CN101493576B - 电润湿法显示器装置及其制造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 97
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 97
- 230000005660 hydrophilic surface Effects 0.000 claims abstract description 28
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 65
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 58
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 20
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 claims description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N dodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 7
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- 150000003841 chloride salts Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000000975 dye Substances 0.000 claims description 6
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 5
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 5
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 4
- 229910052454 barium strontium titanate Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 claims description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 claims description 4
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 239000004634 thermosetting polymer Substances 0.000 claims description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000002120 nanofilm Substances 0.000 claims description 3
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 claims description 3
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 claims description 3
- 235000002639 sodium chloride Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 claims description 3
- 229960002668 sodium chloride Drugs 0.000 claims description 3
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- BGHCVCJVXZWKCC-UHFFFAOYSA-N tetradecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC BGHCVCJVXZWKCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 238000010023 transfer printing Methods 0.000 claims 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 13
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 230000005661 hydrophobic surface Effects 0.000 description 4
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 229920001600 hydrophobic polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 3
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- RYTQKVZHGHLRCO-UHFFFAOYSA-N tetradecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC.CCCCCCCCCCCCCC RYTQKVZHGHLRCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000001364 upper extremity Anatomy 0.000 description 1
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- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
Abstract
本发明公开了提供一种电润湿法显示器装置及其制造方法。该电润湿法显示器装置包括第一基板与第二基板对向设置,其间夹置极性溶液层与非极性溶液层。第一透明电极层设置于该第一基板上。第二电极层设置于该第二基板上。介电层设置于该第二电极层上。具亲水性表面的挡墙结构直接设置于介电层上,该挡墙结构定义出多个区域,以及具有低表面能的材料层设置于该区域内的介电层上。
Description
技术领域
本发明涉及一种显示器装置,特别有关于一种电润湿法显示器装置及其制造方法。
背景技术
电润湿法显示器(Electrowetting Display)的原理是利用电润湿(Electrowetting)现象或电化毛细管(Electrocapillary)现象。当流体受到电场作用而改变流体的表面自由能(Free Surface Energy),使得流体的分布面积改变。
国际知识产权组织申请案公开第WO 2005/051091号披露一种电润湿法显示器结构。请参阅图1,传统电润湿法显示器包括第二基板3与第一基板4对向设置,图案化像素电极7设置于第二基板3上。介电层8,例如具有疏水性(hydrophobic)表面性材料层,设置于第二基板3与图案化像素电极7上。图案化的亲水性档墙结构(pixel wall)13设置于介电层8上,定义出各个像素区域。含黑色染料的不透明非极性液体5设置于档墙结构13间的像素区域,以及透明的极性液体6设置于第一基板4与第二基板3之间的间隙中。当操作电压关状态时,不透明非极性液体5均匀分布于像素中,此时像素的显示状态为暗态(dark state)。
当操作电压开状态时,亦即由电压源9产生电场于第一基板4与第二基板3之间,致使不透明非极性液体5受到电润湿作用力影响内聚,因而露出大部分的像素区域,此时像素的显示状态为亮态(bright state)。
传统电润湿法显示器装置的档墙结构13为亲水结构,其直接制作于疏水性且低表面能材料的介电层8上,其优点为可采全面涂布的方式形成低表面能材料,然而使得亲水的挡墙结构13不易直接制作在介电层8上,并且容易从介电层8脱落,导致显示器的失效。
美国专利早期公开No.2007/0188676披露一种电润湿法显示器,利用不透明非极性液体受电场电润湿作用内聚,以控制显示器像素的亮态与暗态。图2是显示另一传统的电润湿法显示器的剖面示意图。请参阅图2,传统电润湿法显示器装置包括背光模块20与电润湿法显示器50,做为光开关。电润湿法显示器50包括第二基板22,像素电极24设置于第二基板22上。介电层(具疏水性表面性质)26设置于像素电极24上。图案化的亲水性档墙结构28设置于介电层26上,定义出各个像素区域。含黑色染料的不透明非极性液体45以及透明的极性液体40设置于各个像素区域中。第一基板30其上具有图案化的共同电极32,相对第二基板22设置于档墙结构28与透明的极性液体40上。
再者,国际知识产权组织申请案公开第WO 2006/017129号披露一种半反穿式电润湿法显示器结构,在半反穿电润湿法显示器的结构中,将第二基板与附有彩色滤光片的第一基板进行组立封装,并在内部填入极性溶液与黑色非极性溶液。半反穿形式的彩色电润湿法显示器具有多个像素,且于第二基板上,个别像素内制作穿透区与反射区。
图3是显示传统半反穿式电润湿法显示器的剖面示意图。请参阅图3,传统半反穿式彩色电润湿法显示器包括第二基板112设置于背光模块111上。图案化反射板113,对应像素区域的反射区,设置于第二基板112上。第二透明电极层114全面性设置于第二基板112上,并覆盖反射板113。介电层(具疏水性表面性质)115设置于第二透明电极层114上。图案化挡墙结构116设置于介电层115上,定义出多个像素区域。
第一基板118相对于第二基板112对向设置。第一透明电极层117设置于第一基板118上。再者,在各像素区域内,第二基板112和第一基板118之间的间隙中,夹置透明极性溶液层121与不透明非极性溶液层120a-120c。电源供应器施予一偏压于第一透明电极层114与第二透明电极层117之间,通过偏压造成的电润湿作用力,控制各像素的反射区域与穿透区域显像。当施加电压大于阈值电压(threshold voltage)时,不透明非极性液体开始呈现内聚现象而逐渐露出反射区域与穿透区域。
传统电湿润显示器的主要第二基板结构包括低表面能材料层,以及图案化的亲水结构制作于低表面能材料层。然而,由于低表面能材料层的表面具有抗沾粘(anti-adhesion)的性质,致使难以进行后续大面积材料涂布与后续工艺。更有甚者,即使勉强制作亲水结构于其上,也会因低表面能材料层的表面特性,而导致亲水结构从低表面能材料层脱落。因此,业界企需一种克服亲水结构制作于介电层上的制造方法,以及改进其结构稳定性的电湿润显示器结构。
发明内容
本发明实施例提供一种电润湿法显示器的结构与制作方法,将低表面能材料层设计成图案化形状,并将亲水性挡墙直接制作在低表面能材料层间且与底层介电层直接接触,以简化亲水性挡墙在工艺与提升结构上的可靠度。
