CN100465452C - 真空泵 - Google Patents

Abstract

一种真空泵，其包括：具有储油室的外壳组件，在储油室中储存润滑油；设置在外壳组件中并且相互接合的一对螺旋转子；分别连接到转子上的一对旋转轴；支撑每个旋转轴并且具有开口的多个轴承；用于将润滑油从储油室供应给轴承的供油泵；用于使得润滑油从供油泵经轴承循环到储油室的油循环通道，其特征在于：盖设置在轴承的开口处，以便以留有间隙的方式关闭所述轴承的开口；该盖允许润滑油通过间隙进入到轴承中，并且排油通道设置在邻近轴承处以便将没有进入到轴承的润滑油返回到储油室中。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及真空泵，例如使用在半导体制造过程中。

背景技术

当真空泵使用在半导体制造过程中时，螺旋真空泵在公开号为No.5-164076的日本专利申请(参见3-5页和图1)中被公开。螺旋真空泵具有一对设置在转子壳体中的螺旋转子。转子安装在转子轴上，转子轴分别由齿轮箱所支撑。当转子轴旋转时，真空泵从螺旋真空泵的外部吸入空气，压缩它并且将压缩空气排出到螺旋真空泵的外部中。转子轴由两个滚柱轴承所支撑。轴承设置在齿轮箱的圆柱形部分中，并且轴承由齿轮箱的底部接收部分所支撑。类似的，转子的转子轴由齿轮箱所支撑。

底部壳体的集油盘在此储存润滑油，转子轴的底端浸入到其中。在此转子轴具有从底端轴向延伸到转子轴中部的供油孔。供油孔具有出口，该出口设置在相应于分别用于转子轴的轴承和用于转子轴的轴承的位置处。回油孔形成在邻近轴承的外周的圆柱形部分上，该轴承支撑转子轴。回油孔导向集油盘。

在上述真空泵中，当转子轴旋转时，储存在集油盘中的润滑油通过转子轴的供油孔导入用于转子轴的轴承和用于转子轴的轴承上。在附图中所示的结构中，尽管在上述公开中没有明确提到，润滑油可如下进行传送。在供给到轴承上的润滑油中，一部分润滑油进入轴承中并且剩下润滑油流入回油孔中。在润滑和冷却轴承之后，轴承中的润滑油通过转子轴和齿轮箱之间的间隙返回到集油盘中。流到回油孔的润滑油通过回油孔返回到集油盘中。

根据上述公开的现有技术的真空泵，虽然通过供油孔供给到轴承的一部分润滑油流到回油孔，但润滑油的剩余相当量不会流到回油孔中，而会试图保留在轴承中。保留在轴承中的润滑油通过邻近供油孔出口的轴承的上部开口直接进入轴承中。润滑油还试图保留在轴承内部。因此，润滑油在轴承中摇动，从而在轴承中产生剪切热。这导致了转子轴的驱动扭矩和温度的增加。需要注意的是上述圆括号中的数字对应于在上述公开中所使用的附图标记。

本发明是基于上述技术问题而作出的，本发明提供了这样一种真空泵，其合适的供给润滑油到轴承上，从而改善轴承和转子轴的润滑和冷却。

发明内容

根据本发明，提供了一种真空泵，其包括：具有储油室的外壳组件，在储油室中储存润滑油；设置在外壳组件中并且相互接合的一对螺旋转子；分别连接到转子上的一对旋转轴；支撑每个旋转轴并且具有开口的多个轴承；用于将润滑油从储油室供应给轴承的供油泵；用于使得润滑油从供油泵经轴承循环到储油室的油循环通道，其特征在于：盖设置在轴承的开口处，以便以留有间隙的方式关闭所述轴承的开口；该盖允许润滑油通过间隙进入到轴承中，并且排油通道设置在邻近轴承处以便将没有进入到轴承的润滑油返回到储油室中。

