CN101439926B - 划线装置和方法以及利用该装置和方法的基板切断装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种划线装置和方法以及利用该装置和方法的基板切断装置。所述划线装置具有相互并排配置的划线单元，可以在母基板上同时形成相互平行的多条划线。此外还具有调节划线单元之间的间隔的间隔调节单元，可以改变同时形成的相互平行的多条划线之间的间隔。

Description

划线装置和方法以及利用该装置和方法的基板切断装置

技术领域

本发明涉及在制造平板显示器面板中使用的装置和方法，特别涉及对形成有多个单位基板的母基板进行划线的划线装置和方法以及利用该划线装置和方法来切断母基板的装置。 

背景技术

最近，信息处理设备正在向功能多样化和信息处理速度高速化快速发展。这种信息处理装置具有显示运转信息的显示器。以往显示面器主要使用阴极射线管监视器，但最近使用轻而且占用空间小的薄膜晶体管液晶显示器或有机发光二极管显示器的平板显示器急剧增加。 

一般在平板显示器等中使用的面板通常利用脆性基板制成，面板可大体分为由一块构成的单板基板和把两块基板粘接起来的粘接基板。 

由于粘接基板要加工成从手机的液晶显示屏用的小型面板到电视机和显示器等用的大型面板等多种尺寸来使用，所以要从大型的母基板切断成规定尺寸的单位基板，以作为各种面板来使用。 

切断母基板的方法主要采用利用插有微细金刚石的划线轮(ScribeWheel)进行切断的方法。使用划线轮切断母基板的方法包括如下工序：划线工序，在使划线轮接触母基板上的预定切断线后，沿预定切断线形成规定深度的划线(Scribe Line)；以及切断工序，对母基板施加物理的冲击，通过使裂纹沿划线传播，把母基板切断成单位基板。 

发明内容

本发明的目的是提供一种通过进行一次划线工序可以同时形成多条划线的划线装置和方法以及利用该划线装置和方法的基板切断装置。 

本发明的目的不限于此，本领域技术人员从以下的说明中应该可以充分理解本发明没有提及的其他目的。

本发明提供一种划线装置，进行把形成有多个单位基板的母基板分离成各个单位基板的划线工序。所述划线装置包括：支撑构件，用于放置所述母基板，能够在第一方向上直线移动；划线单元，相互并排配置，能够在所述母基板上同时形成相互平行的多条划线；移动单元，使所述划线单元在与所述第一方向垂直的第二方向上移动；以及间隔调节单元，调节所述划线单元之间的间隔，能够改变同时形成的所述相互平行的多条划线之间的间隔。 

作为一个例子，所述划线单元在所述支撑构件移动的路径上，沿所述支撑构件直线移动的所述第一方向并排配置。 

所述划线装置的各所述移动单元包括：驱动构件，使所述划线单元沿所述第二方向直线移动；导向构件，配置在沿所述第二方向的直线上，引导所述划线单元直线移动；以及支撑台，分别配置在所述导向构件的两端，支撑所述导向构件。 

所述间隔调节单元可以包括：引导推进器，沿所述第一方向配置，并与所述移动单元的支撑台连接；支撑台，支撑所述引导推进器；以及驱动器，使所述引导推进器转动。 

所述划线单元有两个，使其中一个所述划线单元即第一划线单元移动的所述移动单元的支撑台固定在底座上，使其中另一个所述划线单元即第二划线单元移动的所述移动单元的支撑台沿所述第一方向能够移动地设置在所述底座上，所述间隔调节单元具有驱动器，将使所述第二划线单元移动的所述移动单元的支撑台，沿所述第一方向移动。 

所述划线单元有三个，使所述划线单元中配置在中央的第一划线单元移动的所述移动单元的支撑台固定在底座上，使所述划线单元中剩下的两个划线单元即第二划线单元和第三划线单元移动的所述移动单元的支撑台，分别沿所述第一方向能够移动地设置在所述底座上，所述间隔调节单元具有驱动器，将使所述第二划线单元和所述第三划线单元移动的所述移动单元的支撑台，沿所述第一方向移动。 

作为其他的例子，所述划线单元在所述支撑构件移动的路径上，沿与所述支撑构件直线移动的第一方向垂直的第二方向并排配置。 

所述间隔调节单元可以包括：驱动构件，使各所述划线单元在所述第二方向上直线移动；以及导向构件，配置在沿所述第二方向的直线上，引导所述划线单元直线移动。 

所述驱动构件包括：托架，分别与所述划线单元连接；引导推进器，插入整个所述托架中，与所述导向构件平行配置；以及驱动器，分别使所述引导推进器转动；其中，在所述托架上可设有阴螺纹部，与所述引导推进器中的任意一个引导推进器螺纹连接。 

所述支撑构件具有支撑所述母基板的工作台，所述工作台包括：下部板，在所述第一方向上能够直线移动；以及上部板，用于放置所述母基板，并与所述下部板的上部连接。 

所述支撑构件还包括转动驱动构件，使所述上部板在所述下部板上转动。 

所述多个划线单元分别具有相互并排配置的两个划线针，所述两个划线针能够在彼此相反的方向上形成划线。 

此外，本发明还提供一种基板切断装置，把母基板切断成多个单位基板。所述基板切断装置包括：加载部，加载形成有多个单位基板的母基板；划线部，在从所述加载部传送来的所述母基板上，沿所述单位基板的排列方向形成划线；切断部，沿在所述母基板上形成的划线，把所述母基板分离成单位基板；以及卸载部，卸载被分离的所述单位基板；所述划线部包括：支撑构件，用于放置所述母基板，能够在第一方向上直线移动；划线单元，相互并排配置，能够在所述母基板上同时形成相互平行的多条划线；移动单元，使所述划线单元在与所述第一方向垂直的第二方向上移动；以及间隔调节单元，调节所述划线单元之间的间隔，能够改变同时形成的所述相互平行的多条划线之间的间隔。 