本发明提供一种电润湿法显示器装置,包括:第一基板与第二基板对向设置,其间夹置极性溶液层与非极性溶液层;第一透明电极层设置于该第一基板上;第二电极层设置于该第二基板上;介电层设置于该第二电极层上;以及具亲水性表面的挡墙结构直接设置于介电层上,该挡墙结构定义出多个区域;以及具有低表面能的材料层设置于该区域内的介电层上。
本发明另提供一种电润湿法显示器装置,包括:第一基板与第二基板对向设置,其间夹置透明极性溶液层与不透明非极性溶液层;第一透明电极层设置于该第一基板上;第二电极层设置于该第二基板上;介电层设置于该第二电极层上;以及具亲水性表面的挡墙结构直接设置于介电层上,该挡墙结构定义出电润湿法显示器的像素区域;以及具有低表面能的材料层设置于各像素区域内的介电层上。
本发明另提供一种电润湿法显示器装置的制造方法,包括:提供第一基板,并形成第一透明电极层于其上;提供第二基板,并形成第二电极层于其上;形成介电层于该第二电极层上;形成图案化的具有低表面能的材料层于该介电层,并露出一部分的该介电层表面;形成具亲水性表面的挡墙结构于该介电层上,该挡墙结构定义出多个区域,使其露出该具有低表面能的材料层;以及对向组合该第一基板与该第二基板,使其间夹置极性溶液层与非极性溶液层。
本发明另提供一种电润湿法显示器装置的制造方法,包括:提供第一基板,并形成第一透明电极层于其上;提供第二基板,并形成第二电极层于其上;形成介电层于该第二电极层上;形成具亲水性表面的挡墙结构于该介电层上,其中该挡墙结构定义出多个像素区域;形成具有低表面能的材料层于该像素区域内的该介电层上;以及对向组合该第一基板与该第二基板,使其间夹置极性溶液层与非极性溶液层。
为使本发明能更明显易懂,下文特举实施例,并配合附图,作详细说明如下。
附图说明
图1是显示一传统电润湿法显示器的剖面示意图;
图2是显示另一传统的电润湿法显示器的剖面示意图;
图3是显示传统半反穿式电润湿法显示器的剖面示意图;
图4A与4B分别显示比较传统与本发明实施例的电润湿法显示器的第二基板结构的剖面示意图;
图5为根据本发明的一实施例的电润湿法显示器制造方法的流程图;
图6A-6E是显示根据本发明的一实施例制作电润湿法显示器的各步骤的剖面示意图;
图7A-7D是显示根据本发明实施例的各种亲水性表面的挡墙结构的示意图;
图8为根据本发明另一实施例的电润湿法显示器制造方法的流程图;
图9A-9E是显示根据本发明另一实施例制作电润湿法显示器的各步骤的剖面示意图;以及
图10是显示根据本发明另一实施例的电润湿法显示器的剖面示意图。
附图标记说明
已知技术部分(图1~3)
3 第二基板 4 第一基板
5 不透明非极性液体 6 透明的极性液体
7 像素电极 8 介电层
9 电压源 13 档墙结构(pixel wall)
20 背光模块 22 第二基板
24 像素电极 26 介电层
28 亲水性档墙结构 30 第一基板
32 共同电极 40 透明的极性液体
45 不透明非极性液体 50 电润湿法显示器
111背光模块 112第二基板
113反射板 114第二透明电极层
115 介电层 117 第一透明电极层
118 第一基板 120a-120c 非极性溶液层
121 极性溶液层 126 穿透区域
本发明部分(图4A~10)
210第二基板结构 220A、220B具低表面能的材料层
225A、225B介面 230A、230B亲水性的挡墙结构
S310-S340制造流程步骤 410第二基板
420第二电极 430介电层
440滚轮 442凸版
445具有低表面能的材料层
445’喷涂含氟类的疏水性高分子材料
450、450A-450D、450a亲水性表面的挡墙结构
460第一基板 470第一透明电极层
480非极性溶液层 485极性溶液层 500喷墨装置
具体实施方式
以下以各实施例并伴随着图式说明的范例,做为本发明的参考依据。在图式或说明书描述中,相似或相同的部分皆使用相同的图号。且在图中,实施例的形状或是厚度可扩大,并以简化或是方便标示。再者,图中各元件的部分将以分别描述说明的,值得注意的是,图中未绘示或描述的元件,为所属技术领域中技术人员所知的形式,另外,特定的实施例仅为揭示本发明使用的特定方式,其并非用以限定本发明。
图4A与4B分别显示比较传统与本发明实施例的电润湿法显示器的第二基板结构的剖面示意图。请参阅图4A,传统电润湿法显示器的第二基板结构包括第二基板结构210,其包括介电层(未图示)。低表面能材料层(或具疏水性表面性质)220A全面性地形成于第二基板结构210上。接着,再将具亲水性表面的挡墙结构230A形成于低表面能材料层220A。然而,如先前所述,由于低表面能材料层220A的表面具有抗沾粘的性质,使得低表面能材料层220A与挡墙结构230A间的介面225A因极性相异而无法形成良好的粘着性,并造成难以进行大面积化材料涂布与后续工艺。并且即使勉强形成亲水结构,也有可能因为低表面能材料层220A的低表面能特性,而导致亲水结构从介电层上脱落。
相对地,请参阅图4B,本发明实施例的电润湿法显示器的第二基板结构包括第二基板结构210。第二基板结构210包括其他主动元件、被动元件、像素电极以及介电层(未图示)覆盖于其上。图案化的低表面能材料层(或具疏水性表面性质)220B形成于第二基板结构210上,露出预定间隔的第二基板结构210表面。接着,再将具亲水性表面的挡墙结构230B形成于低表面能材料层220B之间,直接与第二基板结构210的表面接触。如此,可避免直接形成挡墙结构230B于低表面能材料层220B上,且第二基板结构210与挡墙结构230B间的介面225B因极性相容而形成良好的粘着性,因而改善电润湿法显示器的可靠度。
