CN101508494B - 加工废液处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种加工废液处理装置，其能够紧凑地构成装置整体。上述加工废液处理装置包括废液箱、废液过滤构件、净水贮存箱、纯水生成构件、纯水温度调整构件、控制构件、操作板、以及收纳上述各结构构件的装置壳体，装置壳体包括底壁、上壁、左侧壁、右侧壁、后壁以及开闭前侧开口的开闭门扇，废液箱配置在底壁的靠后壁侧，净水贮存箱与废液箱相邻地配置在底壁的中央部，纯水生成构件与净水贮存箱相邻地配置在底壁的靠前侧开口侧，废液过滤构件配置在纯水生成构件的上侧，纯水温度调整构件配置在废液箱的上方，控制构件和操作板配置在废液过滤构件的上侧，并且操作板配置在装置壳体的前侧。

Description

加工废液处理装置

技术领域

本发明涉及一种加工废液处理装置，其附设在切削半导体晶片等被加工物的切削装置等加工装置上，用于对加工时供给的加工液的废液进行处理。

背景技术

在半导体器件制造工序中，在大致圆板形状的半导体晶片的表面上，通过呈格子状排列的、称为间隔道的分割预定线划分有多个区域，在这些划分出的区域中形成IC(Integrated Circuit：集成电路)、LSI(Large ScaleIntegration：大规模集成电路)等器件。然后，通过将半导体晶片沿着间隔道切断，将形成有器件的区域分割开来，从而制造出一个一个的半导体器件。此外，对于在蓝宝石基板的表面上层叠有氮化镓类化合物半导体等的光学器件晶片，也通过沿着间隔道切断来分割成一个一个的发光二极管、激光二极管等光器件，并广泛利用于电气设备中。

上述半导体晶片和光器件晶片等的沿着间隔道的切断通常是通过称为切割机(dicer)的切削装置来进行的。该切削装置包括：保持半导体晶片等被加工物的卡盘工作台；切削构件，其具有切削刀具，该切削刀具用于切削保持于所述卡盘工作台上的被加工物；和向切削刀具提供加工液的加工液供给构件，通过利用所述加工液供给构件把切削液提供给旋转的切削刀具，来冷却切削刀具，并且在将加工液提供给被加工物的被切削刀具切削的切削部的同时，实施切削作业。

通过切削硅或氮化镓类化合物半导体而产生的切屑会混入在如上所述切削时提供的加工液中。由于混入有由该半导体材料构成的切屑的加工废液会污染环境，所以要在利用废液处理装置除去切屑后进行再利用或者废弃。(例如，参照专利文献1。)

专利文献1：日本特开2004-230527号公报

然而，由于上述废液处理装置包括：废液收纳箱，其收纳加工废液，在加工装置的加工时所供给的加工液通过加工而生成了该加工废液；泵，其输送收纳于所述废液收纳箱中的加工废液；废液过滤构件，其对利用所述泵输送的加工废液进行过滤以精制成净水；净水贮存箱，其贮存利用所述废液过滤构件精制而成的净水；净水输送泵，其输送贮存于所述净水贮存箱中的净水；纯水生成构件，其包括离子交换构件，该离子交换构件将利用所述净水输送泵输送的净水精制成纯水；纯水温度调整构件，其将利用所述纯水生成构件精制而成的纯水调整至预定的温度；控制构件，其对上述各结构构件进行控制；以及操作板，其具有向所述控制构件输入处理信息等的输入构件、和显示由控制构件所控制的动作状况等的显示构件，在配置该各结构构件时需要相当大的设置面积，所以不能有效利用维护成本高的净化间。

发明内容

本发明是鉴于上述事实而完成的，其主要的技术课题在于提供一种能够紧凑地构成装置整体的废液处理装置。

为了解决上述主要的技术课题，根据本发明，提供一种加工废液处理装置，其包括：废液箱，其收纳加工废液，在加工装置的加工时所供给的加工液通过加工而生成了该加工废液；废液输送泵，其输送收纳于上述废液箱中的加工废液；废液过滤构件，其具有过滤器、和将该过滤器以能够装卸的方式支撑的净水接收盘，上述过滤器对利用上述废液输送泵输送的加工废液进行过滤以精制成净水；净水贮存箱，其贮存利用上述废液过滤构件精制而成的净水；净水输送泵，其输送贮存于上述净水贮存箱中的净水；纯水生成构件，其具有将利用上述净水输送泵输送的净水精制成纯水的离子交换构件、和将该离子交换构件以能够装卸的方式支撑的支撑台；纯水温度调整构件，其将利用上述纯水生成构件精制而成的纯水调整至预定的温度；控制构件，其对上述各结构构件进行控制；操作板，其具有向上述控制构件输入处理信息的输入构件、和显示由上述控制构件所控制的动作状况等的显示构件；以及装置壳体，其收纳上述各结构构件，上述加工废液处理装置的特征在于，

