CN101520039B - 多流道流体输送装置 - Google Patents

Abstract

本发明为一种多流道流体输送装置，用以传送一流体，其包含：一阀体座，其具有至少一出口通道及至少一入口通道；一阀体盖体，其设置于该阀体座上；一阀体薄膜，其设置于该阀体座及该阀体盖体之间，且具有多个阀门结构，该多个阀门结构是同厚度及同材料制成，且其中至少一个阀门结构的刚性与其它的阀门结构不同；多个暂存室，设置于该阀体薄膜与该阀体盖体之间，以及于该阀体薄膜与该阀体座之间；以及一振动装置，其周边固设于该阀体盖体。

Description

多流道流体输送装置

技术领域

本发明是关于一种流体输送装置，尤指一种适用于微泵结构的多流道流体输送装置。

背景技术

目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微泵、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，因此，如何通过创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。

请参阅图1，其为已知微泵结构的结构示意图，已知微泵结构10是由阀体座11、阀体盖体12、阀体薄膜13、微致动器14及盖体15所组成，其中，阀体薄膜13包含入口阀门结构131及出口阀门结构132，阀体座11包含入口通道111及出口通道112、阀体盖体12与微致动器14间形成一压力腔室123，阀体薄膜13设置在阀体座11与阀体盖体12之间。

当一电压作用在微致动器14的上下两极时，会产生一电场，使得微致动器14在此电场的作用下产生弯曲，当微致动器14朝箭号x所指的方向向上弯曲变形，将使得压力腔室123的体积增加，因而产生一吸力，使阀体薄膜13的入口阀门结构131开启，使液体可自阀体座11上的入口通道111被吸取进来，并流经阀体薄膜13的入口阀门结构131及阀体盖体12上的入口阀片通道121而流入压力腔室123内，反之，当微致动器14因电场方向改变而朝箭号x的反方向向下弯曲变形时，则会压缩压力腔室123的体积，使得压力腔室123对内部的流体产生一推力，并使阀体薄膜13的入口阀门结构131、出口阀门结构132承受一向下推力，而出口阀门结构132将开启，并使液体由压力腔室123通过阀体盖体12上的出口阀门通道122、阀体薄膜13的出口阀门结构132，而从阀体座11的出口通道112流出流体输送装置10外，因而完成流体的传输过程。

虽然已知微泵结构10能够达到输送流体的功能，但是其是使用单一压力腔室配合单一流通管道、单一进出口以及单一对的阀门结构设计，若使用已知微泵结构10进行两种不同液体的不同比例的混合时，需先通过两个泵依照不同比例汲取再搅拌混合，然后才将混合后的流体传送至微泵结构10进行流体输送的方式，或是仅使用一个泵，但是必须要搭配外接的流量调节阀门，如此的实施方式将会增加整个泵系统的复杂度。

因此，如何发展一种可改善上述现有技术缺失的多流道流体输送装置，实为目前迫切需要解决的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种多流道流体输送装置，以解决以现有微泵结构进行两种不同液体的不同比例的混合，需先通过两个泵依照不同比例汲取再搅拌混合，或是仅使用一个泵，但是必须要搭配外接的流量调节阀门，将增加整个泵系统的复杂度等缺点。

为达上述目的，本发明的一较广义实施样态为提供一种多流道流体输送装置，用以传送流体，其包含：阀体座，其具有至少一出口通道及至少一入口通道；阀体盖体，其设置于阀体座上；阀体薄膜，其设置于阀体座及阀体盖体之间，且具有多个阀门结构，多个阀门结构是同厚度及同材料制成，且其中至少一个阀门结构的刚性与其它的阀门结构不同，该多个阀门结构分别具有一阀片、多个孔以及多个延伸部，该多个孔是环绕阀片周边设置，多个延伸部是与该阀片连接且设置于该多个孔之间；多个暂存室，设置于阀体薄膜与阀体盖体之间，以及于阀体薄膜与阀体座之间；以及致动装置，其周边固设于阀体盖体。