此外，本发明还提供一种划线方法，进行用于把母基板分离成多个单位基板的划线工序。按照本发明，利用相互并排配置的多个划线单元，在母基板上同时形成相互平行的多条划线，当改变在所述母基板上要形成的划线的方向时，可以调节所述多个划线单元之间的间隔。 

通过使支撑所述母基板的支撑构件转动90度，改变在所述母基板上 要形成的划线的方向。 

作为一个例子，所述划线单元在所述支撑构件移动的路径上，沿所述支撑构件直线移动的所述第一方向并排配置，固定所述母基板，使所述多个划线单元沿与所述第一方向垂直的第二方向直线移动，同时形成所述划线。 

作为其他的例子，所述划线单元在所述支撑构件移动的路径上，沿与所述支撑构件直线移动的第一方向垂直的第二方向并排配置，固定所述多个划线单元，使所述母基板沿所述第一方向直线移动，同时形成所述划线。 

按照本发明，由于使用多个划线单元同时在母基板上形成划线，所以可以缩短划线工序所需要的时间。 

此外，按照本发明，可以调整划线单元之间的间隔，所以即使在根据单位基板在母基板上的排列方向要形成的划线之间的间隔不同的情况下，也可以对全部的排列方向同时形成多条划线。 

附图说明

图1是表示母基板一个例子的图。 

图2是简要表示本发明的基板切断装置结构的图。 

图3是表示图2中的划线部的划线装置一个例子的立体图。 

图4是图3中的划线装置的俯视图。 

图5是图3中的划线装置的侧视图。 

图6是图3中的“A”部位的放大图。 

图7是图6中的划线针的立体图。 

图8是图7中的划线针下端部的局部剖视图。 

图9是图8中的划线轮的俯视图。 

图10是顺序表示利用本发明的基板切断装置制造平板显示器过程的流程图。 

图11A是表示利用图3和图4中的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

图11B是表示利用图3和图4中的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

图11C是表示利用图3和图4中的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

图11D是表示利用图3和图4中的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

图11E是表示利用图3和图4中的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

图11F是表示利用图3和图4中的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

图11G是表示利用图3和图4中的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

图11H是表示利用图3和图4中的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

图11I是表示利用图3和图4中的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

图12是表示图3中的划线装置的其他实施方式的图。 

图13是表示图3中的划线装置的其他实施方式的图。 

图14是表示图2中的划线部的划线装置的其他实施方式的立体图。 

图15是图14中的划线装置的俯视图。 

图16是图14中的“B”部位的放大图。 

图17是表示图16的托架和引导推进器之间连接关系的剖面图。 

图18A是利用图14和图15的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

图18B是利用图14和图15的划线装置，在母基板上形成划线的过 程的图。 

图18C是利用图14和图15的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

图18D是利用图14和图15的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

图18E是利用图14和图15的划线装置，在母基板上形成划线的过程的图。 

附图标记说明 

100  支撑构件 

200a、200b  划线单元 

300  移动单元 

400  间隔调节单元 

200’a、200’b  划线单元 

300’  间隔调节单元 

500、500’  控制部 

具体实施方式

下面参照图1～图18E对本发明的实施方式进行详细说明。本发明的实施方式可以进行多种变形，本发明的范围不能解释为限定于后述的实施方式。本实施方式是为了向本领域技术人员更详细地说明本发明，因此，为了更明确地强调说明，图中的要素形状等有所夸张。 

实施方式 

图1是表示母基板一个例子的图。 

如图1所示，母基板1可以是薄膜晶体管液晶显示器(TFT—LCD)用面板。母基板1由大体为四边形板状的第一母基板2和第二母基板3构成。第一母基板2和第二母基板3上下层叠。第一母基板2是形成薄膜晶体管基板的基板，第二母基板3是形成彩色滤光板的基板。 

在第一母基板2和第二母基板3上形成多个单位基板2a、3a，单位基板2a、3a在第一母基板2和第二母基板3的平面上排列成网格状。一 般单位基板2a、3a的横边长和纵边长不同，根据单位基板2a、3a的排列方向，要形成的划线之间的距离也各不相同。 

另一方面，母基板1除了是薄膜晶体管液晶显示器(TFT—LCD)用面板以外，也可以是平板显示器用面板之一的有机发光二极管(OLED)显示器用面板。 

图2是简要表示本发明的基板切断装置10结构的图。 

如图2所示，基板切断装置10用于把母基板(图1中的附图标记1)切断成多个单位基板，并具有加载部11、划线部12、切断部13以及卸载部14。加载部11、划线部12、切断部13以及卸载部14顺序配置成一列。母基板1通过加载部11送入基板切断装置10，顺序经过划线部12和切断部13，分离成多个单位基板，此后通过卸载部14送到基板切断装置10的外部。 

划线部12利用后面叙述的划线装置12a，在第一母基板2或第二母基板3上沿单位基板的排列方向形成划线。切断部13利用切断杆(BreakBar)(图中没有表示)，对在母基板1上形成的划线部位施加力，从母基板1上把单位基板切断。 

在划线部12一侧配置翻转部15。翻转部15使形成划线的一面的位置和没有形成划线的另一面的位置互换。即，在第一母基板2和第二母基板3中，当首先在第一母基板2上形成划线，然后在第二母基板3上形成划线的情况下，使母基板1翻转，把第一母基板2和第二母基板3的上下位置互换。 