图5为根据本发明的一实施例的电润湿法显示器制造方法的流程图。请参阅图5,电润湿法显示器装置的制造方法包括提供第一基板(S310),并形成第一透明电极层于其上(S312)。另一方面,提供第二基板(S320),并形成第二电极层于其上(S322)。第二电极层可为透明电极,或者为具反射性质的反射电极。接着,形成介电层于第二电极层上(S324),再形成图案化的具有低表面能的材料层于该介电层上(S326),对应各像素区域,其间的间距露出一部分的该介电层表面。接着,再形成具亲水性表面的挡墙结构于该介电层上(S328),该挡墙结构位于图案化具低表面能材料层的间距,且直接与介电层接触,由此定义出多个区域,使其露出该具有低表面能的材料层。接着,对向组合该第一基板与该第二基板,使其间夹置极性溶液层与非极性溶液层(S330)。最后,进形其他后续步骤,例如组装背光模块及彩色滤光膜,完成电润湿法显示器装置(S340)。
图6A-6E是显示根据本发明的一实施例制作电润湿法显示器的各步骤的剖面示意图。请参阅图6A,提供第二基板410,其材料包括玻璃、高分子材料或金属,并形成第二电极420于第二基板410上。接着,形成介电层430于第二电极420上。
第二电极层420为图案化结构,包括长方形、正方形、三角形、圆形、梯形或椭圆形,并且其材料包括金属或氧化物。再者,第二电极层420的厚度范围大约介于0.01-1微米(μm)。
介电层430的材料包括二氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiNx)、氧化钽(Ta2O3)、锆钛酸铅(PZT)、钛酸锶钡(BST)、钛酸钡(BTO)或聚偏二氟乙烯(polyvinylidene difluoride,PVDF)。
接着,施以凸版印刷(reliefprinting)步骤,通过滚轮440及凸版442将图案化的具有低表面能的材料层445转印于介电层430上,对应各像素区域,其间的间距露出一部分的介电层430表面,如图6B所示。该具有低表面能的材料层445的材料包括含氟或含氯类的疏水性的高分子材料,或含氟或含氯类的自聚性分子膜,其厚度范围大约介于0.1纳米(nm)至1微米(μm),并且其表面张力值小于25dyne/cm,优选为小于20dyne/cm。
请参阅图6C,全面形成厚膜材料层450,例如正光致抗蚀剂、负光致抗蚀剂、光固性树脂或热固性树脂,于介电层430上,并覆盖具低表面能的材料层445。接着,施以光刻及蚀刻步骤将其图案化,以形成亲水性表面的挡墙结构450。该挡墙结构450位于图案化具低表面能材料层的间距处,且直接与介电层430接触,由此定义出多个区域,使其露出具有低表面能的材料层445,如图6D所示。
应注意的是,挡墙结构450可为黑色矩阵挡墙结构,能吸收可见光波长范围的光线。再者,挡墙结构的厚度范围大约介于5-50微米(μm)。
再请参阅图6D,另一方面,提供第一基板460,并形成第一透明电极层470于其上。第一基板460的材料包括玻璃、高分子材料或金属。第一透明电极层470为图案化结构,包括长方形、正方形、三角形、圆形、梯形或椭圆形,或者该第一透明电极层470亦可为全面地覆盖于该第一基板的电极结构。再者,第一透明电极层470的材料包括金属或氧化物,且其厚度范围大约介于0.01-1微米(μm)。
接着,对向组合第二基板410与第一基板460,使其间夹置非极性溶液层480与极性溶液层485,如图6E所示。非极性溶液层480的材料包括硅油(silicon oil)、癸烷(decane)、十二烷(dodecane)、十四烷(tetradecane)或上述材料的任意混合,并且,其厚度范围大抵为1~10微米(μm)。再者,非极性溶液层480另包括有色染料(dye)或是有色颜料(pigment)。另一方面,极性溶液层的材料包括水、氯化钠水溶液或氯化钾水溶液,且其厚度范围介于10-100微米(μm)。
图7A-7D是显示根据本发明实施例的各种亲水性表面的挡墙结构的示意图,但此为举例而非只限于此挡墙结构。请参阅图7A,具亲水性表面的挡墙结构450A可为长条形山脊状,宽度均一且等于图案化的具有低表面能的材料层445间距的宽度。请参阅图7B,根据本发明另一实施例,具亲水性表面的挡墙结构450B直接与介电层430接触,另具有两侧延伸部覆盖部分的低表面能的材料层445。具亲水性表面的挡墙结构450B的顶部宽度等于或大于其底部宽度。或者,请参阅图7C,具亲水性表面的挡墙结构450C直接与介电层430接触,且其剖面为梯形,亦即具亲水性表面的挡墙结构450C的顶部宽度小于其底部宽度。请参阅图7D,具亲水性表面的挡墙结构450D为格子状。或者,低表面能的材料层445的形状为长条状,而亲水性表面的挡墙结构450D为格子状,使得亲水性表面的挡墙结构450D沿着长条状低表面能的材料层445的部分直接与介电层430接触,而挡墙结构450D沿另一方向的部分与低表面能的材料层445接触。
图8为根据本发明另一实施例的电润湿法显示器制造方法的流程图。本实施例的电润湿法显示器的制造方法步骤,基本与先前所述对应的图5实施例步骤应相同,为本发明所属技术领域中技术人员所理解,为求简明之故,在此省略相关细节的披露。然不同之处在于,先形成具亲水性表面的挡墙结构于介电层上(S328),定义出多个像素区域,使其露出介电层。接着,再形成图案化的具有低表面能的材料层于像素区域内的介电层上(S326)。例如以喷墨法喷涂含氟类的疏水性高分子材料于像素区域内的介电层上。
