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CH487263A - Verfahren zum Verdampfen eines Materials und Vorrichtung zum Durchführen dieses Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Verdampfen eines Materials und Vorrichtung zum Durchführen dieses Verfahrens

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Publication number
CH487263A
CH487263A CH7366A CH7366A CH487263A CH 487263 A CH487263 A CH 487263A CH 7366 A CH7366 A CH 7366A CH 7366 A CH7366 A CH 7366A CH 487263 A CH487263 A CH 487263A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
vaporizing
carrying
Prior art date
Application number
CH7366A
Other languages
English (en)
Inventor
Chadwick Brice John
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Publication of CH487263A publication Critical patent/CH487263A/de

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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CH7366A 1965-01-08 1966-01-04 Verfahren zum Verdampfen eines Materials und Vorrichtung zum Durchführen dieses Verfahrens CH487263A (de)

Applications Claiming Priority (1)

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GB104965A GB1103211A (en) 1965-01-08 1965-01-08 Improvements in and relating to vapour deposition and evaporation sources

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Publication Number Publication Date
CH487263A true CH487263A (de) 1970-03-15

Family

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CH7366A CH487263A (de) 1965-01-08 1966-01-04 Verfahren zum Verdampfen eines Materials und Vorrichtung zum Durchführen dieses Verfahrens

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CH (1) CH487263A (de)
DE (1) DE1521421A1 (de)
FR (1) FR1462913A (de)
GB (1) GB1103211A (de)
NL (1) NL6600024A (de)

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AT264953B (de) 1968-09-25
DE1521421A1 (de) 1969-12-11
FR1462913A (fr) 1966-12-16
NL6600024A (de) 1966-07-11
GB1103211A (en) 1968-02-14

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