图3是表示图2的划线部12的划线装置12a的一个例子的立体图，图4和图5分别是图3的划线装置12a的俯视图和侧视图。 

为了便于说明，把后面叙述的支撑构件100的直线移动方向称为第一方向22，把在水平面上与第一方向22垂直的方向称为第二方向24，把与第一方向22和第二方向24垂直的上下方向称为第三方向26。第一方向22和第二方向24分别对应于在母基板1上排列成网格状的单位基板2的某一个边。 

如图3～图5所示，划线装置12a包括支撑构件100、划线单元200、 移动单元300以及间隔调节单元400。支撑构件100在划线工序中支撑母基板1。支撑构件100使母基板1在第一方向22上直线移动，以朝向第三方向26的支撑构件100的中心轴为基准，使母基板1转动。划线单元200与放置在支撑构件100上的母基板1接触，在母基板1上形成划线。移动单元300使划线单元200沿第二方向24直线移动。间隔调节单元400调节划线单元200之间在第一方向22上的间隔。 

支撑构件100包括工作台120、直线驱动构件140以及转动驱动构件160。工作台120具有上部板122和下部板124。上部板122和下部板124从上部看大体为长方形。上部板122和下部板124相互平行配置，上部板122位于下部板124的上侧。在上部板122上放置母基板1。上部板122的面积与母基板1相似或稍大。在上部板122的上面可以形成与真空管道(图中没有表示)连接的多个孔(图中没有表示)，母基板1利用真空压力固定在上部板122上。在上部板122或下部板124上可以有选择地设置夹紧件(图中没有表示)，把母基板1进一步固定在上部板122上。 

直线驱动构件140使工作台120在第一方向22上直线移动。直线驱动构件140包括导向构件142、托架144以及驱动器(图中没有表示)。导向构件142沿第一方向22长，配置在底座30的中央。导向构件142沿其长度方向具有相同的宽度。导向构件142的上面是平的，在导向构件142的两个侧面上，分别形成在第一方向22上长的槽141。 

工作台120用托架144连接在导向构件142上。托架144具有底板145、支撑板147以及连接板149。底板145为平的长方形板，位于导向构件142上。支撑板147垂直固定在底板145的上面上，固定连接在工作台120的下部板124上，以支撑工作台120。支撑板147有两个，并排配置在底板145上面的两侧。连接板149具有与底板145的底面垂直连接的侧板149a、从侧板149a下端向内侧垂直延伸的插入板149b。插入板149b插入在导向构件142侧面上形成的槽141中。两个连接板149相互面对。 

驱动器提供驱动力，使工作台120由导向构件142引导，在第一方向22上直线移动。驱动器使用包括电动机和推进器的组件。作为驱动器 使用的组件可以是有选择地包括电动机、带和带轮组合构成的组件或包括直线电动机(Linear Motor)的组件。上述多种驱动组件具体的结构由于对本领域技术人员来说是公知的，因此省略了详细的说明。 

转动驱动构件160使工作台120转动。工作台120的转动使在母基板1上形成的划线的方向改变。在母基板1上形成的单位基板2a、3a的排列方向中，如果沿任意一个方向形成划线已经完成，则转动驱动构件160使母基板1转动90度，再在单位基板2a、3a的排列方向中，沿某一个方向形成划线。 

如图5所示，转动驱动构件160具有电动机162和转动轴164。电动机162设置在托架144的底板145中心部。连接在电动机162输出端上的转动轴164，贯通工作台120的下部板124，连接在上部板122上。在下部板124上可以设置轴承构件(图中没有表示)，可以支撑转动轴164转动。按照这种构成，可以使放置母基板1的工作台120的上部板122转动，上部板122的转动角度为90度。 

如图3和图4所示，按照本发明可以有多个划线单元200。在本实施方式中，以配置两个划线单元200a、200b的情况为例进行说明。但划线单元也可以有三个以上。第一划线单元200a和第二划线单元200b配置成在支撑构件100移动的路径上沿第一方向22相互隔开。 

如图6所示，第一划线单元200a具有在第二方向24上并排配置的两个划线针220a、240a，第二划线单元200b具有在第二方向24上并排配置的两个划线针220b、240b。划线针220a、240a、220b、240b具有相同的结构，下面以其中的划线针220a为例进行说明。 

图7是图6中的划线针220a的立体图，图8是图7中的划线针220a的下端部的局部剖视图，图9是图8中的划线轮的俯视图。 

如图7～图9所示，划线针220a具有划线轮222、支撑件224、按压构件226以及振子228。划线轮222在划线工序中与母基板1接触，沿母基板1的表面滚动，同时在母基板1形成划线。作为划线轮222可以使用金刚石材质的轮。在划线轮222的中央形成圆形的通孔222b，划线轮222的边缘222a是尖锐的。划线轮222支撑在支撑件224上。支撑件 224具有主体224a和轴销224b。在主体224a的下面形成在一个方向上贯通主体224a的槽225。轴销224b是具有圆形断面的长杆形。在与槽225的长度方向垂直的方向上，轴销224b位于槽225内。轴销224b的两端固定在主体224a上。轴销224b贯通在划线轮222上形成的通孔222b。在划线轮222被用轴销224b支撑时，划线轮222一部分位于槽225内，一部分向支撑件224下突出。按压构件226对划线轮222施加压力，在划线轮222和母基板1接触时，划线轮222能以一定的力按压在母基板1上。作为一个例子，按压构件226位于支撑件224的上部，利用空气压力把支撑件224向下按压，对划线轮222加压。振子228在进行划线工序时使划线轮222振动。振子228安装在主体224a内部，可以使用超声波振子作为振子228。 