上述装置壳体包括底壁、上壁、左侧壁、右侧壁、后壁以及开闭前侧开口的开闭门扇，

上述废液箱配置在上述底壁的靠上述后壁侧，上述净水贮存箱与上述废液箱相邻地配置在上述底壁的中央部，上述纯水生成构件与上述净水贮存箱相邻地配置在上述底壁的靠上述前侧开口侧，

废液过滤构件配置在上述纯水生成构件的上侧，

纯水温度调整构件配置在上述废液箱的上方，

上述控制构件和上述操作板配置在上述废液过滤构件的上侧，并且该操作板配置在上述装置壳体的前侧。

在本发明的加工废液处理装置中，废液箱配置在构成装置壳体的底壁的靠后壁侧，净水贮存箱与废液箱相邻地配置在底壁的中央部，纯水生成构件与净水贮存箱相邻地配置在前侧开口侧，废液过滤构件配置在纯水生成构件的上侧，纯水温度调整构件配置在废液箱的上方，控制构件和操作板配置在废液过滤构件的上侧，并且操作板配置在装置壳体的前侧，因此，能够紧凑地构成装置整体而不会损害操作者的操作性，能够有效利用维护成本高的净化间。

附图说明

图1是按照加工废液的流动表示按照本发明构成的加工废液处理装置的结构要素的说明图。

图2是配置图1所示的加工废液处理装置的结构要素的装置壳体的立体图。

图3是透视构成图2所示的装置壳体的各壁地表示在装置壳体内配置有加工废液处理装置的结构要素的状态的立体图。

图4是表示经装置壳体的前侧开口拉出了构成图3所示的加工废液处理装置的纯水生成构件的状态的立体图。

图5是表示经装置壳体的前侧开口拉出了构成图3所示的加工废液处理装置的废液过滤构件的状态的立体图。

标号说明

2：废液箱；3：废液输送泵；31：压力检测构件；4：废液过滤构件；41：净水接收盘；42a：第一过滤器；42b：第二过滤器；43a、43b：电磁开闭阀；5：净水贮存箱；50：净水输送泵；6：纯水生成构件；61：支撑台；62：紫外线照射构件；63a：第一离子交换构件；63b：第二离子交换构件；64：精密过滤器；66a、66b：电磁开闭阀；68：压力检测构件；69：电阻率计；7：纯水温度调整构件；8：控制构件；9：操作板；91：输入构件；92：显示构件；10：装置壳体；126：开闭盖。

具体实施方式

下面，参照附图详细说明按照本发明构成的加工废液处理装置的优选实施方式。

图1按照加工废液的流动示出了按照本发明构成的加工废液处理装置的结构要素。

图示的实施方式中的加工废液处理装置包括：收纳加工废液的废液箱2、和输送收纳于该废液箱2的加工废液的废液输送泵3。废液箱2通过管道20与安装在未图示的切削装置等加工装置上的加工废液送出构件连接。这样，从安装在未图示的切削装置等加工装置上的加工废液送出构件送出的加工废液经管道20被导入至废液箱2中。在该废液箱2的上壁配设有输送加工废液的废液输送泵3。