本发明的其它方面和优点从下面的描述，结合附图，通过体现本发明的原理的例子阐述而变得明显。

附图说明

被认为具有新颖性的本发明的特征采用附加的权利要求中具体进行阐述。本发明结合其目的和优点通过参见当前优选实施例的下面描述结合附图得到更好的理解。

图1是根据本发明的第一优选实施例的真空泵的纵截面视图；

图2是沿着图1中线I-I的真空泵的横截面视图；

图3A是根据本发明的第一优选实施例围绕盖的真空泵的部分放大横截面视图；

图3B是沿着图3A中线II-II的真空泵的横截面视图；

图4A是根据本发明的第二优选实施例围绕盖的真空泵的部分放大横截面视图；

图4B是沿着图4A中线III-III的真空泵的横截面视图；

图5A是根据本发明的第三优选实施例围绕盖的真空泵的部分放大横截面视图；

图5B是沿着图5A中线IV-IV的真空泵的横截面视图；

图6A是根据本发明的可选择的优选实施例围绕盖的真空泵的部分放大横截面视图；

图6B是沿着图6A中线V-V的真空泵的横截面视图；

具体实施方式

下面将参见图1到3B，描述根据本发明的第一优选实施例的真空泵。第一优选实施例的真空泵是如图1所示的立式螺旋真空泵(后面仅称为真空泵)。

参见图1，真空泵具有作为外部壳体的外壳14，该外壳14包括上部外壳11，转子外壳12和下部外壳13。更具体的，上部和下部外壳11和13分别连接到转子外壳12的上端和下端上。上部外壳11具有与外壳14的内部连通的入口15，并且通过该入口15压缩流体被吸入到真空泵中。下部外壳13具有与外壳14的内部连通的出口16，并且通过该出口16压缩流体从真空泵中排出。下部外壳13具有由此横向突出并且相对出口16设置的延伸部分13a。作为驱动源的驱动电机17设置在延伸部分13a上。齿轮箱18连接到包括延伸部分13a底端的下部外壳13的底端上。外壳14和齿轮箱18构造成本发明的外壳组件。

参见图2，阳螺旋转子21和阴螺旋转子31容纳在外壳14中并且相互接合。转子21和31和外壳14相配合以现有技术中已知的方式限定工作室50。阳螺旋转子21具有在其中轴向延伸的插入孔22和从插入孔22向上轴向延伸的连接孔23。连接孔23的直径小于插入孔22的直径。旋转轴25通过下部外壳13和插入孔22延伸，并且插入在阳螺旋转子21的连接孔23中。阳螺旋转子21和转子轴25通过盘26和螺栓27相互连接，如图2所示。因此，阳螺旋转子21可与旋转轴25一起旋转。类似的，阴螺旋转子31具有插入孔32和连接孔33，并且通过盘36和螺栓37连接到转子轴35上。

一对圆柱性轴支承件28和38分别插入在转子21和31的插入孔22和32中，并且连接到下部外壳13上。如图2所示，轴支承件28和38整体连接到底板72上以形成整体装置。在第一优选实施例中，轴支承件28和38在底板72处通过螺栓41固定到下部外壳13上。在轴支承件28的外部圆周表面和阳螺旋转子21的插入孔22的内圆周表面之间存在微小的间隙。类似的，在轴支承件38的外部圆周表面和阳螺旋转子31的插入孔32的内圆周表面之间存在微小的间隙。

轴支承件28在其中心具有轴向延伸的通孔29，阳螺旋转子21侧的转子轴26被插入通过该通孔29。两个轴承装置42和43设置在旋转轴25和轴支承件28之间，以分别在旋转轴25的上部和下部支撑旋转轴25。在第一优选实施例中，滚柱轴承用作为轴承装置42和43。轴支承件28在其上端具有上部大直径孔29a，该上部大直径孔29a与通孔29相连接而形成并且其直径比通孔29大。轴承装置42设置在上部大直径孔29a中并且在旋转轴25和轴支承件28之间。一盖80，其将在后面详细描述，设置在轴承装置42上并且固定地安装在旋转轴25上。

