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CN100349047C - 硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法 - Google Patents

硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法 Download PDF

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CN100349047C CNB2005100624858A CN200510062485A CN100349047C CN 100349047 C CN100349047 C CN 100349047C CN B2005100624858 A CNB2005100624858 A CN B2005100624858A CN 200510062485 A CN200510062485 A CN 200510062485A CN 100349047 C CN100349047 C CN 100349047C
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Abstract

一种硅基液晶(LCOS)铝反射电极的钝化保护方法，属于微电子器件制备技术领域，其工艺步骤如下：1、在硅基片表面上光刻出反射电极图形；2、在光刻出图形的硅片表面用电子束蒸发出铝薄膜；3、采用常规剥离工艺得到所需的铝反射电极图形；4、在铝反射电极上生长二氧化硅作为钝化层，完成制作。本发明方法具有成本低和工艺简单的优点。

Description

硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法
技术领域
本发明属于微电子器件制备技术领域，特别涉及一种硅基液晶(LCOS)铝反射电极的钝化保护方法。
背景技术
硅基液晶(LCOS)是在传统的液晶显示器件的基础上，结合硅半导体技术和光学成像技术为一体的高技术产品。反射电极作为硅基液晶(LCOS)的重要组成部分，其反射率对硅基液晶(LCOS)的整体显示性能有着直接的影响，目前硅基液晶(LCOS)的反射电极都是采用铝，但是铝反射面容易被氧化而生成氧化铝，从而使反射率下降，最终导致器件的整体性能下降。
发明内容
本发明的目的是提供一种解决硅基液晶(LCOS)铝反射电极易被氧化而使反射率下降的方法。
为达到上述目的，本发明的技术解决方案是首先在硅片上加工铝反射电极，然后再在反射电极上气相沉积二氧化硅作为钝化保护层。
所述的一种硅基液晶(LCOS)铝反射电极的钝化保护方法，其步骤如下：
步骤1、在硅基片表面上光刻出反射电极图形；
步骤2、在光刻出图形的硅片表面用低温电子束蒸发出铝薄膜；
步骤3、采用常规剥离工艺得到所需的铝反射电极图形；
步骤4、在铝反射电极上生长二氧化硅钝化层。
所述的一种硅基液晶(LCOS)铝反射电极的钝化保护方法，其所述步骤1的在硅基片表面上光刻出反射电极图形，光刻前先涂9912胶，厚1000-1500nm。
所述的一种硅基液晶(LCOS)铝反射电极的钝化保护方法，其所述步骤2的在硅基片表面上淀积的铝薄膜，厚度是45～55nm，用低温电子束蒸发的方法获得。
所述的一种硅基液晶(LCOS)铝反射电极的钝化保护方法，其所述步骤3的剥离工艺是在丙酮中并采用超声波完成的。
所述的一种硅基液晶(LCOS)铝反射电极的钝化保护方法，其所述步骤4在铝反射电极上生长二氧化硅钝化层，厚度是200-350nm，用等离子增强化学气相沉积(PECVD)方法获得。
所述的一种硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法，其所述涂胶之后，再在85～90℃热板上烘烤2.5～3.5分钟。
本发明方法具有成本低和工艺简单的优点。
附图说明
图1-1至图1-5是本发明硅基液晶(LCOS)铝反射电极的钝化保护方法的流程图；
图2-1至图2-5是本发明实施例的流程图。
具体实施方式
本发明硅基液晶(LCOS)铝反射电极的钝化保护方法的具体实施步骤如下：
1、如图1-1所示，在硅基片101表面上涂光学光刻胶102，光学光刻胶为S9912，胶厚1000-1500nm。
2、如图1-2所示，光学光刻方法曝光顶层光学光刻胶102，显影顶层光学光刻胶获得图形103。
3、如图1-3所示，在光学光刻胶102表面上淀积铝薄膜104，铝薄膜104厚度是45～55nm，是采用低温电子束蒸发的方法获得的。
4、如图1-4所示，以丙酮加超声波方法剥离去除光刻胶及光刻胶上的铝薄膜，最后得到在硅片上的铝膜图形105。
5、如图1-5所示，采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)方法在铝反射电极上生长二氧化硅薄膜106，厚度为200-350nm，完成铝反射电极钝化保护层的制作。
实施例
1、如图2-1所示，在硅基片201表面上涂光学光刻胶202，光学光刻胶为S9912，胶厚1000-1500nm；涂胶之后再85℃热板上烘烤3分钟。
2、如图2-2所示，光学光刻方法曝光顶层光学光刻胶202，显影顶层光学光刻胶获得图形203。
3、如图2-3所示，在光学光刻胶202表面上淀积铝薄膜204，铝薄膜102厚度是50nm，是采用低温电子束蒸发的方法获得的。
4、如图2-4所示，以丙酮加超声波方法剥离去除光刻胶及光刻胶上的铝薄膜，最后得到在硅片上的铝膜图形205。
5、如图2-5所示，采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)方法在铝反射电极上生长二氧化硅薄膜206，厚度为200-350nm，完成铝反射电极钝化保护层的制作。