利用上述废液输送泵3输送的加工废液经过由挠性软管构成的管道30被送至废液过滤构件4。废液过滤构件4包括净水接收盘41、以及配置在该净水接收盘41上的第一过滤器42a和第二过滤器42b。该第一过滤器42a和第二过滤器42b以能够装卸的方式配置在净水接收盘41上。另外，在将上述废液输送泵3与第一过滤器42a和第二过滤器42b连接起来的管道30中配设有电磁开闭阀43a和电磁开闭阀43b。当电磁开闭阀43a导通(ON)而形成通路时，利用废液输送泵3输送的加工废液被导入至第一过滤器42a中，当电磁开闭阀43b导通(ON)而形成通路时，利用废液输送泵3输送的加工废液被导入至第二过滤器42b中。导入到第一过滤器42a和第二过滤器42b中的加工废液通过第一过滤器42a和第二过滤器42b进行过滤，混入在加工废液中的切屑被捕捉，从而精制成净水并流出到净水接收盘41中。通过由挠性软管构成的管道44，该净水接收盘41与净水贮存箱5连接，从而流出到净水接收盘41的净水经过由挠性软管构成的管道44被送入净水贮存箱5中并进行贮存。

在上述管道30中配设有压力检测构件31，该压力检测构件31用来检测向废液过滤构件4的第一过滤器42a和第二过滤器42b输送的加工废液的压力，该压力检测构件31将检测信号传送至后述的控制构件。例如，在使上述电磁开闭阀43a导通(ON)、利用第一过滤器42a对加工废液进行过滤的状态下，如果来自压力检测构件31的检测信号达到了预定压力值以上，则后述的控制构件判断为：加工屑堆积在第一过滤器42a中、第一过滤器42a丧失了作为过滤器的功能，于是使电磁开闭阀43a切断(OFF)，并使电磁开闭阀43b导通(ON)。并且，后述的控制构件将已从第一过滤器42a切换到第二过滤器42b的情况显示在设置于后述操作板的显示构件上。根据这样显示在显示构件上的信息，操作者能够得知第一过滤器42a已到寿命，并更换过滤器。此外，在使上述电磁开闭阀43b导通(ON)、利用第二过滤器42b对加工废液进行过滤的状态下，如果来自压力检测构件31的检测信号达到了预定压力值以上，则后述的控制构件判断为：加工屑堆积在第二过滤器42b中、第二过滤器42b丧失了作为过滤器的功能，于是使电磁开闭阀43b切断(OFF)，并使电磁开闭阀43a导通(ON)。并且，后述的控制构件将已从第二过滤器42b切换到第一过滤器42a的情况显示在设置于后述操作板的显示构件上。

从上述废液过滤构件4经过由挠性软管构成的管道44输送、并贮存在净水贮存箱5中的净水通过净水输送泵50被输送，并经过由挠性软管构成的管道51送入到纯水生成构件6中。图示的实施方式中的纯水生成构件6包括：支撑台61；直立设置在该支撑台61上的隔离板611；配置在支撑台61上的隔离板611的后侧的紫外线照射构件62；配置在支撑台61上的隔离板611的前侧的、具有离子交换树脂的第一离子交换构件63a和第二离子交换构件63b；以及配置在支撑台61上的隔离板611的后侧的精密过滤器64。该第一离子交换构件63a和第二离子交换构件63b以及精密过滤器64以能够装卸的方式配置在支撑台61上。利用上述净水输送泵50输送、并经过由挠性软管构成的管道51输送的净水被导入至紫外线照射构件62中，并在此处通过照射紫外线(UV)来进行杀菌。在紫外线照射构件62中进行了杀菌处理的净水经管道65被导入至第一离子交换构件63a或第二离子交换构件63b中。另外，在管道65中配设有电磁开闭阀66a和电磁开闭阀66b。当电磁开闭阀66a导通(ON)而形成通路时，进行了杀菌处理的净水被导入至第一离子交换构件63a中，当电磁开闭阀66b导通(ON)而形成通路时，进行了杀菌处理的净水被导入至第二离子交换构件63b中。导入到第一离子交换构件63a或第二离子交换构件63b中的净水进行离子交换而精制成纯水。在这样对净水进行离子交换而精制成的纯水中，有时混入有构成第一离子交换构件63a和第二离子交换构件63b的离子交换树脂的树脂屑等细微的物质。因此，在图示的实施方式中，将如上所述对净水利用第一离子交换构件63a和第二离子交换构件63b进行离子交换而精制成的纯水，经管道67导入至精密过滤器64中，通过该精密过滤器64来捕捉混入在纯水中的离子交换树脂的树脂屑等细微的物质。