密封部件30提供轴承装置42上并且在旋转轴25和轴支承件28之间。轴支承件28在其下端处具有下部大直径孔29b，其与通孔29连接形成并且直径比通孔29大。轴承装置43设置在下部大直径孔29b中并且在旋转轴25和轴支承件28之间。盖83设置在轴承装置43上并且固定安装在旋转轴25上。

轴承装置42和43设置用来以旋转轴25相对于轴支承件28可旋转的方式支撑旋转轴25。在第一优选实施例中，平行设置的两个单排滚柱轴承用于每个轴承装置42和43上。轴承装置42和43在旋转轴25的外圆周表面和轴支承件28的通孔29的内圆周表面之间提供了微小的间隙，该间隙形成了回油通道48，这将在下面进行详细描述。

旋转轴25具有沿着其轴线延伸的轴向通道44。该轴向通道44从旋转轴25的下端到相应于轴承装置42的位置处延伸。旋转轴25具有形成在其中的横向通道45，并且相对于旋转轴25的轴线水平或者垂直的延伸，以连接到轴向通道44的上端上。横向通道45具有两个设置在轴承装置42上方的出口45a。出口45a对应于轴承装置42侧面的出口。轴向和横向通道44和45包括供油通道46，通过该供油通道46，润滑油被供给到轴承装置42上。形成在旋转轴25中的供油通道46和围绕旋转轴25形成的回油通道48包括油循环通道。排油通道82和85设置在轴支承件28中并且在分别对应于轴承装置42和43的外圆周侧的位置上。尽管轴支承件28，旋转轴25和轴承装置42和43，以及在阳螺旋转子21侧上的其它部件至今已经被描述，设置在阴螺旋转子31侧上的元件或者部件基本上与在阳螺旋转子21侧上的这些部件大体相同。

现在将描述阳螺旋转子21。阳螺旋转子21具有在其附近形成并且从其上端朝向其下端成螺旋状延伸的齿24。如图2所示，齿24被形成，从而使得其螺旋升角朝着阳螺旋转子21的下端逐渐减少。阴螺旋转子31具有在附近形成并且与阳螺旋转子21的齿24成互补关系的齿距34。

阳螺旋转子21的旋转轴25通过下部外壳13延伸，然后进入到齿轮箱18中。同步齿轮47安装在齿轮箱18中的旋转轴25上。类似的，阴螺旋转子31的旋转轴35通过下部外壳13延伸并且进一步进入齿轮箱18中。同步齿轮56安装在齿轮箱18中的旋转轴35上，以与同步齿轮47相接合。

参见图1，与同步齿轮47接合的中间齿49设置在齿轮箱18中。在齿轮箱18中，中间齿轮49与安装在驱动电机17的驱动轴19上的驱动齿轮20相接合。齿轮箱18在同步齿轮47和56下面的下端处具有储油室58，以在此用于储存润滑油59。

齿轮箱18具有从齿轮箱18的底壁向内延伸并且设置在旋转轴25的下端处的圆柱形突出部分60。突出部分60具有圆孔60a，余摆线泵62设置在其中，以用于供给润滑油59到真空泵的油循环通道中。余摆线泵62包括内转子63和外转子64。内转子63固定地安装在旋转轴25的下端上用于与其一起旋转。外转子64安装在圆孔60a中的外圆周表面处，以便于在其中旋转。当内转子63被驱动旋转时，外转子64与其一起旋转，并且在旋转内转子63和外转子64之间捕获的润滑油59被泵送入油循环通道中。

如图1所示，余摆线泵62具有与储油室58相连通的吸油口65，通过该吸油口65，在储油室58中的润滑油59被吸入到转子63和64上。余摆线泵62还具有与转子轴25的供油通道46相连通的排油口66。润滑油59通过排油口66被排出到供油通道46中。如图2所示，在旋转轴35的下端下面的齿轮箱18的底壁具有与旋转轴的下端下面大体相同的结构。余摆线泵67设置在旋转轴35的下端处，用于将润滑油59供给到油循环通道中。余摆线泵67具有与余摆线泵62基本相同的结构。更具体的，余摆线泵67设置在齿轮箱18的突出部分61的圆孔61a中。余摆线泵67包括内转子68，外转子69，以及排油口71和吸油口(未示出)。