附图说明

图1为现有微泵结构的结构示意图。

图2(a)为本发明较佳实施例的多流道流体输送装置的分解结构示意图。

图2(b)为图2(a)所示的阀体座的背面结构示意图。

图2(c)为图2(a)所示的阀体盖体的背面结构示意图。

图2(d)为图2(a)所示的阀体薄膜的结构示意图。

图2(e)为图2(a)的组装结构示意图。

图3(a)为图2(e)所示的多流道流体输送装置的未作动状态的A-A剖面结构示意图。

图3(b)为图3(a)的压力腔室膨胀状态示意图。

图3(c)为图3(b)的压力腔室压缩状态示意图。

图4(a)为图2(e)所示的多流道流体输送装置的未作动状态的B-B剖面结构示意图。

图4(b)为图4(a)的压力腔室膨胀状态示意图。

图4(c)为图4(b)的压力腔室压缩状态示意图。

图5(a)～图5(e)为本发明多流道流体输送装置所包含的阀体薄膜的多种实施例的结构示意图。

图6(a)～图6(e)，其为本发明较佳实施例的阀门结构的结构示意图。

图7(a)至图18(a)为本发明阀体薄膜组合不同刚性设计的阀门结构的多种实施例结构示意图。

图7(b)至图18(b)分别为图7(a)至图18(a)所示的不同刚性的两出口阀门结构的实验数据图。

图19为本发明较佳实施例的多流道流体输送装置的制造流程图。

具体实施方式

体现本发明特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本发明能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本发明的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非用以限制本发明。

本发明的多流道流体输送装置主要是通过单一压力腔室及致动器配合多个流通管道、多个进出口及其多个阀门结构的配置概念，能够在不增加整体尺寸下，使流量及扬程大为增加，非常适合用于流量及扬程需求相对较高的应用场合。

请参阅图2(a)，其是本发明较佳实施例的多流道流体输送装置的分解结构示意图，如图所示，本实施例的多流道流体输送装置20是由阀体座21、阀体盖体22、阀体薄膜23、致动装置24及盖体25所组成，阀体盖体22及致动装置24之间形成一压力腔室225(如图2(c)所示)，主要用来储存流体，多流道流体输送装置20的组装方式是将阀体薄膜23设置于阀体座21及阀体盖体22之间，并使阀体薄膜23与阀体座21及阀体盖体22相对应设置，且在阀体薄膜23与阀体盖体22之间形成第一暂存室，而在阀体薄膜23与阀体座21之间形成第二暂存室，并且于阀体盖体22上的相对应位置还设置有致动装置24，致动装置24是由一振动薄膜241以及一致动器242组装而成，用以驱动多流道流体输送装置20的作动，最后，再将盖体25设置于致动装置24的上方，故其是依序将阀体座21、阀体薄膜23、阀体盖体22、致动装置24及盖体25相对应堆迭设置，以完成多流道流体输送装置20的组装(如图2(e)所示)。

其中，阀体座21及阀体盖体22为本发明多流道流体输送装置20中导引流体进出的主要结构，请再参阅图2(b)并配合图2(a)，其中图2(b)为图2(a)所示的阀体座的背面结构示意图，如图2(a)所示，阀体座21具有入口通道211a、211b及出口通道212a、212b，但并不以此为限，多流道流体输送装置20所设置的入口通道及出口通道的数量可分别为一个或多个，流体是可由外界输入，通过入口流道211a、211b分别传送至阀体座21的开口213a、213b，并且，于本实施例中，阀体薄膜23及阀体座21之间所形成的第二暂存室即为图中所示的出口暂存腔215a、215b，但不以此为限，其是由阀体座21于与出口流道212a、212b相对应的位置产生部分凹陷而形成，并分别与出口流道212a、212b相连通，该出口暂存腔215a、215b是用以暂时储存流体，并使流体由出口暂存腔215a、215b通过开口214a、214b而输送至出口通道212a、212b流出。以及，在阀体座21上还具有多个凹槽结构，用以供一密封环26(如图3(a)及图4(a)所示)设置于其上，于本实施例中，阀体座21具有环绕开口213a、213b周边的凹槽216a、216b，及环绕于出口暂存腔215a、215b周边的凹槽217a、217b。