图9A-9E是显示根据本发明另一实施例制作电润湿法显示器的各步骤的剖面示意图。请参阅图9A,提供第二基板410,其材料包括玻璃、高分子材料或金属,并形成第二电极420于第二基板410上。接着,形成介电层430于第二电极420上。
请参阅图9B,全面形成厚膜材料层450,例如正光致抗蚀剂、负光致抗蚀剂、光固性树脂或热固性树脂,于介电层430上。接着,施以光刻及蚀刻步骤将其图案化,以形成亲水性表面的挡墙结构450。
接着,请参阅图9C,施以喷墨印刷(inkjet printing)步骤,通过喷墨装置500,喷涂含氟类的疏水性高分子材料445’于各像素区域内的介电层430,以形成图案化的具有低表面能的材料层445。
请参阅图9D,另一方面,提供第一基板460,并形成第一透明电极层470于其上。接着,对向组合第二基板410与第一基板460,使其间夹置非极性溶液层480与极性溶液层485,如图9E所示。最后,进行其他后续步骤,例如组装背光模块及彩色滤光膜,完成电润湿法显示器装置。
应注意的是,虽然在本发明上述各实施例中,以亲水性表面的挡墙结构450的上缘直接接触第一基板460为例说明,然非用以限定本发明的电润湿法显示器。在其他实施例中,亲水性表面的挡墙结构450a的高度可低于第一基板、第二基板之间的间隙高度(cell gap),而使挡墙结构450a不与第一基板460接触,如图10所示。例如,挡墙结构450a的高度约10微米(μm),第一基板、第二基板之间的间隙高度(cell gap)约为50微米(μm)。
本发明虽以实施例披露如上,然其并非用以限定本发明的范围,任何本发明所属技术领域中技术人员在不脱离本发明的精神和范围内,当可做些许的更动与润饰,因此本发明的保护范围当视后附的权利要求所界定的为准。
Claims (53)
1.一种电润湿法显示器装置,包括:
第一基板与第二基板对向设置,其间夹置极性溶液层与非极性溶液层;
第一透明电极层设置于该第一基板上;
第二电极层设置于该第二基板上;
介电层设置于该第二电极层上;
具亲水性表面的挡墙结构直接设置于介电层上,该挡墙结构定义出多个区域;以及
具有低表面能的材料层设置于该区域内的介电层上。
2.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该挡墙结构具有两侧延伸部,与该具有低表面能的材料层接触。
3.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该挡墙结构为矩阵连续式挡墙结构,其一部分直接设置于介电层上,其另一部分设置于该介电层上。
4.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该挡墙结构的材料包括正光致抗蚀剂、负光致抗蚀剂、光固性树脂或热固性树脂。
5.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该挡墙结构为黑色矩阵挡墙结构,能吸收可见光波长范围的光线。
6.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该挡墙结构的厚度范围介于5-50微米。
7.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该第一基板的材料包括玻璃、高分子材料或金属。
8.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该第二基板的材料包括玻璃、高分子材料或金属。
9.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该第一透明电极层为图案化结构,包括长方形、三角形、梯形或椭圆形。
10.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该第一透明电极层为图案化结构,包括正方形或圆形。
11.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该第一透明电极层为全面地覆盖于该第一基板上的电极结构。
12.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该第一透明电极层的材料包括金属或氧化物。
13.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该第一透明电极层的厚度范围介于0.01-1微米。
14.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该第二电极层为图案化结构,包括长方形、三角形、梯形或椭圆形。
15.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该第二电极层为图案化结构,包括正方形或圆形。16.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该第二电极层的材料包括金属或氧化物。
17.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该第二电极层的厚度范围介于0.01-1微米。
18.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该具有低表面能的材料层的材料包括含氟或含氯类的疏水性的高分子材料,或含氟或含氯类的自聚性分子膜。