两个划线针220a、240a配置成各不相同。如果配置成一个划线针220a沿一个方向移动时，可以在母基板1上形成划线，则另一个划线针240a配置成在沿与其相反的方向移动时，可以在母基板1上形成划线。因此，一个划线针220a从母基板1的一侧向与其相反的另一侧移动时，在母基板1上形成划线，另一个划线针240a从母基板1的另一侧向与其相反的所述一侧移动时，在母基板1上形成划线。划线针220a、240a可以分别独立地在上下方向上移动，形成划线的划线针位于另一个划线针的下侧。 

第二划线单元200b的划线针220b、240b与第一划线单元200a的划线针220b、240b相同。 

此外，如图3～图5所示，移动单元300具有使第一划线单元200a移动的第一移动单元320、使第二划线单元200b移动的第二移动单元340。第一移动单元320和第二移动单元340的结构大体类似。第一移动单元320具有两个垂直支撑台321、导向构件323、托架325以及驱动构件(图4的329)。垂直支撑台321沿第二方向24相互隔开配置。垂直支撑台321之间的间隔在使母基板1沿第一方向22直线移动时，母基板1可以通过垂直支撑台321之间。 

导向构件323为杆形，配置成在第二方向24上长。导向构件323引导第一划线单元200a在第二方向24上直线移动。导向构件323的两端 分别设置在垂直支撑台321上，由垂直支撑台321支撑。在导向构件323的上面和下面，分别有在第二方向24上长的槽323a。 

第一划线单元200a通过托架325连接在导向构件323上。如图6所示，托架325具有支撑板336和连接板335。支撑板336为长方形的平板，位于导向构件323的一个侧面上。连接板335具有从支撑板336上侧和下侧垂直突出支撑板336的侧板331、插入在导向构件323上形成的槽323a中的插入板333。 

驱动构件329提供驱动力，使托架325沿导向构件323直线移动。驱动构件329具有引导推进器327、向引导推进器提供转动力的驱动器328。引导推进器327与导向构件323平行，在导向构件323的一侧，引导推进器327的两端由垂直支撑台321支撑。驱动器328设置在垂直支撑台321中的某一个上，并连接在引导推进器327的一端上。作为驱动器328使用电动机。并且，托架325具有与引导推进器327的阳螺纹部啮合的阴螺纹部(图中没有表示)。作为驱动构件329可以有选择地使用具有电动机、带和带轮的组件或利用直线电动机的组件等。 

第一划线单元200a安装在托架325的支撑板336上，可以上下移动。作为一个例子，在支撑板336上，沿第三方向26形成切口形状的导向槽336a，第一划线单元200a的划线针220a、240a分别连接在插入导向槽336a中的支撑轴(图中没有表示)上。 

间隔调节单元400在第一方向22上调节第一划线单元200a和第二划线单元200b之间的间隔。作为一个例子，第一移动单元320的垂直支撑台321固定在底座30上，使第一划线单元200a在第一方向22上不移动。第二移动单元340的垂直支撑台341设置成可以从底座30上向第一方向22移动，第二划线单元200b可以向第一方向22移动。间隔调节单元400通过使第二移动单元340的垂直支撑台341在第一方向22上移动，调节第一划线单元200a和第二划线单元200b之间的间隔。 

间隔调节单元400具有支撑台420、导向构件440以及驱动构件(图4的460)。支撑台420分别配置在第二移动单元340的垂直支撑台341两侧。第一支撑块422配置在第一移动单元320的垂直支撑台321和第 二移动单元340的垂直支撑台341之间。第二支撑块424以第二移动单元340的垂直支撑台341为基准，配置在与第一支撑块422相反的一侧。驱动构件460使第二移动单元340的垂直支撑台341在第一方向22上直线移动。驱动构件460具有引导推进器462和向该引导推进器提供转动力的驱动器464。引导推进器462位于第一支撑块422和第二支撑块424之间，其长度方向为第一方向22，并且两端分别与第一支撑块422和第二支撑块424连接。引导推进器462分别与在第二移动单元340的垂直支撑台341上形成的阴螺纹部(图中没有表示)啮合。驱动器464设置在第一支撑块422或第二支撑块424上，并连接在引导推进器462的一端上。驱动器464可以使用电动机。驱动构件460虽然以具有电动机464和引导推进器462的组件为例进行了说明，但除此之外，也可以使用如直线电动机的、把直线驱动力提供给移动单元的垂直支撑台的各种驱动器。 

导向构件440引导第二移动单元340的垂直支撑台341在第一方向上直线移动。导向构件440设置成与引导推进器462平行。例如，导向构件440为杆状，其两端分别固定连接在第一支撑块422和第二支撑块424上。此时，导向构件440插入在第二移动单元340的垂直支撑台341上形成的孔(图中没有表示)中。 

由控制部500控制第一移动单元320、第二移动单元340、间隔调节单元400以及工作台120的动作。即，控制部500在形成划线时，控制第一移动单元320和第二移动单元340，使第一划线单元200a和第二划线单元200b在第二方向上直线移动。如果要形成两条划线，则控制部500控制驱动器，使工作台12直线移动。此外，如果要全部形成与母基板1上形成的单位基板2a、3a任意一个排列方向平行的划线，则控制部500控制转动驱动构件160，使工作台120转动，并控制间隔调节单元400，调节第一划线单元200a和第二划线单元200b之间的间隔。 

下面对使用具有上述结构的本发明的基板切断装置10制造平板显示器面板的过程进行说明。 

图10是顺序表示利用本发明的基板切断装置制造平板显示器的过程的流程图。

如图2和图10所示，母基板1在加载部11被加载。母基板1在把第一母基板2或第二母基板3朝向上方的状态下被加载。在此为了方便，以第一母基板2朝向上方的情况为例进行说明。加载部11把母基板1传送到划线部12(S10)。 