请参阅图2(c)并配合图2(a)，其中图2(c)为图2(a)所示的阀体盖体的背面结构示意图，如图所示，阀体盖座22具有一上表面220及一下表面221，以及在阀体盖座22上亦具有贯穿上表面220至下表面221的入口阀门通道222a、222b及出口阀门通道223a、223b，且该入口阀门通道222a、222b是分别设置于与阀体座21的开口213a、213b相对应的位置，而出口阀门通道223a、223b则分别设置于与阀体座21的出口暂存腔215a、215b内的开口214a、214b相对应的位置，并且，于本实施例中，阀体薄膜23及阀体盖体22之间所形成的多个第一暂存室即为图中所示的入口暂存腔224a、224b，且不以此为限，其是由阀体盖体22的下表面221于与入口阀门通道222a、222b相对应的位置产生部份凹陷而形成，且其连通于入口阀门通道222a、222b。

请再参阅图2(c)，如图所示，阀体盖体22的上表面220是部份凹陷，以形成一压力腔室225，其是与致动装置24的致动器242相对应设置，压力腔室225通过入口阀门通道222a、222b分别连通于入口暂存腔224a、224b，并同时与出口阀门通道223a、223b相连通，因此，当致动器242受电压致动使致动装置24上凸变形，造成压力腔室225的体积膨胀而产生负压差，可使流体经入口阀门通道222a、222b流至压力腔室225内，其后，当施加于致动器242的电场方向改变后，致动器242将使致动装置24下凹变形压力腔室225收缩而体积减小，使压力腔室225与外界产生正压力差，促使流体由出口阀门通道223a、223b流出压力腔室225之外，于此同时，同样有部分流体会流入入口阀门通道222a、222b及入口暂存室224a、224b内，然而由于此时的入口阀门结构231a、231b(如图3(c)及图4(c)所示)为使受压而关闭的状态，故该流体不会通过入口阀片2313a、2313b而产生倒流的现象，至于暂时储存于入口暂存腔224a、224b内的流体，则于致动器242再受电压致动，重复使致动装置24再上凸变形而增加压力腔室225体积时，再由入口暂存腔224a、224b经至入口阀门通道222a、222b而流入压力腔室225内，以进行流体的输送。

另外，阀体盖体22上同样具有多个凹槽结构，以本实施例为例，在阀体盖座22的上表面220具有环绕压力腔室225而设置的凹槽226，其供一密封环28(如图3(a)及图4(a)所示)设置于其中，而在下表面221上则具有环绕设置于入口暂存腔224a、224b的凹槽227a、227b，以及环绕设置于出口阀门通道223a、223b的凹槽228a、228b，同样地，上述凹槽结构是用以供一密封环27(如图3(a)及图4(a)所示)设置于其中。

请参阅图2(d)并配合图2(a)，其中图2(d)为图2(a)所示的阀体薄膜的结构示意图，如图所示，阀体薄膜23主要是以传统加工、或平版印刷蚀刻、或激光加工、或电铸加工、或放电加工等方式制出，且为一厚度相同的薄片结构，其上具有多个镂空阀开关，包含第一阀开关以及第二阀开关，于本实施例中，第一阀开关为入口阀门结构231a、231b，而第二阀开关为出口阀门结构232a、232b，但并不以此为限，多流道流体输送装置20所设置的入口阀门结构及出口阀门结构的数量可分别为一个或多个，其中，入口阀门结构231a、231b分别具有入口阀片2313a、2313b以及多个环绕入口阀片2313a、2313b周边而设置的镂空孔2312a、2312b，另外，在孔2312a、2312b之间还分别具有与入口阀片2313a、2313b相连接的延伸部2311a、2311b，当阀体薄膜23承受一自压力腔室225传递而来的应力时，如图3(c)及图4(c)所示，入口阀门结构231a、231b是整个平贴于阀体座21之上，此时入口阀片2313a、2313b会紧靠凹槽216a、216b上密封环26突出部分，而密封住阀体座21上的开口213a、213b，且其外围的镂空孔2312a、2312b及延伸部2311a、2311b则顺势浮贴于阀体座21之上，故因此入口阀门结构231a、231b的关闭作用，使流体无法流出。

