Verfahren zum Herstellen von elektrischen Bauelementen nach Art gedruckter Schaltungen Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen von elektrischen Bauele menten nach Art gedruckter Schaltungen und ins besondere zum Herstellen von Rotoren für elektrische Maschinen mit axialem Luftspalt.
Das erfindungsgemässe Verfahren besteht darin, dass die Oberfläche eines Basismaterials durch Ätzen in bestimmten, einem vorgegebenen Muster entspre chenden Gebieten abgebaut wird, dass sodann die ganze Oberfläche des Basismaterials, bestehend aus geätzten und ungeätzten Teilen, mit einer Schicht von elektrisch leitfähigem Material überzogen wird und dass dieses leitfähige Material von den Gebieten, welche nicht geätzt worden waren, wieder entfernt wird.
Zum Herstellen des Ätzmusters kann man sich zweckmässigerweise der bekannten Verfahren zum Herstellen von geätzten Leiterzügen bedienen, einschliesslich der Verfahren, um die leitenden Schich ten galvanisch oder durch stromlose Metallabschei- dung aufzubringen bzw. eine stromlos aufgebrachte Schicht galvanisch zu verstärken.
Hierbei werden zweckmässig alle jene Oberflä chengebiete, welche nicht abgeätzt werden sollen, durch Aufbringen einer Schutzschicht abgedeckt. Bei spielsweise kann das Muster der nicht abzuätzenden Oberflächengebiete im Photodruck hergestellt wer den. Nach dem Ätzen wird zweckmässigerweise die Abdeckschicht entfernt und sodann, vorzugsweise durch galvanische Abscheidung, eine leitfähige Schicht, beispielsweise eine Kupferschicht, auf der ganzen Oberfläche des Basismaterials, also auf den geätzten und den ungeätzten Gebieten, aufgebaut.
Anschliessend wird zweckmässig die auf den nicht abgeätzten Gebieten des Basismaterials aufgebaute, leitfähige Metallschicht - vorzugsweise durch Plan schleifen - entfernt.
Dieses im nachfolgenden noch näher beschriebene Verfahren zum Herstellen von elektrischen Bauele menten nach Art der gedruckten Schaltungen eignet sich besonders vorteilhaft zur Anfertigung von Ro toren für Maschinen der eingangs erwähnten Art mit axialem Luftspalt. Für Wechselstrom-Induk- tions-Motoren ist beispielsweise vorgeschlagen wor den, als Rotor eine Eisenscheibe zu verwenden, wel che auf der Seite, welche der vorzugsweise gedruck ten Feldwicklung zugekehrt ist, eine Kupferauflage besitzt.
Die in dem Kupfer durch den wechselnden Magnetfluss hervorgerufenen Ströme führen zum Aus bilden eines Drehmomentes und bewirken damit die Drehbewegung ,des Rotors. Um die magnetische Kopplung zwischen Rotor und der Statorwicklung zu verbessern, ist es wünschenswert, einen Teil der Kupferauflage durch ein magnetisches Material zu ersetzen, um auf diese Weise den wirksamen Luft spalt zu verringern und so die Feldstärke zu erhöhen.
Für die wirtschaftliche und technisch einfache Herstellung solcher Rotoren kann als Basismaterial ein Stoff mit geeigneten magnetischen Eigenschaften dienen, beispielsweise eine Scheibe aus magnetisch weichem Eisen. Es hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, als Basismaterial eine Scheibe zu benutzen, die durch Aufwickeln eines Blechstreifens aus Ma terial mit geringem Verlust, beispielsweise aus sili- ziumlegiertem Blech, hergestellt wird.
Um einer sol chen gewickelten Scheibe den erforderlichen me chanischen Halt zu geben, kann diese vorteilhafter- weise mit einer dünnen Stahlscheibe mechanisch fest verbunden werden. Im folgenden soll die Erfindung anhand einer beispielsweisen Darstellung näher beschrieben wer den.
Fig. 1 zeigt einen Rotor für eine elektrische Ma schine mit axialem Luftspalt, welcher nach dem er- erfindungsgemässen Herstellverfahren angefertigt ist.
Fig. 2 zeigt den gleichen Rotor im Schnitt und die Fig.3a bis Fig. 3f sind Teilschnitt-Darstellungen einzelner Verfahrensstufen.
In Fig.2 ist der gleiche Rotor dargestellt. 11 bezeichnet die Scheibe aus ferromagnetischem Ma terial und 12 die Gebiete mit Kupfer, 13 ist die Welle des Rotors.
Anhand der Fig. 3a-3f wird das Verfahren zum Herstellen eines solchen Rotors in seinen einzelnen Stufen dargelegt. In Fig.3a ist das Basismaterial für die Scheibe aus ferromagnetischem Material 11 im Schnitt dargestellt. Wie in Fig. 3b gezeigt, wird die Oberfläche dieses Basismaterials 11 mit einer beispielsweise aus Photoresist bestehenden Schicht 14 überzogen. Nach dem Belichten dieser Schicht durch ein entsprechendes Negativ des gewünschten Musters und anschliessendem Entwickeln verbleibt die Schicht 14 nur in jenen Gebieten, welche nicht ab geätzt werden sollen (Fig. 3c).
Das Abätzen erfolgt in einem zum Abbau von Eisen geeigneten Bad oder indem in anderer Weise, beispielsweise durch Sprühen, die abzuätzende Basis material-Oberfläche mit dem Ätzmittel in Kontakt gebracht wird. Hierdurch wird, wie in 3d dargestellt, das nicht durch die Schicht 14 abgedeckte Basis material 15 abgeätzt.
Nunmehr wird die ganze Oberfläche, nachdem vorzugsweise das Ätzresist 14 entfernt worden ist, beispielsweise mit Kupfer, vorzugsweise galvanisch plattiert. In der Fig. 3e ist diese Kupferschicht mit 17 bezeichnet; sie überdeckt sowohl die abgeätzten als auch die ungeätzten Teile des Basismaterials. Die Dicke einer solchen Schicht kann beispielsweise 0,1 Millimeter betragen.
Schliesslich wird die leitfähige Schicht 17, soweit sie sich in Gebieten 16 befindet, die nicht abgeätzt worden waren, vorzugsweise durch Abschleifen entfernt, so dass eine plane Oberfläche entsteht, die von den ungeätzten Teilen des Basis materials 16 und .den Kupferbezirken 17 gebildet wird (Fig. 3f).
Die vorstehende Beschreibung des erfindungsge mässen Verfahrens anhand des Beispiels der Her stellung eines Rotors zeigt auch zugleich, in welcher Weise das Verfahren ganz allgemein zum Herstellen von elektrischen Bauelementen nach Art der ge druckten Schaltungen dient. Beispielsweise kann das Basismaterial 11 in einem solchen Falle aus einem geeigneten Isolator bestehen, vorzugsweise einem sol chen homogener Art, wie beispielsweise Glas.
Dann dienen die anhand der Fig. 3a-3f beschriebenen Ver fahrensschritte dazu, um auf dem Isoliermaterial Lei terzüge nach einem beliebigen Leitermuster auszubil den, wobei als leitfähiges Material in einem solchen Falle vorzugsweise Kupfer dient.
Zum Herstellen der Leiterzüge kann mit Vorteil von der stromlosen Abscheidung von Metallen, vor zugsweise von Kupfer, Gebrauch gemacht werden.