参见图3A，轴承装置42包括相同类型的上轴承42a和下轴承42b，每个包括内圈73、外圈74、滚动体(球)和轴承罩。滚动体和轴承罩设置在内圈73和外圈74之间。内圈73固定安装在旋转轴25上以用于与其一起旋转。外圈74固定安装在轴支承件28的上部大直径孔29a中。轴承42a和42b为分别具有上开口42c和下开口42d的非密封开口类型，通过这些开口滚动体被暴露。上开口42c和下开口42d通过内圈73和外圈74之间的间隙形成。

盖80由在其中心具有通孔80a的盘形板制成。旋转轴25被插入通过并且安装在盖80的通孔80a中，从而使得盖80固定到旋转轴25上以与其一起旋转。盖80设置在邻近轴承装置42的旋转轴25的横向通道45的出口45a和上轴承42a的上开口42c之间，从而使得上轴承42a的上开口42c由盖80所关闭。在该实施例中，邻近轴承装置42的横向通道45的出口45a相应于邻近本发明中的轴承的供油通道的出口。需要注意的是盖80关闭上轴承42a的上开口42c，从而使得间隙存在于盖80和上轴承42a之间。盖80具有小于上部大直径孔29a的内直径的外直径。

旋转轴25、上轴承42a、密封部件30和上部大直径孔29a的内壁相结合以限定集油室81。如图3A中清楚的示出，集油室81被设置以便于面对横向通道45的出口45a。形成在轴支承件28中的三个排油通道82围绕轴承装置42进行设置，如图3B所示。排油通道82提供了在集油室81和回油通道48之间的流体连通，该回油通道48由旋转轴25的外圆周表面和轴支承件28的通孔29的内圆周表面之间的间隙所形成。

围绕轴承装置43的结构与围绕如图2所示的轴承装置42的结构大体相同。更具体的，盖83固定安装在旋转轴25上，从而使得轴承装置43的上轴承43a的上开口43c由盖83所关闭。旋转轴25，上轴承43a，下部大直径孔29b相结合以限定集油室84。排油通道85形成在轴支承件28中相应于轴承装置43的外圆周侧的位置处。排油通道85提供集油室84和储油室58之间的流体连通。回油通道48具有邻近轴承装置43的出口48a。在该实施例中的出口48a对应于邻近本发明的轴承的油循环通道的出口。盖83设置在邻近轴承装置43的出口48a和上轴承43a(参见图2)的上开口43c之间。

围绕支撑阳螺旋转子21上的旋转轴25的轴承装置42和43的结构已经描述。围绕支撑阴螺旋转子31上的旋转轴35的轴承装置51和52的结构大体上与围绕轴承装置42和43的结构大体上相同。

本实施例的真空泵的运行将在下面进行描述。当驱动电机17旋转，旋转力通过驱动齿轮20和中间齿轮49传送到同步齿轮47上，从而旋转同步齿轮47。因此，同步齿轮56与同步齿轮47同步旋转，并且转子21和31与旋转轴25和35一起旋转。在此旋转期间，压缩流体通过入口15吸入到工作室50，由于阳螺旋转子21和阴螺旋转子31通过它们的齿24和齿距34相互接合。在工作室50中的流体在被转子21和31所压缩的同时朝向出口16被传送，压缩流体通过出口16排出真空泵。当诸如室，容器等类似物的封闭空间连接到真空泵的入口15上时，封闭空间通过真空泵的运行被抽成真空。

在真空泵的运行期间，旋转轴25和35在相对方向上高速旋转。根据余摆线泵62的泵送作用，余摆线泵62在此通过吸油口65从储油室58中吸收润滑油59，并且通过排油口66排出润滑油59。排出的润滑油59通过其下端开口流入到旋转轴25的轴向通道44中，其中该下端开口与排油口66流体连通。润滑油59在轴向通道44中向上流动，到达横向通道45并且通过出口45a流入到上轴承装置42上的集油室81中。