19.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该具有低表面能的材料层厚度范围介于0.1纳米至1微米,其表面张力值小于25dyne/cm。
20.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该极性溶液层的材料包括水、氯化钠水溶液或氯化钾水溶液。
21.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该极性溶液层的厚度范围介于10-100微米。
22.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该非极性溶液层的材料包括硅油、癸烷、十二烷、十四烷或上述材料的任意混合。
23.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该非极性溶液层的厚度范围介于1~10微米。
24.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该非极性溶液层包括有色染料或是有色颜料。
25.如权利要求1所述的电润湿法显示器装置,其中该介电层的材料包括二氧化硅、氮化硅、氧化钽、锆钛酸铅、钛酸锶钡、钛酸钡或聚偏二氟乙烯。
26.一种电润湿法显示器装置,包括:
第一基板与第二基板对向设置,其间夹置透明极性溶液层与不透明非极性溶液层;
第一透明电极层设置于该第一基板上;
第二电极层设置于该第二基板上;
介电层设置于该第二电极层上;以及
具亲水性表面的挡墙结构直接设置于介电层上,该挡墙结构定义出电润湿法显示器的像素区域;以及
具有低表面能的材料层设置于各像素区域内的介电层上。
27.一种电润湿法显示器装置的制造方法,包括:
提供第一基板,并形成第一透明电极层于其上;
提供第二基板,并形成第二电极层于其上;
形成介电层于该第二电极层上;
形成图案化的具有低表面能的材料层于该介电层,并露出一部分的该介电层表面;
形成具亲水性表面的挡墙结构于该介电层上,该挡墙结构定义出多个区域,使其露出该具有低表面能的材料层;以及
对向组合该第一基板与该第二基板,使其间夹置极性溶液层与非极性溶液层。
28.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该挡墙结构具有两侧延伸部,使其与该具有低表面能的材料层接触。
29.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该挡墙结构为矩阵连续式挡墙结构,其一部分直接设置于介电层上,其另一部分设置于该介电层上。
30.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该挡墙结构的材料包括正光致抗蚀剂、负光致抗蚀剂、光固性树脂或热固性树脂。
31.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该挡墙结构为黑色矩阵挡墙结构,能吸收可见光波长范围的光线。
32.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该挡墙结构的厚度范围介于5-50微米。
33.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该挡墙结构的形成方法包括光刻工艺、模具成型、网印成型技术、干膜转印法或激光热转印法。
34.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该第一基板的材料包括玻璃、高分子材料或金属。
35.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该第二基板的材料包括玻璃、高分子材料或金属。
36.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该第一透明电极层为图案化结构,包括长方形、三角形、梯形或椭圆形。
37.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该第一透明电极层为图案化结构,包括正方形或圆形。
38.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该第一透明电极层为全面地覆盖于该第一基板上的电极结构。
39.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该第一透明电极层的材料包括金属或氧化物。
40.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该第一透明电极层的厚度范围介于0.01-1微米。
41.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该第二电极层为图案化结构,包括长方形、三角形、梯形或椭圆形。
42.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该第二电极层为图案化结构,包括正方形或圆形。
43.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该第二电极层的材料包括金属或氧化物。
