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CH357378A - Verfahren und Einrichtung zur Durchführung technischer Prozesse - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur Durchführung technischer Prozesse

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Publication number
CH357378A
CH357378A CH357378DA CH357378A CH 357378 A CH357378 A CH 357378A CH 357378D A CH357378D A CH 357378DA CH 357378 A CH357378 A CH 357378A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
procedure
carrying
equipment
out technical
technical processes
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
Berghaus Bernhard
Bucek Hans
Original Assignee
Berghaus Elektrophysik Anst
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Berghaus Elektrophysik Anst filed Critical Berghaus Elektrophysik Anst
Publication of CH357378A publication Critical patent/CH357378A/de

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018—Glow discharge
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J19/087—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy
    • B01J19/088—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy giving rise to electric discharges
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22B—PRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
    • C22B9/00—General processes of refining or remelting of metals; Apparatus for electroslag or arc remelting of metals
    • C22B9/16—Remelting metals
    • C22B9/22—Remelting metals with heating by wave energy or particle radiation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J37/32623—Mechanical discharge control means

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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CH357378D 1956-04-02 1956-04-02 Verfahren und Einrichtung zur Durchführung technischer Prozesse CH357378A (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH3003061X 1956-04-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH357378A true CH357378A (de) 1961-10-15

Family

ID=4573330

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH357378D CH357378A (de) 1956-04-02 1956-04-02 Verfahren und Einrichtung zur Durchführung technischer Prozesse

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US (1) US3003061A (de)
CH (1) CH357378A (de)
DE (1) DE1161864B (de)
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DE1161864B (de) 1964-01-30
US3003061A (en) 1961-10-03
FR71665E (fr) 1960-01-13

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