流入集油室81的润滑油59集中在盖80上。集中在盖80上的所有的润滑油59被防止直接进入上轴承42a中。由于盖80与旋转轴25一起高速旋转，聚集在盖80上的润滑油59通过离心力朝向轴支承件28的内圆周表面向外散开。散开的润滑油59的一部分通过盖80，上轴承42a和上轴承42a的上开口42c之间的间隙进入到上轴承42a和下轴承42b的内部，从而冷却和润滑上轴承42a和下轴承42b。在下轴承42b中的润滑油59通过其下开口42d流出，然后向下流入到回油通道48中。没有进入上轴承42a的润滑油剩余部分通过排油通道82马上流入到回油通道48中，该排油通道82围绕上轴承42a和下轴承42b被提供。

润滑油59向下流入到回油通道48中，同时冷却旋转轴25和轴支承件28。然后，润滑油59流入到集油室84中，该集油室84设置在与回油通道48流体连通的轴承装置43的上方。在集油室84中的润滑油59聚集在盖83上。聚集在盖83上的所有的润滑油59被防止直接进入上轴承43a。由于盖83固定到旋转轴25上以与其一起高速旋转，在盖83上的润滑油59通过离心力朝向轴支承件28的内圆周表面向外散开。散开的润滑油59的一部分通过盖83，上轴承43a和上轴承43a的上开口43c之间的间隙进入到上轴承43a的内部，从而冷却和润滑上轴承43a和下轴承43b。在下轴承43b中的润滑油59通过其下开口43d流出，然后收集在齿轮箱18中的储油室58中。

没有进入上轴承43a和下轴承43b的润滑油59剩余部分流经排油通道85收集在储油室58中。在收集在储油室58中之前，部分润滑油59通过同步齿轮47流动，从而润滑同步齿轮47。收集的润滑油59从储油室58传送到余摆线泵62中并且以上述相同的方式流动。

围绕阴螺旋转子31侧上的旋转轴35的润滑油59的流动大体上与围绕旋转轴25的流动相同。更具体的，润滑油59由余摆线泵67通过供油通道55供给入集油室87中。由于盖86设置在邻近轴承装置51的供油通道55的出口54a和轴承装置51的上开口51c之间，仅仅一部分润滑油59进入到轴承装置51中以润滑和冷却轴承装置51。润滑油59的剩余部分通过排油通道88流入回油通道57中。旋转轴35和轴支承件38由在回油通道57中流动的润滑油59所冷却。流动在回油通道57中的润滑油59到达集油室90。由于盖89设置在回油通道57的出口57a和轴承装置52的上开口52c之间，仅仅一部分润滑油59进入轴承装置52以润滑和冷却轴承装置52，然后，收集在储油室58中。没有进入轴承装置52的润滑油剩余部分通过排油通道91收集在储油室58中。

尽管上面没有描述，轴支承件38具有通孔39，上部大直径孔39a和下部大直径孔39b，并且密封部件40设置在盖86上面位置处的旋转轴35上。而且，轴承装置51和52分别包括上和下轴承51a和51b，上和下轴承52a和52b，并且供油通道55包括轴向和横向通道53和54。

根据上述第一优选实施例的真空泵，下面的有利效果可以实现。

(1)在邻近轴承装置42和51的供油通道46和55的出口45a和54a，和上轴承装置42和51的上开口42c和51c之间的盖80和86的提供，可以分别防止流到上轴承42a和51a的润滑油59分别通过上轴承42a和51a的上开口42c和51c直接进入到上轴承42a和51a的内部。因此，润滑油59被防止在轴承装置42和51中保留相当的量，其结果是防止了旋转轴25和35驱动扭矩和温度的增加。