而当阀体薄膜23受到压力腔室225体积增加而产生的吸力作用下，由于设置于阀体座21的凹槽216a、216b内的密封环26已提供入口阀门结构231a、231b一预力(Preforce)，因而入口阀片2313a、2313b可借助延伸部2311a、2311b的支撑而产生更大的预盖紧效果，以防止逆流，当因压力腔室225的负压而使入口阀门结构231a、231b产生位移(如图3(b)及图4(b)所示)，此时，流体则可通过镂空的孔2312a、2312b由阀体座21流至阀体盖体22的入口暂存腔224a、224b，并通过入口暂存腔224a、224b及入口阀门通道222a、222b传送至压力腔室225内，如此一来，入口阀门结构231a、231b即可响应压力腔室225产生的正负压力差而迅速的开启或关闭，以控制流体的进出，并使流体不会回流至阀体座21上。

同样地，位于同一阀体薄膜23上的另一阀门结构则为出口阀门结构232a、232b，其中的出口阀片2323a、2323b、延伸部2321a、2321b以及孔2322a、2322b的作动方式均与入口阀门结构231a、231b相同，因而不再赘述，只是出口阀门结构232a、232b周边的密封环27设置方向是与入口阀门结构231a、231b的密封环26反向设置，因而当压力腔室225压缩而产生一推力时，设置于阀体盖体22的凹槽228a、228b内的密封环27将提供出口阀门结构232a、232b一预力(Preforce)，使得出口阀片2323a、2323b可借助延伸部2321a、2321b的支撑而产生更大的预盖紧效果，以防止逆流(如图3(b)及图4(b)所示)，当因压力腔室225的正压而使出口阀门结构232a、232b产生向上位移，此时，流体则可通过镂空的孔2322a、2322b由压力腔室225经阀体盖体22而流至阀体座21的出口暂存腔215a、215b内，并可通过开口214a、214b及出口流道212a、212b排出，如此一来，则可通过出口阀门结构232a、232b开启的机制，将流体自压力腔室225内泄出，以达到流体输送的功能(如图3(c)及图4(c)所示)。

请参阅图3(a)及图4(a)，其分别为图2(e)所示的多流道流体输送装置的未作动状态的A-A及B-B剖面结构示意图，于本实施例中，所有的密封环26、27、28其材质可为可耐化性佳的橡胶材料，但不以此为限，其中，设置于阀体座21上环绕开口213a、231b的凹槽216a、216b内的密封环26可为一圆环结构，其厚度是大于凹槽216a、216b深度，使得设置于凹槽216a、216b内的密封环26是部分凸出于阀体座21的表面构成一微凸结构，因而使得贴合设置于阀体座21上的阀体薄膜23的入口阀门结构231a、231b的入口阀片2313a、2313b因密封环26的微凸结构而形成一向上隆起，而阀体薄膜23的其余部分是与阀体盖体22相抵顶，如此微凸结构对入口阀门结构231a、231b顶推而产生一预力(Preforce)作用，有助于产生更大的预盖紧效果，以防止逆流，且由于密封环26向上隆起的微凸结构是位于阀体薄膜23的入口阀门结构231a、231b处，故使入口阀门结构231a、231b在未作动时使入口阀片2313a、2313b与阀体座21的表面间具有一间隙，同样地，当密封环27设置于环绕出口阀门通道223a、223b的凹槽228a、228b内时，由于其密封环27设置于阀体盖体22的下表面221，因而该密封环27是使阀体薄膜23的出口阀门结构232a、232b凸出而形成一向下隆起于阀体盖体22的微凸结构，此微凸结构仅其方向与形成于入口阀门结构231a、231b的微凸结构为反向设置，然而其功能均与前述相同，因而不再赘述。

至于其余分别设置于凹槽结构217a，217b、227a，227b及226内的密封环26、27及28，主要用来分别使阀体座21与阀体薄膜23、阀体薄膜23与阀体盖体22以及阀体盖体22与致动装置24之间紧密贴合时，防止流体外泄。

