Claims (5)
REVENDICATIONS
1. Procédé de fabrication d'un diaphragme de transducteur acoustique, caractérisé par le fait que l'on maintient une feuille fine (18a) sur son pourtour en utilisant une zone de vide (40), que l'on dispose la partie centrale de la feuille fine sur un support (46), que l'on colle un cadre (32a) sur la feuille fine (18a) au-dessus de sa partie centrale, que l'on tend la feuille (18a) au moyen d'une zone de vide (44) appliquée autour de la partie centrale et on sèche la colle. .1. A method of manufacturing an acoustic transducer diaphragm, characterized in that a thin sheet (18a) is maintained around its periphery using a vacuum zone (40), that the central part of the the thin sheet on a support (46), that a frame (32a) is glued to the thin sheet (18a) above its central part, that the sheet (18a) is stretched by means of a vacuum zone (44) applied around the central part and the glue is dried. .
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé par le fait que l'épaisseur de la feuille est au plus égale à 5 um.2. Method according to claim 1, characterized in that the thickness of the sheet is at most equal to 5 μm.
3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé par le fait que le cadre fait partie d'un ensemble de cadres interconnectés.3. Method according to claim 1 or 2, characterized in that the frame is part of a set of interconnected frames.
4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé par le fait que les cadres interconnectés sont intégrés par des bandes de connexion à un support, l'ensemble formant un plan ajouré.4. Method according to claim 3, characterized in that the interconnected frames are integrated by connection strips to a support, the assembly forming an open plan.
5. Transducteur acoustique, comprenant un diaphragme fabriqué selon le procédé d'une des revendications 1 à 4.5. Acoustic transducer, comprising a diaphragm manufactured according to the method of one of claims 1 to 4.
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un diaphragme fin de transducteur acoustique et un transducteur acoustique comprenant un diaphragme fabriqué par ce procédé, tel qu'un microphone à condensateur à électret.The present invention relates to a method of manufacturing a thin diaphragm of an acoustic transducer and an acoustic transducer comprising a diaphragm manufactured by this method, such as an electret condenser microphone.
Il est connu que les microphones à faible sensibilité permettent de réduire les bruits gênants comme ceux provenant du frottement des habits, des secousses de la marche, ou des rétroactions provenant par des dispositifs générateurs de son disposés à faible distance. II est également connu que cette sensibilité est diminuée en réduisant la masse du diaphragme en mouvement. Néanmoins, jusqu'ici il n'a pas été possible de réduire l'épaisseur du diaphragme au-dela de six um, principalement à cause des difficultés rencontrées pour tendre et disposer le diaphragme sur le support.It is known that low-sensitivity microphones make it possible to reduce annoying noises such as those coming from the rubbing of clothes, jerks from walking, or feedback from sound-generating devices placed at a short distance. It is also known that this sensitivity is reduced by reducing the mass of the moving diaphragm. However, so far it has not been possible to reduce the thickness of the diaphragm beyond six μm, mainly because of the difficulties encountered in tensioning and arranging the diaphragm on the support.
L'invention a pour but de proposer un procédé permettant la fabrication d'un diaphragme de transducteur acoustique l'épaisseur du diaphragme ayant une épaisseur de l'ordre de 1 à 5 |im. Ce résultat est obtenu en tendant une feuille d'un matériau utilisé pour les diaphragmes acoustiques sur un support, en collant ensuite un cadre sur cette feuille et en relâchant par la suite la tension.The object of the invention is to propose a method allowing the manufacture of an acoustic transducer diaphragm, the thickness of the diaphragm having a thickness of the order of 1 to 5 μm. This result is obtained by stretching a sheet of a material used for acoustic diaphragms on a support, then sticking a frame on this sheet and then releasing the tension.
Le procédé selon l'invention est caractérisé par le fait que l'on maintient une feuille fine sur son pourtour en utilisant une zone de vide, que l'on dispose la partie centrale de la feuille fine sur un support, que l'on colle un cadre sur la feuille fine au-dessus de sa partie centrale, que l'on tend la feuille au moyen d'une zone de vide appliquée autour de la partie centrale et on sèche la colle.The method according to the invention is characterized in that a thin sheet is maintained around its periphery by using a vacuum zone, that the central part of the thin sheet is placed on a support, that is glued a frame on the thin sheet above its central part, which the sheet is stretched by means of a vacuum zone applied around the central part and the glue is dried.
Ainsi la feuille destinée à la fabrication d'un diaphragme est tenue sur une monture par une première zone de vide tandis que la partie centrale de la feuille est supportée par une portion plate de cette monture, on dispose sur la partie centrale de la feuille un cadre sur lequel on a préalablement déposé une couche de colle, on applique une tension mécanique à la feuille par une deuxième zone de vide entourant la partie centrale, on fait sécher la colle et on relâche la tension.Thus the sheet intended for the manufacture of a diaphragm is held on a frame by a first vacuum zone while the central part of the sheet is supported by a flat portion of this frame, there is placed on the central part of the sheet a frame on which a layer of glue has previously been deposited, mechanical tension is applied to the sheet via a second vacuum zone surrounding the central part, the glue is dried and the tension is released.
Selon une variante préférée les dimensions de la feuille destinée à la fabrication du diaphragme est telle qu'il permet la fabrication de plusieurs diaphragmes, ainsi lors de la fabrication au lieu de coller un seul cadre sur la partie centrale de la feuille on colle plusieurs cadres qui se trouvent être interconnectés et liés à un support.According to a preferred variant, the dimensions of the sheet intended for the manufacture of the diaphragm is such that it allows the manufacture of several diaphragms, thus during manufacture instead of gluing a single frame on the central part of the sheet, several frames are glued which happen to be interconnected and linked to a support.