(2)在邻近轴承装置43和52的回油通道48和57的出口48a和57a，和上轴承装置43和52的上开口43c和53c之间的盖83和89的提供，可以分别防止流到上轴承43a和52a的润滑油59通过上轴承43a和52a的上开口43c和52c直接进入到上轴承43a和52a的内部。因此，润滑油59被防止在轴承装置43和52中保留相当的量，其结果是防止了旋转轴25和35驱动扭矩和温度的增加。

(3)固定到旋转轴25和35上的盖80，83，86和89与旋转轴25和35高速一起旋转，从而使得聚集在盖80，83，86和89上的润滑油59由离心力朝向轴支承件28和38的内圆周表面向外分散。然后，润滑油59的一部分流入回油通道48和57中或者通过排油通道82，85，88和91流入储油室58中。因此，润滑油59被防止保留在盖80，83，86和89中并且趋向于流入排油通道82，85，88和91中，从而使得润滑油59被可靠的防止在轴承中保留相当的量。

(4)聚集在盖80，83，86和89上的润滑油59的一部分通过盖80，83，86和89，上部轴承42a，43a，51a和52a，和上部轴承42a，43a，51a和52a的上部开口42c，43c，51c和52c之间的间隙进入到上部轴承42a，43a，51a和52a的内部中，从而润滑和冷却轴承装置42，43，51和52。因此，润滑油59合适地供给入轴承装置42，43，51和52中，因此改善了旋转轴25和35，以及轴承装置42，43，51和52的润滑和冷却。

(5)余摆线泵62和67分别连接到阳螺旋转子22和阴螺旋转子31的旋转轴25和35上。余摆线泵62和67利用旋转轴25和35的旋转来供给润滑油59。因此，真空泵分配额外驱动源来驱动余摆线泵62和67，其结果是本实施例的真空泵减少了部件的数目和尺寸。

(6)润滑油59通过每个油循环通道(供油通道46和55以及回油通道48和57)，并且收集在储油室58中。在收集到储油室58之前，部分润滑油59通过同步齿轮47和56流动，从而润滑同步齿轮47和56。

根据本发明的第二优选实施例的真空泵将参见图4A和4B进行描述。尽管在第一实施例中盖固定到轴承的开口上面的旋转轴处，在第二优选实施例中，盖固定地安装在外壳中的轴承的开口上面的其外圆周处。在第二优选实施例中，四个盖101还设置在分别支撑旋转轴25和35的轴承装置42，43，51和52的上面。这些盖101中的每个的结构大体上相同。为了便于解释，类似或者相同的部件或者元件将采用在第一实施例中相同的附图标记，并且其描述将省去。仅仅对修改的部分进行描述。

图4A和4B示出了围绕支撑旋转轴25的轴承装置42的结构。盖101由在其中心具有通孔101a的盘形板制成。旋转轴25通过盖101的通孔101a被插入，并且盖101固定安装在轴支承件28的上部大直径孔29a中。通孔101a形成为排出口，从而使得在旋转轴25的外圆周表面和通孔101a的内圆周表面之间存在微小的间隙。盖101设置在邻近轴承装置42的供油通道46的横向通道45的出口45a和上轴承42a的上开口42c之间，从而使得盖101关闭上轴承42a的上开口42c。围绕轴承装置43的结构大体上与第一优选实施例的结构相同，除了提供于盖101大体上相同的盖之外。为了用于旋转轴35的轴承装置51和52的结构分别相同。

供给到集油室81的润滑油59聚集在盖101上，盖101关闭上轴承42a的上开口42c。聚集在盖101上的所有润滑油被防止直接进入上轴承42a。聚集在盖101上的润滑油59倾向于朝向排油通道82流动，该排油通道82形成在轴支承件28中，并围绕轴承装置42设置。一部分润滑油59通过盖101和上轴承42a的上开口42c之间的间隙进入上轴承42a的内部，从而润滑和冷却上和下轴承42a和42b。润滑油59通过其下开口42d流出下轴承42b，然后下到回油通道48中。没有进入上轴承42a的润滑油59的剩余部分通过围绕上和下轴承42a和42b提供的排油通道82流入到回油通道48中。向下流入回油通道48中的润滑油59到达轴承装置43。润滑油59以流过轴承装置42的润滑油59大体相同的方式流入，润滑和冷却轴承装置43。