划线部12对朝向上方的第一母基板2进行划线工序。在第一母基板2上形成划线后，划线部12把母基板1传送到翻转部15(S20)。 

翻转部15使母基板1翻转，将第二母基板3朝向上方，翻转后的母基板1被重新传送到划线部12(S30)。 

划线部12对朝向上方的第二母基板3进行划线工序。在第二母基板3上形成划线后，划线部12把母基板1传送到切断部13(S40)。 

切断部13对进行了第一母基板2和第二母基板3划线工序的母基板1，进行切断工序，把母基板1分离成多个单位基板(S50)。 

利用切断工序把母基板1分离成多个单位基板，单位基板在卸载部14被卸载(S60)，此后对单位基板进行清洗工序。 

然后，在划线部12中，对利用本发明的划线装置12a对母基板1进行划线工序的过程进行说明。 

图11A～图11I是表示利用图3和图4的划线装置，在母基板1上形成划线的过程的图。 

母基板1被放置在工作台120的上部板122上。工作台120通过驱动器(图中没有表示)在第一方向22上直线移动(图11A)。 

如果工作台120移动到已经设定的位置(即，母基板1的第一预定切断线a与第一划线单元200a对准的位置)，就停止工作台120的移动。此后驱动间隔调节单元400的驱动器464，调节第一划线单元200a和第二划线单元200b之间的间隔。间隔调节单元400使第二移动单元340的垂直支撑台341在第一方向22上直线移动。如果通过移动第二移动单元340，第二划线单元200b移动到已经设定的位置(即，第二划线单元200b与母基板1的第二预定切断线b对准的位置)，就停止第二移动单元340的垂直支撑台341的移动(图11B)。

在第一划线单元200a和第二划线单元200b沿第一方向22与母基板1的第一预定切断线a和第二预定切断线b对准的状态下，驱动第一移动单元320和第二移动单元340的驱动器328、348，使第一划线单元200a和第二划线单元200b移动到母基板1的一侧。 

此后，第一划线单元200a和第二划线单元200b的各划线针220a、220b向下方移动，与母基板1接触(图11C)。 

图11A、图11B和图11C的顺序可以互相变化。例如在首先调节第一划线单元200a和第二划线单元200b之间的间隔后，母基板1的第一预定切断线a和第二预定切断线b与第一划线单元200a和第二划线单元200b对准。 

然后驱动移动单元320、340的驱动器328、348，使第一划线单元200a和第二划线单元200b横穿母基板1沿第二方向24移动。此时第一划线单元200a和第二划线单元200b的划线针220a、220b使母基板1上形成裂纹。通过沿预定切断线a、b连续形成裂纹，在母基板1上形成划线(图11D)。 

在母基板1上沿预定切断线a、b形成划线后，第一划线单元200a和第二划线单元200b的划线针220a、220b向上方移动。 

工作台120利用驱动器(图中没有表示)在第一方向22上直线移动，如果工作台120移动到已经设定的位置(即，母基板1的第三预定切断线c与第一划线单元200a对准的位置)，就停止工作台120的移动。此时第一划线单元200a和第二划线单元200b之间的间隔由于在上述过程中已经被调整，第二划线单元200b与母基板1的第四预定切断线d对准(图11E)。 

第一划线单元200a和第二划线单元200b的划线针240a、240b向下方移动，与母基板1接触。驱动移动单元320、340的驱动器328、348，使第一划线单元200a和第二划线单元200b横穿母基板1沿第二方向24移动。此时，第一划线单元200a和第二划线单元200b的划线针240a、240b在母基板1上形成裂纹。通过沿预定切断线c、d连续形成裂纹，在母基板1上形成划线(图11F)。

在沿预定切断线a、b形成划线时，使用划线针220a、220b，在沿预定切断线c、d形成划线时，可以使用划线针240a、240b。这是为了使形成裂纹的划线针220a、220b，240a、240b的划线轮保持一定的方向性。 

在上述过程中，当在母基板1上形成的单位基板2a、3b的任意一个排列方向上全部形成划线后，沿另一个方向在母基板1上形成划线。为此放置有母基板1的工作台120的上部板122，相对于下部板124转动90度(图11G)。 

此后工作台120在第一方向22上直线移动，使预定切断线f与第一划线单元200a对准。如果工作台120移动到已经设定的位置(即，母基板1的预定切断线f与第一划线单元200a对准的位置)，就停止工作台120的移动(图11H)。 

驱动间隔调节单元400的驱动器464，调节第一划线单元200a和第二划线单元200b之间的间隔。间隔调节单元400使第二移动单元340的垂直支撑台341在第一方向22上直线移动。利用第二移动单元340的移动，如果第二划线单元200b移动到已经设定的位置(即，第二划线单元200b与母基板1的预定切断线e对准的位置)，就停止第二移动单元340的垂直支撑台341的移动(图11I)。 

此后第一划线单元200a和第二划线单元200b的划线针220a、220b向下移动，与母基板1接触，通过进行在图11D～图11F中已经说明了的过程，在母基板1形成与以前在母基板1形成的划线垂直方向的划线。 

下面简单说明从本实施方式变化来的多个例子。 

在上述实施方式的例子中，说明了通过移动第二移动单元340，调节在第一方向22上第一划线单元200a和第二划线单元200b之间的间隔。但也可以如图12所示，第一移动单元320的垂直支撑台321和第二移动单元340的垂直支撑台341都移动。 

此外，在上述实施方式的例子中，对有两个划线单元的情况进行了说明。但也可以有三个或三个以上的划线单元。在有三个划线单元的情况下，位于中央的划线单元200a在第一方向上不移动，位于两侧的划线单元200b、200c可以在第一方向上移动。