另外，在上述管道67中配设有压力检测构件68，该压力检测构件68用来检测从第一离子交换构件63a和第二离子交换构件63b向精密过滤器64输送的纯水的压力，该压力检测构件68将检测信号传送至后述的控制构件。例如，如果来自压力检测构件68的检测信号达到了预定压力值以上，则后述的控制构件判断为：树脂屑等细微的物质堆积在精密过滤器64中、精密过滤器64丧失了作为过滤器的功能，并在设置于后述的操作板的显示构件上进行显示。根据这样显示在显示构件上的信息，操作者能够得知精密过滤器64已到寿命，并更换过滤器。

此外，在上述管道67中配设有电阻率计69，该电阻率计69用来检测从第一离子交换构件63a或第二离子交换构件63b向精密过滤器64输送的纯水的电阻率，该电阻率计69将检测信号传送至后述的控制构件。关于后述的控制构件，在使上述电磁开闭阀66a导通(ON)、将净水利用第一离子交换构件63a精制成纯水的状态下，如果来自电阻率计69的检测信号达到了预定值(例如10MΩ·cm)以下，则后述的控制构件判断为：第一离子交换构件63a的纯水精制能力下降了，于是使电磁开闭阀66a切断(OFF)，并使电磁开闭阀66b导通(ON)。并且，后述的控制构件将已从第一离子交换构件63a切换到第二离子交换构件63b的情况显示在设置于后述操作板的显示构件上。根据这样显示在显示构件上的信息，操作者能够得知第一离子交换构件63a已到寿命，并更换第一离子交换构件63a的离子交换树脂。此外，在使上述电磁开闭阀66b导通(ON)、将净水利用第二离子交换构件63b精制成纯水的状态下，如果来自电阻率计69的检测信号达到了预定值(例如10MΩ·cm)以下，则后述的控制构件判断为：第二离子交换构件63b的纯水精制能力下降了，于是使电磁开闭阀66b切断(OFF)，并使电磁开闭阀66a导通(ON)。并且，后述的控制构件将已从第二离子交换构件63b切换到第一离子交换构件63a的情况显示在设置于后述操作板的显示构件上。

利用上述纯水生成构件6精制而成的纯水经过由挠性软管构成的管道60被输送至纯水温度调整构件7中。输送到纯水温度调整构件7中的纯水在此处被调整至预定温度(例如23℃)，并经管道70循环至安装在未图示的切削装置等加工装置上的加工液供给构件。

上述的废液箱2、废液过滤构件4、纯水生成构件6、纯水温度调整构件7和各管道等配置在图2和图3所示的装置壳体10内。图2示出了装置壳体10的立体图，图3透视构成装置壳体10的后述各壁地示出了在装置壳体10内配置有上述废液箱2、废液过滤构件4、纯水生成构件6、纯水温度调整构件7和各管道等的状态。图示的实施方式中的装置壳体10具有：形成长方体状的收纳室的框体110；安装在该框体110上的底壁121、上壁122、左侧壁123、右侧壁124和后壁125；以及开闭门扇126，其安装在框体110前侧，用来开闭形成在框体110前侧的前侧开口101。

在这样构成的装置壳体10的底壁121上配置有上述废液箱2、净水贮存箱5和纯水生成构件6。废液箱2配置在装置壳体10的底壁121的靠后壁125侧，净水贮存箱5与废液箱2相邻地配置在底壁121的中央部，纯水生成构件6与净水贮存箱5相邻地配置在底壁121的靠前侧开口101侧(靠开闭门扇126侧)。

在图示的实施方式中，上述纯水生成构件6配置成能够经装置壳体10的前侧开口101拉出。即，在构成装置壳体10的左侧壁123和右侧壁124的内表面下端部配置有一对导轨130、130，该一对导轨130、130彼此对置地配置，并且与底壁121的上表面平行地在前后方向上延伸。通过在该一对导轨130、130上载置纯水生成构件6的支撑台61，纯水生成构件6被支撑成能够沿着一对导轨130、130经装置壳体10的前侧开口101拉出。因此，通过如图4所示地将纯水生成构件6沿着一对导轨130、130经装置壳体10的前端开口101拉出，能够容易地更换第一离子交换构件63a、第二离子交换构件63b以及精密过滤器64，所述第一离子交换构件63a、第二离子交换构件63b以及精密过滤器64配置在构成纯水生成构件6的支撑台61上。