根据第二优选实施例的真空泵，可以获得在段落(1)，(2)和(4)到(6)中提到的相同的有利效果。此外，可以获得下面有利效果。

盖101固定安装在对应轴支承件28和38中的外圆周101b处，从而使得可以对于开口42c，43c，51c和52c精度成功地维持盖101的位置。而且，由于盖101没有固定到旋转轴25上，相比于盖固定到旋转轴上的情况而言，连接到旋转轴25上的部件的数目减少，其结果是用于驱动旋转轴25的作用力减少。

根据本发明的第三优选实施例的真空泵将参见图5A和5B进行描述。在第三优选实施例中，润滑孔通过第一实施例的盖而形成。在第三实施例中，四个盖也设置在分别支撑旋转轴25和35的轴承装置42，43，51和52的上面。每个盖具有大体相同的结构。因此，为了便于解释，类似或者相同的部件或者元件将采用在第一实施例中相同的附图标记，并且其描述将省去。仅仅对修改的部分进行描述。

参见图5B，盖105具有通孔105a，旋转轴25通过该通孔105a被插入。该105形成有三个润滑孔105b，通过这些孔润滑油59被导入到上轴承42a中。润滑孔105b设置在对应于上轴承42a的上开口42c的位置处。在这种情况下，除了通过在盖105和上轴承42a的上开口42c之间的间隙进入上轴承42a内部的润滑油59之外，润滑油59的一部分通过润滑孔105b直接进入到上轴承42a的内部。因此，进入到上轴承42a的润滑油59的量得到增加。

根据第三优选实施例的真空泵，可以获得在段落(1)到(3)，(5)和(6)中提到的相同的有利效果。此外，可以获得下面有利效果。

由于润滑油59的一部分通过盖105的润滑孔105b被导入到上轴承42a中，进入到上轴承42a内部的润滑油59的量增加。进入到上轴承42a的润滑油59的量可通过改变润滑孔105b的直径和数量按照所需进行调整。

本发明不限于上述的实施例，可替换实施例的修改可在下面进行示例。

在第一和第三优选实施例中，设置在轴承的上开口的盖由板制成并且固定到旋转轴上。可替换的实施例的真空泵具有盖110，其是锥形的，如图6A和6B所示。该盖110在其中心具有通孔110a并且固定地安装在旋转轴25上。如图6A所示，盖110具有从其内圆周朝向其外圆周倾斜向下延伸的倾斜表面110b。盖110设置在邻接轴承装置42的横向通道45的出口45a和上轴承42a的上开口42c之间，并且具有平底表面110c，由于该平底表面110c，上轴承42a的上开口42c被覆盖。根据此结构，通过供给通道46供给到上轴承42a上面的润滑油被盖110所阻挡，并且被防止直接进入到上轴承42a上。由于盖110可与旋转轴25一起高速旋转，在盖110上的润滑油通过离心力沿着倾斜表面110b向外散开。此时，润滑油如图6A的箭头所示的向下和向外散开，从而使得润滑油可立即朝向排油通道82流动。因此，通过与排油通道82的内壁的碰撞，润滑油被防止飞溅返回到集油室81中。

在第一，第二和第三实施例中，盖被安装到旋转轴上或者在与轴承分离的轴支承件中以覆盖轴承的开口。可选择的，盖可连接到轴承上。更具体的，盖可固定到轴承的内圈或者外圈上。而且，连接到轴承上的盖可形成有润滑孔，通过该润滑孔，润滑油被导入轴承中。