在上述实施方式的例子中，对一个划线单元有两个划线针的情况进行了说明。但也可以在一个划线单元有一个划线针。 

在上述实施方式的例子中，对把母基板固定，划线单元边移动边在母基板上形成划线的划线装置进行了说明。但也可以把划线单元固定，使母基板边移动边形成划线。在这种情况下，划线单元在第二方向24上并排配置，母基板在第一方向22上直线移动，可以调节沿第二方向24的划线单元之间的间隔。下面对此进行详细说明。 

图14是表示图2的划线部中的划线装置其他实施方式的立体图，图15是图14的划线装置的俯视图。图16是图14的“B”部位的放大图，图17是表示图16的托架和引导推进器之间的连接关系的剖面图。 

如图14和图15所示，划线装置12b具有支撑构件100、划线单元200’、间隔调节单元300’。支撑构件100支撑母基板1。支撑构件100使母基板1沿第一方向22直线移动，并在母基板1的平面上，以垂直的中心轴为基准可以使母基板1转动。划线单元200’与放置在支撑构件100上的母基板1接触，在母基板1上形成裂纹。间隔调节单元300’使划线单元200’在第二方向24上移动，调节划线单元200’之间的间隔。在进行划线工序时，把划线单元200’固定，母基板1沿第一方向22直线移动。 

参照图3～图5，由于支撑构件100与前面说明的支撑构件具有相同的结构，所以省略了对它的详细说明。 

如图14和图15所示，划线单元200’具有第一划线单元200’a和第二划线单元200’b，它们配置在与支撑构件100的直线移动方向垂直的方向上，即第二方向24上。在本实施方式中，以配置两个划线单元200’a、200’b的情况为例进行说明，但当然也可以配置两个以上的多个划线单元200’。第一划线单元200’a和第二划线单元200’b可以分别通过后面叙述的间隔调节单元300’，在第二方向24上移动来调节间隔。 

如图16所示，第一划线单元200’a具有并排配置在第二方向24上的两个划线针220’a、240’a，第二划线单元200’b具有并排配置在第二方向24上的两个划线针220’b、240’b。划线针220’a、240’a、 220’b、240’b具有与图7～图9中在前面已说明过的划线针相同的结构，所以省略了对它的详细说明。 

间隔调节单元300’使各划线单元200’a、200’b在第二方向24上移动，来调节划线单元200’a、200’b之间的间隔。间隔调节单元300’具有垂直支撑台310’、导向构件320’、托架330’a、330’b以及驱动构件340’。垂直支撑台310’在第二方向24上隔开一定的距离配置。垂直支撑台310’配置成在母基板1沿第一方向22直线移动时，母基板1可以通过垂直支撑台310’之间。导向构件320’固定在垂直支撑台310’的上端。在导向构件320’的上面和下面，具有沿长度方向长的槽322’。 

第一划线单元200’a通过托架330’a连接在导向构件320’上，第二划线单元200’b通过托架330’b连接在导向构件320’上。托架330’a和托架330’b具有相同的结构，所以下面仅对托架330’a进行说明。如图16所示，托架330’a具有支撑板332’和连接板334’。支撑板332’是长方形的平板，位于导向构件320’的一个侧面上。连接板334’具有从支撑板332’的上侧和下侧垂直突出支撑板332’的侧板334’a以及插入在导向构件320’上形成的槽322’中的插入板334’b。 

驱动构件340’提供驱动力，使托架330’a、330’b沿导向构件320’直线移动。驱动构件340’具有第一引导推进器342’和第二引导推进器344’，它们与导向构件320’平行配置。如图17所示，在第一引导推进器342’上安装有可以直线移动的托架330’a，在第二引导推进器344’上安装有可以直线移动的托架330’b。即，第一引导推进器342’和第二引导推进器344’插入托架330’a中，第一引导推进器342’与在托架330’a上形成的阴螺纹部335’a啮合，而第二引导推进器344’以不与在托架330’a上形成的孔336’a接触的状态贯通。与此相同，第一引导推进器342’和第二引导推进器344’插入托架330’b中，第一引导推进器342’以不与在托架330’b上形成的孔336’b接触的状态贯通，而第二引导推进器344’与在托架330’b上形成的阴螺纹部335’b啮合。按照这种结构，在第一引导推进器342’驱动时，托架330’a直线移动，而托架330’b不移动，在第二引导推进器344’驱动时，托架330’a不移动，而托架330’b直线移动。按照这种驱动方式，就可以调节连接 在托架330’a上的第一划线单元200’a和连接在托架330’b上的第二划线单元200’b之间的间隔。在第一引导推进器342’的一端上，连接提供转动力的第一驱动器343’，在第二引导推进器344’的一端上，连接提供转动力的第二驱动器345’。作为第一驱动器343’和第二驱动器345’可以使用电动机等驱动器。作为驱动构件340’以具有电动机和引导推进器的组件为例进行了说明，但除此之外，也可以使用如气缸等能向托架330’a、330’b提供直线驱动力的各种驱动器。 

如图16所示，第一划线单元200’a安装在托架330’a的支撑板332’上，可以上下移动。作为一个例子，在支撑板332’上，沿第三方向26形成切口形状的导向槽331’，第一划线单元200’a的划线针220’a、240’a分别连接在插入导向槽331’中的支撑轴(图中没有表示)上。第二划线单元200’b也连接在托架330’b上，可以上下移动，连接结构与第一划线单元200’a的连接结构相同，所以省略了对它的说明。 