在图示的实施方式的加工废液处理装置中，在装置壳体10内的上述纯水生成构件6和净水贮存箱5的上侧，以能够经装置壳体10的前侧开口101拉出的方式配置有上述废液过滤构件4。即，在构成装置壳体10的左侧壁123和右侧壁124的内表面中间部配设有一对导轨140、140，该一对导轨140、140彼此对置地配设，并且与上述底壁121的上表面平行(与一对导轨130、130平行)地在前后方向上延伸。通过在该一对导轨140、140上载置废液过滤构件4的净水接收盘41，废液过滤构件4被支撑成能够沿着一对导轨140、140经装置壳体10的前侧开口101拉出。另外，为了易于进行废液过滤构件4的拉出操作，在构成废液过滤构件4的净水接收盘41的前端设置有向下方凸出的把手411。因此，通过如图5所示地将废液过滤构件4沿着一对导轨140、140经装置壳体10的前侧开口101拉出，能够容易地更换第一过滤器42a和第二过滤器42b，所述第一过滤器42a和第二过滤器42b以能够装卸的方式配置在构成废液过滤构件4的净水接收盘41上。由于这样将废液过滤构件4配置成能够拉出，所以利用由挠性软管构成的管道44将废液过滤构件4的净水接收盘41和上述净水贮存箱5连接起来。

如上所述地通过由挠性软管构成的管道44将废液过滤构件4的净水接收盘41和上述净水贮存箱5连接起来，与此相关联，在装置壳体10中的废液过滤构件4的后壁125侧，配置有支撑由挠性软管构成的管道44的软管支撑板150。该软管支撑板150构成为这样的形状：以朝向后壁125侧升高的方式倾斜、并且以朝向右侧壁124侧升高的方式倾斜，从而防止了由挠性软管构成的管道44由于自重而向下方弯曲，将由挠性软管构成的管道44维持成净水接收盘41侧总是位于较高位置。因此，流出到净水接收盘41的净水能够依靠自重通过由挠性软管构成的管道44流入到净水贮存箱5中。

在图示的实施方式的加工废液处理装置中，在装置壳体10内的上述软管支撑板150的上侧配置上述纯水温度调整构件7。即，在构成装置壳体10的左侧壁123和右侧壁124上安装的未图示的支撑部件上，载置纯水温度调整构件7，并通过适当的固定构件进行固定。

图示的实施方式中的加工废液处理装置包括：控制上述各结构构件的动作的控制构件8、和将废液处理开始信息等处理信息输入到该控制构件8中的操作板9。在图示的实施方式中，该控制构件8和操作板9一体地构成。这样构成的控制构件8和操作板9配置在装置壳体10中的废液过滤构件4的上侧。即，在构成装置壳体10的左侧壁123和右侧壁124上安装的未图示的支撑部件上，载置上述控制构件8和操作板9，并通过适当的固定构件进行固定。此时，操作板9定位于装置壳体10的前侧(配置在开闭门扇126侧的一侧)。另外，在操作板9上配设有输入处理信息等的输入构件91、和显示控制构件8的处理信息的显示构件92等。

图示的实施方式中的加工废液处理装置如上所述地构成，当操作者从操作板9输入废液处理开始信息时，控制构件8控制上述各结构构件，如上所述地实施废液处理作业。另外，当执行上述的废液处理作业时，在如上所述地使废液过滤构件4的电磁开闭阀43a切断(OFF)、使电磁开闭阀43b导通(ON)的情况下、或者在使电磁开闭阀43b切断(OFF)、使电磁开闭阀43a导通(ON)的情况下，控制构件8将已从第一过滤器42a切换到第二过滤器42b、或者已从第二过滤器42b切换到第一过滤器42a的情况显示在操作板9的显示构件92上。根据这样显示在显示构件92上的信息，操作者得知第一过滤器42a或第二过滤器42b已达寿命，从而打开装置壳体10的开闭门扇126，将废液过滤构件4沿着一对导轨140、140经装置壳体10的前侧开口101拉出。此时，操作者把持设置在构成废液过滤构件4的净水接收盘41上的把手411进行拉出。然后，操作者按照显示在显示构件92上的信息更换第一过滤器42a或第二过滤器42b。