当然，上述的微凸结构除了使用凹槽及密封环来搭配形成外，于一些实施例中，阀体座21及阀体盖体22的微凸结构亦可采用半导体工艺，例如：平版印刷蚀刻或镀膜或电铸技术，直接在阀体座21及阀体盖体22上形成。

请同时参阅图3(a)～图3(c)以及图4(a)～图4(c)，如图所示，当盖体25、致动装置24、阀体盖体22、阀体薄膜23、密封环26、27、28以及阀体座21彼此对应组装设置后，阀体座21上的开口213a、213b是分别与阀体薄膜23上的入口阀门结构231a、231b以及阀体盖体22上的入口阀门通道222a、222b相对应，且阀体座21上的开口214a、214b则与阀体薄膜23上的出口阀片结构232a、232b以及阀体盖体22上的出口阀门通道223a、223b相对应，并且，由于密封环26设置于凹槽216a、216b内，使得阀体薄膜23的入口阀门结构231a、231b微凸起于阀体座21之上，并通过位于凹槽216a、216b内的密封环26顶触阀体薄膜23而产生一预力(Preforce)作用，使得入口阀门结构231a、231b在未作动时则与阀体座21的表面形成一间隙，同样地，出口阀门结构232a、232b亦通过将密封环27设至于凹槽228a、228b中的相同方式与阀体盖体22的下表面221形成一间隙。

当以一电压驱动致动器242时，致动装置24产生弯曲变形，如图3(b)及图4(b)所示，致动装置24是朝箭号b所指的方向向下弯曲变形，使得压力腔室225的体积增加，因而产生一吸力，使阀体薄膜23的入口阀门结构231a、231b、出口阀门结构232a、232b均承受一向下的拉力，并使已具有一预力的入口阀门结构231a、231b的入口阀片2313a、2313b迅速开启(如图3(b)及图4(b)所示)，使液体可大量地自阀体座21上的入口通道211a及211b被吸取进来，并流经阀体座21上的开口213a、213b、阀体薄膜23上的入口阀门结构231a、231b的孔2312a、2312b、阀体盖体22上的入口暂存腔224a、224b、以及入口阀片通道222a、222b而流入压力腔室225的内，此时，由于阀体薄膜23的入口阀门结构231a、231b、出口阀门结构232a、232b承受该向下拉力，故位于另一端的出口阀门结构232a、232b因该向下拉力使得位于阀体薄膜23上的出口阀片2323a、2323b密封住出口阀门通道223a、223b，而使得出口阀门结构232a、232b关闭。

当致动装置24因电场方向改变而如图3(c)及图4(c)所示的箭号a向上弯曲变形时，则会压缩压力腔室225的体积，使得压力腔室225对内部的流体产生一推力，并使阀体薄膜23的入口阀门结构231a、231b、出口阀门结构232a、232b承受一向上推力，此时，设置于凹槽228a、228b内的密封环27上出口阀门结构232a、232b的出口阀片2323a、2323b其可迅速开启(如图3(c)及图4(c)所示)，并使液体瞬间大量宣泄，由压力腔室225通过阀体盖体22上的出口阀门通道223a、223b、阀体薄膜23上的出口阀门结构232a、232b的孔2322a、2322b、阀体座21上的出口暂存腔215a、215b、开口214a、214b及出口通道212a、212b而流出多流道流体输送装置20之外，因而完成流体的传输过程。

同样地，此时由于入口阀门结构231a、231b是承受该向上的推力，因而使得入口阀片2313a、2313b密封住开口213a、213b，因而关闭入口阀门结构231a、231b，使得流体不逆流，并且，借助入口阀门结构231a、231b及出口阀门结构232a、232b配合设置于阀体座21及阀体盖体22上的凹槽216a、216b以及凹槽228a、228b内的密封环26、27的设计，可使流体于传送过程中不会产生回流的情形，达到高效率的传输，且本发明多流道流体输送装置于尺寸大小不变的阀体薄膜上设置多个入口阀门结构及出口阀门结构，以及于阀体座上设置不同多个入口通道及出口通道，可形成多个流通管道以进行两种不同流体的混合及分流输出。

