CH704193A1

CH704193A1 - Device for receiving and dispensing substrate e.g. glass substrate used in e.g. LCD device, has handling device that is secured with housing elements which are assembled into frame-less self-supporting housing by releasable fastener

Info

Publication number: CH704193A1
Application number: CH02056/10A
Authority: CH
Inventors: Bruno Inauen
Original assignee: Tec Sem Ag
Priority date: 2010-12-08
Filing date: 2010-12-08
Publication date: 2012-06-15

Abstract

The device has housing (2) provided with input unit (3), through which substrates are passed into the housing. A handling device arranged between functional units is secured together with housing elements that are assembled into a frame-less self-supporting housing by releasable fastener. An independent claim is included for modular system for receiving and dispensing substrates.

Description

[0001] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Aufnahme und Ausgabe von in der Produktion von Halbleiterelementen vorgesehenen Substraten, insbesondere von Reticles, Wafern oder Anzeigensubstrate, die ein Gehäuse aufweist, in dem mittels einer Reimraumeinrichtung eine Reinraumatmosphäre erzeugbar ist, die mit zumindest einer Ein-/Ausgabeeinrichtung versehen ist, mittels der Substrate in das Gehäuse ein- und ausführbar sind, sowie mit zumindest einer im Gehäuse angeordneten Handhabungseinrichtung, mittels der Substrate innerhalb des Gehäuses zwischen Funktionseinheiten der Vorrichtung handhabbar sind. [0001] The invention relates to a device for receiving and dispensing substrates intended for the production of semiconductor elements, in particular reticles, wafers or display substrates, which has a housing in which a clean-room atmosphere can be generated by means of a rhyme-space device. / Output device is provided, by means of the substrates in the housing and are executable, as well as with at least one arranged in the housing handling device, by means of the substrates within the housing between functional units of the device can be handled.

[0002] In der industriellen Fertigung von elektronischen Bauteilen, wie beispielsweise Prozessoren, Ram- oder ROM-Bausteine, LCD-Displays oder von anderen Flachbildschirmen etc., müssen regelmässig Objekte innerhalb einer Fabrik transportiert und zwischengelagert werden. Hierfür sind zum einen Transportbehälter vorgesehen, in denen die Objekte gegen äussere Einflüsse sicher angeordnet und transportiert werden. Als Transportbehälter werden häufig sogenannte SMIF- und FOUP-Boxes eingesetzt. Zum anderen werden die Objekte, nach bzw. bevor sie in der Fabrik transportiert werden, in einer Lagervorrichtung, wie eingangs beschrieben, zwischengelagert. In the industrial production of electronic components, such as processors, ram or ROM modules, LCD displays or other flat screens, etc., objects must be regularly transported within a factory and stored. For this purpose, on the one hand transport containers are provided in which the objects are securely arranged and transported against external influences. As a transport container so-called SMIF and FOUP boxes are often used. On the other hand, the objects, before or before they are transported in the factory, stored in a storage device, as described above, stored.

[0003] Derartige Sorter oder Lagervorrichtungen weisen in der Regel ein Gehäuse auf, das einen oder mehrere voneinander abgetrennte Räume ausbildet. Um die Objekte in diesen zumindest einen Raum zu überführen bzw. zu entnehmen weisen die Lagervorrichtungen eine verschliessbare Öffnung auf. Üblicherweise werden die Objekte maschinell oder manuell aus den Transportbehältern entnommen, bevor sie in den Raum überführt werden. Zum Transport innerhalb der Fabrik werden die Objekte dann wieder aus der Lagervorrichtung entnommen und ausserhalb des Raumes in die ebenfalls ausserhalb der Lagervorrichtung zwischenzeitlich gelagerten Transportbehältern eingesetzt. Such sorters or storage devices generally have a housing which forms one or more separated spaces. In order to transfer or remove the objects into these at least one space, the storage devices have a closable opening. Usually, the objects are removed by machine or manually from the transport containers before they are transferred into the room. For transport within the factory, the objects are then removed from the storage device and used outside the space in the also temporarily stored outside the storage device transport containers.

[0004] Sämtlichen dieser Lösungen ist gemeinsam, dass die Vorrichtungen, nämlicher Sorter, Buffer und/oder Stocker, nicht oder höchstens mit grossem technischen Aufwand an geänderte Einsatzbedingungen angepasst werden können. Derartige Anpassungen wären jedoch oftmals wünschenswert, um die kostenintensiven Sorter, Buffer und Stocker trotz der geänderten Anforderungen mit möglichst wenig Aufwand weiter einsetzen zu können. Geänderte Einsatzbedingungen können beispielsweise das Erfordernis sein, die Grundfläche zu vergrössern, um beispielsweise die Kapazität eines Stockers zu erhöhen, zusätzliche Funktionseinheiten in einen Sorter zu integrieren, wie beispielsweise ein bisher nicht vorhandenes Particle-Detection-System, oder aber eine zusätzliche Ein-/Ausgabe zur Verarbeitung bisher nicht berücksichtigter bestimmter Transportboxen integrieren zu können. All of these solutions have in common that the devices, namely sorter, buffer and / or Stocker, can not or at most be adapted to changing conditions of use with great technical effort. However, such adjustments would often be desirable in order to be able to continue using the costly sorters, buffers and stockers despite the changed requirements with as little effort as possible. Changed conditions of use may be, for example, the need to increase the footprint, for example to increase the capacity of a stocker, to integrate additional functional units into a sorter, such as a previously absent particle detection system, or additional input / output to be able to integrate for the processing of previously not considered certain transport boxes.

[0005] Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung gemäss dem Oberbegriff von Patentanspruch 1 zu schaffen, die sich mit möglichst wenig technischem Aufwand an geänderte Gegebenheiten anpassen lässt. Zudem soll sich mit der Lösung auch ein Baukastensystem für gattungsgemässe Vorrichtungen bilden lassen, durch das ein Hersteller von gattungsgemässen Vorrichtungen mit möglichst geringem Aufwand unterschiedlich konfigurierte Vorrichtungen anbieten kann. The invention is therefore an object of the invention to provide a device according to the preamble of claim 1, which can be adapted with little technical effort to changing circumstances. In addition, should be able to form a modular system for generic devices with the solution by which a manufacturer of generic devices with the least possible effort differently configured devices can offer.

[0006] Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung zur Aufnahme und Ausgabe von in der Produktion von Halbleiterelementen vorgesehenen Substraten wie sie eingangs erwähnt ist erfindungsgemäss durch ein mit lösbaren Befestigungsmitteln aneinander befestigten Gehäuseelementen gelöst, die zu einem gestellosen selbstragenden Gehäuse zusammengesetzt sind. Die Aufgabe wird zudem durch ein Baukastensystem nach Anspruch 5 sowie eine Verwendung nach Anspruch 7 gelöst. This object is achieved according to the invention in a device for receiving and output of provided in the production of semiconductor elements substrates as mentioned above by a detachable fasteners fastened together housing elements, which are assembled into a gestellosen self-supporting housing. The object is also achieved by a modular system according to claim 5 and a use according to claim 7.

[0007] Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, auf das bisher bei gattungsgemässen Buffer und Stocker üblicherweise vorgesehene Gestell zu verzichten, mit dem eine lasttragende Struktur gebildet wird. Vor allem das Gestell verhindert oftmals den Austausch von Komponenten der Vorrichtung gegen andere Komponenten oder die Erweiterung der Vorrichtung mit zusätzlichen Komponenten, da die Anordnung und Platzierung der Streben des Gestells vor allem nach Festigkeitsgesichtspunkten vorgenommen werden. Somit stören bei einem Umbau der Vorrichtung oftmals bereits vorhandene Gestellstreben. Als Folge davon müsste für den Umbau die Strebe entfernt und die erforderliche Festigkeit des Gestells auf alternative Weise erreicht werden. Dies bedeutet in der Regel einen derart hohen technischen, finanziellen und zeitlichen Aufwand, dass ein solcher Umbau bei bereits bestehenden Vorrichtungen nicht sinnvoll ist. The invention is based on the idea to dispense with the previously provided in generic buffer and Stocker usually provided frame with which a load-bearing structure is formed. Above all, the frame often prevents the replacement of components of the device against other components or the extension of the device with additional components, since the arrangement and placement of the struts of the frame are made mainly on strength considerations. Thus interfere with a conversion of the device often already existing frame struts. As a result, the strut would have to be removed and the required strength of the frame achieved in an alternative manner for the conversion. This usually means such a high technical, financial and time expenditure that such a conversion is not useful in existing devices.

[0008] Anstelle des Gestells wird bei erfindungsgemässen Vorrichtungen die Festigkeit durch das Gehäuse der Vorrichtung selbst erreicht. Hierzu ist das Gehäuse selbst in Form eines Chassis ausgebildet und weist mehrere blechartige Gehäuseelemente auf, die mit lösbaren Befestigungselementen miteinander verbunden und befestigt sind. Als lösbare Befestigungselemente kommen mit Vorteil Schrauben zum Einsatz. Instead of the frame, the strength is achieved by the housing of the device itself in devices according to the invention. For this purpose, the housing itself is formed in the form of a chassis and has a plurality of sheet-like housing elements, which are connected to one another and fastened with releasable fastening elements. As releasable fasteners are advantageously used screws.

[0009] In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung können zur Erzielung von besonders günstigen Stabilitäts- und Festigkeitseigenschaften zumindest einige der blechartigen Gehäuseteile in ihrem Randbereich abgekantet sein und die Gehäuseteile in den abgekanteten Bereichen miteinander verbunden sein. In a preferred embodiment of the invention, to achieve particularly favorable stability and strength properties, at least some of the sheet-like housing parts can be folded in its edge region and the housing parts in the folded areas be connected to each other.

[0010] Zu einer erhöhten Festigkeit und Stabilität des lasttragenden Gehäuses kann auch dazu beitragen, wenn ein Deckenteil des Gehäuses mit zumindest einem, vorzugsweise sämtliche, an das Deckelteil angrenzenden Seitenteile unmittelbar oder mittelbar befestigt ist. To an increased strength and stability of the load-bearing housing can also help if a ceiling part of the housing with at least one, preferably all, adjacent to the lid part side parts is attached directly or indirectly.

[0011] Weitere bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen, der Beschreibung und der Zeichnung. Further preferred embodiments of the invention will become apparent from the claims, the description and the drawings.

[0012] Die Erfindung wird anhand von in den Figuren rein schematisch dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert, es zeigen: <tb>Fig. 1<sep>eine perspektivische Darstellung eines erfindungsgemässen Sorters sowie eine Draufsicht und eine Seitenansicht des Sorters; <tb>Fig. 2<sep>ein Gehäuseelement des Sorters aus Fig. 1; <tb>Fig. 3<sep>eine Detaildarstellung der lösbaren Verbindungen der Gehäuseelemente; <tb>Fig. 4<sep>eine Detaildarstellung der lösbaren Verbindung <tb>Fig. 5<sep>eine perspektivische Darstellung eines weiteren erfindungsgemässen Sorters sowie eine Draufsicht und eine Seitenansicht des Sorters.The invention will be explained in more detail with reference to embodiments purely schematically illustrated in the figures, in which: <Tb> FIG. 1 <sep> is a perspective view of a sorter according to the invention as well as a plan view and a side view of the sorter; <Tb> FIG. 2 <sep> a housing element of the sorter of FIG. 1; <Tb> FIG. 3 <sep> is a detailed view of the detachable connections of the housing elements; <Tb> FIG. 4 <sep> a detailed view of the detachable connection <Tb> FIG. 5 <sep> is a perspective view of another sorter according to the invention as well as a top view and a side view of the sorter.

[0013] In Fig. 1 ist ein erfindungsgemässer Sorter gezeigt, der zur Verwaltung von Reticles (Glassubstrate) vorgesehen ist, wie sie in Fabriken zur Produktion von elektronischen Bauteilen zum Einsatz kommen. Anstelle von Reticles könnten auch andere Objekte mit einer solchen Vorrichtung verwaltet werden, nämlich sowohl andere Produktionsmittel für die Fertigung von elektronischen Bauteilen als auch Werkstücke, insbesondere Wafer oder Substrate für Flachbildschirme. Diese Angaben sind nur beispielhaft, die Eignung der erfindungsgemässen Vorrichtung im Zusammenhang mit sämtlichen weiteren Objekten aus dem Bereich der Fertigung elektronischer Bauteile oder Vorrichtungen wird durch diese Angaben nicht ausgeschlossen. In Fig. 1, a sorter according to the invention is shown, which is intended for the management of Reticles (glass substrates), as they come in factories for the production of electronic components used. Instead of reticles, other objects could also be managed with such a device, namely other production means for the production of electronic components as well as workpieces, in particular wafers or substrates for flat screens. These details are only exemplary, the suitability of the inventive device in connection with all other objects from the field of manufacturing electronic components or devices is not excluded by this information.

[0014] Reticles werden in sogenannten Shipping-Boxes angeliefert und in anderen genormten bzw. standardisierten Behältern innerhalb der jeweiligen Fabrik transportiert. Die Transportbehälter für solche Objekte sind üblicherweise allseitig geschlossen. Die verbreitete Form von solchen Transportbehälter innerhalb von Fabriken sind entweder gemäss dem SMIF- oder dem FOUP-Standard (SMIF = Standard Mechanical Interface; FOUP = Front Opening Unified Pod) ausgebildet. SMIF-Transportbehälter weisen eine Haube und einen mit der Haube verschliessbaren Boden auf. FOUP-Behälter sind hingegen an einer Frontseite mit einer Öffnung versehen, die mit einem Deckel verschliessbar ist. Reticles are delivered in so-called shipping boxes and transported in other standardized or standardized containers within each factory. The transport containers for such objects are usually closed on all sides. The widespread form of such shipping containers within factories are designed according to either the SMIF or the FOUP (Standard Mechanical Interface) standard. SMIF transport containers have a hood and a bottom closable with the hood. On the other hand, FOUP containers are provided on a front side with an opening which can be closed with a lid.

[0015] Die Lagervorrichtung weist als Komponenten ein Grundgehäuse 2, zwei Ein-/Ausgabe-Einrichtung 3 mit einer Transportbehälter-Öffnungseinrichtung, eine Objekt-Handhabungseinrichtung 6, eine oder mehrere ID-Lese-/Ausrichtungseinrichtung sowie optionale Messgeräte wie beispielsweise eine Partikel-Detektionseinrichtung. Sämtliche Komponenten befinden sich innerhalb des Gehäuses 2. The storage device has as components a base housing 2, two input / output device 3 with a transport container opening device, an object handling device 6, one or more ID reading / aligning device and optional measuring devices such as a particle detection device , All components are located within the housing 2.

[0016] Das Grundgehäuse 2 des Sorters aus Fig. 1bildet mit seinen beispielsweise aus Blechen gebildeten vier Seitenwänden 14, 15, 16, 17 sowie Decken- und Bodenelementen einen abgegrenzten und weitestgehend geschlossenen Raum aus. Das Grundgehäuse ist hierbei so ausgebildet, dass zumindest eine Seitenwand, beispielsweise die in Fig. 1 rechte Seitenwand, für Wartungszwecke geöffnet werden kann. The basic housing 2 of the sorter from FIG. 1 forms a delimited and largely closed space with its four side walls 14, 15, 16, 17, which are made of sheet metal, for example, as well as ceiling and floor elements. The basic housing is in this case designed such that at least one side wall, for example the right side wall in FIG. 1, can be opened for maintenance purposes.

[0017] An einer Vorderseite des Gehäuses sind zwei verschliessbare Öffnungen von Ein-/Ausgabe-Einrichtungen 3 vorhanden, durch die Reticle in das Gehäuse ein- und aus ihm ausgeführt werden können. In der Darstellung von Fig. 1unmittelbar rechts neben dieser Öffnung ist eine dritte Ein-/Ausgabeeinrichtung 3a gezeigt, die zur automatisierten Einführung von Reticles durch Entnahme aus Shipping-Boxen in das Innere des Gehäuses 2 sowie zur Ausführung aus dem Gehäuse 2 heraus und Einsetzen der Reticles in Shipping-Boxes vorgesehen ist. Bei den Ein-/Ausgabeeinrichtungen 3b ist vorgesehen, dass Transportbehälter, im Ausführungsbeispiels SMIF-Boxen, manuell oder mittels einem automatisierten Transportsystem auf einem der Ein-/Ausgabeeinrichtungen platziert werden. Anschliessend wird durch automatisiertes Lösen des Bodens des Behälters sowie Absenken des Bodens zusammen mit dem jeweiligen Reticle diese automatisiert in das Gehäuse 2 eingeführt. Mit den Ein-Ausgabeeinrichtungen können auch Reticle aus dem Inneren des Gehäuses 2 ausgegeben, in SMIF-Boxen eingesetzt und deren Boden an den Boxen wieder verschlossen werden. Derartige Ein-/Ausgabeeinrichtungen 3a und 3b sind in Bezug auf Ihre Funktionen vorbekannt und werden durch die Anmelderin Tec-Sem AG bereits angebotenen. In den Figuren nicht zu erkennen ist, der Sorter für eine vergleichsweise geringe Anzahl von Reticle auch Speicherplätze vorsehen kann. At a front of the housing two closable openings of input / output devices 3 are present, by the reticle in the housing and can be performed from it. In the illustration of Fig. 1unmittelbar right next to this opening, a third input / output device 3a is shown, for the automated introduction of Reticles by removal from Shipping boxes in the interior of the housing 2 and for execution out of the housing 2 and inserting the Reticles are provided in shipping boxes. In the input / output devices 3b is provided that transport containers, in the embodiment SMIF boxes are placed manually or by means of an automated transport system on one of the input / output devices. Subsequently, by automatically releasing the bottom of the container and lowering the bottom together with the respective reticle, the latter is automatically introduced into the housing 2. With the input-output devices can also be issued from the interior of the housing 2 Reticle, inserted into SMIF boxes and the bottom of the boxes are closed again. Such input / output devices 3a and 3b are already known in terms of their functions and are already offered by the applicant Tec-Sem AG. It can not be seen in the figures that the sorter can also provide storage locations for a comparatively small number of reticles.

[0018] Innerhalb des Grundgehäuses befindet sich die Objekt-Handhabungseinrichtung 6, die als ein in der X-Y-Ebene beweglicher Knickarmroboter, der zudem in Z-Richtung verfahrbar ist, ausgebildet sein kann, beispielsweise ein Scara-Roboter. Der Knickarmroboter der Objekt-Handhabungseinrichtung ist zum Transport und Handhabung von Reticles innerhalb des Gehäuses vorgesehen. Am Knickarmroboter ist vorzugsweise ein passiver Zweiarm-Greifer für die Handhabung von einzelnen Reticles angebracht. Der Knickarmroboter mit seinem Greifer kann von einer der Ein-/Ausgabeeinrichtungen aus Reticles aufnehmen, innerhalb dem Gehäuse zu transportieren, an vorbestimmbaren Stellen abzusetzen, wieder aufzunehmen und an eine der Ein-/Ausgabeeinrichtungen wieder abzugeben. Anstelle von Knickarmrobotern können im Zusammenhang mit der Erfindung auch andere Typen von Handhabungseinrichtungen vorgesehen sein, beispielsweise Roboter mit linearen Bewegungsachsen. Within the basic housing is the object handling device 6, which can be designed as a movable in the X-Y plane articulated robot, which is also movable in the Z direction, for example, a scara robot. The articulated robot of the object handling device is provided for transporting and handling reticles within the housing. The articulated robot preferably has a passive two-arm gripper for handling individual reticles. The articulated robot with its gripper can record from one of the input / output devices made of reticles, to transport within the housing, settle at predeterminable points, resume and deliver it to one of the input / output devices again. Instead of articulated robots may be provided in connection with the invention, other types of handling equipment, such as robots with linear axes of motion.

[0019] Das Gehäuse des Sorters weist mehrere Seitenwände auf, die vertikal ausgerichtet sind. Hierbei setzen sich insbesondere die vordere und die hintere Seitenwand aus mehreren nebeneinander angeordneten Gehäuseelementen zusammen. Die vorderen Gehäuseelemente erstrecken sich nur über einen Teil der Höhe der vorderen Seitenwand. Zudem sind in der Darstellung von Fig. 1 das linke und das mittlere Gehäuseelement jeweils mit einem in die Bleche integrierten Sichtfenster versehen, das jeweils aus Glas oder durchsichtigem Kunststoff bestehen kann. Unterhalb der Gehäuseelemente der vorderen Seitenwand ist ein Teilgehäuse der drei Ein-/Ausgabeeinrichtungen angeordnet, welche die Ein-/Ausgabeeinheiten nach aussen abschliessen und in der Darstellung von Fig. 1 nicht näher dargestellte Öffnungen der vorderen Seitenwand verschliessen. The housing of the sorter has a plurality of side walls which are vertically aligned. Here, in particular, the front and the rear side wall composed of a plurality of juxtaposed housing elements together. The front housing elements extend only over part of the height of the front side wall. In addition, in the illustration of Fig. 1, the left and the middle housing member each provided with a built-in sheet metal viewing window, which may each consist of glass or transparent plastic. Below the housing elements of the front side wall, a partial housing of the three input / output devices is arranged, which close the input / output units to the outside and close in the illustration of FIG. 1 not shown openings of the front side wall.

[0020] Die in Fig. 1 rechte Seitenwand weist zwei als abgekantete Blechelemente ausgebildete Gehäuseelemente auf, die sich vom Boden bis zu einem oberen Rahmen des Gehäuses erstrecken. Beide Gehäuseelemente sind mit nicht näher dargestellten Öffnungen versehen. Eine der Öffnungen ist durch eine sogenannte «Bright-Iighf-Inspektionseinrichtung abgedeckt, die ein eigenes Gehäuse aufweist. Mit der an sich vorbekannten Bright-Iight-Inspektionseinrichtung kann durch optische Detektion der Zustand des jeweiligen Reticles insbesondere im Hinblick auf Verschmutzung festgestellt werden. Das Gehäuse der Bright-Iight-Inspektionseinrichtung ist mittels Schrauben an das Gehäuseelement des Gehäuses lösbar angeschraubt. Aussen an das Gehäuse der Bright-Iight-Inspektionseinrichtung ist wiederum eine Terminal angebracht. The right in Fig. 1 side wall has two formed as bent sheet metal elements housing elements which extend from the bottom up to an upper frame of the housing. Both housing elements are provided with openings not shown. One of the openings is covered by a so-called bright-light inspection device, which has its own housing. With the previously known bright-light inspection device, the state of the respective reticle, in particular with regard to contamination, can be determined by optical detection. The housing of the bright -ight inspection device is screwed by means of screws to the housing element of the housing detachably. On the outside of the housing of the Bright-Iight inspection device is in turn a terminal attached.

[0021] Auf dergleichen Seite des Gehäuses neben der Bright-Iight-Inspektionseinrichtung ist ein aus mehreren einzelnen quaderförmigen Teilgehäusen gebildeter Turm von weiteren Funktionseinheiten des Sorters. Auch diese Teilgehäuse sind sowohl miteinander als auch mit dem Gehäuseelement der rechten Seitenwand verschraubt. In einem der Teilgehäuse, beispielsweise dem unteren Teilgehäuse, kann die Steuerung des Sorters aufgenommen sein. In einem anderen, beispielsweise dem mittleren Teilgehäuse kann ein sogenannter Airknife angeordnet sein, mit dem per Luft- oder sonstigem Gasstrom ein Reticle von Schmutzpartikeln befreit werden kann. Schliesslich kann in einem weiteren der Teilgehäuse, beispielsweise im oberen Teilgehäuse, eine Rotationseinrichtung, mit der ein Reticle gedreht werden kann sowie zur Identifikation des jeweiligen Reticles ein Reticle-ID-Leser und ein Pellicle-ID-Leser angeordnet sein. On the same side of the housing next to the bright -ight inspection device is formed of a plurality of individual cuboid part housings tower of other functional units of the sorter. These sub-housings are bolted both together and with the housing element of the right side wall. In one of the sub-housing, for example, the lower part of the housing, the control of the sorter may be included. In another, for example, the middle part of the housing, a so-called Airknife can be arranged, with the air or other gas stream, a reticle of dirt particles can be freed. Finally, in another of the sub-housings, for example in the upper sub-housing, a rotation device with which a reticle can be rotated and a reticle ID reader and a pellicle ID reader can be arranged to identify the respective reticle.

[0022] Oben auf die Stirnseiten der Gehäuseelemente der Seitenwände ist auf jede Seitenwand eine Leiste aufgeschraubt. Im Ausführungsbeispiel handelt es sich hierbei ebenfalls um ein aus einem Aluminiumblech oder einem sonstigen metallischen Werkstoff bestehendes Blech, dessen Seitenkanten abgekantet sind. Jedes Gehäuseelement der jeweiligen Seitenwand des Gehäuses ist an der entsprechenden Leiste der jeweiligen Seitenwand angeschraubt. Zudem sind die an ihren Stirnseiten aneinander stossenden Leisten ebenfalls rahmenartig miteinander verschraubt und verleihen somit dem Gehäuse eine zusätzliche Steifigkeit. Auf die Leisten ist ein zusätzlicher Rahmen verschraubt, der sich ebenfalls aus einzelnen abgekanteten Blechleisten zusammensetzt und der als Aufnahme für eine Fan-/Filter-Einrichtung 10 vorgesehen ist. Die Fan-/Filter-Einrichtung 10 kann hierbei lediglich eine Fan-/Filter-Einheit aufweisen oder sich aus mehreren Fan-/Filter-Einheiten (sogenannte Fan-Filter-Unit) zusammensetzten, die nebeneinander auf den Rahmen aufgesetzt und mit diesem verschraubt sind. Bis auf die durch die Fan-Filter-Einheit gegebene Möglichkeit des Ansaugens von Umgebungsluft ist das Gehäuse des Sorters somit an seiner Deckenseite verschlossen. At the top of the end faces of the housing elements of the side walls, a strip is screwed onto each side wall. In the embodiment, this is also an existing of an aluminum sheet or other metallic material sheet whose side edges are folded. Each housing element of the respective side wall of the housing is screwed to the corresponding strip of the respective side wall. In addition, the abutting at their front sides strips are also bolted together like a frame and thus give the housing an additional rigidity. On the strips an additional frame is screwed, which is also composed of individual folded sheet metal strips and which is provided as a receptacle for a fan / filter device 10. The fan / filter device 10 may in this case have only one fan / filter unit or consist of several fan / filter units (so-called fan filter unit), which are placed side by side on the frame and bolted to it , Apart from the possibility given by the fan-filter unit of sucking in ambient air, the housing of the sorter is thus closed on its ceiling side.

[0023] An den unteren Enden der Seitenwände des Gehäuses ist ein nicht näher dargestelltes gelochtes Bodenblech angeschraubt, durch das ein von der Fan-/Filter-Einheit erzeugter nach unten gerichteter Luftstrom aus dem Gehäuse entweichen kann. Der Knickarmroboter kann am Bodenblech lösbar befestigt sein. At the lower ends of the side walls of the housing, a not-shown perforated bottom plate is screwed through which a generated by the fan / filter unit downwardly directed air flow can escape from the housing. The articulated robot can be releasably attached to the floor panel.

[0024] In Fig. 2 ist ein abgekantetes rechteckförmiges Blech gezeigt, wie es als Gehäuseelement oder als Teil der oberen Rahmen des Grundgehäuses 2 vorgesehen sein kann. Das Blech kann auch zur Bildung der Teilgehäuse vorgesehen sein. Das Blech ist an seinen vier Seitenkanten zweifach um jeweils 90° Grad abgekantet, so dass an jeder Seitenkante eine kanalförmige Ausformung entsteht, welche die Stabilität und Festigkeit des Blechs erhöht. An den zu den Oberseiten des Blechs im Wesentlichen senkrecht ausgerichteten Abkantungen des Blechs sind Bohrungen eingebracht, die zur Bildung von Schraubverbindungen mit anderen Gehäuseteilen dienen. Hierbei kann eine besonders hohe Steifigkeit durch mehrfache Verschraubungen und jeweils zwei unmittelbar nebeneinander liegenden Verschraubungen erzielt werden. Die beiden Verschraubungen der jeweils doppelten Verschraubungen liegen hierbei in Bezug auf die Höhe der Abkantungen hintereinander. In Fig. 2 a folded rectangular sheet metal is shown, as it may be provided as a housing element or as part of the upper frame of the base housing 2. The sheet may also be provided to form the sub-housing. The sheet metal is folded twice at 90 ° degrees on each of its four side edges, so that a channel-shaped formation is formed on each side edge, which increases the stability and strength of the sheet. Holes which serve to form screw connections with other housing parts are bored on the bends of the sheet which are oriented substantially perpendicularly to the upper sides of the sheet metal. In this case, a particularly high rigidity can be achieved by multiple screw connections and in each case two directly adjacent glands. The two glands of each double glands are in this case in relation to the height of the bends one behind the other.

[0025] In den Fig. 3 und 4 sind Details möglicher Schraubverbindungen der Gehäuseteile gezeigt. Wie hier dargestellt ist, liegen die Gehäuseteile mit ihren zu den Oberseiten der Bleche senkrecht ausgerichteten Abkantungen gegeneinander an, so dass Bohrungen der beiden Bleche miteinander fluchten. In die miteinander fluchtenden Bohrungen können Zentrierhülsen eingebracht sein, in die die jeweilige Schraube eingeführt ist, so dass sie mit dem Schraubenkopf gegen die Zentrierhülse auf der Innenseite von einem der miteinander zu verschraubenden Bleche anliegt. An der Innenseite des anderen Blechs liegt eine einstückige Gegenplatte an, in die Bohrungen mit Innengewinde eingebracht sind. Die doppelten Verschraubungen sind somit mit jeweils zwei Schrauben und einer der Gegenplatten ausgeführt. In Fig. 4ist beispielhaft die Anwendung dieser Art der Verschraubung auf Gehäuseteile einer Seitenwand mit dem Bodenblech des Sorters gezeigt. Details of possible screw connections of the housing parts are shown in FIGS. 3 and 4. As shown here, the housing parts bear against each other with their bent perpendicular to the tops of the sheets against each other, so that holes of the two sheets are aligned. In the aligned holes centering sleeves may be introduced, in which the respective screw is inserted so that it rests with the screw head against the centering sleeve on the inside of one of the sheets to be screwed together. On the inside of the other sheet is a one-piece counter-plate, are introduced into the holes with internal thread. The double screwings are thus carried out with two screws and one of the counter plates. In Fig. 4is exemplified the application of this type of screw on housing parts of a side wall with the bottom plate of the sorter.

[0026] Fig. 5 zeigt eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemässen Sorters. Bei diesem sind lediglich zwei Ein-/Ausgabeeinheiten, nämlich solche für SMIF-Boxen vorgesehen. An der Stelle, an der bei der Ausführungsform von Fig. 1die Ein-/Ausgabeeinheit für Shipping-Boxen vorgesehen ist, befinden sich hier der Turm mit der Steuerung, dem Airknife, sowie der Reticle-Rotationseinrichtung, dem Reticle-ID und Pellicle-ID-Leser mit ihren jeweiligen Gehäusen. Die linke Seitenwand des Grundgehäuses wird bei diesem Ausführungsbeispiel durch ein einziges Gehäuseelement wie prinzipiell in Fig. 3 gezeigt gebildet, in das ein Fenster eingebracht ist. Dieses Gehäuseelement der linken Seitenwand kann auch als schwenkbare Tür ausgebildet sein. FIG. 5 shows a second embodiment of a sorter according to the invention. In this only two input / output units, namely those intended for SMIF boxes. At the point where the shipping box input / output unit is provided in the embodiment of Fig. 1, here are the tower with the controller, the airknife, and the reticle rotator, the reticle ID, and the pellicle ID Reader with their respective housings. The left side wall of the base housing is formed in this embodiment by a single housing element as shown in principle in Fig. 3, in which a window is inserted. This housing element of the left side wall can also be designed as a hinged door.

[0027] Ein solcher Austausch der genannten Funktionskomponenten kann schnell und einfach erfolgen, hierzu müssen lediglich die Schraubverbindungen der jeweiligen Funktionseinheiten gelöst, die Ein-/Ausgabeeinheit für Shipping-Boxen entfernt, der Turm der genannten Funktionseinheiten an die Stelle der Ein-/Ausgabeeinheit angefügt und verschraubt sowie das Gehäuseelement der linken Seitenwand eingesetzt werden. Für einen einfachen Austausch trägt auch dazu bei, dass die Breite von einzelnen Funktionseinheiten identisch sind, hier die Breite des Turms und die Breite der Ein-/Ausgabeeinheit für Shipping-Boxen. Aufgrund des modulartigen Aufbaus kann der Hersteller derartiger Sorter mit vergleichsweise wenig Aufwand die beiden Ausführungsformen sowie eine grosse Anzahl weiterer Ausführungsformen im Baukastensystem anbieten und erstellen. Such an exchange of said functional components can be done quickly and easily, this simply solved the screw connections of the respective functional units, the input / output unit for shipping boxes removed, the tower of said functional units in place of the input / output unit added and screwed and the housing element of the left side wall are used. For ease of replacement also helps ensure that the width of individual functional units are identical, here the width of the tower and the width of the input / output unit for shipping boxes. Due to the modular structure of the manufacturer of such sorters can offer and create the two embodiments and a large number of other embodiments in a modular system with relatively little effort.

[0028] So können in weiteren Ausführungen auch mit wenig technischem Aufwand ein Stocker integriert und/oder ein oder mehrere Funktionseinheiten im inneren des Grundgehäuses angeordnet werden, wie dies auch bei der Ausführungsform von Fig. 5 der Fall ist. Hier ist ein Barcode Reader sowie ein Particle-Detection-System im Grundgehäuse 2 angeordnet. Hierbei kann es vorteilhaft sein, wenn diese Funktionseinheiten von innen am Grundgehäuse mittels Schraubverbindungen oder sonstigen lösbaren Befestigungsmitteln befestigt werden. Thus, in other embodiments, a stocker integrated with little technical effort and / or one or more functional units are arranged in the interior of the basic housing, as is the case with the embodiment of FIG. Here, a barcode reader and a particle detection system in the base housing 2 is arranged. It may be advantageous if these functional units are fastened from the inside to the base housing by means of screw or other releasable fastening means.

Claims

1. Device for receiving and dispensing substrates provided in the production of semiconductor elements, in particular reticles, wafers or display substrates, which has a housing in which a clean room atmosphere can be generated by means of a rhyme room device, which is provided with at least one input / output device, by means of the substrates in the housing and are executable, as well as with at least one arranged in the housing handling device, are handled by the substrates within the housing between functional units of the device, characterized by a detachable fasteners fastened together housing elements, which are self-supporting to a gestelllosen Housing are assembled.

2. Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that housing elements are formed as releasably secured sheets.

3. A device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the sheets are folded and are releasably connected together in their folded portion.

4. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the releasable fastening means comprise screws and screw connections produced therewith.

5. Modular system for a plurality of devices for receiving and dispensing substrates provided in the production of semiconductor elements, in particular reticles, wafers or display substrates, each of which has a housing in which a clean room atmosphere can be generated by means of a rhyme space device, which is provided with at least one input. / Output device is provided, by means of the substrates in the housing and executable, as well as with at least one handling device arranged in the housing, by means of the substrates within the housing between functional units of the device can be handled, characterized by a detachable fasteners fastened together housing elements, the are assembled to a gestellosen self-supporting housing, wherein all devices of the modular system are formed with one or more identical housing elements.

6. Modular system according to claim 5, characterized by at least some identical functional units of the devices.

7. Use of a gestellosen self-supporting lockable housing having a plurality of side walls, which are provided with sheet-like housing elements, characterized by use as a housing of a device for receiving and output of provided in the production of semiconductor elements substrates, in particular reticles, wafers or display substrates.