由控制部500’控制所述间隔调节单元300’的动作。控制部500’控制间隔调节单元300’的第一驱动器343’和第二驱动器345’的动作，使第一划线单元200’a和第二划线单元200’b在第二方向24上移动，以调节在第二方向24上第一划线单元200’a和第二划线单元200’b之间的间隔。 

下面利用具有上述结构的本发明的划线装置12b，对在母基板1上进行划线工序的过程进行说明。 

图18A～图18E表示利用图14和图15的划线装置，在母基板1上形成划线的过程的图。 

母基板1放置在工作台120的上部板122上。间隔调节单元300’驱动器343’驱动第一引导推进器342’，使第一划线单元200’a与预定切断线a’对准。间隔调节单元300’的驱动器345’驱动第二引导推进器344’，使第二划线单元200’b移动，利用第二划线单元200’b的移动，调节第一划线单元200’a和第二划线单元200’b之间的间隔。第二划线单元200’b与预定切断线b’对准。 

第一划线单元200’a和第二划线单元200’b的划线针220’a、220’ b向下移动，工作台120利用驱动器(图中没有表示)在第一方向22上直线移动(图18A)。 

在工作台120沿第一方向22移动时，第一划线单元200’a和第二划线单元200’b的划线针220’a、220’b在母基板1上形成裂纹。通过沿预定切断线a’、b’连续形成裂纹，在母基板1上形成划线(图18B)。 

沿预定切断线a’、b’在母基板1上形成划线后，第一划线单元200’a和第二划线单元200’b的划线针220’a、220’b向上方移动。 

间隔调节单元300’的驱动器345’驱动第二引导推进器344’，使第二划线单元200’b与预定切断线d’对准。间隔调节单元300’的驱动器343’驱动第一引导推进器342’，使第一划线单元200’a移动，利用第一划线单元200’a的移动，调节第一划线单元200’a和第二划线单元200’b之间的间隔。第一划线单元200’a与预定切断线c’对准(图18C)。 

第一划线单元200’a和第二划线单元200’b的划线针240’a、240’b向下方移动，工作台120利用驱动器(图中没有表示)在第一方向22上直线移动。在工作台120沿第一方向22移动时，第一划线单元200’a和第二划线单元200’b各自的划线针240’a、240’b在母基板1上形成裂纹。通过沿预定切断线c’、d’连续形成裂纹，在母基板1上形成划线。沿预定切断线c’、d’在母基板1上形成划线后，划线单元200’a、200’b的划线针240’a、240’b向上方移动(图18D)。 

在沿预定切断线a’、b’形成划线时，可以使用划线针220’a、220’b，在沿预定切断线c’、d’形成划线时，可以使用划线针240’a、240’b。这是为了使形成裂纹的划线针220’a、220’b，240’a、240’b的划线轮保持一定的方向性。 

通过如上所述的过程，当在母基板1上沿一个方向全部形成划线后，沿另一个方向在母基板1上形成划线。因此要把放置有母基板1的工作台120的上部板122，相对于下部板124转动90度(图18E)。 

此后通过再次进行在图18A～图18D中已说明的过程，在母基板1上形成与以前形成的划线垂直的方向的划线。

如上所述，本发明有多个划线单元，通过在一次划线工序中同时形成多条划线，可以缩短划线工序所需要的时间，因此可以提高制造基板工序的生产率。 

此外，由于本发明可以调节划线单元之间的间隔，所以能在母基板上形成单位基板的排列方向上，分别形成多条划线。

Claims (26)