本发明多流道流体输送装置可通过将阀体薄膜上所设置入口阀门结构及出口阀门结构的配置进行变化，以响应不同流体的混合及/或分流输出，请参阅图5(a)～图5(e)，其为本发明多流道流体输送装置所包含的阀体薄膜的多种实施例的结构示意图，如图所示，本发明多流道流体输送装置的阀体薄膜可选择配置二进二出的混合及分流阀门结构(如图5(a)所示)、三进一出的混合阀门结构配置(如图5(b)所示)、一进三出的分流阀门结构配置(如图5(c)所示)、一进四出的分流阀门结构配置(如图5(d)所示)或是四进一出的混合阀门结构配置(如图5(e)所示)，但本发明多流道流体输送装置的阀体薄膜的进出阀门结构的配置方式并不以此为限，只要是阀体薄膜的进出阀门结构的配置方式可达到多流道以进行流体的混合及/或分流输出的功效均为本发明所保护的范围。

本发明的多流道流体输送装置的阀体薄膜的入口阀门结构及出口阀门结构的实施态样并不仅局限于图2(a)及图2(d)所示的入口阀门结构231a、231b及出口阀门结构232a、232b的形态，亦可使用具有相同厚度，相同材料，但是刚性不同的阀门结构，其中，阀门结构的刚性取决于阀门结构的外观形态、所包含的延伸部的宽度及数量，并配合控制致动装置的震动频率来调整进行分流或混合流体的比例，请参阅图6(a)～图6(e)，其为本发明较佳实施例的阀门结构的结构示意图，如图6(a)所示，阀门结构61具有阀片611、环绕阀片611周边而设置的镂空孔612，以及在孔612之间还分别具有与阀片611相连接的延伸部613，于本实施例中阀片611为一圆形结构，孔612的数量为3个，至于，延伸部613的数量可为3个且其形状可呈现切线形态，但阀片611的形状、孔612以及延伸部613的数量及形状并不以此为限。

请再参阅图6(b)，于一些实施例中，阀门结构62同样具有阀片621、环绕阀片621周边而设置的镂空孔622，以及在孔622之间还分别具有与阀片621相连接的延伸部623，于本实施例中阀片621为一圆形结构，孔622的数量可为4个，至于，延伸部623的数量为4个且其形状可呈现直线形态，但上述阀片621形状、孔622以及延伸部623的数量及形状并不以此为限。

请再参阅图6(c)，于一些实施例中，阀门结构63同样具有阀片631、孔632以及延伸部633，至于阀片631、孔632以及延伸部633之间的连接关系是与上述相同，因此不在述赘述，于本实施例中，阀片631为一圆形结构，孔632的数量可为4个，至于，延伸部633的数量为4个且其形状可呈现长S形形态，但阀片631形状、孔632以及延伸部633的数量及形状并不以此为限。

请再参阅图6(d)，于一些实施例中，阀门结构64同样具有阀片641、孔642以及延伸部643，至于阀片641、孔642以及延伸部643之间的连接关系是与上述相同，因此不在述赘述，于本实施例中，阀片641为一圆形结构，孔642的数量可为5个，至于，延伸部643的数量为5个且其形状可呈现短S形形态，但阀片641、孔642以及延伸部643的数量及形状并不以此为限。

请再参阅图6(e)，于一些实施例中，阀门结构65同样具有阀片651、孔652以及延伸部653，至于阀片651、孔652以及延伸部653之间的连接关系是与上述相同，因此不在述赘述，于本实施例中，阀片651为一类似圆形结构且其周围具有齿状结构6511，孔652的数量可为3个，至于，延伸部653的数量为3且其形状可呈现切线形态，但阀片651形状、孔652以及延伸部653的数量及形状并不以此为限。

当然，本发明的多流道流体输送装置的阀体薄膜上所适用的阀门结构的实施态样并不仅限于图6(a)～图6(e)所揭露的形态，亦可由其它的变化，只要是使用具有相同厚度，相同材料，但是刚性不同的阀门结构均为本发明所保护的范围。