在第一，第二和第三优选实施例中，盖是盘形的。但是，盖的形状不限于盘形，而可以为矩形或者任意其它多边形。盖可以具有任何形状，只要它能够覆盖或者关闭轴承的开口。

在第一，第二和第三优选实施例中，盖被设置在所有轴承装置上面，轴承装置分别支撑阳螺旋转子和阴螺旋转子的旋转轴。可选择的，盖可设置在轴承装置的上面，轴承装置支撑阳螺旋转子和阴螺旋转子之一的旋转轴。盖可设置在轴承装置之一的上面，轴承装置支撑每个转子的旋转轴。

在第一，第二和第三优选实施例中，供油通道设置在旋转轴中。可选择的，供油通道可以设置在轴支承件中。

在第一，第二和第三优选实施例中，排油通道形成在轴支承件中。可选择的，排油通道可以形成在旋转轴中。排油通道可以形成在旋转轴和轴承两者之中。

在第一，第二和第三优选实施例中，余摆线泵作为供油泵。可选择的，任意类型的泵，例如螺旋泵，齿轮泵或者类似装置可作为供油泵。

在第一，第二和第三优选实施例中，供油泵(或者余摆线泵)连接到旋转轴的每端处，该旋转轴被驱动电机驱动以同步旋转，从而使得供油泵被旋转轴所驱动。可选择的，具有单独驱动源的供油泵可提供用来供给油到每个供油通道中。

第一，第二和第三优选实施例示出了具有齿的螺旋升角的真空泵，并且转子的齿距在轴向方向上从上端朝向下端逐渐减少。可选择的，真空泵可以为其齿的螺旋升角和转子的齿距为不变的类型。

在第一，第二和第三优选实施例中，每个轴承装置包括两个单排滚柱轴承。可选择的，双排滚柱轴承可用来替换单排滚柱轴承。在一个位置提供的滚柱轴承的数目不限于两个。

在第一，第二和第三优选实施例中，用于阳螺旋转子和阴螺旋转子的轴支承件由整体装置制成。可选择的，轴支承件可相互分离地提供。通过这样作，轴支承件的制造和真空泵的装配可变得便利。

在第三优选实施例中，盖105具有三个润滑孔105b。但是，润滑孔105b的数目可不限于三个，可以进行改变。

因此，当前的例子和实施例被认为是示例的而不是限制的，并且本发明不限于在此给处出的细节，而可以在附加权利要求范围进进行修改。

Claims (11)

1.一种真空泵，其包括：具有储油室的外壳组件，在储油室中储存润滑油；设置在外壳组件中并且相互接合的一对螺旋转子；分别连接到转子上的一对旋转轴；支撑每个旋转轴并且具有开口的多个轴承；用于将润滑油从储油室供应给轴承的供油泵；用于使得润滑油从供油泵经轴承循环到储油室的油循环通道，其特征在于：盖设置在轴承的开口处，以便以留有间隙的方式关闭所述轴承的开口；该盖允许润滑油通过间隙进入到轴承中，并且排油通道设置在邻近轴承处以便将没有进入到轴承的润滑油返回到储油室中。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，排油通道设置在对应于轴承外周侧的位置处，该盖被固定到旋转轴上以用于与旋转轴一起旋转。

3.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，轴承是滚珠轴承。

4.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，盖具有润滑孔，通过该润滑孔，润滑油被导入所述轴承中。

5.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，油循环通道包括一具有邻近轴承的出口的供油通道，和一与排油通道流体连通的回油通道。

6.如权利要求5所述的真空泵，其特征在于，供油通道具有一在旋转轴中轴向延伸的轴向通道和一垂直于旋转轴的轴线在旋转轴中延伸以用于形成出口的横向通道。

7.如权利要求5所述的真空泵，其特征在于，进一步包括设置在外壳组件中的轴支承件，以用于支撑每个旋转轴，回油通道由在旋转轴和轴支承件之间的间隙形成。

8.如权利要求5所述的真空泵，其特征在于，排油通道设置在供油通道和回油通道之间提供流体连通。

9.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，供油泵是设置在旋转轴端部的余摆线泵。

10.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，盖是盘形的。

11.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，盖是锥形的。

Images