1.一种划线装置，进行把形成有多个单位基板的母基板分离成各个单位基板的划线工序，其特征在于包括：

支撑构件，用于放置所述母基板，能够在第一方向上直线移动；

划线单元，相互并排配置，能够在所述母基板上同时形成相互平行的多条划线；

移动单元，使所述划线单元在与所述第一方向垂直的第二方向上移动；以及

间隔调节单元，调节所述划线单元之间的间隔，能够改变同时形成的所述相互平行的多条划线之间的间隔。

2.根据权利要求1所述的划线装置，其特征在于，所述划线单元在所述支撑构件移动的路径上，沿所述支撑构件直线移动的所述第一方向并排配置。

3.根据权利要求2所述的划线装置，其特征在于，

各所述移动单元包括：

驱动构件，使所述划线单元沿所述第二方向直线移动；

导向构件，配置在沿所述第二方向的直线上，引导所述划线单元直线移动；以及

支撑台，分别配置在所述导向构件的两端，支撑所述导向构件。

4.根据权利要求3所述的划线装置，其特征在于，

所述间隔调节单元包括：

引导推进器，沿所述第一方向配置，并与所述移动单元的支撑台连接；

支撑台，支撑所述引导推进器；以及

驱动器，使所述引导推进器转动。

5.根据权利要求3所述的划线装置，其特征在于，

所述划线单元有两个，

使其中一个所述划线单元即第一划线单元移动的所述移动单元的支撑台固定在底座上，

使其中另一个所述划线单元即第二划线单元移动的所述移动单元的支撑台沿所述第一方向能够移动地设置在所述底座上，

所述间隔调节单元具有驱动器，将使所述第二划线单元移动的所述移动单元的支撑台，沿所述第一方向移动。

6.根据权利要求3所述的划线装置，其特征在于，

所述划线单元有三个，

使所述划线单元中配置在中央的第一划线单元移动的所述移动单元的支撑台固定在底座上，

使所述划线单元中剩下的两个划线单元即第二划线单元和第三划线单元移动的所述移动单元的支撑台，分别沿所述第一方向能够移动地设置在所述底座上，

所述间隔调节单元具有驱动器，将使所述第二划线单元和所述第三划线单元移动的所述移动单元的支撑台，沿所述第一方向移动。

7.根据权利要求1所述的划线装置，其特征在于，所述划线单元在所述支撑构件移动的路径上，沿与所述支撑构件直线移动的第一方向垂直的第二方向并排配置。

8.根据权利要求7所述的划线装置，其特征在于，

所述间隔调节单元包括：

驱动构件，使各所述划线单元在所述第二方向上直线移动；以及

导向构件，配置在沿所述第二方向的直线上，引导所述划线单元直线移动。

9.根据权利要求8所述的划线装置，其特征在于，

所述驱动构件包括：

托架，分别与所述划线单元连接；

引导推进器，插入整个所述托架中，与所述导向构件平行配置；以及

驱动器，分别使所述引导推进器转动；其中，

在所述托架上设有阴螺纹部，与所述引导推进器中的任意一个引导推进器螺纹连接。

10.根据权利要求1所述的划线装置，其特征在于，

所述支撑构件具有支撑所述母基板的工作台，

所述工作台包括：

下部板，在所述第一方向上能够直线移动；以及

上部板，用于放置所述母基板，并与所述下部板的上部连接。

11.根据权利要求10所述的划线装置，其特征在于，所述支撑构件还包括转动驱动构件，使所述上部板在所述下部板上转动。

12.根据权利要求1所述的划线装置，其特征在于，

所述多个划线单元分别具有相互并排配置的两个划线针，

所述划线针在相反方向上形成划线。

13.一种基板切断装置，其特征在于包括：

加载部，加载形成有多个单位基板的母基板；

划线部，在从所述加载部传送来的所述母基板上，沿所述单位基板的排列方向形成划线；

切断部，沿在所述母基板上形成的划线，把所述母基板分离成单位基板；以及

卸载部，卸载被分离的所述单位基板；

所述划线部包括：

支撑构件，用于放置所述母基板，能够在第一方向上直线移动；

划线单元，相互并排配置，能够在所述母基板上同时形成相互平行的多条划线；

移动单元，使所述划线单元在与所述第一方向垂直的第二方向上移动；以及

间隔调节单元，调节所述划线单元之间的间隔，能够改变同时形成的所述相互平行的多条划线之间的间隔。

14.根据权利要求13所述的基板切断装置，其特征在于，所述划线单元在所述支撑构件移动的路径上，沿所述支撑构件直线移动的所述第一方向并排配置。

15.根据权利要求14所述的基板切断装置，其特征在于，

各所述移动单元包括：

驱动构件，使所述划线单元沿所述第二方向直线移动；

导向构件，配置在沿所述第二方向的直线上，引导所述划线单元直线移动；以及

支撑台，分别配置在所述导向构件的两端，支撑所述导向构件。

16.根据权利要求15所述的基板切断装置，其特征在于，

所述间隔调节单元包括：

引导推进器，沿所述第一方向配置，并与所述移动单元的支撑台连接；

支撑台，支撑所述引导推进器；以及

驱动器，使所述引导推进器转动。

17.根据权利要求15所述的基板切断装置，其特征在于，

所述划线单元有两个，

使其中一个所述划线单元即第一划线单元移动的所述移动单元的支撑台固定在底座上，

使其中另一个所述划线单元即第二划线单元移动的所述移动单元的支撑台沿所述第一方向能够移动地设置在所述底座上，

所述间隔调节单元具有驱动器，将使所述第二划线单元移动的所述移动单元的支撑台，沿所述第一方向移动。

18.根据权利要求13所述的基板切断装置，其特征在于，所述划线单元在所述支撑构件移动的路径上，沿与所述支撑构件直线移动的第一方向垂直的第二方向并排配置。

19.根据权利要求18所述的基板切断装置，其特征在于，

所述间隔调节单元包括：

驱动构件，使各所述划线单元在所述第二方向上直线移动；以及

导向构件，配置在沿所述第二方向的直线上，引导所述划线单元直线移动。

20.根据权利要求19所述的基板切断装置，其特征在于，

所述驱动构件包括：

托架，分别与所述划线单元连接；

引导推进器，插入整个所述托架中，与所述导向构件平行配置；以及

驱动器，分别使所述引导推进器转动；其中，

在所述托架上设有阴螺纹部，与所述引导推进器中的任意一个引导推进器螺纹连接。

21.根据权利要求13所述的基板切断装置，其特征在于，

所述支撑构件包括：

下部板，能够在所述第一方向上直线移动；

上部板，用于放置所述母基板，并与所述下部板的上部连接；以及

转动驱动构件，使所述上部板在所述下部板上转动。

22.一种划线方法，其特征在于，

利用相互并排配置的多个划线单元，在母基板上同时形成相互平行的多条划线，

当改变在所述母基板上要形成的划线的方向时，调节所述多个划线单元之间的间隔。

23.根据权利要求22所述的划线方法，其特征在于，通过使支撑所述母基板的支撑构件转动90度，改变在所述母基板上要形成的划线的方向。

24.根据权利要求22所述的划线方法，其特征在于，

所述划线单元在所述支撑构件移动的路径上，沿所述支撑构件直线移动的第一方向并排配置，

固定所述母基板，使所述多个划线单元沿与所述第一方向垂直的第二方向直线移动，同时形成所述划线。

25.根据权利要求22所述的划线方法，其特征在于，

所述划线单元在所述支撑构件移动的路径上，沿与所述支撑构件直线移动的第一方向垂直的第二方向并排配置，

固定所述多个划线单元，使所述母基板沿所述第一方向直线移动，同时形成所述划线。

26.根据权利要求22所述的划线方法，其特征在于，

各所述划线单元分别具有两个划线针，

所述划线单元的两个划线针在彼此相反的方向上形成划线。

Images