44.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该第二电极层的厚度范围介于0.01-1微米。
45.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该具有低表面能的材料层的形成方法包括凸版印刷、光刻工艺、网印成型法、喷墨法、干膜转印法或激光热转印法。
46.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该具有低表面能的材料层的材料包括含氟或含氯类的疏水性的高分子材料,或含氟或含氯类的自聚性分子膜。
47.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该具有低表面能的材料层厚度范围介于0.1纳米至1微米,其表面张力值小于25dyne/cm。
48.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该极性溶液层的材料包括水、氯化钠水溶液或氯化钾水溶液。
49.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该极性溶液层的厚度范围介于10-100微米。
50.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该非极性溶液层的材料包括硅油、癸烷、十二烷、十四烷或上述材料的任意混合。
51.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该非极性溶液层的厚度范围介于1~10微米。
52.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该非极性溶液层包括有色染料或是有色颜料。
53.如权利要求27所述的电润湿法显示器装置的制造方法,其中该介电层的材料包括二氧化硅、氮化硅、氧化钽、锆钛酸铅、钛酸锶钡、钛酸钡或聚偏二氟乙烯。
54.一种电润湿法显示器装置的制造方法,包括:
提供第一基板,并形成第一透明电极层于其上;
提供第二基板,并形成第二电极层于其上;
形成介电层于该第二电极层上;
形成具亲水性表面的挡墙结构于该介电层上,其中该挡墙结构定义出多个像素区域;
形成具有低表面能的材料层于该像素区域内的该介电层上;以及
对向组合该第一基板与该第二基板,使其间夹置极性溶液层与非极性溶液层。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2008100085517A CN101493576B (zh) | 2008-01-23 | 2008-01-23 | 电润湿法显示器装置及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2008100085517A CN101493576B (zh) | 2008-01-23 | 2008-01-23 | 电润湿法显示器装置及其制造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101493576A CN101493576A (zh) | 2009-07-29 |
CN101493576B true CN101493576B (zh) | 2010-12-15 |
Family
ID=40924244
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2008100085517A Expired - Fee Related CN101493576B (zh) | 2008-01-23 | 2008-01-23 | 电润湿法显示器装置及其制造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101493576B (zh) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0919652D0 (en) * | 2009-11-10 | 2009-12-23 | Liquavista Bv | Method for making electrowetting display device |
TWI420148B (zh) * | 2009-12-25 | 2013-12-21 | Hannstar Display Corp | An electric wetting type display device, a driving method and a manufacturing method thereof |
US8599465B2 (en) | 2010-09-23 | 2013-12-03 | Incha Hsieh | Method for making an electrowetting device |
CN102419474B (zh) * | 2010-09-27 | 2013-12-04 | 薛英家 | 具有恐水挡墙的电湿润元件的制作方法 |
TWI442087B (zh) * | 2010-10-27 | 2014-06-21 | Ind Tech Res Inst | 電濕潤顯示裝置及其非極性彩色溶液 |
JP2012181513A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-20 | Daikin Ind Ltd | エレクトロウエッティング用疎水性誘電体フィルム |
