变。例如，可以设第1极限电压输出部42输出电压为V1-Vc，设第2极限电压输出部62输出电压为V1+Vc。

图3是测量电路100其他构造例的示意图。在本例的测量电路100是在图1所示的测量电路100构造上增加了缓冲器80的电路。其他与图1同样符号的元件可以具有同样的功能及构造。

缓冲器80，将主放大部20输入的输入电压分路接收，输入钳位装置30。在本例中，缓冲器80从电阻12和主放大部20的输入端的分路点，将输入电压分路接收。

同时，图1中的第1极限电压输出部42及第2极限电压输出部62，以主放大部20输出的直流电压为基准工作，不过本例中的第1极限电压输出部42及第2极限电压输出部62，以缓冲器80输出的输入电压为基准电压工作。

同时，图1中的第4电阻(52，72)的一端施加主放大部20输出的直流电压。不过，本例中的第4电阻(52，72)的该端施加缓冲器80输出的输入电压。

在主放大部20的放大率，例如为1倍时，根据这样的构造，也能获得与在图1所示的测量电路100同样的效果。但在主放大部20的放大率不限定为1倍。

图4是本发明之一实施方式涉及的测试设备200构造的一例示意图。测试设备200，是测试半导体电路等的被测试装置300的设备，具有测量电路100、图案输入部120和判断部110。

测量电路100是与图1至图3所示的测量电路100相同的电路。即测量电路100向被测试装置300供给电源功率，且进行被测试装置300的电压外加电流测量。

判断部110，按照在测量电路100中的测定结果判定被测试装置300的好坏。例如判断部110，可以根据图1所示的电流测量部18测量的直流电流的电流值是否在所规定的范围内来判定被测试装置300的好坏。

同时，在进行在被测试装置300静止时的直流测试时，测量电路100可以在图案输入部120不输入测试图案的状态中进行测量。同时，如果进行在被测试装置300动作时的直流测试，测量电路100可以在图案输入部120输入测试图案的状态中进行测量。

图案输入部120，可以向被测试装置300输入例如被测试装置300包含的所规定的逻辑电路的状态顺序改变的测试图案。此时，能够查出该逻辑电路是否正常。同时，图案输入部120，也可以对被测试装置输入使被测试装置300包含的多个逻辑电路依次工作的测试图案。在这种情况下，能够指定被测试装置300中的质量不良之处。

以上用实施方式说明了本发明的一个侧面，不过本发明的技术的范围不受上述实施方式记载的范围所限定。本领域的技术人员明白，对上述实施方式可以作多种多样的变形或改善。从权利要求的范围可以知道，其变形和改善的实施例也包含在本发明的范围内。

Claims

1.一种测量电路，是对被测试装置施加直流电压，测量上述被测试装置中通过的直流电流的测量电路，其特征在于包括：

主放大部，其根据输入电压生成上述直流电压，施加给上述被测试装置；

串联电阻，串联设置在上述主放大部的输出端和上述被测试装置的输入端之间；

钳位电路，限制上述主放大部输出的上述直流电流的电流值；

上述钳位电路具有：

第1极限电压输出部，接收上述主放大部输出的上述直流电压，输出对应于上述直流电压，具有与上述直流电流的极限值对应的电压差的第1极限电压；

第1钳位单元，根据上述第1极限电压和上述串联电阻两端中的压降，限制上述主放大部输出的上述直流电流。

2.根据权利要求1所述的测量电路，其特征在于上述第1钳位单元具有：

第1比较部，输出基于上述压降和与上述第1极限电压对应的电压的比较结果的第1比较结果电压；

第1二极管，通过根据上述第1比较结果电压限制上述输入电压来限制上述直流电流。

3.根据权利要求2所述的测量电路，其特征在于：

上述第1极限电压输出部，输出与上述直流电流的上限值对应的上述第1极限电压；

上述第1二极管，在上述第1比较部的输出端连接阴极，在上述主放大部的输入端连接阳极；

上述第1比较部，当上述压降比与上述第1极限电压对应的电压大时，输出把上述第1二极管设定为接通状态的上述第1比较结果电压，当上述压降比与上述第1极限电压对应的电压小时，输出把上述第1二极管设定为断开状态的上述第1比较结果电压。