L'invention concerne également un transducteur acoustique comprenant un diaphragme fabriqué selon le procédé de l'invention.The invention also relates to an acoustic transducer comprising a diaphragm manufactured according to the method of the invention.
L'invention sera décrite plus en détail à l'aide du dessin annexé.The invention will be described in more detail using the accompanying drawing.
La figure 1 est une coupe d'un microphone à condensateur à électret muni d'un diaphragme fabriqué selon le procédé de l'invention.Figure 1 is a section of an electret condenser microphone provided with a diaphragm manufactured according to the method of the invention.
La figure 2 est une vue en perspective des différents éléments nécessaires à la compréhension du procédé selon l'invention.FIG. 2 is a perspective view of the various elements necessary for understanding the method according to the invention.
La figure 3 est une vue en plan d'une partie de plusieurs cadres interconnectés.Figure 3 is a plan view of part of several interconnected frames.
Le transducteur représenté à la figure 1 comprend un boitier formé par deux demies coquilles 10 et 14 emboîtées dont la coquille supérieure est munie d'un trou 12. Entre ces deux coquilles sont disposés une entretoise 16, un diaphragme 18, une couche à électret 20 sur laquelle est déposée une couche métallique 22 et un cadre support 24 supportant également un circuit intégré 26. La structure susmentionnée est décrite dans le brevet US-4 331 840.The transducer represented in FIG. 1 comprises a box formed by two nested half-shells 10 and 14, the upper shell of which is provided with a hole 12. Between these two shells are arranged a spacer 16, a diaphragm 18, an electret layer 20 on which is deposited a metal layer 22 and a support frame 24 also supporting an integrated circuit 26. The aforementioned structure is described in US Pat. No. 4,331,840.
A la figure 2 on a représenté une monture 30, une feuille grande d'un matériau 18a destiné à la fabrication d'un diaphragme 18, une feuille 32a comprenant une multiplicité de cadres, et un poids 34.In Figure 2 there is shown a frame 30, a large sheet of material 18a intended for the manufacture of a diaphragm 18, a sheet 32a comprising a multiplicity of frames, and a weight 34.
A la figure 3 on a représenté une vue agrandie d'une partie de la feuille 32a.In Figure 3 there is shown an enlarged view of a portion of the sheet 32a.
La monture 30 comprend deux conduits 36 et 42 connectés à une source de vide. Le conduit 36 est connecté à travers des branchements 38 à des rainures 40. Le conduit 42 est connecté à une rainure 44 entourant une partie centrale plate 46 du support 30.Frame 30 includes two conduits 36 and 42 connected to a vacuum source. Conduit 36 is connected through branches 38 to grooves 40. Conduit 42 is connected to a groove 44 surrounding a central flat portion 46 of support 30.
La feuille 18a est en polyester d'une épaisseur de 1,5 um et métallisée avec de l'or 12 K et d'une épaisseur de 40 nm. La feuille 32a est en laiton.Sheet 18a is polyester with a thickness of 1.5 µm and metallized with 12 K gold and has a thickness of 40 nm. Sheet 32a is made of brass.
Selon le procédé de fabrication la feuille 18a est disposé sur la monture 30 et y est maintenue sur son pourtour par le vide créé dans les rainures 40. Une colle epoxy est répandue sur la face inférieure de la feuille 32a laquelle est par la suite posée contre la feuille 18a au-dessus de la partie centrale 46 de la monture 30. On applique alors le vide dans la rainure 42, de sorte à placer la partie centrale de la feuille 18 se trouvant au-dessus de la partie centrale 46 à une tension basse correspondant à 0,1% de la pré-tension ou moins.According to the manufacturing process, the sheet 18a is placed on the frame 30 and is held there on its periphery by the vacuum created in the grooves 40. An epoxy glue is spread on the underside of the sheet 32a which is then placed against the sheet 18a above the central part 46 of the frame 30. A vacuum is then applied in the groove 42, so as to place the central part of the sheet 18 located above the central part 46 at a tension low corresponding to 0.1% of the pre-tension or less.
Par la suite la monture 30 est chauffée jusqu'à 100° afin d'accélérer le séchage de la colle. Le poids 34 tient la feuille 32a contre la feuille 18a pendant cette période. Par la suite les cadres 56 supportant respectivement les diaphragmes 18 tendus sont séparés.Subsequently, frame 30 is heated to 100° in order to accelerate the drying of the glue. Weight 34 holds sheet 32a against sheet 18a during this period. Subsequently the frames 56 respectively supporting the stretched diaphragms 18 are separated.
La feuille ajourée 32a représentée à la figure 3 comprend des bandes de bord 50, 52 des bandes intermédiaires 54 et des cadres 56 connectés aux bandes de bord ou aux bandes intermédiaires par des bandes de connexion 58.The perforated sheet 32a shown in Figure 3 comprises edge strips 50, 52 intermediate strips 54 and frames 56 connected to the edge strips or to the intermediate strips by connection strips 58.
Le diaphragme 18 peut être en plastique plutôt qu'en métal, un choix qui peut être guidé par le désir d'avoir de relativement faibles changements des dimensions dûs à la température.Diaphragm 18 may be plastic rather than metal, a choice which may be guided by the desire to have relatively small dimensional changes due to temperature.
Des tests sur des microphones fabriqués comme décrits précédemment ont démontré que la sensibilité à la vibration a été nettement abaissée.Tests on microphones made as previously described demonstrated that vibration sensitivity was markedly lowered.
ss
1010
1515
2020
2525
3030
3535
4040
4545
5050
5555
6060
1 feuille dessins1 drawing sheet