此外，当执行上述的废液处理作业时，如果来自上述压力检测构件68的检测信号达到了预定压力值以上，则控制构件8判断为精密过滤器64丧失了功能，并在操作板9的显示构件92上进行显示。根据这样显示在显示构件上的信息，操作者得知精密过滤器64已到寿命，从而打开装置壳体10的开闭门扇126，将纯水生成构件6沿着一对导轨130、130经装置壳体10的前侧开口101拉出。此时，操作者把持设置在隔离板611上的把手612进行拉出，所述隔离板611直立设置在构成纯水生成构件6的支撑台61上。然后，操作者按照显示在显示构件92上的信息更换精密过滤器64。

另外，当执行上述的废液处理作业时，在来自上述电阻率计69的检测信号达到了预定值(例如10MΩ·cm)以下、使纯水生成构件6的电磁开闭阀66a切断(OFF)、使电磁开闭阀66b导通(ON)的情况下，或者使电磁开闭阀66b切断(OFF)、使电磁开闭阀66a导通(ON)的情况下，控制构件8将已从第一离子交换构件63a切换到第二离子交换构件63b、或者已从第二离子交换构件63b切换到第一离子交换构件63a的情况显示在操作板9的显示构件92上。根据这样显示在显示构件92上的信息，操作者得知第一离子交换构件63a或第二离子交换构件63b已到寿命，从而打开装置壳体10的开闭门扇126，将纯水生成构件6沿着一对导轨130、130经装置壳体10的前侧开口101拉出。此时，操作者如上所述地把持设置在隔离板611上的把手612进行拉出，所述隔离板611直立设置在构成纯水生成构件6的支撑台61上。然后，操作者按照显示在显示构件92上的信息更换第一离子交换构件63a或第二离子交换构件63b的离子交换树脂。

图示的实施方式中的加工废液处理装置如上所述地构成，在上述装置壳体10的底壁121上配置有废液箱2、净水贮存箱5和纯水生成构件6，在纯水生成构件6的上侧配置有废液过滤构件4，在软管支撑板150的上侧(废液箱2的上方)配置有纯水温度调整构件7，在废液过滤构件4的上侧配置有控制构件8和操作板9，由此能够紧凑地构成装置整体而不会损害操作者的操作性，能够有效利用维护成本高的净化间。此外，由于纯水生成构件6配置在装置壳体10的前侧开口101侧，并且构成为能够经该前侧开口101拉出，所以能够容易地实施第一离子交换构件63a和第二离子交换构件63b以及精密过滤器64的更换。另外，由于废液过滤构件4也构成为能够经装置壳体10的前侧开口101拉出，所以能够容易地实施第一过滤器42a和第二过滤器42b的更换。

Claims (1)

1.一种加工废液处理装置，其包括：废液箱，其收纳加工废液，在加工装置的加工时所供给的加工液通过加工而生成了该加工废液；废液输送泵，其输送收纳于上述废液箱中的加工废液；废液过滤构件，其具有过滤器、和将该过滤器以能够装卸的方式支撑的净水接收盘，上述过滤器对利用上述废液输送泵输送的加工废液进行过滤以精制成净水；净水贮存箱，其贮存利用上述废液过滤构件精制而成的净水；净水输送泵，其输送贮存于上述净水贮存箱中的净水；纯水生成构件，其具有将利用上述净水输送泵输送的净水精制成纯水的离子交换构件、和将该离子交换构件以能够装卸的方式支撑的支撑台；纯水温度调整构件，其将利用上述纯水生成构件精制而成的纯水调整至预定的温度；控制构件，其对上述各结构构件进行控制；操作板，其具有向上述控制构件输入处理信息的输入构件、和显示上述控制构件的处理信息的显示构件；以及装置壳体，其收纳上述废液箱、废液输送泵、废液过滤构件、净水贮存箱、净水输送泵、纯水生成构件、纯水温度调整构件、控制构件和操作板，上述加工废液处理装置的特征在于，

上述装置壳体包括底壁、上壁、左侧壁、右侧壁、后壁以及开闭前侧开口的开闭门扇，

上述废液箱配置在上述底壁的靠上述后壁侧，上述净水贮存箱与上述废液箱相邻地配置在上述底壁的中央部，上述纯水生成构件与上述净水贮存箱相邻地配置在上述底壁的靠上述前侧开口侧，

废液过滤构件配置在上述纯水生成构件的上侧，

纯水温度调整构件配置在上述废液箱的上方，

上述控制构件和上述操作板配置在上述废液过滤构件的上侧，并且该操作板配置在上述装置壳体的前侧。

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