CN102213835B (zh) * | 2011-05-05 | 2013-10-16 | 东南大学 | 主动开关式三维显示镜片及主动开关式三维显示眼镜 |
CN102253438A (zh) * | 2011-08-02 | 2011-11-23 | 昆山龙腾光电有限公司 | 电润湿透镜的形成方法及电润湿透镜 |
TW201314261A (zh) * | 2011-09-29 | 2013-04-01 | Ind Tech Res Inst | 電濕潤顯示器之製法 |
DE102012101542B4 (de) * | 2012-02-27 | 2014-06-05 | Advanced Display Technology Ag | Verfahren zum Herstellen eines Anzeigeelementes für ein Elektrowetting-Display |
KR101941712B1 (ko) | 2012-06-05 | 2019-01-24 | 리쿠아비스타 비.브이. | 전기습윤 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
TWI472799B (zh) * | 2012-09-21 | 2015-02-11 | Au Optronics Corp | 顯示面板 |
TWI448729B (zh) * | 2012-11-14 | 2014-08-11 | Ind Tech Res Inst | 電濕潤顯示元件及其製造方法 |
CN104090360B (zh) * | 2014-06-20 | 2017-04-26 | 华南师范大学 | 一种制备电润湿显示支撑板的方法 |
CN104678547A (zh) * | 2015-02-02 | 2015-06-03 | 华南师范大学 | 电润湿基板及其制造方法、电润湿显示器件 |
CN104932096B (zh) * | 2015-05-20 | 2017-08-25 | 华南师范大学 | 一种电润湿显示器的油墨填充设备及方法 |
CN104932097B (zh) * | 2015-06-10 | 2017-08-18 | 华南师范大学 | 一种电润湿显示器及其制备方法 |
US10866404B2 (en) * | 2016-03-24 | 2020-12-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electrowetting device and method of manufacturing electrowetting device |
CN106707500B (zh) | 2017-02-16 | 2019-05-31 | 华南师范大学 | 一种制备电润湿显示支撑板的方法 |
CN109270680A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-01-25 | Gr8科技有限公司 | 一种电润湿显示组件的制造方法 |
CN109814248B (zh) * | 2019-04-01 | 2021-01-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示装置及其控制方法 |
CN111258054A (zh) * | 2020-03-30 | 2020-06-09 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种量子点显示装置及其制造方法 |
CN111654206B (zh) * | 2020-05-20 | 2023-03-14 | 华南师范大学 | 逆电润湿机械能收集器件及机械能收集装置 |
CN115132902B (zh) * | 2022-06-28 | 2025-04-08 | 湖北长江新型显示产业创新中心有限公司 | 一种显示面板、显示面板的制备方法及显示装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1627467A (zh) * | 2003-12-10 | 2005-06-15 | Lg电子有限公司 | 等离子显示板的光闸及其驱动方法 |
-
2008
- 2008-01-23 CN CN2008100085517A patent/CN101493576B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1627467A (zh) * | 2003-12-10 | 2005-06-15 | Lg电子有限公司 | 等离子显示板的光闸及其驱动方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JP特开2006-276801A 2006.10.12 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101493576A (zh) | 2009-07-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20101215 Termination date: 20220123 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |