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CH703338A2 - Coaxial escapement mobile for coaxial escapement system of timepiece, has secondary tooth formed of single piece with board, where board is formed of hub connected to primary tooth using arm - Google Patents

Coaxial escapement mobile for coaxial escapement system of timepiece, has secondary tooth formed of single piece with board, where board is formed of hub connected to primary tooth using arm Download PDF

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Publication number
CH703338A2
CH703338A2 CH10142010A CH10142010A CH703338A2 CH 703338 A2 CH703338 A2 CH 703338A2 CH 10142010 A CH10142010 A CH 10142010A CH 10142010 A CH10142010 A CH 10142010A CH 703338 A2 CH703338 A2 CH 703338A2
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
mobile
board
toothing
sep
cooperate
Prior art date
Application number
CH10142010A
Other languages
French (fr)
Inventor
Frederic Vaucher
Pierre Cusin
Marco Verardo
Jean-Philippe Thiebaud
Original Assignee
Omega Sa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omega Sa filed Critical Omega Sa
Priority to CH10142010A priority Critical patent/CH703338A2/en
Publication of CH703338A2 publication Critical patent/CH703338A2/en

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    • GPHYSICS
    • G04HOROLOGY
    • G04BMECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B15/00Escapements
    • G04B15/06Free escapements
    • G04B15/08Lever escapements
    • GPHYSICS
    • G04HOROLOGY
    • G04BMECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B13/00Gearwork
    • G04B13/02Wheels; Pinions; Spindles; Pivots
    • G04B13/021Wheels; Pinions; Spindles; Pivots elastic fitting with a spindle, axis or shaft

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Abstract

The mobile (100) has a primary tooth (108) formed at a periphery of a board (103). A secondary tooth (113) is formed of a single piece with the board. The board is formed of a hub (102) connected to the primary tooth using an arm (106). The board comprises an opening (104) cooperating with an axle to mount the mobile, where the mobile is made of metal or metal alloy or silicon based material. The opening includes elastically deforming attachment units (105) to clamp the axle on the board. Independent claims are also included for the following: (1) a coaxial escapement system comprising a pallet assembly (2) a method for fabrication of a mobile.

Description

Domaine de l’inventionField of the invention

[0001] L’invention se rapporte à un mobile monobloc par exemple du type échappement coaxial et plus particulièrement à un tel mobile en matériau micro-usinable ou électroformable. The invention relates to a single-piece mobile for example of the coaxial escapement type and more particularly to such a mobile material micro-machinable or electroformable.

Arrière plan de l’inventionBackground of the invention

[0002] De façon connue, l’échappement d’un mouvement mécanique horloger, qu’il soit à ancre suisse ou coaxial, comporte une roue d’échappement dont les dents régulièrement espacées subissent le choc de palettes généralement en rubis. In known manner, the escapement of a clockwork mechanical movement, whether Swiss or coaxial anchor, comprises an escape wheel whose regularly spaced teeth are shocked pallets generally ruby.

[0003] Un exemple de système d’échappement coaxial est présenté dans le document EP 1 045 297. Un tel mécanisme comme illustré à la fig. 11 comprend un mobile formé d’une première 1 et une deuxième 11 roues d’échappement. Cette deuxième roue d’échappement 11, également appelée pignon d’impulsion, est montée sur le même axe 3. La position angulaire des dents 13 de la deuxième roue d’échappement 11 est indexée sur la position angulaire des dents 8 de la première roue d’échappement 1. An example of a coaxial exhaust system is presented in EP 1 045 297. Such a mechanism as illustrated in FIG. 11 comprises a mobile formed of a first 1 and a second 11 escape wheels. This second escape wheel 11, also called the impulse pinion, is mounted on the same axis 3. The angular position of the teeth 13 of the second escape wheel 11 is indexed to the angular position of the teeth 8 of the first wheel exhaust 1.

[0004] La première roue d’échappement 1 a la forme d’une roue d’échappement à ancre suisse classique. La deuxième roue d’échappement 11 fait également office de pignon d’échappement 15 en engrenant avec une roue intermédiaire 17, ce qui a comme avantage de réduire la hauteur du mécanisme. The first escape wheel 1 has the shape of a classic Swiss anchor escapement wheel. The second escape wheel 11 also acts as an escape pinion 15 meshing with an intermediate wheel 17, which has the advantage of reducing the height of the mechanism.

[0005] Le grand plateau 19 du balancier (non représenté), porte une cheville de plateau 21 et une palette d’impulsion 23. La première 21 est destinée à entraîner, dans un mouvement de va-et-vient, l’ancre 25 via sa fourchette 27 alors que la seconde 23 est destinée à coopérer avec les dents 8 de la première roue d’échappement 1. The large plate 19 of the balance (not shown) carries a plate pin 21 and a pulse pallet 23. The first 21 is intended to drive, in a back-and-forth motion, the anchor 25 via its fork 27 while the second 23 is intended to cooperate with the teeth 8 of the first escape wheel 1.

[0006] L’ancre 25 comporte une palette d’impulsion 24 qui coopère avec les dents 13 de la deuxième roue d’échappement 11. L’ancre 25 comporte également deux autres palettes de repos 26, 28 respectivement d’entrée et de sortie qui coopèrent avec les dents 8 de la première roue d’échappement 1. The anchor 25 comprises a pulse pallet 24 which cooperates with the teeth 13 of the second escape wheel 11. The anchor 25 also comprises two other pallets of rest 26, 28 respectively input and output which cooperate with the teeth 8 of the first escape wheel 1.

[0007] La construction d’un tel échappement coaxial exige une précision très élevée, notamment au niveau des alignements relatifs entre les première 1 et deuxième 11 roues d’échappement, ce qui rend difficile sa fabrication. De plus, de manière générale, les rouages d’une pièce d’horlogerie à deux niveaux comme ceux habituels du type roue - pignon ont toujours nécessité à avoir une indexation parfaite entre eux. The construction of such a coaxial escapement requires a very high accuracy, especially at the level of the relative alignments between the first 1 and second 11 exhaust wheels, which makes it difficult to manufacture. In addition, in general, the workings of a two-level timepiece like the usual wheel-pinion type have always required a perfect indexing between them.

Résumé de l’inventionSummary of the invention

[0008] Le but de la présente invention est de pallier tout ou partie les inconvénients cités précédemment en proposant un mobile comme par exemple un mobile d’échappement coaxial dont les problèmes d’alignement sont réduits et dont l’inertie est diminuée. The object of the present invention is to overcome all or part of the disadvantages mentioned above by providing a mobile such as a coaxial escapement mobile whose alignment problems are reduced and whose inertia is reduced.

[0009] A cet effet, l’invention se rapporte à un mobile monobloc comportant une première denture formée à la périphérie d’une planche et une deuxième denture caractérisé en ce que la deuxième denture est formée en une seule pièce avec la planche de la première denture afin de réduire les problèmes d’alignement l’une par rapport à l’autre et diminuer la masse globale du mobile et, notamment, un tel mobile du type échappement coaxial dont la première denture est agencée pour coopérer avec une cheville et au moins une première série de palette et une deuxième denture agencée pour coopérer avec une deuxième série de palette. For this purpose, the invention relates to a single-piece mobile having a first toothing formed on the periphery of a board and a second toothing characterized in that the second toothing is formed in one piece with the board of the first gear to reduce the alignment problems with respect to each other and reduce the overall mass of the mobile and, in particular, such a mobile coaxial escape type whose first gear is arranged to cooperate with an ankle and to less a first series of pallet and a second toothing arranged to cooperate with a second series of pallet.

[0010] On comprend immédiatement l’intérêt d’un tel mobile par la simplicité de construction (monobloc et moins de matière) par rapport aux deux pièces qui sont difficiles à régler l’une par rapport à l’autre actuellement. We immediately understand the interest of such a mobile by the simplicity of construction (monobloc and less material) compared to two parts that are difficult to adjust with respect to each other currently.

[0011] Conformément à d’autres caractéristiques avantageuses de l’invention: la planche comporte une ouverture destinée à coopérer avec un axe afin de monter à rotation ledit mobile d’échappement coaxial; l’ouverture comporte des moyens de fixation à déformation élastique afin de serrer l’axe sans exercer de contrainte destructive sur la planche; l’ouverture comporte des moyens de fixation à déformation plastique afin de serrer l’axe sans exercer de contrainte destructive sur la planche; le mobile peut être en métal ou en un alliage métallique ou à base de silicium.According to other advantageous features of the invention: the board comprises an opening intended to cooperate with an axis in order to rotate said coaxial escapement wheel; the opening comprises fastening means with elastic deformation to clamp the axis without exerting destructive stress on the board; the opening comprises fixing means plastic deformation to tighten the axis without exerting destructive stress on the board; the mobile may be metal or a metal alloy or silicon-based.

[0012] De plus, l’invention se rapporte à un système d’échappement coaxial pour une pièce d’horlogerie comportant une ancre destinée à coopérer avec un mobile d’échappement coaxial monobloc selon l’une des variantes précédentes, la première denture du mobile étant agencée pour coopérer avec une cheville solidaire d’un balancier et étant destinée à coopérer avec une première série de palette de l’ancre, la deuxième denture étant destinée à coopérer avec une deuxième série de palette de l’ancre et agencée pour former le pignon d’échappement. In addition, the invention relates to a coaxial exhaust system for a timepiece comprising an anchor intended to cooperate with a monobloc coaxial exhaust mobile according to one of the preceding variants, the first gear of mobile being arranged to cooperate with a peg secured to a rocker and being intended to cooperate with a first pallet series of the anchor, the second toothing being intended to cooperate with a second pallet series of the anchor and arranged to form the exhaust pinion.

[0013] Enfin, l’invention se rapporte à des procédés de fabrication d’un mobile. Selon un premier mode de réalisation en matériaux micro-usinables tels que du carbure de silicium, du silicium cristallisé, de l’alumine cristallisé ou de la silice cristallisée, le procédé de fabrication comporte les étapes suivantes: <tb>a)<sep>se munir d’un substrat comportant une couche supérieure et couche inférieure en matériaux micro-usinables qui sont solidarisées entre elles par une couche intermédiaire; <tb>b)<sep>graver au moins un motif dans la couche supérieure jusqu’à découvrir la couche intermédiaire afin de former au moins une première denture dudit mobile à la périphérie d’une planche; <tb>c)<sep>graver un deuxième motif dans la couche inférieure jusqu’à découvrir la couche intermédiaire afin de former au moins une deuxième denture de manière monobloc avec ladite planche de la première denture; <tb>d)<sep>libérer le mobile ainsi formé du substrat.Finally, the invention relates to methods of manufacturing a mobile. According to a first embodiment of micro-machinable materials such as silicon carbide, crystallized silicon, crystallized alumina or crystallized silica, the manufacturing method comprises the following steps: <tb> a) <sep> provide a substrate comprising an upper layer and lower layer of micro-machinable materials which are joined together by an intermediate layer; <tb> b) <sep> etching at least one pattern in the upper layer until discovering the intermediate layer to form at least a first toothing of said mobile at the periphery of a board; <tb> c) <sep> etching a second pattern in the lower layer until uncovering the intermediate layer to form at least a second toothing integrally with said board of the first toothing; <tb> d) <sep> release the mobile thus formed substrate.

[0014] Selon un deuxième mode de réalisation en métal pur ou en alliage métallique, le procédé de fabrication comporte les étapes suivantes: <tb>a’)<sep>se munir d’un substrat comportant une couche supérieure électriquement conductrice; <tb>b’)<sep>former un moule et le remplir du matériau formant ledit mobile, à l’aide d’au moins une substance sur deux niveaux, le premier niveau comportant au moins une cavité formant au moins une première denture dudit mobile à la périphérie d’une planche et le deuxième niveau comportant un évidement formant au moins une deuxième denture dudit mobile et communiquant avec ladite au moins une cavité du premier niveau; <tb>c’)<sep>libérer le mobile ainsi formé de ladite au moins une substance et du substrat.According to a second embodiment of pure metal or metal alloy, the manufacturing method comprises the following steps: <tb> a ') <sep> to provide a substrate comprising an electrically conductive upper layer; <tb> b ') <sep> forming a mold and filling it with the material forming said mobile, using at least one substance on two levels, the first level comprising at least one cavity forming at least one first toothing of said mobile at the periphery of a board and the second level having a recess forming at least a second toothing of said mobile and communicating with said at least one cavity of the first level; <tb> c ') <sep> release the mobile thus formed of said at least one substance and the substrate.

Description sommaire des dessinsBrief description of the drawings

[0015] D’autres particularités et avantages ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels: <tb>- les fig. 1 à 4<sep>sont des représentations des étapes successives d’un procédé de fabrication d’un mobile d’échappement selon un premier mode de réalisation de l’invention; <tb>- les fig. 5 à 8<sep>sont des représentations des étapes successives d’un procédé de fabrication d’un mobile d’échappement selon un deuxième mode de réalisation de l’invention; <tb>- la fig. 9<sep>est une représentation en perspective d’un mobile d’échappement coaxial selon une première variante de l’invention; <tb>-la fig. 10<sep>est une représentation en perspective d’un mobile d’échappement coaxial selon une deuxième variante de l’invention; <tb>-la fig. 11<sep>est une représentation en perspective d’un système d’échappement du type coaxial.Other features and advantages will become apparent from the description which is given below, for information only and in no way limitative, with reference to the accompanying drawings, in which: <tb> - figs. 1 to 4 <sep> are representations of the successive steps of a method of manufacturing an escape wheel according to a first embodiment of the invention; <tb> - figs. 5 to 8 <sep> are representations of the successive steps of a method of manufacturing an escape wheel according to a second embodiment of the invention; <tb> - fig. 9 <sep> is a perspective representation of a coaxial escapement mobile according to a first variant of the invention; <tb> -the fig. 10 <sep> is a perspective representation of a coaxial escapement mobile according to a second variant of the invention; <tb> -the fig. 11 <sep> is a perspective representation of a coaxial type exhaust system.

Description détaillée des modes de réalisation préférésDetailed Description of the Preferred Embodiments

[0016] Avantageusement selon l’invention, les problèmes d’alignement entre les première et deuxième roues sont réduits par fabrication d’un mobile 100, 100 ́ regroupant lesdites roues de manière monobloc, c’est-à-dire en une seule pièce. En conséquence, seules les dents 113, 113 ́ d’une des roues sont encore nécessaires ce qui implique que la plupart de la planche d’une des deux roues n’est plus utile permettant ainsi en outre la diminution de la masse du mobile d’échappement 100, 100 ́ et, incidemment, son inertie. Pour plus de simplicité, l’explication ci-après est faite à partir d’une roue d’échappement coaxial. On comprend toutefois que tout type de mobile à au moins deux niveaux est applicable à la présente invention. Advantageously according to the invention, the alignment problems between the first and second wheels are reduced by manufacturing a mobile 100, 100 grouping said wheels integrally, that is to say in one piece . As a result, only the teeth 113, 113 of one of the wheels are still necessary, which implies that most of the board of one of the two wheels is no longer useful, thus also allowing the reduction of the mass of the wheel. exhaust 100, 100 and, incidentally, its inertia. For simplicity, the following explanation is made from a coaxial escape wheel. However, it is understood that any type of mobile at least two levels is applicable to the present invention.

[0017] Comme illustré aux fig. 9et 10, deux exemples de réalisation selon l’invention de mobiles d’échappement coaxiaux monoblocs 100, 100 ́ sont présentés. Ces mobiles 100, 100 ́ comportent deux motifs distincts sur chacun un niveau. As illustrated in FIGS. 9 and 10, two exemplary embodiments according to the invention of one-piece coaxial exhaust mobiles 100, 100 are presented. These mobiles 100, 100 have two distinct patterns on each level.

[0018] Selon le premier mode de réalisation, visible à la fig. 9, le premier motif forme une roue dentée 101 correspondant à la première roue d’échappement 1 de la fig. 11. Elle comporte une planche 103 formant un moyeu 102 dont le centre comporte une ouverture 104 et duquel partent les bras 106 dont chaque extrémité forme une dent 108 correspondant à une dent 8 de la fig. 11. On obtient donc une planche 103 comportant une première denture à sa périphérie. According to the first embodiment, visible in FIG. 9, the first pattern forms a toothed wheel 101 corresponding to the first escape wheel 1 of FIG. 11. It comprises a board 103 forming a hub 102 whose center comprises an opening 104 and from which the arms 106 from which each end forms a tooth 108 corresponding to a tooth 8 of FIG. 11. A board 103 is thus obtained comprising a first toothing at its periphery.

[0019] Comme illustré à la fig. 9, l’ouverture 104 comporte des moyens de fixation élastiques 105 destinés à coopérer radialement avec un axe du type de celui référencé 3 à la fig. 11par déformation élastique afin de monter à rotation la roue d’échappement 101 et, par conséquent, le mobile d’échappement 100. Ces moyens de fixation élastiques 105 sont formés par des parties élancées réalisées en évidant une partie du moyeu 102. Les partie élancées permettent de serrer l’axe, c’est-à-dire rendre solidaire le mobile 100 de ce dernier, sans soumettre de contrainte au reste de la planche 103. As illustrated in FIG. 9, the opening 104 comprises resilient fixing means 105 intended to cooperate radially with an axis of the type of that referenced 3 in FIG. 11 by elastic deformation in order to rotate the escape wheel 101 and, consequently, the escapement wheel 100. These resilient fixing means 105 are formed by slender portions made by recessing a portion of the hub 102. The slender portions allow to tighten the axis, that is to say, to secure the mobile 100 of the latter, without stressing the rest of the board 103.

[0020] Bien entendu, d’autres moyens élastiques sont envisageables. De tels moyens élastiques peuvent, par exemple, prendre la forme de ceux divulgués dans les figures 10A à 10E du document EP 1 655 642 ou ceux divulgués dans les figures 2 à 5du document WO 2007/099068, lesquels documents sont incorporés par référence à la présente description. Of course, other elastic means are conceivable. Such elastic means may, for example, take the form of those disclosed in FIGS. 10A to 10E of document EP 1 655 642 or those disclosed in FIGS. 2 to 5 of document WO 2007/099068, which documents are incorporated by reference in the this description.

[0021] Ainsi, avantageusement selon l’invention, au lieu de rapporter une deuxième roue d’échappement 11 comme à la fig. 11, le mobile 100 étant monobloc, le deuxième motif 111, en saillie du premier 101, est uniquement formé par une deuxième denture formée de dents 113 correspondant aux dents 13 de la fig. 11. Thus, advantageously according to the invention, instead of bringing a second escape wheel 11 as in FIG. 11, the mobile 100 being integral, the second unit 111, projecting from the first 101, is formed solely by a second set of teeth 113 corresponding to the teeth 13 of FIG. 11.

[0022] Préférentiellement selon l’invention, les dents 113 sont indépendantes les unes des autres et sont solidaires des bras 106. Dans l’exemple particulier de la fig. 9, on remarque que chaque dent 113 est solidaire d’un bras 106 distinct. On comprend donc que la deuxième denture comporte autant de dents 113 que la planche 103 comporte de bras 106. Cependant, cette caractéristique n’est pas essentielle, il pourrait très bien y avoir plusieurs dents 113 sur un seul bras 106. Preferably according to the invention, the teeth 113 are independent of each other and are integral with the arms 106. In the particular example of FIG. 9, it is noted that each tooth 113 is integral with a separate arm 106. It is thus clear that the second toothing has as many teeth 113 as the board 103 has arms 106. However, this feature is not essential, there could very well be several teeth 113 on a single arm 106.

[0023] Selon le deuxième mode de réalisation, visible à la fig. 10, le premier motif forme une roue dentée 101 ́ correspondant à la première roue d’échappement 1 de la fig. 11. Elle comporte une planche 103 ́ formant un moyeu 102 ́ dont le centre comporte une ouverture 104 ́ et duquel partent les bras 106 ́ dont chaque extrémité forme une dent 108 ́ correspondant à une dent 8 de la fig. 11. On obtient donc une planche 103 ́ comportant une première denture à sa périphérie. According to the second embodiment, visible in FIG. 10, the first pattern forms a toothed wheel 101 corresponding to the first escape wheel 1 of FIG. 11. It comprises a board 103 forming a hub 102 whose center has an opening 104 and from which the arms 106 from which each end forms a tooth 108 corresponding to a tooth 8 of FIG. 11. A board 103 is thus obtained comprising a first toothing at its periphery.

[0024] Comme illustré à la fig. 10, l’ouverture 104 ́ comporte des moyens de fixation plastiques 107 destinés à coopérer radialement avec un axe du type de celui référencé 3 à la fig. 11afin de monter à rotation la roue d’échappement 101 ́ et, par conséquent, le mobile d’échappement 100 ́. Ces moyens de fixation plastiques 107 sont formés par une rondelle en matériau métallique autorisant le chassage du mobile 100 ́ contre ledit axe par déformation plastique sans soumettre de contrainte à la planche 103 ́. Bien entendu, d’autres moyens de fixation plastiques sont envisageables. As illustrated in FIG. 10, the opening 104 comprises plastic fixing means 107 intended to cooperate radially with an axis of the type of that referenced 3 in FIG. 11afin to rotatably mount the escape wheel 101 and, therefore, the escape mobile 100. These plastic fixing means 107 are formed by a washer made of metallic material enabling the mobile 100 to be driven against said axis by plastic deformation without subjecting the board 103 to stress. Of course, other plastic fixing means are possible.

[0025] Ainsi, avantageusement selon l’invention, au lieu de rapporter une deuxième roue d’échappement 11 comme à la figure 11, le mobile 100 ́ étant monobloc, le deuxième motif 111 ́, en saillie du premier 101 ́, est uniquement formé par une deuxième denture formée de dents 113 ́ correspondant aux dents 13 de la fig. 11. Thus, advantageously according to the invention, instead of bringing a second escape wheel 11 as in Figure 11, the mobile 100 being monoblock, the second pattern 111, projecting from the first 101, is only formed by a second set of teeth 113 corresponding to the teeth 13 of FIG. 11.

[0026] Préférentiellement selon l’invention, les dents 113 ́ sont indépendantes les unes des autres et sont solidaires des bras 106 ́. Dans l’exemple particulier de la fig. 10, on remarque que chaque dent 113 ́ est solidaire d’un bras 106 ́ distinct. On comprend donc que la deuxième denture comporte autant de dents 113 ́ que la planche 103 ́ comporte de bras 106 ́. Cependant, cette caractéristique n’est pas essentielle, il pourrait très bien y avoir plusieurs dents 113 ́ sur un seul bras 106 ́. Preferably according to the invention, the teeth 113 are independent of each other and are integral with the arms 106. In the particular example of FIG. 10, it is noted that each tooth 113 is integral with a separate arm 106. It is therefore understood that the second set of teeth has as many teeth 113 as the board 103 has arms 106. However, this feature is not essential, it could very well be several teeth 113 on a single arm 106.

[0027] Ces deux modes de réalisation des fig. 9et 10peuvent être formés à l’aide de beaucoup de matériaux différents. Cependant, un matériau électroformable, d’une part, ou un matériau micro-usinable, d’autre part, sont préférés. En effet, à ce jour, le gravage ionique réactif et l’électroformage du type LIGA sont les seuls processus capables de réaliser des pièces avec la précision de l’ordre de quelques microns nécessaire au bon fonctionnement du mobile coaxial 100, 100 ́. Cependant, tout autre processus capable de respecter les mêmes tolérances de fabrication sont applicables. These two embodiments of FIGS. 9 and 10 can be formed using many different materials. However, an electroformable material, on the one hand, or a micro-machinable material, on the other hand, are preferred. Indeed, to date, reactive ion etching and electroforming type LIGA are the only processes capable of producing parts with the precision of the order of a few microns necessary for the proper operation of the coaxial mobile 100, 100. However, any other process that can meet the same manufacturing tolerances is applicable.

[0028] Un matériau électroformable peut être formé avec de l’or et/ou du cuivre et/ou de l’argent et/ou de l’indium et/ou du platine et/ou du palladium et/ou du nickel sans que ces composés soient exhaustifs. En effet, d’autres composés comme du phosphore peuvent être ajoutés en plus faible quantité. Un matériau micro-usinable peut être formé par du carbure de silicium, du silicium cristallisé, de l’alumine cristallisé ou de la silice cristallisée sans que ces composés soient également exhaustifs. An electroformable material may be formed with gold and / or copper and / or silver and / or indium and / or platinum and / or palladium and / or nickel without these compounds are exhaustive. Indeed, other compounds such as phosphorus can be added in a smaller amount. A micro-machinable material can be formed by silicon carbide, crystallized silicon, crystallized alumina or crystallized silica without these compounds being equally exhaustive.

[0029] Les deux types de fabrication vont être présentés respectivement aux fig. 1 à 4 et 5à 8. Les fig. 1à 4 présentent des étapes successives principales d’un micro-usinage pour une meilleure compréhension. Préférentiellement, le procédé comporte une première étape consistant à se munir d’un substrat 31 comportant une couche supérieure 33 et couche inférieure 35 en matériaux micro-usinables qui sont solidarisées entre elles par une couche intermédiaire 34. Ce type de substrat 31 est également connu sous l’abréviation S.O.I. provenant des termes anglais «Silicon On Insulator». Both types of manufacture will be presented respectively in FIGS. 1-4 and 5-8. FIGS. 1 to 4 present successive main stages of a micromachining for a better understanding. Preferably, the method comprises a first step consisting in providing a substrate 31 comprising an upper layer 33 and a lower layer 35 made of micro-machinable materials which are interconnected by an intermediate layer 34. This type of substrate 31 is also known. under the abbreviation SOI from the English words "Silicon On Insulator".

[0030] Dans une deuxième étape, on effectue un gravage d’au moins un motif 36 dans la couche supérieure 33 jusqu’à découvrir la couche intermédiaire 34 afin de former au moins une première denture (dents 108, 108 ́) du mobile d’échappement 100, 100 ́ à la périphérie d’une planche 103, 103 ́. Cette deuxième étape permet donc de former un ou plusieurs premier(s) motif(s) 101, 101 ́ du mobile 100, 100 ́ dans la couche supérieure 33. In a second step, etching of at least one pattern 36 in the upper layer 33 to discover the intermediate layer 34 to form at least a first tooth (teeth 108, 108) of the mobile d exhaust 100, 100 at the periphery of a board 103, 103. This second step thus makes it possible to form one or more first pattern (s) 101, 101 of the mobile 100, 100 in the upper layer 33.

[0031] Comme illustré à la fig. 2, on forme un masque 37, par exemple par photolithographie, pour protéger la partie de la couche supérieure 33 que l’on souhaite garder puis, comme illustré par des traits interrompus, on soumet la partie supérieure du substrat 31 à une attaque anisotrope du type gravage ionique réactif profond également connu sous l’abréviation D.R.I.E. provenant des termes anglais «Deep Reactive Ion Etching». Comme illustré à la fig. 3, on obtient le premier motif 36 comportant un premier niveau 101, 101 ́ d’au moins un mobile d’échappement 100, 100 ́. As illustrated in FIG. 2, a mask 37 is formed, for example by photolithography, to protect the part of the upper layer 33 that it is desired to keep and, as illustrated by broken lines, the upper part of the substrate 31 is subjected to anisotropic etching. deep reactive ion etching type also known by the abbreviation DRIE from the words "Deep Reactive Ion Etching". As shown in fig. 3, the first pattern 36 having a first level 101, 101 of at least one escape wheel 100, 100 is obtained.

[0032] Dans une troisième étape, on effectue un gravage d’au moins un deuxième motif 38 dans la couche inférieure 33 jusqu’à découvrir la couche intermédiaire 34 afin de former au moins une deuxième denture (dents 113, 113 ́) de manière monobloc avec la planche 103, 103 ́ de la première denture (dents 108, 108 ́) du mobile d’échappement 100, 100 ́. Cette troisième étape permet donc de former un ou plusieurs deuxième(s) motif(s) 111, 111 ’ du mobile 100, 100 ́ dans la couche inférieure 35. In a third step, etching of at least a second pattern 38 in the lower layer 33 to find the intermediate layer 34 to form at least a second toothing (teeth 113, 113) so monobloc with the board 103, 103 of the first toothing (teeth 108, 108) of the escape wheel 100, 100. This third step therefore makes it possible to form one or more second pattern (es) 111, 111 'of the mobile 100, 100 in the lower layer 35.

[0033] Comme illustré à la fig. 3, on forme un masque 39, par exemple par photolithographie, pour protéger la partie de la couche inférieure 35 que l’on souhaite garder puis, comme illustré par des traits interrompus, on soumet la partie inférieure du substrat 31 à une attaque anisotrope du type gravage ionique réactif profond (D.R.I.E.). Comme illustré à la fig. 4, on obtient le deuxième motif 38 comportant au moins un deuxième niveau 111, 111 ́ de manière monobloc avec un des premiers niveaux 101, 101 ́ formé dans les étapes précédentes. As illustrated in FIG. 3, a mask 39 is formed, for example by photolithography, to protect the part of the lower layer 35 that it is desired to keep and, as illustrated by broken lines, the lower part of the substrate 31 is subject to anisotropic etching. deep reactive ion etching type (DRIE). As shown in fig. 4, the second pattern 38 having at least a second level 111, 111 is obtained in a monoblock manner with one of the first levels 101, 101 formed in the preceding steps.

[0034] Il reste plus qu’à libérer chaque mobile 100, 100 ́ sur deux niveaux ainsi formé du substrat 31 et, éventuellement, des parties découvertes de la couche intermédiaire 34 afin de monter le mobile d’échappement 100, 100 ́ dans le système d’échappement définitif. De manière préférée, lorsque le mobile d’échappement 100, 100 ́ est formé à base de silicium, une étape supplémentaire d’oxydation est effectuée afin de former au moins une partie en dioxyde de silicium au niveau de sa surface extérieure dans le but de le rendre plus résistant mécaniquement. It remains more than to release each mobile 100, 100 on two levels thus formed of the substrate 31 and, optionally, uncovered portions of the intermediate layer 34 to mount the exhaust mobile 100, 100 in the definitive exhaust system. Preferably, when the escape wheel 100, 100 is formed based on silicon, an additional oxidation step is performed in order to form at least a portion of silicon dioxide at its outer surface for the purpose of make it more mechanically strong.

[0035] Les fig. 5 à 8 présentent des étapes successives principales d’un électroformage pour une meilleure compréhension. Préférentiellement, le procédé comporte une première étape consistant à se munir d’un substrat 41 comportant une couche supérieure électriquement conductrice. Cette couche peut être obtenue par le dépôt d’un matériau électriquement conducteur sur un matériau isolant ou par le fait que le substrat est formé en un matériau électriquement conducteur. Figs. 5-8 present successive main steps of electroforming for better understanding. Preferably, the method comprises a first step of providing a substrate 41 having an electrically conductive upper layer. This layer can be obtained by the deposition of an electrically conductive material on an insulating material or in that the substrate is formed of an electrically conductive material.

[0036] Les étapes principales d’un électroformage consistent à former un moule puis à remplir ce moule à l’aide d’un matériau, par exemple, à l’aide d’une galvanoplastie. Ce type d’électroformage est connu sous l’abréviation L.I.G.A. provenant des termes allemands «rôntgenLIthographie, Galvanoformung & Abformung». Il existe plusieurs types de processus du type L.I.G.A. suivant que le moule à plusieurs niveaux est formé entre chaque galvanoplastie ou est formé entièrement pour être, seulement après, rempli. Pour l’explication ci-dessous, la technique présentée consiste à former chaque niveau, c’est-à-dire former un niveau du moule et le remplir avant de passer au niveau suivant. Bien entendu, tout type d’électroformage, du type L.I.G.A. ou non, capable de former un mobile monobloc à au moins deux niveaux distincts est envisageable. The main steps of electroforming consist in forming a mold and then filling the mold with a material, for example, using electroplating. This type of electroforming is known by the abbreviation L.I.G.A. from the German terms "roaming, lithography, galvanoformung & abformung". There are several types of L.I.G.A. next that the multi-level mold is formed between each electroplating or is formed entirely to be, only after, filled. For the explanation below, the technique presented consists in forming each level, that is to say forming a level of the mold and filling it before going to the next level. Of course, any type of electroforming, type L.I.G.A. or not, able to form a mobile unit in at least two distinct levels is possible.

[0037] Comme illustré aux fig. 5et 6, dans un premier temps, le premier niveau 47 du moule est formé à l’aide, par exemple, d’une photolithographie d’une résine comme illustré à la fig. 5. Il est formé au moins une cavité de forme correspondante au premier motif 101, 101 ́ c’est-à-dire au moins une première denture (dents 108, 108 ́) du mobile d’échappement 100, 100 ́ à la périphérie de la planche 103, 103 ́. Le premier niveau est ensuite rempli par électrodéposition d’un matériau métallique 46. As illustrated in FIGS. 5 and 6, in a first step, the first level 47 of the mold is formed using, for example, a photolithography of a resin as illustrated in FIG. 5. At least one cavity of corresponding shape is formed at the first pattern 101, that is at least one first toothing (teeth 108, 108) of the escape wheel 100, 100 at the periphery. of plate 103, 103. The first level is then filled by electroplating a metal material 46.

[0038] Comme illustré à la fig. 7de manière similaire au premier temps, dans un deuxième temps, le deuxième niveau 49 est formé à l’aide, par exemple, également d’une photolithographie d’une résine. Il est formé au moins un évidement de forme correspondante au deuxième motif 111, 111 ́ c’est-à-dire au moins une deuxième denture (dents 113, 113 ́) du mobile d’échappement 100, 100 ́ et communiquant avec ladite au moins une cavité du premier niveau 47. Le deuxième niveau 49 est ensuite rempli par électrodéposition d’un matériau métallique 48. As illustrated in FIG. 7a similar manner to the first time, in a second step, the second level 49 is formed using, for example, also a photolithography of a resin. At least one recess of corresponding shape is formed at the second unit 111, 111, that is to say at least one second toothing (teeth 113, 113) of the escape wheel 100, 100 and communicating with said at least one cavity of the first level 47. The second level 49 is then filled by electrodeposition of a metallic material 48.

[0039] Il reste plus qu’à libérer le mobile 100, 100 ́ sur deux niveaux ainsi formé du substrat 41 et des résines 47, 49 comme illustré à la fig. 8 afin de monter le mobile d’échappement 100, 100 ́ dans le système d’échappement définitif. Dans l’exemple d’un mobile d’échappement 100, 100 ́ obtenu par électroformage, on comprend qu’il n’est plus nécessaire de former les moyens de fixation élastiques 15 ou plastiques 17 du fait que le matériau métallique peut directement être chassé sur l’axe par son ouverture 104, 104 ́. It remains more than to release the mobile 100, 100 on two levels thus formed of the substrate 41 and resins 47, 49 as shown in FIG. 8 to mount the escape wheel 100, 100 in the final exhaust system. In the example of an escapement wheel 100, 100 obtained by electroforming, it is understood that it is no longer necessary to form the elastic or plastic fastening means 17 because the metallic material can be driven directly. on the axis by its opening 104, 104.

[0040] Bien entendu, la présente invention ne se limite pas à l’exemple illustré mais est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à l’homme de l’art. En particulier, à titre alternatif, il est également envisageable que les roues dentées 101, 101 ́ puissent comporter une serge comme celle 9 de la fig. 11sans sortir du cadre de la présente invention. Of course, the present invention is not limited to the illustrated example but is subject to various variations and modifications that will occur to those skilled in the art. In particular, alternatively, it is also conceivable that the toothed wheels 101, 101 may comprise a serge like that 9 of FIG. It does not depart from the scope of the present invention.

[0041] De plus, même si l’exemple d’une roue d’échappement coaxial est présenté ci-dessus, il est bien évident qu’un mobile du type roue - pignon d’un rouage ou même une roue d’échappement habituel présentera les mêmes avantages. La première denture 108, 108 ́ serait celle de la roue et la deuxième denture 113, 113 ́ celle du pignon ou inversement. In addition, even if the example of a coaxial escapement wheel is presented above, it is obvious that a mobile wheel-gear type of a cog or even a usual escape wheel will have the same benefits. The first toothing 108, 108 would be that of the wheel and the second toothing 113, 113 that of the pinion or vice versa.

[0042] Enfin, il faut comprendre qu’au moins deux niveaux sont réalisés de manière monobloc. Ainsi, il est parfaitement envisageable qu’au moins un niveau supplémentaire soit formé sous la planche, c’est-à-dire la face opposée à celle supportant la deuxième denture 113, 113 ́, et/ou pardessus cette dernière. Finally, it should be understood that at least two levels are made integrally. Thus, it is perfectly conceivable that at least one additional level is formed under the board, that is to say the face opposite to that supporting the second set of teeth 113, 113, and / or above it.

Claims (16)

1. Mobile monobloc (100, 100 ́) comportant une première denture (108, 108 ́) formée à la périphérie d’une planche (103, 103 ́) et une deuxième denture (113, 113 ́) caractérisé en ce que la deuxième denture (113, 113 ́) est formée en une seule pièce avec la planche (103, 103 ́) de la première denture (108, 108 ́) afin de réduire les problèmes d’alignement l’une par rapport à l’autre et diminuer la masse globale du mobile (100, 100 ́).1. A one-piece mobile (100, 100) having a first toothing (108, 108) formed on the periphery of a board (103, 103) and a second toothing (113, 113) characterized in that the second toothing (113, 113) is integrally formed with the board (103, 103) of the first toothing (108, 108) to reduce alignment problems with respect to each other and reduce the overall mass of the mobile (100, 100). 2. Mobile d’échappement coaxial monobloc (100, 100 ́) comportant une première denture (108, 108 ́) formée à la périphérie d’une planche (103, 103 ́), la première denture (108, 108 ́) étant agencée pour coopérer avec une cheville et au moins une première série de palette, une deuxième denture (113, 113 ́) agencée pour coopérer avec une deuxième série de palette caractérisé en ce que la deuxième denture (113, 113 ́) est formée en une seule pièce avec la planche (103, 103 ́) de la première denture (108, 108 ́) afin de réduire les problèmes d’alignement l’une par rapport à l’autre et diminuer la masse globale du mobile d’échappement (100, 100 ́).2. A one-piece coaxial escapement (100, 100) having a first toothing (108, 108) formed on the periphery of a board (103, 103), the first toothing (108, 108) being arranged for cooperating with an anchor and at least a first pallet series, a second toothing (113, 113) arranged to cooperate with a second pallet series characterized in that the second toothing (113, 113) is formed in one piece with the board (103, 103) of the first toothing (108, 108) in order to reduce the problems of alignment with respect to each other and to reduce the overall mass of the escape wheel (100, 100). 3. Mobile (100, 100 ́) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que chaque dent (113, 113 ́) de la deuxième denture est indépendante l’une de l’autre et est en saillie par rapport à la planche (103, 103 ́) de la première denture (108, 108 ́).3. Mobile (100, 100) according to claim 1 or 2, characterized in that each tooth (113, 113) of the second toothing is independent of one another and is projecting from the board (103, 103) of the first toothing (108, 108). 4. Mobile (100, 100 ́) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la planche (103, 103 ́) est formée d’un moyeu (102, 102 ́) raccordé à la première denture à l’aide d’au moins un bras (106, 106 ́).4. Mobile (100, 100) according to the preceding claim, characterized in that the board (103, 103) is formed of a hub (102, 102) connected to the first toothing with the aid of at least one arm (106, 106). 5. Mobile (100, 100 ́) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que chaque dent (113, 113 ́) de la deuxième denture est solidaire dudit au moins un bras de la planche (103, 103 ́).5. Mobile (100, 100) according to the preceding claim, characterized in that each tooth (113, 113) of the second toothing is secured to said at least one arm of the board (103, 103). 6. Mobile (100, 100 ́) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la deuxième denture comporte autant de dents (113, 113 ́) que la planche (103, 103 ́) comporte de bras (106, 106 ́).6. Mobile (100, 100) according to the preceding claim, characterized in that the second toothing has as many teeth (113, 113) that the board (103, 103) comprises arms (106, 106). 7. Mobile (100, 100 ́) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la planche (103, 103 ́) comporte une ouverture (104, 104 ́) destinée à coopérer avec un axe (3) afin de monter à rotation ledit mobile d’échappement coaxial (100, 100 ́).7. Mobile (100, 100) according to one of the preceding claims, characterized in that the board (103, 103) comprises an opening (104, 104) for cooperating with an axis (3) to mount rotating said coaxial escapement wheel (100, 100). 8. Mobile (100) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que l’ouverture (104) comporte des moyens de fixation à déformation élastique (105) afin de serrer l’axe (3) sans exercer de contrainte destructive sur la planche (103).8. Mobile (100) according to the preceding claim, characterized in that the opening (104) comprises resilient deformation fixing means (105) for clamping the axis (3) without exerting destructive stress on the board ( 103). 9. Mobile (100 ́) selon la revendication 7, caractérisé en ce que l’ouverture (104 ́) comporte des moyens de fixation à déformation plastique (107) afin de serrer l’axe (3) sans exercer de contrainte destructive sur la planche (103 ́).9. Mobile (100) according to claim 7, characterized in that the opening (104) comprises plastically deformation fixing means (107) for clamping the axis (3) without exerting destructive stress on the board (103). 10. Mobile (100, 100 ́) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’il est en métal ou en un alliage métallique.10. Mobile (100, 100) according to one of the preceding claims, characterized in that it is metal or a metal alloy. 11. Mobile (100, 100 ́) selon l’une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce qu’il est formé dans un matériau à base de silicium.11. Mobile (100, 100) according to one of claims 1 to 9, characterized in that it is formed in a silicon-based material. 12. Système d’échappement coaxial pour une pièce d’horlogerie comportant une ancre (25) destinée à coopérer avec un mobile d’échappement coaxial monobloc (100, 100 ́) selon l’une des revendications précédentes dépendante de la revendication 2, la première denture (108, 108 ́) du mobile (100, 100 ́) étant agencée pour coopérer avec une cheville (23) solidaire d’un balancier et étant destinée à coopérer avec une première série (26, 28) de palette de l’ancre (25), la deuxième denture (113, 113 ́) étant destinée à coopérer avec une deuxième série (24) de palette de l’ancre (25) et agencée pour former le pignon d’échappement.12. Coaxial exhaust system for a timepiece comprising an anchor (25) intended to cooperate with a one-piece coaxial escapement wheel (100, 100) according to one of the preceding claims dependent on claim 2, the first toothing (108, 108) of the mobile (100, 100) being arranged to cooperate with a peg (23) integral with a rocker and being intended to cooperate with a first series (26, 28) pallet of the anchor (25), the second toothing (113, 113) being intended to cooperate with a second pallet series (24) of the anchor (25) and arranged to form the exhaust pinion. 13. Procédé de fabrication d’un mobile (100, 100 ́) comportant les étapes suivantes: <tb>a)<sep>se munir d’un substrat (31) comportant une couche supérieure (33) et couche inférieure (35) en matériaux micro-usinables qui sont solidarisées entre elles par une couche intermédiaire (34); <tb>b)<sep>graver au moins un motif (36) dans la couche supérieure (33) jusqu’à découvrir la couche intermédiaire (34) afin de former au moins une première denture (108, 108 ́) dudit mobile à la périphérie d’une planche (103, 103 ́); <tb>c)<sep>graver un deuxième motif (38) dans la couche inférieure (35) jusqu’à découvrir la couche intermédiaire (34) afin de former au moins une deuxième denture (113, 113 ́) de manière monobloc avec ladite planche de la première denture (108, 108 ́); <tb>d)<sep>libérer le mobile (100, 100 ́) ainsi formé du substrat (41).13. A method of manufacturing a mobile (100, 100) comprising the following steps: <tb> a) <sep> provide a substrate (31) having an upper layer (33) and lower layer (35) of micro-machinable materials which are interconnected by an intermediate layer (34); <tb> b) <sep> etching at least one pattern (36) in the top layer (33) until the intermediate layer (34) is exposed to form at least a first set of teeth (108, 108) the periphery of a board (103, 103); <tb> c) <sep> etching a second pattern (38) into the lower layer (35) until the intermediate layer (34) is exposed to form at least one second toothing (113, 113) integrally with said board of the first toothing (108, 108); <tb> d) <sep> release the mobile (100, 100) thus formed of the substrate (41). 14. Procédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce que les matériaux micro-usinables comportent du carbure de silicium, du silicium cristallisé, de l’alumine cristallisé ou de la silice cristallisée.14. Method according to the preceding claim, characterized in that the micro-machinable materials comprise silicon carbide, crystallized silicon, crystallized alumina or crystallized silica. 15. Procédé de fabrication d’un mobile (100, 100 ́) comportant les étapes suivantes: <tb>a’)<sep>se munir d’un substrat (41) comportant une couche supérieure électriquement conductrice; <tb>b’)<sep>former un moule (47, 49) et le remplir du matériau (46, 48) formant ledit mobile, à l’aide d’au moins une substance (47, 49) sur deux niveaux, le premier niveau (47) comportant au moins une cavité formant au moins une première denture (108, 108 ́) dudit mobile à la périphérie d’une planche (103, 103 ́) et le deuxième niveau (49) comportant un évidement formant au moins une deuxième denture (113, 113 ́) dudit mobile et communiquant avec ladite au moins une cavité du premier niveau (47); <tb>c’)<sep>libérer le mobile (100, 100 ́) ainsi formé de ladite au moins une substance (47, 49) et du substrat (41).15. A method of manufacturing a mobile (100, 100) comprising the following steps: <tb> a ') <sep> provide a substrate (41) having an electrically conductive upper layer; <tb> b ') <sep> forming a mold (47, 49) and filling it with material (46, 48) forming said mobile, using at least one substance (47, 49) on two levels, the first level (47) comprising at least one cavity forming at least one first toothing (108, 108) of said mobile at the periphery of a board (103, 103) and the second level (49) comprising a recess forming at at least one second toothing (113, 113) of said mobile and communicating with said at least one cavity of the first level (47); <tb> c ') <sep> release the mobile (100, 100) thus formed of said at least one substance (47, 49) and the substrate (41). 16. Procédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le matériau comporte un métal pur ou un alliage métallique.16. Method according to the preceding claim, characterized in that the material comprises a pure metal or a metal alloy.
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