4.根据权利要求3所述的测量电路，其特征在于：

上述第1比较部，具有第1及第2输入端，输出与被输入到所述第1输入端及上述第2输入端的电压差对应的上述第1比较结果电压的差动电路；

上述第1钳位单元还包括：

连接上述串联电阻的上述主放大部侧的一端和上述第1比较部的上述第1输入端的第1电阻；

连接上述串联电阻的上述被测试装置侧的一端和上述第1比较部的上述第2输入端，与上述第1电阻的电阻值大致相等的第2电阻；

连接上述第1极限电压输出部的输出端和上述第2电阻及上述第2输入端的连接点，比上述第2电阻的电阻值大的第3电阻。

5.根据权利要求4所述的测量电路，其特征在于：

上述第1钳位单元还具有设置在上述第1电阻的上述第1比较部侧的一端和上述串联电阻的上述主放大部侧的一端之间，与上述第3电阻的电阻值大致相等的第4电阻。

6.根据权利要求4所述的测量电路，其特征在于还包括：

接收上述主放大部输出的上述直流电压，输出相对上述直流电压，具有上述直流电流的下限值对应的电压差的第2极限电压的第2极限电压输出部；

根据上述第2极限电压和上述串联电阻两端的压降，限制上述主放大部输出的上述直流电流的下限的第2钳位单元；

上述第2钳位单元有：

输出基于上述压降和与上述第2极限电压对应的电压的比较结果的第2比较结果电压的第2比较部；

在上述第2比较部的输出端连接阳极，在上述主放大部的输入端连接阴极，通过按照上述第2比较结果电压限制上述输入电压的下限来限制上述直流电流的下限的第2二极管；

上述第2比较部，当上述压降比上述第2极限电压对应的电压小时，输出把上述第2二极管设置为接通状态的上述第2比较结果电压；当上述压降比上述第2极限电压对应的电压大时，输出把上述第2二极管设定为断开状态的上述第2比较结果电压。

7.一种测量电路，是对被测试装置施加直流电压，测量上述被测试装置中通过的直流电流的测量电路，其特征在于包括：

缓冲器，分路并接受上述输入电压，输入给上述钳位电路；

上述钳位电路具有：

第1极限电压输出部，接受上述主放大部输出的上述直流电压，输出对应于上述缓冲器输入的上述输入电压，具有与上述直流电流的极限值对应的电压差的第1极限电压；

8.一种测试设备，是测试被测试装置的测试设备，其特征在于包括：

测量电路，向上述被测试装置供给直流电压，测量上述被测试装置中通过的直流电流；

判断部，根据上述测量电路测量的上述直流电流，判断上述被测试装置的好坏；

上述测量电路具有：

主放大部，根据输入电压生成上述直流电压，施加给上述被测试装置；

上述钳位电路包括：

9.一种测试设备，是测试被测试装置的测试设备，其特征在于包括：

测量电路，供给上述被测试装置直流电压，测量上述被测试装置中通过的直流电流；

判断部，按照上述测量电路测量的上述直流电流，判定上述被测试装置的好坏；

上述测量电路具有：

缓冲器，分路接受上述输入电压，输入上述钳位电路；

上述钳位电路包括：

第1极限电压输出部，接收上述主放大部输出的上述直流电压，输出对应于上述缓冲器输入的所述输入电压，具有与上述直流电流的极限值对应的电压差的第1极限电压；

第1钳位单元，根据上述第1极限电压和在上述串联电阻两端中的压降，限制上述主放大部输出的上述直流电流。