Claims (6)

1、一种硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法，其特征在于，其主要步骤如下：
步骤1、在硅基片表面上光刻出反射电极图形；
步骤2、在光刻出反射电极图形的硅基片表面用电子束蒸发出铝薄膜；
步骤3、采用常规剥离工艺得到所需的铝反射电极图形；
步骤4、在铝反射电极上生长二氧化硅钝化层。
2、根据权利要求1所述的一种硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法，其特征在于，所述步骤1的在硅基片表面上光刻出反射电极图形，光刻前先涂S9912胶，厚1000～1500nm。
3、根据权利要求1所述的一种硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法，其特征在于，所述步骤2的在硅基片表面上淀积的铝薄膜，厚度是45～55nm，用低温电子束蒸发的方法获得。
4、根据权利要求1所述的一种硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法，其特征在于，所述步骤3的剥离工艺是在丙酮中并采用超声波完成的。
5、根据权利要求1所述的一种硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法，其特征在于，所述步骤4在铝反射电极上生长二氧化硅钝化层，用等离子增强化学气相沉积方法获得，厚度是200～350nm。
6、根据权利要求2所述的一种硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法，其特征在于，所述涂S9912胶之后，再在85～90℃热板上烘烤2.5～3.5分钟。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101311802B (zh) * 2007-05-23 2010-05-19 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 硅基液晶显示器、硅基液晶显示器反射镜面及制作方法
CN109633964A (zh) * 2019-02-19 2019-04-16 惠科股份有限公司 导电层的制作方法和显示面板
CN110658649A (zh) * 2019-08-29 2020-01-07 深圳市科创数字显示技术有限公司 硅基液晶器件的制作方法及硅基液晶器件、波长选择开关

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5583704A (en) * 1991-10-31 1996-12-10 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Surface reflecting mirror having a surface reflecting multilayer film
CN1188302A (zh) * 1996-10-22 1998-07-22 精工爱普生株式会社 液晶面板用基板、液晶面板及其电子装置和投影显示装置
US20020159172A1 (en) * 2001-04-26 2002-10-31 Michael Kozhukh Highly reflective optical components
CN1529826A (zh) * 2001-07-16 2004-09-15 日本板硝子株式会社 带有半透过反射镜的基板和半透过型液晶显示装置
CN1594066A (zh) * 2004-07-06 2005-03-16 华东师范大学 硅基微机械光调制器芯片的制备方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5583704A (en) * 1991-10-31 1996-12-10 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Surface reflecting mirror having a surface reflecting multilayer film
CN1188302A (zh) * 1996-10-22 1998-07-22 精工爱普生株式会社 液晶面板用基板、液晶面板及其电子装置和投影显示装置
US20020159172A1 (en) * 2001-04-26 2002-10-31 Michael Kozhukh Highly reflective optical components
CN1529826A (zh) * 2001-07-16 2004-09-15 日本板硝子株式会社 带有半透过反射镜的基板和半透过型液晶显示装置
CN1594066A (zh) * 2004-07-06 2005-03-16 华东师范大学 硅基微机械光调制器芯片的制备方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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硅基液晶显示器研究进展 代永平 等.液晶与显示，第17卷第5期 2002 *

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