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CH319658A - Verfahren und Vorrichtung zur gleichzeitigen Behandlung mehrerer untereinander gleicher metallischer Werkstücke in einer Glimmentladung - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur gleichzeitigen Behandlung mehrerer untereinander gleicher metallischer Werkstücke in einer Glimmentladung

Info

Publication number
CH319658A
CH319658A CH319658DA CH319658A CH 319658 A CH319658 A CH 319658A CH 319658D A CH319658D A CH 319658DA CH 319658 A CH319658 A CH 319658A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
glow discharge
several identical
simultaneous treatment
metallic workpieces
identical metallic
Prior art date
Application number
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Berhaus Bernhard
Bucek Hans
Original Assignee
Berghaus Elektrophysik Anst
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Berghaus Elektrophysik Anst filed Critical Berghaus Elektrophysik Anst
Publication of CH319658A publication Critical patent/CH319658A/de

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018—Glow discharge
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding

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CH319658D 1953-05-28 1953-05-28 Verfahren und Vorrichtung zur gleichzeitigen Behandlung mehrerer untereinander gleicher metallischer Werkstücke in einer Glimmentladung CH319658A (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH794175X 1953-05-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH319658A true CH319658A (de) 1957-02-28

Family

ID=4537184

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH319658D CH319658A (de) 1953-05-28 1953-05-28 Verfahren und Vorrichtung zur gleichzeitigen Behandlung mehrerer untereinander gleicher metallischer Werkstücke in einer Glimmentladung

Country Status (6)

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US (1) US2824210A (fr)
CH (1) CH319658A (fr)
DE (1) DE1000657B (fr)
FR (1) FR1105035A (fr)
GB (2) GB794175A (fr)
NL (1) NL108190C (fr)

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Publication number Publication date
NL108190C (fr)
GB794175A (en) 1958-04-30
GB794174A (en) 1958-04-30
FR1105035A (fr) 1955-11-25
DE1000657B (de) 1957-01-10
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