本发明多流道流体输送装置的阀体薄膜上可通过配置图6(a)～图6(e)所示的阀门结构及其变化形态，利用不同刚性设计的阀门结构组合，因其松紧度不同造成在相同舱体压力下产生不同阀门开度，造成不同比例的液体混合。并且，亦可通过适当流体管道与进出口阀门结构配置，进行流体分流并分配至不同容器中，至于分配所需比例亦可通过前述的不同刚性阀门结构设置来达成。

请参阅图7(a)至图18(a)，其为本发明阀体薄膜组合不同刚性设计的阀门结构的多种实施例结构示意图，且图7(a)至图18(a)所示的阀体薄膜是以等比例刚性设计的两入口阀门结构搭配不同刚性比例的两出口阀门结构分流的结构，另外图7(b)至图18(b)分别为图7(a)至图18(a)所示的不同刚性的两出口阀门结构的实验数据图，由图7(b)至图18(b)的各别实验数据可知，图7(a)至图18(a)所示的阀体薄膜通过以相同刚性的两入口阀门结构搭配不同刚性的两出口阀门结构分流的配置方式，一旦致动装置的震动频率(Frequency)改变时，由于两出口阀门结构的刚性不同，因此两出口阀门结构所排出的流体流量明显亦不同，因此即可使本发明的多流道流体输送装置达到不同比例的分流输出的功效。

另外，阀体薄膜的配置方式亦可以以相同刚性设计的两出口阀门结构搭配不同刚性的两入口阀门结构，可使本发明的多流道流体输送装置达到进行两种不同液体的不同比例的混合功效。

请参阅图19并搭配图2(a)，其中图19为本发明较佳实施例的多流道流体输送装置的制造流程图，首先需形成一阀体层，即如图2(a)所示的阀体座21(如步骤S191所示)，其后，形成一阀体盖层，于本实施例中，该阀体盖层即为图2(a)所示的阀体盖体22，且其具有一压力腔室225(如步骤S192所示)，接着，于阀体座21及阀体盖体22上分别形成一微凸结构(如步骤S193所示)，该微凸结构的形成方式可有两种方式，且不以此为限：一、请参考图2(a)、图3(a)、图4(a)及本发明的实施例，需先于阀体座21及阀体盖体22上分别形成至少一个凹槽，如图中所示的阀体座21上即具有凹槽216a、216b，并于凹槽216a、216b内分别设置一密封环26，由于设置于凹槽216a、216b内的密封环26是部份凸出于阀体座21的表面，因而可于阀体座21的表面形成一微凸结构，同样地，凹槽228a、228b及密封环27亦可以上述方式于阀体盖体22的下表面221上形成一微凸结构；二、可采用半导体工艺，例如：平版印刷蚀刻或镀膜或电铸技术，但不以此为限，直接于阀体座21及阀体盖体22上形成一微凸结构。

接着，形成一可挠薄膜，其具有多个阀门结构，多个阀门结构是同厚度及同材料制成，且其中至少一个阀门结构的刚性与其它的阀门结构不同，即为本发明的阀体薄膜23以及所具有的入口阀门结构及出口阀门结构(如步骤S194所示)，接着，再形成一致动薄膜，即为本发明的振动薄膜241(如步骤S195所示)，以及形成一致动器242(如步骤S196所示)，之后，将致动器242贴附定位于振动薄膜241之上，以组装构成一致动装置24，并使致动器242与压力腔室225相对应设置(如步骤S197所示)，在步骤S197之后将阀体薄膜23设置于阀体座21与阀体盖体22之间，并且使阀体座21、阀体薄膜23以及阀体盖体22彼此相对应设置(如步骤S198所示)，最后，将致动装置24对应设置于阀体盖体22上，并使阀体薄膜23封闭阀体盖体22的压力腔室225，以形成一多流道流体输送装置(如步骤S199所示)。

综上所述，本发明的多流道流体输送装置是适用于微泵结构，主要由阀体座、阀体薄膜、阀体盖体、振动薄膜及致动器堆迭而成，通过单一压力腔室及致动器配合多个流通管道、多个进出口及其多个阀门结构的配置概念，能够在不增加整体尺寸下，使流量及扬程大为增加，非常适合用于流量及扬程需求相对较高的应用场合；

另外，本发明的多流道流体输送装置的阀体薄膜所具有的多个阀门结构是同厚度及同材料制成，且其中至少一个阀门结构的刚性与其它的阀门结构不同，通过不同刚性设计的阀门组合，因其松紧度不同造成在相同舱体压力下产生不同阀门开度，造成不同比例的液体混合。并且，亦可通过适当流体管道与阀门结构配置，进行流体分流并分配至不同容器中，至于分配所需比例亦可通过前述的不同刚性阀门设置来达成。因此，本发明的多流道流体输送装置极具产业的价值。

Claims (18)

1.一种多流道流体输送装置，用以传送一流体，其包含：

一阀体座，其具有至少一出口通道及至少一入口通道；

一阀体盖体，其设置于该阀体座上；

一阀体薄膜，其设置于该阀体座及该阀体盖体之间，且具有多个阀门结构，该多个阀门结构是同厚度及同材料制成，且其中至少一个阀门结构的刚性与其它的阀门结构的刚性不同，该多个阀门结构分别具有一阀片、多个孔以及多个延伸部，该多个孔是环绕阀片周边设置，多个延伸部是与该阀片连接且设置于该多个孔之间；

多个暂存室，设置于该阀体薄膜与该阀体盖体之间，以及于该阀体薄膜与该阀体座之间；以及

一致动装置，其周边固设于该阀体盖体；

其中，该阀体盖体与该致动装置之间形成一压力腔室。

2.根据权利要求1所述的多流道流体输送装置，其特征在于该流体包括气体及液体。

3.根据权利要求1所述的多流道流体输送装置，其特征在于该阀片包含圆形部分及在该圆形部分的圆周上所形成的齿状结构。

4.根据权利要求1所述的多流道流体输送装置，其特征在于该延伸部为切线形态。

5.根据权利要求1所述的多流道流体输送装置，其特征在于该延伸部为直线形态。

6.根据权利要求1所述的多流道流体输送装置，其特征在于该延伸部为长S形形态。

7.根据权利要求1所述的多流道流体输送装置，其特征在于该延伸部为短S形形态。

8.根据权利要求1所述的多流道流体输送装置，其特征在于该阀门结构的刚性条件取决于该阀门结构的外观形态。

9.根据权利要求1所述的多流道流体输送装置，其特征在于该阀门结构的刚性条件取决于该阀门结构的该延伸部的宽度。

10.根据权利要求1所述的多流道流体输送装置，其特征在于该阀门结构的刚性条件取决于该阀门结构的该延伸部的数量。

11.根据权利要求1所述的多流道流体输送装置，其特征在于该多个阀门结构是通过控制该致动装置的震动频率来调整进行分流或混合流体的比例。

12.根据权利要求1所述的多流道流体输送装置，其特征在于该阀体薄膜与该阀体盖体之间形成至少一第一暂存室，以及于该阀体薄膜与该阀体座之间形成至少一第二暂存室。

13.根据权利要求1所述的多流道流体输送装置，其特征在于该阀体薄膜的多阀门结构为至少一入口阀门及至少一个出口阀门。

14.根据权利要求13所述的多流道流体输送装置，其特征在于该阀体薄膜是配置二个入口阀门及二个出口阀门的混合及分流阀门结构。

15.根据权利要求13所述的多流道流体输送装置，其特征在于该阀体薄膜是配置三个入口阀门及一个出口阀门的混合阀门结构。

16.根据权利要求13所述的多流道流体输送装置，其特征在于该阀体薄膜是配置一个入口阀门及三个出口阀门的分流阀门结构。

17.根据权利要求13所述的多流道流体输送装置，其特征在于该阀体薄膜是配置一个入口阀门及四个出口阀门的分流阀门结构配置。

18.根据权利要求13所述的多流道流体输送装置，其特征在于该阀体薄膜是配置四个入口阀门及一个出口阀门的混合阀门结构配置。

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